透明導電性元件、輸入裝置、電子設備及透明導電性元件制作用母盤的制作方法
【專利摘要】具有優(yōu)異的視覺辨認性的透明導電性元件,具備:具有表面的基體材料;以及在表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部。透明導電部及透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則的圖案的透明導電層。透明導電部及透明絕緣部的邊界部中設有形狀圖案。
【專利說明】透明導電性元件、輸入裝置、電子設備及透明導電性元件制作用母盤
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本技術(shù)涉及透明導電性元件、輸入裝置、電子設備及透明導電性元件制作用母盤(master)。詳細而言,涉及能夠提高視覺辨認性的透明導電性元件。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來,在便攜電話、便攜音樂終端等的移動設備搭載靜電電容式觸摸面板的情況越來越多。靜電電容式觸摸面板中,使用設有在基體材料膜表面構(gòu)圖的透明導電層的透明導電性膜。然而,具有這樣的構(gòu)成的現(xiàn)有的透明導電性膜中,具有透明導電層的部分和被除去的部分的光學特性的差異較大,因此會看到透明導電層的圖案,存在透明導電性膜的視覺辨認性低下的問題。
[0003]因此,提出了在透明導電性薄膜層與基體材料膜之間,設置層疊了折射率不同的電介質(zhì)層的層疊膜,利用這些層疊膜的光學干涉,提高透明導電性膜的視覺辨認性的技術(shù)(例如專利文獻1、2)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻
專利文獻1:日本特開2010 - 23282號公報;
專利文獻2:日本特開2010 - 27294號公報。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]發(fā)明要解決的課題
然而,在上述技術(shù)中,層疊膜的光學調(diào)整功能有波長依賴性,因此充分提高透明導電性膜的視覺辨認性上有困難。因此,近年來,作為提高透明導電性膜的視覺辨認性的技術(shù),期望取代上述層疊膜的技術(shù)。
[0006]因此,本技術(shù)的目的在于提供具有優(yōu)異的視覺辨認性的透明導電性元件、輸入裝置、電子設備及透明導電性元件制作用母盤。
[0007]用于解決課題的方案
為了解決上述課題,第1技術(shù)是一種透明導電性元件,其中具備:
具有表面的基體材料;以及
在表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,
透明導電部及透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,
在透明導電部及透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
[0008]第2技術(shù)是一種輸入裝置,其中具備:
具有第1表面及第2表面的基體材料;以及
在第1表面及第2表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,
透明導電部及透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,在透明導電部及透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
[0009]第3技術(shù)是一種輸入裝置,其中具備:
第1透明導電性元件;以及
設在第1透明導電性元件的表面的第2透明導電性元件,
第1透明導電性元件及第2透明導電性元件具備:
具有表面的基體材料;以及
在表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,
透明導電部及透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,
在透明導電部及透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
[0010]第4技術(shù)是一種電子設備,其中,
具備透明導電性元件,該透明導電性元件具備具有第1表面及第2表面的基體材料、以及在第1表面及第2表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,
透明導電部及透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,
在透明導電部及透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
[0011]第5技術(shù)是一種電子設備,其中具備:
第1透明導電性元件;以及
設在第1透明導電性元件的表面的第2透明導電性元件,
第1透明導電性元件及第2透明導電性元件具備:
具有第1表面及第2表面的基體材料;以及
在第1表面及第2表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,
透明導電部及透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,
在透明導電部及透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
[0012]第6技術(shù)是一種透明導電性元件形成用母盤,其中,
具有透明導電部形成區(qū)域及透明絕緣部形成區(qū)域以平面交替地設置的表面,
透明導電部形成區(qū)域及透明絕緣部形成區(qū)域的至少一方在區(qū)域內(nèi)具有規(guī)則圖案,
在透明導電部形成區(qū)域及透明絕緣部形成區(qū)域的邊界部設有形狀圖案。
[0013]本技術(shù)中,由于在基體材料的表面以平面交替地設有透明導電部及透明絕緣部,所以能夠降低設有透明導電部的區(qū)域和未設置透明導電部的區(qū)域的反射率差。
[0014]由于在透明電極部和透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案,所以能夠防止直線狀邊界繼續(xù)變長。因此,能夠抑制邊界的視覺辨認。
[0015]發(fā)明效果
如以上說明的那樣,依據(jù)本技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)具有優(yōu)異的視覺辨認性的透明導電性元件?!緦@綀D】
【附圖說明】
[0016]圖1是示出本技術(shù)的第1實施方式的信息輸入裝置的一構(gòu)成例的截面圖;
圖2A是示出本技術(shù)的第1實施方式的第1透明導電性元件的一構(gòu)成例的平面圖;圖28是沿著圖2A所示的A — A線的截面圖;
圖3A是示出第1透明導電性元件的透明電極部的一構(gòu)成例的平面圖;圖3B是沿著圖3A所示的A — A線的截面圖;圖3C是示出第1透明導電性元件的透明絕緣部的一構(gòu)成例的平面圖;圖3D是沿著圖3C所示的A — A線的截面圖;
圖4A是用于說明求出透明電極部的平均邊界線長度的方法的平面圖;圖48是用于說明求出透明絕緣部的平均邊界線長度的方法的平面圖;
圖5A?圖?是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖6A?圖6D是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖7A?圖7D是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖8A、圖8BD是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖9A?圖9D是示出邊界部的形狀圖案的變形例的平面圖;
圖10A是示出本技術(shù)的第1實施方式的第2透明導電性元件的一構(gòu)成例的平面圖;圖10B是沿著圖10A所示的A — A線的截面圖;
圖11A是示出處于圖1所示的狀態(tài)的第1透明導電性元件和第2透明導電性元件的平面圖;圖11B是放大表不圖11A所不的區(qū)域R的平面圖;
圖12A?圖12D是用于說明本技術(shù)的第1透明導電性元件的制造方法的一個例子的工序圖;
圖13A?圖13D是示出本技術(shù)的第1實施方式的第1透明導電性元件的變形例的截面
圖;
