一種觸控面板結(jié)構(gòu)及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，包括基板、遮蔽層、第一導(dǎo)電層、第二導(dǎo)電層和絕緣層，特征在于：絕緣層上形成有第二消影層，第二導(dǎo)電層位于第二消影層上；第二導(dǎo)電層的上表面上形成有透明的保護(hù)層，保護(hù)層的折射率大于第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層的折射率。本發(fā)明的制造方法包括：a)制備遮蔽層；b)制備第一消影層；c)制備第一導(dǎo)電層；d)制備絕緣層；e)制備第二消影層；f)制備第二導(dǎo)電成；g)制備保護(hù)層。本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)及其制造方法，通過設(shè)置第二消影層，減小了導(dǎo)電層中電極與刻蝕區(qū)之間的色差，降低了電極和刻蝕區(qū)的可見性。通過設(shè)置折射率比導(dǎo)電層大的保護(hù)層，可將大部分外界光線反射掉，降低了導(dǎo)電層的可見性。
【專利說明】一種觸控面板結(jié)構(gòu)及其制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種觸控面板結(jié)構(gòu)及其制造方法，更具體的說，尤其涉及一種可有效 降低導(dǎo)電層中刻蝕圖案可見性的觸控面板結(jié)構(gòu)及其制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著電子技術(shù)和信息技術(shù)的發(fā)展，電子裝置在日常生活中的使用也在不斷增加。 觸摸屏作為適合于便攜式設(shè)備的輸入方式而受到青睞，使得觸控面板的需求量與日俱增。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)中，單層導(dǎo)電層結(jié)構(gòu)的觸摸屏一般是通過在單層導(dǎo)電層上同時(shí)蝕刻形成 具有X線路和Y線路間隔排布的透明線路層，然后再利用橋接工藝，使透明線路層所有X線 路、所有Y線路分別連接成一體結(jié)構(gòu)，再與柔性電路板連接通電以實(shí)現(xiàn)觸摸屏的基本功能。 由于需要在同一層導(dǎo)電膜上印制兩種電極，加上膜的體積較小，對設(shè)備以及加工工藝精度 要求極高，設(shè)備成本高，加工效率低，且制得的產(chǎn)品次品率高。
[0004] 目前雙層導(dǎo)電膜的觸摸屏具有產(chǎn)品合格率高，對設(shè)備的要求低等優(yōu)勢，相對于單 層導(dǎo)電層具有諸多優(yōu)點(diǎn)。但缺點(diǎn)在于電極和縫隙之間的反射和透過率有較大差別，使得電 極和縫隙清晰可見，影響顯示畫面的效果和外觀，特別是在手機(jī)，平板電腦及普通電腦上， 電極和縫隙可見會嚴(yán)重影響視覺效果。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明為了克服上述技術(shù)問題的缺點(diǎn)，提供了一種觸控面板結(jié)構(gòu)及其制造方法。
[0006] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，包括基板、遮蔽層、第一導(dǎo)電層、第二導(dǎo)電層和絕緣層，基 板包括分別背向、朝向顯示裝置的第一面和第二面，遮蔽層形成于基板的第一面上，遮蔽層 上設(shè)置有用于暴露基板的鏤空區(qū)域，遮蔽層和暴露的基板上形成有第一消影層；第一導(dǎo)電 層位于第一消影層上，絕緣層位于第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電成之間，第一導(dǎo)電層內(nèi)有若干間 隔設(shè)置且相互平行的第一電極，第二導(dǎo)電層內(nèi)有若干間隔設(shè)置且相互平行的第二電極，第 一電極與第二電極成一定夾角但不同向，第一電極與第二電極上下相對區(qū)域形成可感知是 否被觸碰的感應(yīng)電容；觸控面板的控制芯片通過檢測第一電極和第二電極間的電容變化得 出觸控面板的觸碰位置；其特別之處在于：所述絕緣層上形成有第二消影層，第二導(dǎo)電層 位于第二消影層上；所述第二導(dǎo)電層的上表面上形成有透明的保護(hù)層，保護(hù)層的折射率大 于第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層的折射率。
[0007] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，所述保護(hù)層的折射率比第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層的折射 率大0. 12以上。
[0008] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，所述保護(hù)層的材質(zhì)為 沒，其可采用濺鍍或涂布的方式形成于第二導(dǎo)電層上。
[0009] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電層和第二導(dǎo)電層由/7〇或220透明導(dǎo)電氧 化物組成時(shí)，所述保護(hù)層的折射率介于1. 9?2. 4之間。
[0010] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電層和第二導(dǎo)電層由銀金屬納米線和金屬網(wǎng)格 組成時(shí)，所述保護(hù)層的折射率介于1. 6?2. 1之間。
[0011] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，所述第一消影層和第二消影層均由兩層結(jié)構(gòu)形成，第一 層為朝向基板的層或《&2〇5層，第二層為背向基板的沒〇2層。
[0012] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，所述第一層的7102層或》2〇 5層的厚度為3?30nm，第 二層的沒02層的厚度為10?70nm。
[0013] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，所述基板為由聚對苯二甲酸乙二醇酯和強(qiáng)化玻璃組成的 透明薄膜或透明薄板。
[0014] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，所述絕緣層為聚甲基丙烯酸甲酯、聚醚砜、聚對苯二甲酸 乙二醇酯、聚氨酸脂或苯并環(huán)丁烯的高分子材料構(gòu)成，或者由so 2無積分金屬材料構(gòu)成。
[0015] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)的制造方法，其特別之處在于，通過以下步驟來實(shí)現(xiàn)： a).制備遮蔽層，采用印刷的方式，將不透光材料印刷在基板第一面上的相應(yīng)區(qū)域，基板第 一面上沒有被印刷的部位形成遮蔽層的鏤空區(qū)域，基板的第一面可以通過鏤空區(qū)域暴露出 來；b).制備第一消影層，首先在遮蔽層上和基板第一面的暴露區(qū)域上濺鍍Γι02或貓2〇 5 , 形成第一消影層的第一層；然后再在第一層上濺鍍※〇2 ,形成第一消影層的第二層；c).制 備第一導(dǎo)電層，在第一消影層上疊置第一導(dǎo)電層，以形成若干間隔設(shè)置且相互平行的第一 電極；d).制備絕緣層，在第一導(dǎo)電層上疊置絕緣層，以便將第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層絕緣 隔離開來；e).制備第二消影層，采用與步驟b)中相同的方法在絕緣層上制備第二消影層， 以減小導(dǎo)電層的可視程度；f).制備第二導(dǎo)電成，采用與步驟c)中相同的方法在第二消影 層上疊置第二導(dǎo)電層，以形成若干間隔設(shè)置且相互平行的第二電極，并保證第二電極與第 一電極成一定夾角當(dāng)不同向；g).制備保護(hù)層，在第二導(dǎo)電層上疊置保護(hù)層，并保證所形成 的保護(hù)層的折射率大于第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層的折射率，以最大限度地避免外界的光線 穿過保護(hù)層射入到第二導(dǎo)電層及其以下各層。
[0016] 本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)，不僅在遮蔽層和基板的暴露區(qū)域 上設(shè)置有第一消影層，而且在第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層之間還設(shè)置有第二消影層，減小了 第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層上的電極與刻蝕區(qū)之間的色差，使得導(dǎo)電層中電極和刻蝕區(qū)的可 見成都減小。通過在第二導(dǎo)電層的表面上設(shè)置折射率大于導(dǎo)電層的保護(hù)層，可將大部分外 部光線反射掉，使從外部進(jìn)入到第二導(dǎo)電層和第一導(dǎo)電層的光線減少，進(jìn)而透過導(dǎo)電層反 射出來的光線也減少，進(jìn)一步降低了導(dǎo)電層中電極和刻蝕區(qū)的可見性。
[0017] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)中，所示的第一消影層和第二消影層均由兩層結(jié)構(gòu)組成， 第一層為由？1〇2層或12〇5層，第二層為及〇2層，采用這兩層結(jié)構(gòu)可有效減小導(dǎo)電層中電 極與刻蝕區(qū)之間的色彩。第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層可由/'ΓΟ或透明導(dǎo)電氧化物組成， 也可由銀金屬納米線和金屬網(wǎng)格組成。本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)的制造方法，通過在基板的 上方依次形成遮蔽層、第一消影層、第一導(dǎo)電層、絕緣層、第二消影層、第二導(dǎo)電層和保護(hù) 層，增加了現(xiàn)有觸控面板所不具有的第二消影層和保護(hù)層，既減小了導(dǎo)電層中電極與刻蝕 區(qū)之間的色彩，由避免了外部光線的進(jìn)入，將導(dǎo)電層中的刻蝕圖案降到了最低，可將觸控面 板下方顯示裝置的圖案不失真地顯示出來。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018] 圖1為本發(fā)明的觸控面板的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)的制造方法的流程圖。