圖14A是示出第1透明導電性元件的透明電極部的一構(gòu)成例的平面圖;圖14B是沿著圖14A所示的A — A線的截面圖;圖14C是示出第1透明導電性元件的透明絕緣部的一構(gòu)成例的平面圖;圖14D是沿著圖14C所示的A — A線的截面圖;
圖15A?圖15C是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖16A、圖16B是示出邊界部的形狀圖案的變形例的平面圖;
圖17A是示出第1透明導電性元件的透明電極部的一構(gòu)成例的平面圖;圖17B是沿著圖17A所示的A — A線的截面圖;圖17C是示出第1透明導電性元件的透明絕緣部的一構(gòu)成例的平面圖;圖17D是沿著圖17C所示的A — A線的截面圖;
圖18A?圖18D是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖19A?圖19D是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖20A?圖20D是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖21A、圖21B是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;圖21C、圖21D是示出邊界部的形狀圖案的變形例的平面圖;
圖22是用于說明隨機圖案生成的算法的簡略線圖;
圖23是用于說明隨機圖案生成的算法的流程圖;
圖24是用于說明隨機圖案生成的算法的簡略線圖;
圖25是用于說明隨機圖案生成的算法的流程圖;
圖26是用于說明隨機圖案生成的算法的簡略線圖;
圖27A是示出隨機圖案的生成方法的圖像的示意圖;圖27B是示出設圓的面積比率為80%的隨機圖案生成的例的圖;
圖28A是示出使圓半徑比生成圖案還小的例的圖;圖28B是示出以倒角的正方形生成圖案的例的圖;
圖29A是示出第1透明導電性元件的透明電極部的一構(gòu)成例的平面圖;圖29B是沿著圖29A所示的A — A線的截面圖;圖29C是示出第1透明導電性元件的透明絕緣部的一構(gòu)成例的平面圖;圖290是沿著圖29C所示的A — A線的截面圖;
圖30A?圖30D是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖31A?圖31D是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖32A?圖32D是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖33A、圖33B是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;圖33C、圖33D是示出邊界部的形狀圖案的變形例的平面圖;
圖34A是示出第1透明導電性元件的透明電極部的一構(gòu)成例的平面圖;圖34B是沿著圖34A所示的A — A線的截面圖;圖34C是示出第1透明導電性元件的透明絕緣部的一構(gòu)成例的平面圖;圖34D是沿著圖34C所示的A — A線的截面圖;
圖35A是用于說明求出透明電極部的平均邊界線長度的方法的平面圖;圖35B是用于說明求出透明絕緣部的平均邊界線長度的方法的平面圖;
圖36A、圖36B是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖37A?圖37C是用于說明隨機圖案的生成方法的一個例子的簡略線圖;
圖38是用于說明隨機圖案的生成方法的變形例的簡略線圖;
圖39是示出槽圖案的寬度(間隙部的線寬度)的變更例的平面圖;
圖40A是示出第1透明導電性元件的透明電極部的一構(gòu)成例的平面圖;圖40B是沿著圖40A所示的A — A線的截面圖;圖40(:是示出第1透明導電性元件的透明絕緣部的一構(gòu)成例的平面圖;圖40D是沿著圖40C所示的A — A線的截面圖;
圖41A、圖41B是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖;
圖42A是示出本技術(shù)的第7實施方式的第1透明導電性元件的一構(gòu)成例的平面圖;圖42B是示出本技術(shù)的第7實施方式的第2透明導電性元件的一構(gòu)成例的平面圖;
圖43A是示出處于圖1所示的狀態(tài)的第1透明導電性元件和第2透明導電性元件的平面圖;圖43B是放大表不圖43A所不的區(qū)域R的平面圖;
圖44是示出透明電極部及透明絕緣部的區(qū)域的例的簡略線圖;
圖45是示出本技術(shù)的第8實施方式的信息輸入裝置的一構(gòu)成例的截面圖;
圖46A是示出本技術(shù)的第9實施方式的信息輸入裝置的一構(gòu)成例的平面圖;圖46B是沿著圖46A所示的A — A線的截面圖;
圖47A是放大示出圖46A所示的相交部C附近的平面圖;圖47B是沿著圖47A所示的A — A線的截面圖;
圖48是示出用于本技術(shù)的第10實施方式的第1透明導電性元件的制造方法的母盤的形狀的一個例子的立體圖;
圖49A是放大示出母盤的第1區(qū)域的平面圖;圖49B是沿著圖49A所示的A — A線的截面圖;圖49C是放大示出母盤的第2區(qū)域的平面圖;圖49D是沿著圖49C所示的A — A線的截面圖;
圖50A是放大示出第1區(qū)域及第2區(qū)域的邊界部的平面圖;圖50B是沿著圖50A所示的A — A線的截面圖;
圖51A、圖51B是用于說明本技術(shù)的第10實施方式的第1透明導電性元件的制造方法的一個例子的工序圖;圖52是作為電子設備不出電視機的例的外觀圖;
圖53A、圖53B是作為電子設備不出數(shù)碼相機的例的外觀圖;
圖54是作為電子設備示出筆記本型個人計算機的例的外觀圖;
圖55是作為電子設備示出攝像機的例的外觀圖;
圖56是作為電子設備示出便攜終端裝置的例的外觀圖;
圖57A是放大示出實施例1 一 1的X電極部的一部分的平面圖;圖57B是放大示出實施例1 一 1的絕緣部的一部分的平面圖;圖57C是放大示出實施例1 一 1的X電極部和絕緣部的邊界部的一部分的平面圖;
圖58A是放大示出實施例2 — 1的X電極部的一部分的平面圖;圖58B是放大示出實施例2 - 1的絕緣部的一部分的平面圖;圖58C是放大示出實施例2 — 1的X電極部和絕緣部的邊界部的一部分的平面圖;
圖59A是放大示出實施例3 — 1的X電極部的一部分的平面圖;圖59B是放大示出實施例3 - 1的絕緣部的一部分的平面圖;圖59C是放大示出實施例3 — 1的X電極部和絕緣部的邊界部的一部分的平面圖;
圖60A是放大示出比較例1 一 1的X電極部和絕緣部的邊界部的一部分的平面圖;圖60B是放大示出比較例3 — 1的X電極部和絕緣部的邊界部的一部分的平面圖;
圖61A是放大示出實施例7的絕緣部的一部分的平面圖;圖61B是放大示出實施例8的絕緣部的一部分的平面圖;圖61C是放大示出實施例9的絕緣部的一部分的平面圖;
圖62A是放大示出實施例10的X電極部的一部分的平面圖;圖628是放大示出實施例11的X電極部的一部分的平面圖;圖62C是放大示出實施例12的X電極部的一部分的平面圖;
圖63A是示出本技術(shù)的第1實施方式的第1透明導電性元件的變形例的截面圖;圖638是示出本技術(shù)的第1實施方式的信息輸入裝置的變形例的截面圖。
【具體實施方式】
[0017]按照以下順序,參照【專利附圖】
【附圖說明】本技術(shù)的實施方式。
[0018]1.第1實施方式(在透明電極部及透明絕緣部設有規(guī)則圖案的例)
2.第2實施方式(在透明電極部設有連續(xù)膜的例)
3.第3實施方式(在透明絕緣部設有隨機圖案的例)
4.第4實施方式(在透明電極部設有隨機圖案的例)
5.第5實施方式(在透明絕緣部設有網(wǎng)孔狀的槽部的例)
6.第6實施方式(在透明電極部設有網(wǎng)孔狀的導電部的例)
7.第7實施方式(設有連結(jié)焊盤部的形狀的透明電極部的例)
8.第8實施方式(在基體材料的兩面設有透明電極部的例)
9.第9實施方式(透明電極部相交設在基體材料的一主面的例)
10.第10實施方式(用印刷法來制造透明導電性元件的例)
11.第11實施方式(向電子設備的適用例)
< 1.第1實施方式>
[信息輸入裝置的構(gòu)成]圖1是示出本技術(shù)的第1實施方式的信息輸入裝置的一構(gòu)成例的截面圖。如圖1所示,信息輸入裝置10設在顯示裝置4的顯示面上。信息輸入裝置10例如用貼合層5來貼合到顯示裝置4的顯示面。
[0019](顯示裝置)