[0019] 圖中：1基板，2遮蔽層，3第一消影層，4第一導(dǎo)電層，5絕緣層，6第二消影層，7第 二導(dǎo)電層，8保護(hù)層。

【具體實(shí)施方式】
[0020] 下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0021] 如圖1所示，給出了本發(fā)明的觸控面板的結(jié)構(gòu)示意圖，其由靠近顯示裝置至遠(yuǎn)離 顯示裝置依次設(shè)置有基板1、遮蔽層2、第一消影層3、第一導(dǎo)電層4、絕緣層5、第二消影層 6、第二導(dǎo)電層7以及保護(hù)層8 ;設(shè)定基板朝向顯示裝置的側(cè)面為第二面，背向顯示裝置的側(cè) 面為第一面。遮蔽層2形成于基板1的第一面上，基板1上設(shè)置有遮蔽層2的部位，可將下 方顯示裝置的圖案遮擋起來。遮蔽層2上設(shè)置有鏤空區(qū)域，基板1的第一面通過遮蔽層2 的鏤空區(qū)域暴露出來，使得下方顯示裝置的圖案通過鏤空區(qū)域進(jìn)行顯示。
[0022] 所示的第一消影層3形成于遮蔽層2和基板1第一面的暴露部分，第一導(dǎo)電層4 形成于第一消影層3的上表面上，第一導(dǎo)電層4內(nèi)設(shè)置有若干間隔設(shè)置且相互平行的第一 電極。絕緣層5形成于第一導(dǎo)電層4的上方，絕緣層5將第一導(dǎo)電層4與第二導(dǎo)電層7隔 離開來；第二消影層6形成于絕緣層5上，第二導(dǎo)電層7位于第二消影層6的上表面上，第 二導(dǎo)電層內(nèi)設(shè)置有間隔設(shè)置且相互平行的第二電極，第二電極與第一電極成一定角度的夾 角但不相平行。第一導(dǎo)電層4與第二導(dǎo)電層7通過絕緣層5和第二消影層6隔離開來，導(dǎo) 電層中的第一電極與第二電極的對應(yīng)區(qū)域就形成了可隨使用者的碰觸而變化的感應(yīng)電容， 當(dāng)使用者碰觸控制面板時(shí)，控制面板的控制芯片通過判斷電容發(fā)生變化的第一電極和第二 電極，即可得出觸摸屏被碰觸的位置。
[0023] 由于在第一導(dǎo)電層4與第二導(dǎo)電層7之間設(shè)置有第二消影層，可減小第一導(dǎo)電層 4和第二導(dǎo)電層7中電極與刻蝕區(qū)之間的色差，有效降低了導(dǎo)電層中刻蝕圖案的可見程度。
[0024] 所不的保護(hù)層8形成于第二導(dǎo)電層7的上表面上，保護(hù)層8的折射率大于第一導(dǎo) 電層4和第二導(dǎo)電層7的折射率，保護(hù)層可采用SOy，如保護(hù)層8的折射率比導(dǎo)電層的折射 率要大0. 12以上。在保護(hù)層8形成的過程中，通過改變形成保護(hù)層的.中硅和氧所占的 比例，可改變保護(hù)層8的折射率，以滿足保護(hù)層的折射率大于第一導(dǎo)電層4和第二導(dǎo)電層7 折射率的目的。保護(hù)層8不僅可實(shí)現(xiàn)對第二導(dǎo)電層7的保護(hù)作用，而且可避免外部光線從 保護(hù)層8進(jìn)入到下方的導(dǎo)電層中。當(dāng)外部光線由保護(hù)層8中向第二導(dǎo)電層7入射時(shí)，相當(dāng) 于從光密介質(zhì)進(jìn)入到光束介質(zhì)，會有一部分光線會發(fā)生全反射，減小了外界光線進(jìn)入到第 二導(dǎo)電層7及其以下各層中；由于進(jìn)入光線減少，經(jīng)第二導(dǎo)電層7和第一導(dǎo)電層4反射出去 的光線就減少了，因此降低了第一導(dǎo)電層4和第二導(dǎo)電層7中刻蝕圖案的可見性，使得外界 的觀察者透過觸控面板可清晰地看到顯示裝置發(fā)出的圖像，而不會看到第一導(dǎo)電層4和第 二導(dǎo)電層7中的刻蝕圖案。
[0025] 所示的基板1可采用由聚對苯二甲酸乙二醇酯和強(qiáng)化玻璃組成的透明薄膜或透 明薄板，既能保證基板的強(qiáng)度，又具有良好的透光性。所示的第一消影層3和第二消影層 6均由兩層結(jié)構(gòu)組成，第一層為朝向基板1的二氧化鈦)層或五氧化二鈮（M205 ) 層，第二層為背向基板的二氧化硅（沒〇2 )層，第一層的層或》2〇5層的厚度可為3? 30nm，第二層的層的厚度可為10?70nm。通過第一消影層和第二消影層對光線的作 用，可減小導(dǎo)電層中電極與刻蝕區(qū)的色差，避免電極和刻蝕區(qū)的可見。