適用信息輸入裝置10的顯示裝置4沒有特別限定,如果例示,可以舉出液晶顯示器、CRT (陰極射線管:Cathode Ray Tube)顯不器、等離子體顯不器(Plasma Display Panel:PDP),電致發(fā)光(Electro Luminescence:EL)顯示器、表面?zhèn)鲗碗娮影l(fā)射元件顯示器(Surface — conduction Electron — emitter Display:SED)等的各種顯不裝置。
[0020](光學層)
光學層3例如具備基體材料31和在基體材料31與第2透明導電性元件2之間設置的貼合層32,經(jīng)由該貼合層32使基體材料31貼合到第2透明導電性元件2的表面。光學層3并不限定于該例,也可為Si02等的陶瓷涂層(保護層)。
[0021](信息輸入裝置)
信息輸入裝置10是所謂的投影型靜電電容方式觸摸面板,具備第1透明導電性元件1和設在該第1透明導電性元件1的表面上的第2透明導電性元件2,第1透明導電性元件1和第2透明導電性元件2是通過貼合層6來貼合的。另外,根據(jù)需要,也可以在第2透明導電性元件2的表面上還具備光學層3。
[0022](第1透明導電性元件)
圖2A是示出本技術(shù)的第1實施方式的第1透明導電性元件的一構(gòu)成例的平面圖。圖2B是沿著圖2A所示的A — A線的截面圖。這里,將在第1透明導電性元件1的面內(nèi)正交的2個方向定義為X軸方向及Y軸方向。
[0023]如圖2A及圖2B所示,第1透明導電性元件1具備:具有表面的基體材料11、和設在該表面的透明導電層12。透明導電層12具備透明電極部(透明導電部)13和透明絕緣部
14。透明電極部13是沿X軸方向延展的X電極部。透明絕緣部14是所謂的偽電極部,是沿著X軸方向延展并且介于透明電極部13之間而將相鄰的透明電極部13之間絕緣的絕緣部。這些透明電極部13和透明絕緣部14在基體材料11的表面朝著Y軸方向以平面交替地鄰接設置。此外,在圖2A、圖2B中,第1區(qū)域&表示透明電極部13的形成區(qū)域,第2區(qū)域R2表示透明絕緣部14的形成區(qū)域。
[0024](透明電極部、透明絕緣部)
透明電極部13及透明絕緣部14的形狀最好根據(jù)屏幕形狀、驅(qū)動電路等而適當選擇,例如,能夠舉出直線狀、將多個菱形狀(金剛石形狀)以直線狀連結(jié)的形狀等,但并沒有特別限定于這些形狀。此外,在圖2A、圖2B中例示了將透明電極部13及透明絕緣部14的形狀設為直線狀的構(gòu)成。
[0025]圖3A是示出第1透明導電性元件1的透明電極部13的一構(gòu)成例的平面圖。圖3B是沿著圖3A所示的A — A線的截面圖。圖3C是示出第1透明導電性元件1的透明絕緣部14的一構(gòu)成例的平面圖。圖3D是沿著圖3C所示的A — A線的截面圖。透明電極部13及透明絕緣部14的雙方都是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層12。透明導電部13的圖案為多個孔部13a的圖案,透明絕緣部14的圖案為多個島部14a的圖案。多個孔部13a的圖案及多個島部14a的圖案的雙方均為規(guī)則圖案。[0026]如圖3A及圖3B所示,透明電極部13是多個孔部13a分開并以規(guī)則圖案設置的透明導電層12,導電部13b介于相鄰的孔部13a之間。另一方面,如圖3C及圖3D所不,透明絕緣部14是具有分開并以規(guī)則圖案設置的多個島部14a的透明導電層12,作為絕緣部的間隙部14b介于相鄰的島部14a之間。島部14a例如為以透明導電材料為主成分的島狀的透明導電層12。這里,優(yōu)選透明導電層12在間隙部14b中被完全除去,但是,只要間隙部14b處于作為絕緣部起作用的范圍內(nèi),透明導電層12的一部分也可以島狀或薄膜狀殘留。
[0027]這里,規(guī)則圖案是指間距P1、P2、P3為規(guī)則性的。因此,即便孔部13a及島部14a的形狀或大小隨機變化,只要間距P1、P2、P3為規(guī)則性的,就包括在規(guī)則圖案內(nèi)?!伴g距P1、P2、P3為規(guī)則性的”是指,間距P1、P2、P3為等間隔,或者間距P1、P2、P3即便變動也是周期性變動。
[0028]孔部13a及島部14a的所有方向的間距P1、P2、P3 (即間距P1、P2、P3中最小的間距)優(yōu)選大于30 μ m。若大于30 μ m,則能夠抑制產(chǎn)生衍射光。因此,能夠提高信息輸入裝置10及顯示裝置4的視覺辨認性。
[0029]作為孔部13a及島部14a的形狀,例如能夠采用點狀。作為點狀,例如能夠采用從由圓形狀、橢圓形狀、切去圓形狀的一部分的形狀、切去橢圓形狀的一部分的形狀、多邊形狀、倒角的多邊形狀及不定形狀組成的組中選擇的1種以上。作為多邊形狀,例如能舉出三角形狀、四邊形狀(例如菱形等)、六邊形狀、八邊形狀等,但是不限于此??撞?3a及島部14a也可以采用不同形狀。這里,圓形不僅包含數(shù)學上定義的完整的圓(正圓),還包含被賦予一些變形的圓形。橢圓形狀不僅包含數(shù)學上定義的完整的橢圓,還包含被賦予一些變形的橢圓(例如長圓、蛋型等)。多邊形不僅包含數(shù)學上定義的完整的多邊形,還包含對邊賦予變形的多邊形、賦予圓角的多邊形、及對邊賦予變形且賦予倒角的多邊形等。作為給予邊的變形,能舉出凸狀或凹狀等的彎曲等。
[0030]孔部13a及島部14a最好是不能通過目視識別的尺寸。具體而言,孔部13a或島部14a的尺寸優(yōu)選為100 μ m以下,更優(yōu)選為60 μ m以下。這里,尺寸(直徑)意味著孔部13a及島部14a的直徑的長度中最大的值。若孔部13a及島部14a的尺寸為100 μ m以下,則能夠抑制目視辨認到孔部13a及島部14a。具體而言,例如在孔部13a及島部14a為圓形狀的情況下,優(yōu)選這些的直徑為100 μ m以下。
[0031]第1區(qū)域札中,例如,多個孔部13a成為基體材料表面的露出區(qū)域,而介于相鄰的孔部13a間的導電部13b成為基體材料表面的覆蓋區(qū)域。另一方面,第2區(qū)域R2中,多個島部14a成為基體材料表面的覆蓋區(qū)域,而介于相鄰的島部14a間的間隙部14b成為基體材料表面的露出區(qū)域。第1區(qū)域&和第2區(qū)域R2的覆蓋率差為60%以下,優(yōu)選為40%以下,更優(yōu)選為30%以下,并且,優(yōu)選以不能通過目視辨認的大小形成孔部13a及島部14a的部分。以目視比較透明電極部13和透明絕緣部14時,感覺上透明導電層12覆蓋成在第1區(qū)域&和第2區(qū)域R2相同,因此能夠抑制透明電極部13和透明絕緣部14的視覺辨認。
[0032]優(yōu)選提高第1區(qū)域&中的導電部13b的覆蓋面積的比例。隨著覆蓋率的降低,要想具有相同導電性,則必須增加導電部13b的厚度,但是考慮蝕刻加工的情況下,必須加厚最初的整個面制膜時的厚度,這是因為成本與覆蓋率反比例地增大。例如,覆蓋率為50%的情況下材料費成為2倍,覆蓋率為10%的情況下材料費成為10倍。除此之外還產(chǎn)生的問題是:隨著導電部13b的膜厚變厚,光學特性變差,或者在將導電材料做成涂料印刷細微圖案的情況下,印刷性降低。若覆蓋率變得過小,則會絕緣的可能性也變大。考慮以上的方面,至少優(yōu)選覆蓋率為10%以上。覆蓋率的上限值無特別限定。 [0033]若第2區(qū)域R2中的島部14a的覆蓋率過高,則隨機圖案的生成本身變得困難,并且島部14a彼此有可能接近并短路,因此優(yōu)選島部14a造成的覆蓋率為95%以下。此外,根據(jù)第1透明導電性元件1的制造方法,也有透明導電層12的厚度不均勻的情況。該情況下,也可以由單位面積的導電材料的體積來定義上述“覆蓋率”。
[0034]優(yōu)選透明電極部13及透明絕緣部14的反射L值之差的絕對值小于0.3。這是因為能夠抑制透明電極部13及透明絕緣部14的視覺辨認。這里,反射L值之差的絕對值是按照JIS Z8722評價的值。
[0035]設于第1區(qū)域(電極區(qū)域)札的透明電極部13的平均邊界線長度La和設于第2區(qū)域(絕緣區(qū)域)R2的透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb,優(yōu)選為0 < La、Lb ( 20mm/mm2的范圍內(nèi)。但是,平均邊界線長度La為設在透明電極部13的孔部13a和導電部13b的邊界線的平均長度,平均邊界線的長度Lb是設在透明絕緣部14的島部14a和間隙部14b的邊界線的平均長度。
[0036]通過使平均邊界線長度La、Lb為上述范圍內(nèi),能夠減少基體材料11的表面中形成有透明導電層12的部分和未形成的部分的邊界,并降低該邊界中的光散射量。因此,不依賴于后述的平均邊界線長度之比(La/Lb),而能夠使上述反射L值的絕對值小于0.3。BP,能夠抑制透明電極部13及透明絕緣部14的視覺辨認。