[0026] 所示的第一導(dǎo)電層4和第二導(dǎo)電層7可由氧化銦錫（/TO)或氧化鋁鋅（JZO)透明 導(dǎo)電氧化物組成，為了保證保護(hù)層的折射率大于導(dǎo)電層的折射率，保護(hù)層的折射率應(yīng)介于 1.9?2. 4之間。第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層也可由銀金屬納米線和金屬網(wǎng)格（metal mesh) 組成，為了保證保護(hù)層的折射率大于導(dǎo)電層的折射率，保護(hù)層的折射率應(yīng)介于1. 6?2. 1之 間。
[0027] 所示的絕緣層5為聚甲基丙烯酸甲酯、聚醚砜、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚氨酸脂 或苯并環(huán)丁烯的高分子材料構(gòu)成，或者由無積分金屬材料構(gòu)成，絕緣層5將第一導(dǎo)電 層4與第二導(dǎo)電層7隔離開來。
[0028] 本發(fā)明的的觸控面板結(jié)構(gòu)的制造方法，通過以下步驟來實(shí)現(xiàn)： a) .制備遮蔽層，采用印刷的方式，將不透光材料印刷在基板第一面上的相應(yīng)區(qū)域，基 板第一面上沒有被印刷的部位形成遮蔽層的鏤空區(qū)域，基板的第一面可以通過鏤空區(qū)域暴 露出來； b) .制備第一消影層，首先在遮蔽層上和基板第一面的暴露區(qū)域上濺鍍或》2〇5 ，形成第一消影層的第一層；然后再在第一層上濺鍍S02，形成第一消影層的第二層； c) .制備第一導(dǎo)電層，在第一消影層上疊置第一導(dǎo)電層，以形成若干間隔設(shè)置且相互平 行的第一電極； d) .制備絕緣層，在第一導(dǎo)電層上疊置絕緣層，以便將第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層絕緣隔 離開來； e) .制備第二消影層，采用與步驟b)中相同的方法在絕緣層上制備第二消影層，以減 小導(dǎo)電層的可視程度； f) .制備第二導(dǎo)電成，采用與步驟c)中相同的方法在第二消影層上疊置第二導(dǎo)電層， 以形成若干間隔設(shè)置且相互平行的第二電極，并保證第二電極與第一電極成一定夾角當(dāng)不 同向； g) .制備保護(hù)層，在第二導(dǎo)電層上疊置保護(hù)層，并保證所形成的保護(hù)層的折射率大于第 一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層的折射率，以最大限度地避免外界的光線穿過保護(hù)層射入到第二導(dǎo) 電層及其以下各層。
[0029] 該步驟中，在保護(hù)層形成的過程中，可采用濺鍍、涂布等方式在第二導(dǎo)電層上形成 層，以構(gòu)成保護(hù)層；并通過調(diào)節(jié)中硅和氧所占的比例，來改變保護(hù)層8的折射率。
[0030] 本發(fā)明的觸控面板結(jié)構(gòu)及其制造方法，通過在第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層之間設(shè)置 第二消影層，減小了導(dǎo)電層中電極與刻蝕區(qū)之間的色差，降低了電極和刻蝕區(qū)的可見性。通 過在第二導(dǎo)電層的外表面上設(shè)置折射率比導(dǎo)電層大的保護(hù)層，可將大部分外界光線反射 掉，使進(jìn)入導(dǎo)電層的光線減少，進(jìn)而使得透過導(dǎo)電層發(fā)射出來的光線也減少，降低了導(dǎo)電層 中刻蝕圖案的可見性。
【權(quán)利要求】
1. 一種觸控面板結(jié)構(gòu)，包括基板（1)、遮蔽層（2)、第一導(dǎo)電層（4)、第二導(dǎo)電層（7)和 絕緣層（5)，基板包括分別背向、朝向顯示裝置的第一面和第二面，遮蔽層形成于基板的第 一面上，遮蔽層上設(shè)置有用于暴露基板的鏤空區(qū)域，遮蔽層和暴露的基板上形成有第一消 影層（3);第一導(dǎo)電層位于第一消影層上，絕緣層位于第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電成之間，第一 導(dǎo)電層內(nèi)有若干間隔設(shè)置且相互平行的第一電極，第二導(dǎo)電層內(nèi)有若干間隔設(shè)置且相互平 行的第二電極，第一電極與第二電極成一定夾角但不同向，第一電極與第二電極上下相對 區(qū)域形成可感知是否被觸碰的感應(yīng)電容；觸控面板的控制芯片通過檢測第一電極和第二 電極間的電容變化得出觸控面板的觸碰位置；其特征在于：所述絕緣層上形成有第二消影 層（6)，第二導(dǎo)電層位于第二消影層上；所述第二導(dǎo)電層的上表面上形成有透明的保護(hù)層 (8)，保護(hù)層的折射率大于第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層的折射率。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述保護(hù)層（8)的折射率比第一 導(dǎo)電層（4)和第二導(dǎo)電層（7)的折射率大0. 