[0037]參照圖4A、圖4B,說明求出透明電極部13的平均邊界線長度La及透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb的方法。
[0038]透明電極部13的平均邊界線長度La能夠如下求出。首先,用數(shù)字顯微鏡(株式會社KEYENCE制造,商品名:VHX — 900)在觀察倍率100~500倍的范圍觀察透明電極部13,并保存觀察像。接著,從保存的觀察像經(jīng)過圖像解析測量邊界線(Σ(; = & + + Cn),得到邊界線長度U [mm/mm2]。對于從透明電極部13隨意選出的10個視界進行該測量,得到邊界線長度L1;、 ,L10O接著,將所得到的邊界線長度U、Ι^單純地平均(算術(shù)平均),求出透明電極部13的平均邊界線長度La。
[0039]透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb能夠如下求出。首先,用數(shù)字顯微鏡(株式會社KEYENCE制造,商品名:VHX — 900)在觀察倍率100~500倍的范圍觀察透明絕緣部14,保存觀察像。接著,從保存的觀察像根據(jù)圖像解析測量邊界線(Σ(; = ^+- + Cn),得到邊界線長度U [mm/mm2]。對于從透明絕緣部14隨意選出的10個視界進行該測量,得到邊界線長度U、 α10Ο接著,將所得到的邊界線長度U、.Α1(Ι單純地平均(算術(shù)平均),求出透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb。
[0040]設在第1區(qū)域(電極區(qū)域)札的透明電極部13的平均邊界線長度La和設在第2區(qū)域(絕緣區(qū)域)R2的透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb的平均邊界線長度比(La/Lb)優(yōu)選為0.75以上1.25以下的范圍內(nèi)。若平均邊界線長度比(La/Lb)為上述的范圍外,則在透明電極部13的平均邊界線長度La及透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb沒有被設定在20mm/mm2以下的情況下,即便透明電極部13和透明絕緣部14的覆蓋率差相等,也能會視覺辨認透明電極部13及透明絕緣部14。這是因為例如基體材料11的表面中有透明導電層12的部分和沒有的部分中折射率不同。在有透明導電層12的部分和沒有的部分折射率差較大的情況下,在有透明導電層12的部分和沒有的部分的邊界部產(chǎn)生光散射。由此,會看到透明電極部13及透明絕緣部14的區(qū)域之中邊界線長度更長的區(qū)域更加發(fā)白,不依賴于覆蓋率差而視覺辨認透明電極部13的電極圖案。關(guān)于定量,按照JIS Z8722評價的透明電極部13和透明絕緣部14的反射L值之差的絕對值會為0.3以上。
[0041](邊界部)
圖5A?圖8B是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖。在透明電極部13與透明絕緣部14的邊界部設有規(guī)則的形狀圖案。通過這樣在邊界部設置規(guī)則的形狀圖案,能夠抑制邊界部的視覺辨認。這里,邊界部表示透明電極部13與透明絕緣部14之間的區(qū)域,邊界L表示劃分透明電極部13和透明絕緣部14的邊界線。此外,根據(jù)邊界部的形狀圖案,也有邊界L不是實線而是虛擬線的情況(例如圖5D、圖6A、圖6D、圖7C等)。
[0042]此外,在圖5B?圖6D、圖7C?圖8B中,示出孔部13及島部14a的一部分為孔部13及島部14a的一半的例。孔部13及島部14a的一部分并不限定于該例,也以任意選擇孔部13及島部14a的一部分的大小。
[0043]邊界部的形狀圖案包含從由孔部13a的整體、孔部13a的一部分、島部14a的整體及島部14a的一部分組成的組中選擇的1種以上的形狀。具體而言例如,邊界部的形狀圖案包含:(1)孔部13a及島部14a雙方的整體(圖5A);(2)孔部13a及島部14a雙方的一部分(圖5B);(3)孔部13a及島部14a的一方的整體和另一方的一部分(圖5C、圖5D);⑷孔部13a的整體及一部分的雙方和島部14a的整體及一部分的一方(圖6A、圖6B) ;(5)孔部13a的整體及一部分的一方和島部14a的整體及一部分的雙方(圖6C、圖6D);(6)孔部13a及島部14a的一方的整體(圖7A、圖7B) ;(7)孔部13a及島部14a的一方的一部分(圖7C、圖7D);(8)孔部13a的整體及一部分的雙方(圖8A)、或(9)島部14a的整體及一部分的雙方(圖8B)。
[0044]邊界部的形狀圖案所包含的孔部13a的整體,例如,與透明電極部13側(cè)的邊界L相切設置。邊界部的形狀圖案所包含的島部14a的整體,例如,與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0045]邊界部的形狀圖案所包含的孔部13a的一部分,例如,具有孔部13a被邊界L局部切斷的形狀。更具體而言,邊界部的形狀圖案所包含的孔部13a的一部分,例如,具有孔部13a被局部切斷的形狀,其切斷邊與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。
[0046]邊界部的形狀圖案所包含的島部14a的一部分,例如,具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀。更具體而言,邊界部的形狀圖案所包含的孔部13a的一部分,例如,具有島部14a被局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0047]邊界L上孔部13a及島部14a,例如,與邊界L的延展方向同步或非同步地設置。在孔部13a及島部14a與邊界L的延展方向同步地設置的情況下,使孔部13a及島部14a以邊界L為界形成從孔部13a反轉(zhuǎn)為島部14a的反轉(zhuǎn)部也可。即,使多個反轉(zhuǎn)部在邊界L以規(guī)則圖案設置也可。反轉(zhuǎn)部由孔部13a的整體及一部分的一方和島部14a的整體及一部分的一方的組合來構(gòu)成。例如,在孔部13a及島部14a具有圓形狀的情況下,反轉(zhuǎn)部由孔部13a的一部分和島部14a的一部分構(gòu)成。在該情況下,優(yōu)選反轉(zhuǎn)部的形狀為圓形狀。
[0048]優(yōu)選邊界部所包含的孔部13a的整體及一部分也以與透明電極部13的孔部13a同樣的規(guī)則圖案設置。由此,無需僅將邊界部所包含的孔部13a的整體及一部分設置成與透明電極部13不同的圖案,因此能夠簡化第1透明導電性元件1的構(gòu)成。
[0049]優(yōu)選邊界部所包含的島部14a的整體及一部分也以與透明絕緣部14的島部14a同樣的配置圖案設置。由此,無需僅將邊界部所包含的島部14a的整體及一部分設置成與透明絕緣部14不同的圖案,能夠簡化第1透明導電性元件1的構(gòu)成。
[0050]以下,參照圖5A?圖8B,依次對上述的(1)?(9)的形狀圖案的具體例進行說明。
[0051](1)孔部13a及島部14a雙方的整體
圖5A中,示出邊界部的形狀圖案包含孔部13a及島部14a雙方的整體的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。另一方面,邊界部所包含的島部14a與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0052](2)孔部13a及島部14a雙方的一部分
圖5B中,示出邊界部的形狀圖案包含孔部13a及島部14a雙方的一部分的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的一部分具有孔部13a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。另一方面,邊界部所包含的島部14a的一部分,具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0053]邊界L上孔部13a及島部14a與邊界L的延展方向同步地設置。更具體而言,邊界L上多個反轉(zhuǎn)部15分開而規(guī)則地設置。反轉(zhuǎn)部15具有孔部13a和島部14a,具有以邊界L為界從孔部13a反轉(zhuǎn)為島部14a的構(gòu)成。這樣通過在邊界L上設置多個反轉(zhuǎn)部15,能夠抑制邊界L的視覺辨認性。
[0054](3)孔部13a及島部14a的一方的整體和另一方的一部分
圖5C中,示出邊界部的形狀圖案包含孔部13a的整體及島部14a的一部分的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的整體與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。另一方面,邊界部所包含的島部14a的一部分具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0055]圖?中,示出邊界部的形狀圖案包含孔部13a的一部分及島部14a的整體的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的一部分具有孔部13a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。另一方面,邊界部所包含的島部14a的整體與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0056](4)孔部13a的整體及一部分的雙方和島部14a的整體及一部分的一方
圖6A中,示出邊界部的形狀圖案包含孔部13a的整體及一部分的雙方和島部14a的整體的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的整體與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。邊界部所包含的孔部13a的一部分具有孔部13a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。另一方面,邊界部所包含的島部14a的整體與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0057]圖6B中,示出邊界部的形狀圖案包含孔部13a的整體及一部分的雙方和島部14a的一部分的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的整體與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。邊界部所包含的孔部13a的一部分具有孔部13a被邊界L切斷的形狀,其切斷邊與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。另一方面,邊界部所包含的島部14a的一部分具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0058](5)孔部13a的整體及一部分的一方和島部14a的整體及一部分的雙方圖6C中,示出邊界部的形狀圖案包含孔部13a的整體和孔部13a的整體及一部分的雙方的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的整體與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。另一方面,邊界部所包含的島部14a的整體與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。邊界部所包含的島部14a的一部分具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0059]圖6D中,示出邊界部的形狀圖案包含孔部13a的一部分和島部14a的整體及一部分的雙方的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的一部分具有孔部13a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。另一方面,邊界部所包含的島部14a的整體與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。邊界部所包含的島部14a的一部分具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0060](6)孔部13a及島部14a的一方的整體
圖7A中,示出邊界部的形狀圖案僅包含孔部13a的整體的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的整體與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。
[0061]圖7B中,示出邊界部的形狀圖案僅包含島部14a的整體的例。該例中,邊界部所包含的島部14a的整體與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0062](7)孔部13a及島部14a的一方的一部分
圖7C中,示出邊界部的形狀圖案僅包含孔部13a的一部分的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的一部分具有孔部13a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。
[0063]圖7D中,示出邊界部的形狀圖案僅包含島部14a的一部分的例。該例中,邊界部所包含的島部14a的一部分具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0064](8)孔部13a的整體及一部分的雙方
圖8A中,示出邊界部的形狀圖案僅包含孔部13a的整體及一部分的雙方的例。該例中,邊界部所包含的孔部13a的整體與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。邊界部所包含的孔部13a的一部分具有孔部13a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明電極部13側(cè)的邊界L相切地設置。
[0065](9)島部14a的整體及一部分的雙方
圖8B中,示出邊界部的形狀圖案僅包含島部14a的整體及一部分的雙方的例。該例中,邊界部所包含的島部14a的整體與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。邊界部所包含的島部14a的一部分具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0066]此外,在上述的(1)?(9)的形狀圖案的具體例中,以孔部13a及島部14a以相同的形狀、大小及圖案設置的構(gòu)成為例進行了說明,但是如圖9A所示,這些也可以不同。圖9A中,示出了孔部13a及島部14a的形狀、大小及圖案的全部不同的例,但這些中的至少一個不同也可。
[0067]另外,如圖9B所示,也可以使孔部13a及島部14a的大小規(guī)則地或隨機地變化。在采用該構(gòu)成的情況下,能夠抑制產(chǎn)生莫爾條紋。另外,雖然省略了圖示,但是也可以使孔部13a及島部14a的形狀規(guī)則地或隨機地變化。在采用該構(gòu)成的情況下,也能抑制產(chǎn)生莫爾條紋。
[0068]另外,以孔部13a及島部14a與邊界L的延展方向同步地設置的構(gòu)成為例進行了說明,但是如圖9C所示,這些也可以與邊界L的延展方向非同步地設置。
[0069]另外,以孔部13a及島部14a成列,位于該列的一端的孔部13a及島部14a的全部被邊界部的形狀圖案所包含的構(gòu)成為例進行了說明,但是如圖9D所示,也可以使位于列的一端的孔部13a及島部14a的一部分被邊界部的形狀圖案所包含。
[0070](基體材料)
作為基體材料11的材料,能夠采用例如玻璃、塑料。作為玻璃,能夠采用例如公知的玻璃。作為公知的玻璃,具體而言能舉出例如堿石灰玻璃、鉛玻璃、硬質(zhì)玻璃、石英玻璃、液晶化玻璃等。作為塑料,能夠采用例如公知的高分子材料。作為公知的高分子材料,具體而言能舉出例如三乙酸纖維素(TAC)、聚酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亞胺(PI)、聚酰胺(PA)、芳族聚酰胺、聚乙烯(PE)、聚丙烯酸酯、聚酯砜、聚砜、聚丙烯(PP)、二乙酰基纖維素、聚氯化乙烯、丙烯樹脂(PMMA)、聚碳酸酯(PC)、環(huán)氧樹月旨、尿素樹脂、尿烷樹脂、三聚氰胺樹脂、環(huán)狀烯烴聚合物(C0P)、降冰片烯類熱塑性樹脂等。
[0071]玻璃基體材料的厚度優(yōu)選為20 μ m?10mm,但是并非特別限定在該范圍。塑料基體材料的厚度優(yōu)選為20 μ m?500 μ m,但是并非特別限定在該范圍。