12以上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸控面板結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述保護(hù)層（8)的材質(zhì)為 沒化，其可采用濺鍍或涂布的方式形成于第二導(dǎo)電層（7)上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的觸控面板結(jié)構(gòu)，其特征在于：當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電層（4)和第二導(dǎo) 電層（7)由/ΓΟ或220透明導(dǎo)電氧化物組成時(shí)，所述保護(hù)層（8)的折射率介于1. 9?2. 4 之間。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的觸控面板結(jié)構(gòu)，其特征在于：當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電層（4)和第二 導(dǎo)電層（7)由銀金屬納米線和金屬網(wǎng)格組成時(shí)，所述保護(hù)層（8)的折射率介于1. 6?2. 1之 間。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的觸控面板結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一消影層（3)和第二 消影層（6)均由兩層結(jié)構(gòu)形成，第一層為朝向基板（1)的7!0 2層或#205層，第二層為背向 基板的沒02層。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的觸控面板結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一層的7102層或i?205 層的厚度為3?30nm，第二層的沒02層的厚度為10?70nm。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的觸控面板結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述基板（1)為由聚對苯二 甲酸乙二醇酯和強(qiáng)化玻璃組成的透明薄膜或透明薄板。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的觸控面板結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述絕緣層（5)為聚甲基丙 烯酸甲酯、聚醚砜、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚氨酸脂或苯并環(huán)丁烯的高分子材料構(gòu)成，或 者由S0 2無積分金屬材料構(gòu)成。
10. -種權(quán)利要求1所述的觸控面板結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，通過以下步驟來實(shí) 現(xiàn)： a) .制備遮蔽層，采用印刷的方式，將不透光材料印刷在基板第一面上的相應(yīng)區(qū)域，基 板第一面上沒有被印刷的部位形成遮蔽層的鏤空區(qū)域，基板的第一面可以通過鏤空區(qū)域暴 露出來； b) .制備第一消影層，首先在遮蔽層上和基板第一面的暴露區(qū)域上濺鍍1102或貓205 ，形成第一消影層的第一層；然后再在第一層上濺鍍沒〇2，形成第一消影層的第二層； C).制備第一導(dǎo)電層，在第一消影層上疊置第一導(dǎo)電層，以形成若干間隔設(shè)置且相互平 行的第一電極； d) .制備絕緣層，在第一導(dǎo)電層上疊置絕緣層，以便將第一導(dǎo)電層與第二導(dǎo)電層絕緣隔 離開來； e) .制備第二消影層，采用與步驟b)中相同的方法在絕緣層上制備第二消影層，以減 小導(dǎo)電層的可視程度； f) .制備第二導(dǎo)電成，采用與步驟c)中相同的方法在第二消影層上疊置第二導(dǎo)電層， 以形成若干間隔設(shè)置且相互平行的第二電極，并保證第二電極與第一電極成一定夾角當(dāng)不 同向； g) .制備保護(hù)層，在第二導(dǎo)電層上疊置保護(hù)層，并保證所形成的保護(hù)層的折射率大于第 一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層的折射率，以最大限度地避免外界的光線穿過保護(hù)層射入到第二導(dǎo) 電層及其以下各層。
【文檔編號】G06F3/041GK104156118SQ201410411032
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2014年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月20日
【發(fā)明者】黃永振, 沈效龍, 張國強(qiáng), 黃孝寧, 王術(shù)軍, 劉驥 申請人:山東華芯富創(chuàng)電子科技有限公司