[0072](透明導電層)
作為透明導電層12的材料,能夠采用例如從由具有電學導電性的金屬氧化物材料、金屬材料、碳材料及導電性聚合物等組成的組中選擇的1種以上。作為金屬氧化物材料,能舉出例如銦錫氧化物(ΙΤ0)、氧化鋅、氧化銦、添加銻的氧化錫、添加氟的氧化錫、添加鋁的氧化鋅、添加鎵的氧化鋅、添加硅的氧化鋅、氧化鋅一氧化錫類、氧化銦一氧化錫類、氧化鋅一氧化銦一氧化鎂類等。作為金屬材料,能夠采用例如金屬納粒子、金屬線等。作為它的具體材料,能舉出例如銅、銀、金、鉬、鈕、鎳、錫、鈷、錯、銥、鐵、釕、鋨、猛、鑰、鶴、銀、鉭、鈦、鉍、銻、鉛等的金屬,或這些的合金等。作為碳材料,能舉出例如碳黑、碳纖維、富勒烯(fullerene)、石墨烯(graphene)、碳納米管、碳精線圈及納米角(nanohorn)等。作為導電性聚合物,能夠采用例如置換或非置換的聚苯胺、聚吡咯、聚噻吩及由從它們中選擇的1種或2種構(gòu)成的(共)聚合物等。
[0073]作為透明導電層12的形成方法,能夠采用例如濺射法、真空蒸鍍法、離子鍍法等的PVD法、CVD法、涂敷法、印刷法等。透明導電層12的厚度最好以在構(gòu)圖前的狀態(tài)(在基體材料11的整個面形成透明導電層12的狀態(tài))下表面電阻成為1000 Ω / □以下的方式適當選擇。
[0074](第2透明導電性元件)
圖10A是示出本技術(shù)的第1實施方式的第2透明導電性元件2的一構(gòu)成例的平面圖。圖10B是沿著圖10A所示的A — A線的截面圖。這里,將第2透明導電性元件2的面內(nèi)正交的2個方向定義為X軸方向及Y軸方向。
[0075]如圖10A及圖10B所示,第2透明導電性元件2具備:具有表面的基體材料21和設在該表面的透明導電層22。透明導電層22具備透明電極部(透明導電部)23和透明絕緣部24。透明電極部23是沿Y軸方向延展的Y電極部。透明絕緣部24是所謂的偽電極部,是沿著y軸方向延展,并且介于透明電極部23之間,將相鄰的透明電極部23之間絕緣的絕緣部。這些透明電極部23和透明絕緣部24在基體材料11的表面向X軸方向交替并鄰接地設置。第1透明導電性元件1所具有的透明電極部13及透明絕緣部14和第2透明導電性元件2所具有的透明電極部23及透明絕緣部24,例如為互相正交的關(guān)系。此外,圖10Α、圖10Β中,第1區(qū)域&表示透明電極部23的形成用區(qū)域,第2區(qū)域R2表示透明絕緣部24的形成區(qū)域。
[0076]在第2透明導電性元件2中,上述以外的情況與透明導電性元件1同樣。
[0077](兩元件的覆蓋率的關(guān)系)
為了進一步提高信息輸入裝置10的非視覺辨認性,最好設定重疊第1透明導電性元件1 (X電極)和透明導電性元件2 (Y電極)雙方的狀態(tài)下的兩元件的覆蓋率的關(guān)系。以下,對第1透明導電性元件1和第2透明導電性元件2的覆蓋率的關(guān)系的具體設定方法進行說明。
[0078]圖11A是示出處于圖1所示的狀態(tài)的第1透明導電性元件1和第2透明導電性元件2的平面圖。圖11B放大表示圖11A所示的區(qū)域R的平面圖。第1透明導電性元件1和第2透明導電性元件2,以使透明電極部13和透明電極部23互相正交的方式重疊配置。從用戶進行觸摸操作的輸入面?zhèn)扔^看這樣重疊配置的第1透明導電性元件1和第2透明導電性元件2的情況下,它們重疊的全部部分(輸入面形成部分),能夠分類到區(qū)域AR1、AR2、AR3的任一個。區(qū)域AR1是透明電極部13和透明電極部23重疊的區(qū)域。區(qū)域AR2是透明絕緣部14和透明絕緣部24重疊的區(qū)域。區(qū)域AR3是透明電極部13和透明絕緣部24重疊、或者透明絕緣部14和透明 電極部23重疊的區(qū)域。
[0079]在第1透明導電性元件1和第2透明導電性元件2疊合狀態(tài)下,優(yōu)選從輸入面方向觀看的全部的區(qū)域AR1、AR2、AR3中,第1透明導電性元件1的透明導電層12的覆蓋率和第2透明導電性元件2的透明導電層22的覆蓋率的相加值之差,在0%以上60%以下的范圍內(nèi)。由此,能夠抑制區(qū)域AR1、AR2、AR3的視覺辨認性,并能進一步提高信息輸入裝置10的視覺辨認性。
[0080]例如,設透明電極部13、23中的透明導電層12、22 (導電部13b、23b)的覆蓋率為80%。另外,設透明絕緣部14、24中的透明導電層12、22(島部14a、24a)的覆蓋率為50%。在該情況下,區(qū)域AR1、AR2、AR3中的第1透明導電性元件1的透明導電層12的覆蓋率和第2透明導電性元件2的透明導電層22的覆蓋率的相加值如下:
區(qū)域 AR1:80%+ 80%= 160% ;
區(qū)域 AR2:50%+ 50%= 100% ;
區(qū)域 AR3:80%+ 50%= 130%。
[0081]該例中,相加值在區(qū)域AR1中最大,在區(qū)域AR2中最小,它們的相加值之差為60%。如果相加值之差為60%以下,能夠抑制區(qū)域AR1、AR2、AR3的視覺辨認性。以相加值為指標的原因是,只是結(jié)合用戶的視覺加以考慮區(qū)域AR1、AR2、AR3的非視覺辨認性。在結(jié)合用戶的視覺而宏觀考慮的情況下,疊合第1透明導電性元件1與第2透明導電性元件2時,相加第1透明導電性元件1中的透明導電層12的覆蓋率和第2透明導電性元件2中的透明導電層22的覆蓋率的值,被取為該區(qū)域的平均的覆蓋率。就是說若相加值之差較大,則用戶的視覺上,易于將辨認區(qū)域AR1、AR2、AR3的區(qū)別。[0082]通過減少相加值之差,能夠進一步抑制區(qū)域AR1、AR2、AR3的非視覺辨認性。例如以上述的例而言,如果區(qū)域AR2中的相加值較大,能夠進一步減少各區(qū)域中的相加值之差。例如,使透明絕緣部14、24中的透明導電層12、22 (島部14a、24a)的覆蓋率為65%。在該情況下,區(qū)域AR1、AR2、AR3中的第1透明導電性元件1的透明導電層12的覆蓋率和第2透明導電性元件2的透明導電層22的覆蓋率的相加值變?yōu)槿缦?
區(qū)域 AR1:80%+ 80%= 160% ;
區(qū)域 AR2:65%+ 65%= 130% ;
區(qū)域 AR3:80%+ 65%= 145%。
[0083]該例中,區(qū)域AR1和區(qū)域AR2的相加值之差成為30%,能夠進一步抑制區(qū)域AR1、AR2、AR3的非視覺辨認性。但是,要提高透明絕緣部14、24中的透明導電層12、22 (島部14a、24a)的覆蓋率時,例如用印刷法來形成透明導電層12、22的情況下,導電材料的使用量會相應地變多,材料成本變高。因此,在各區(qū)域間的相加值之差不超過60%的范圍內(nèi),考慮材料成本、透明電極部13、23的電阻值,設定透明絕緣部14、24中的透明導電層12、22(島部14a、24a)的覆蓋率即可。
[0084][透明導電性元件的制造方法]
接著,參照圖12A?圖12D,說明如上構(gòu)成的第1透明導電性元件1的制造方法的一個例子。此外,第2透明導電性元件2能夠以與第1透明導電性元件1大致同樣地制造,因此省略對第2透明導電性元件2的制造方法的說明。
[0085](透明導電層的成膜工序)
首先,如圖12A所示,在基體材料11的表面上形成透明導電層12。在形成透明導電層12時,加熱基體材料11也可。作為透明導電層12的形成方法,除了例如熱CVD、等離子體CVD、光CVD等的CVD法(Chemical Vapor Deposition (化學蒸鍍法):利用化學反應從氣相析出薄膜的技術(shù))之外,能夠采用真空蒸鍍、等離子體援引蒸鍍、濺射、離子鍍等的PVD法(Physical Vapor Deposition (物理蒸鍍法):在基板上凝聚真空中物理氣化的材料,從而形成薄膜的技術(shù))。接著,根據(jù)需要,對透明導電層12實施退火處理。由此,透明導電層12例如成為非晶和多晶的混合狀態(tài)、或多晶狀態(tài),提高透明導電層12的導電性。
[0086](抗蝕劑層的成膜工序)
接著,如圖12B所示,利用光刻等,在透明導電層12的表面上,形成在與上述的孔部13a及間隙部14b對應的部分具有開口部33的抗蝕劑層41。作為抗蝕劑層41的材料,例如使用有機類抗蝕劑及無機類抗蝕劑的哪一種都可。作為有機類抗蝕劑,能夠采用例如酚醛清漆類,或者由1種或2種以上的過渡金屬構(gòu)成的金屬化合物。
[0087](蝕刻工序)
接著,如圖12C所示,以形成多個開口部33的抗蝕劑層41為蝕刻掩模,對透明導電層12實施蝕刻處理。由此,在第1區(qū)域札的透明導電層12形成孔部13a及導電部13b,并且在第2區(qū)域R2的透明導電層12形成島部14a及間隙部14b。作為蝕刻,例如干法蝕刻及濕法蝕刻的哪一種都能使用,從簡化設備的方面來說,優(yōu)選采用濕法蝕刻。
[0088](抗蝕劑層的剝離工序)
接著,如圖12D所示,通過灰化(ashing)等,剝離形成在透明導電層12上的抗蝕劑層41。[0089]由以上所述,能得到目標的第1透明導電性元件1。
[0090][效果]
依據(jù)第1實施方式,第1透明導電性元件1具備在基體材料11的表面以平面交替地鄰接設置的透明電極部13及透明絕緣部14。透明電極部13是設有多個孔部13a的透明導電層12,透明絕緣部14是具有多個島部的透明導電層12。在透明電極部13和透明絕緣部14的邊界部設有規(guī)則的形狀圖案。因此,能夠降低透明電極部13和透明絕緣部14的反射率差,并且,能夠抑制邊界部的視覺辨認性。因此,能夠抑制透明電極部13的視覺辨認性。
[0091]另外,第2透明導電性元件2具備在基體材料11的表面以平面交替地鄰接設置的透明電極部23及透明絕緣部24。透明電極部23及透明絕緣部24具有與第1透明導電性元件1的透明電極部13及透明絕緣部14同樣的構(gòu)成。因此,能夠抑制透明電極部23的視覺辨認性。
[0092]另外,在信息輸入裝置10具備疊合的第1透明導電性元件1和第2透明導電性元件2的情況下,能夠抑制透明電極部13及透明電極部23的視覺辨認性。因此,能夠?qū)崿F(xiàn)視覺辨認性優(yōu)異的信息輸入裝置10。進而在顯示裝置4的顯示面具備該信息輸入裝置10的情況下,能夠抑制信息輸入裝置10的視覺辨認性。
[0093](變形例)
以下,對第1實施方式的變形例進行說明。
[0094](硬涂層)
如圖13A所示,也可以在第1透明導電性元件1的兩表面中的至少一個表面設置硬涂層61。由此,在基體材料11采用塑料基體材料的情況下,能夠防止工序上的基體材料11的受傷,并能賦予抗藥品性,能夠抑制低聚物等的低分子量物的析出。硬涂層材料,優(yōu)選采用通過光或電子束等來硬化的電離放射線硬化型樹脂、或通過熱來硬化的熱硬化型樹脂,更優(yōu)選的是通過紫外線來硬化的感光性樹脂。作為這樣的感光性樹脂,能夠采用例如尿烷丙烯酸酯、環(huán)氧丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、多元醇丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯、三聚氰胺丙烯酸酯等的丙烯酸酯類樹脂。例如,尿烷丙烯酸酯樹脂能夠通過使異氰酸酯單體或者預聚物與聚酯多元醇反應,使具有羥基的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯來的單體與所得到生成物反應來獲得。硬涂層61的厚度優(yōu)選為lym?20μπι,但沒有特別限定在該范圍。
[0095]硬涂層61能如下形成。首先,在基體材料11的表面涂敷硬涂層涂料。涂敷方法無特別限定,能夠采用公知的涂敷方法。作為公知的涂敷方法,能舉出例如微凹版印刷涂法、拉絲錠涂(wire bar coat)法、凹版涂(direct gravure coat)法、模涂法、浸涂法、噴涂法、反向棍涂法、幕涂法、點涂(comma coat)法、刮刀涂法、旋涂法等。硬涂層涂料例如含有二官能以上的單體和/或低聚物等的樹脂原料、光聚合引發(fā)劑、及溶劑。接著,根據(jù)需要,使涂敷在基體材料11表面的硬涂層涂料干燥,從而使溶劑揮發(fā)。接著,通過例如電離放射線照射或加熱,使基體材料11的表面的硬涂層涂料硬化。此外,與上述的第1透明導電性元件1同樣地,也可以在第2透明導電性元件2的兩表面中至少一個表面設置硬涂層61。
[0096](光學調(diào)整層)
如圖13B所示,優(yōu)選使光學調(diào)整層62介于第1透明導電性元件1的基體材料11與透明導電層12之間。由此,能夠幫助透明電極部13的圖案形狀的非視覺辨認性。光學調(diào)整層62例如由折射率不同的2層以上的層疊體構(gòu)成,在低折射率層側(cè)形成透明導電層12。更具體而言,作為光學調(diào)整層62,能夠采用例如現(xiàn)有公知的光學調(diào)整層。作為這樣的光學調(diào)整層,能夠采用例如記載于日本特開2008 - 98169號公報、日本特開2010 — 15861號公報、日本特開2010 - 23282號公報、日本特開2010 — 27294號公報的層。此外,與上述的第1透明導電性元件1同樣地,也可以使光學調(diào)整層62介于第2透明導電性元件2的基體材料21與透明導電層22之間。
[0097](密合輔助層)
如圖13C所示,優(yōu)選設置密合輔助層63作為第1透明導電性元件1的透明導電層12的基底層。由此,能夠提高透明導電層12對基體材料11的密合性。作為密合輔助層63的材料,能夠采用例如聚丙烯類樹脂、聚酰胺類樹脂、聚酰胺亞胺類樹脂、聚酯類樹脂、及金屬元素的氯化物或過氧化物或醇鹽等的加水分解及脫水縮合生成物等。
[0098]不使用密合輔助層63,而對設置透明導電層12的表面采用照射輝光放電或電暈放電的放電處理也可。另外,也可以對設置透明導電層12的表面采用以酸或堿進行處理的化學藥品處理法。另外,在設置透明導電層12后,利用壓延機(calender)處理來提高密合性也可。此外,第2透明導電性元件2中也可以與上述的第1透明導電性元件1同樣地設置密合輔助層63。另外,也可以實施上述的用于提高密合性的處理。
[0099](密封層)
如圖13D所示,優(yōu)選在第1透明導電性元件1設置密封層64。例如,也可以通過透明粘著劑層將設有密封層64的膜貼合到第1透明導電性元件1。另外,在X電極及Y電極形成在1塊基體材料11的相同面?zhèn)鹊那闆r下,也可以在與之相反的一側(cè)直接形成密封層64。作為密封層64的材料,能夠采用與透明導電層12同樣的材料。作為密封層64的形成方法,也能采用與透明導電層12同樣的方法。但是,密封層64是以未構(gòu)圖而形成在基體材料11的整個表面的狀態(tài)加以使用。通過在第1透明導電性元件1形成密封層64,能夠降低因為從顯示裝置4發(fā)出的電磁波等而產(chǎn)生的噪聲,能夠提高信息輸入裝置10的位置檢測的精度。此外,與上述的第1透明導電性元件1同樣地,也可以在第2透明導電性元件2設置密封層64。
[0100](防反射層)
如圖63A所示,優(yōu)選在第1透明導電性元件1進一步設置防反射層65。防反射層65例如設在第1透明導電性元件1的兩主面中與設有透明導電層12的一側(cè)相反側(cè)的主面。
[0101]作為防反射層65,能夠采用例如低折射率層或蛾眼構(gòu)造體等。作為防反射層65采用低折射率層的情況下,也可以在基體材料11與防反射層65之間進一步設置硬涂層61。此外,與上述的第1透明導電性元件1同樣地,也可以在第2透明導電性元件2進一步設置防反射層65。
[0102]圖63B是示出設有防反射層65的第1透明導電性元件1及第2透明導電性元件2的適用例的截面圖。如圖63B所示,第1透明導電性元件1及第2透明導電性元件2以使它們的兩主面中設有防反射層65的一側(cè)的主面與顯示裝置4的顯示面對置的方式,配置在顯示裝置4上。通過采用這樣的構(gòu)成,能夠提高來自顯示裝置4的顯示面的光的透射率,并能提高顯示裝置4的顯示性能。
[0103]<2.第2實施方式>
[透明導電性元件的構(gòu)成](透明電極部、透明絕緣部)
圖14A是示出第1透明導電性元件1的透明電極部13的一構(gòu)成例的平面圖。圖14B是沿著圖14A所示的A — A線的截面圖。圖14C是示出第1透明導電性元件1的透明絕緣部14的一構(gòu)成例的平面圖。圖14D是沿著圖14C所示的A — A線的截面圖。透明電極部13及透明絕緣部14之中透明電極部13是連續(xù)設置的透明導電層12,透明絕緣部14是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層12。透明絕緣部14的圖案是多個島部14a的圖案。多個島部14a的圖案是規(guī)則圖案。
[0104]如圖14A及圖14B所示,透明電極部13是第1區(qū)域(電極區(qū)域)札中不會通過孔部露出基體材料11的表面而連續(xù)設置的透明導電層(連續(xù)膜)12。但是,是除了第1區(qū)域(電極區(qū)域)&和第2區(qū)域(絕緣區(qū)域)R2的邊界部的部分。作為連續(xù)膜的透明導電層12,優(yōu)選具有大致一樣的膜厚。另一方面,如圖14C及圖14D所示,透明絕緣部14是具有分開而有規(guī)則地設置的多個島部14a的透明導電層12,在相鄰的島部14a之間隔著作為絕緣部的間隙部14b。此外,圖14C中,示出了島部14a具有四邊形狀的例,但島部14a的形狀不限于此。
[0105](邊界部)
圖15A?圖15C是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖。在透明電極部13和透明絕緣部14的邊界部,設有規(guī)則的形狀圖案。通過這樣在邊界部設置規(guī)則的形狀圖案,能夠抑制邊界部的視覺辨認性。
[0106]邊界部的形狀圖案包含從由島部14a的整體及島部14a的一部分組成的組中選擇的1種以上的形狀。具體而言例如,邊界部的形狀圖案包含(1)島部14a的整體(圖15A)、
(2)島部14a的一部分(圖15B)、或(3)島部14a的整體及一部分的雙方(圖15C)。
[0107]優(yōu)選邊界部所包含的島部14a的整體及一部分也以與透明絕緣部14的島部14a同樣的配置圖案設置。由此,無需只將邊界部所包含的島部14a的整體及一部分設為與透明絕緣部14不同的圖案,因此能夠簡化第1透明導電性元件1的構(gòu)成。
[0108]以下,參照圖15A?圖15C,對這些(1)?(3)的形狀圖案的具體例依次進行說明。
[0109](1)島部14a的整體
圖15A中示出邊界部的形狀圖案包含島部14a的整體的例。該例中,邊界部所包含的島部14a與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0110](2)島部14a的一部分
圖15B中示出邊界部的形狀圖案包含島部14a的一部分的例。該例中,邊界部所包含的島部14a的一部分例如具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0111](3)島部14a的整體及一部分的雙方
圖15C中示出邊界部的形狀圖案包含島部14a的整體及一部分的雙方的例。該例中,邊界部所包含的島部14a的整體與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。島部14a的一部分例如具有島部14a被邊界L局部切斷的形狀,其切斷邊與透明絕緣部14側(cè)的邊界L相切地設置。
[0112]此外,在上述(1)?(3)的形狀圖案的具體例中,以島部14a成列,且位于該列的一端的島部14a全部包括在邊界部的形狀圖案的構(gòu)成為例進行了說明,但是如圖16A所示,也可以使位于列的一端的島部14a的一部分包括在邊界部的形狀圖案。
[0113]另外,如圖16B所示,也可以在邊界L上使孔部13a及島部14a與邊界L的延展方向同步地設置。更具體而言,也可以在邊界L上將多個反轉(zhuǎn)部15分開并有規(guī)則地設置。反轉(zhuǎn)部15具有孔部13a及島部14a的一部分或整體,具有以邊界L為界從孔部13a反轉(zhuǎn)為島部14a的構(gòu)成。此外,也可以使反轉(zhuǎn)部15所具有的孔部13a及島部14a中的一方為一部分,另一方為整體。
[0114]第2實施方式中上述以外的情況與第1實施方式同樣。
[0115][效果]
依據(jù)第2實施方式,能夠得到與第1實施方式同樣的效果。
[0116]< 3.第3實施方式>
[透明導電性元件的構(gòu)成]
(透明電極部、透明絕緣部)
圖17A是示出第1透明導電性元件1的透明電極部13的一構(gòu)成例的平面圖。圖17B是沿著圖17A所示的A — A線的截面圖。圖17C是示出第1透明導電性元件1的透明絕緣部14的一構(gòu)成例的平面圖。圖17D是沿著圖17C所示的A — A線的截面圖。透明電極部13及透明絕緣部14之中透明電極部13是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層12,透明絕緣部14是內(nèi)部具有隨機圖案的透明導電層12。透明電極部13的圖案為多個孔部13a的圖案,透明絕緣部14的圖案為多個島部14a的圖案。多個孔部13a的圖案為規(guī)則圖案,而多個島部14a的圖案為隨機圖案。
[0117]如圖17A及圖17B所示,透明電極部13是多個孔部13a分開并有規(guī)則地設置的透明導電層12,導電部13b介于相鄰的孔部13a之間。另一方面,如圖17C及圖17D所不,透明絕緣部14是具有分開并隨機設置的多個島部14a的透明導電層12,在相鄰的島部14a之間隔著作為絕緣部的間隙部14b。
[0118](邊界部)
圖18A?圖21B是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖。在透明電極部13和透明絕緣部14的邊界部,設有規(guī)則或隨機的形狀圖案。通過這樣在邊界部設置規(guī)則或隨機的形狀圖案,能夠抑制邊界部的視覺辨認性。
[0119]邊界部的形狀圖案包含從由孔部13a的整體、孔部13a的一部分、島部14a的整體及島部14a的一部分組成的組中選擇的1種以上的形狀。優(yōu)選的是,邊界部的形狀圖案包含從由孔部13a的整體、孔部13a的一部分及島部14a的整體和一部分的雙方組成的組中選擇的1種以上的形狀。這是因為在隨機設置島部14a的情況下,邊界部的形狀圖案包含島部14a的整體和一部分的雙方的構(gòu)成容易制作。
[0120]具體而言例如,邊界部的形狀圖案包含:(1)孔部13a及島部14a雙方的整體(圖18A) ;(2)孔部13a及島部14a雙方的一部分(圖18B) ;(3)孔部13a及島部14a的一方的整體和另一方的一部分(圖18C、圖18D) ;(4)孔部13a的整體及一部分的雙方和島部14a的整體及一部分的一方(圖19A、圖19B) ;(5)孔部13a的整體及一部分的一方和島部14a的整體及一部分的雙方(圖19C、圖19D);(6)孔部13a及島部14a的一方的整體(圖20A、圖20B);(7)孔部13a及島部14a的一方的一部分(圖20C、圖20D) ; (8)孔部13a的整體及一部分的雙方(圖21A);或(9)島部14a的整體及一部分的雙方(圖21B)。[0121]優(yōu)選的是,邊界部的形狀圖案包含:(5)孔部13a的整體及一部分的一方和島部14a的整體及一部分的雙方(圖19C、圖19D) ; (6)孔部13a的整體(圖20A) ;(7)孔部13a的一部分(圖20C) ;(8)孔部13a的整體及一部分的雙方(圖21A);或(9)島部14a的整體及一部分的雙方(圖21B)。
[0122]在邊界部的形狀圖案不包含島部14a的整體及一部分的至少一方的情況下,即,僅包含孔部13a的整體及一部分的至少一方的情況下,邊界部的形狀圖案成為規(guī)則的形狀圖案。另一方面,在邊界部的形狀圖案包含島部14a的整體及一部分的至少一方的情況下,邊界部的形狀圖案成為隨機的形狀圖案。
[0123]此外,在上述(1)?(9)的形狀圖案的具體例中,以在邊界L上將孔部13a及島部14a與邊界L的延展方向非同步地設置的構(gòu)成為例進行了說明,但形狀圖案并不限定于該例。例如,如圖21C及圖21D所示,也可以在邊界L上將孔部13a及島部14a與邊界L的延展方向同步地設置。更具體而言,也可以在邊界L上將多個反轉(zhuǎn)部15分開并規(guī)則或隨機地設置。該反轉(zhuǎn)部15優(yōu)選以透明電極部13的孔部13a的規(guī)則圖案、或透明絕緣部14的島部14a的隨機圖案配置,也可以在邊界L上混合上述規(guī)則圖案和隨機圖案。此外,圖21C中示出反轉(zhuǎn)部15在邊界L以透明電極部13的孔部13a的規(guī)則圖案設置的例。另一方面,圖21D中示出反轉(zhuǎn)部15在邊界L以透明絕緣部14的島部14a的隨機圖案的例。
[0124][隨機圖案的生成方法]
以下,說明用于形成島部14a的隨機圖案的生成方法。這里,以生成圓形狀的隨機圖案的情況為例進行說明,但隨機圖案的形狀不限于此。
[0125](隨機圖案生成的基本算法)
使圓的半徑在設定范圍內(nèi)隨機變化,以使鄰接的圓始終相切的方式計算圓的中心坐標并配置,從而生成兼顧配置的隨機性和高密度填充的圖案。通過如下的算法,能以較少的計算量取得高密度且一樣地隨機配置的圖案。
[0126](1)以使X軸上“半徑在某一范圍內(nèi)隨機”的圓相切的方式排列。
[0127](2)決定“隨機的半徑的圓”,使已有的2個圓相切,以不與其他圓重疊的方式從下方依次堆疊。
[0128]以下,示出隨機圖案生成時使用的參數(shù):
Xmax:生成圓的區(qū)域的X坐標最大值;
Ymax:生成圓的區(qū)域的Y坐標最大值;
Rmin:生成的圓的最小半徑;
Rmax:生成的圓的最大半徑;
Rfill:為提高填充率而輔助地設定圓時的最小半徑;
Rnd:在0.0?1.0的范圍能取得的隨機數(shù)值;
Pn:以X坐標值χη、Υ坐標值yn、半徑rn定義的圓。
[0129](1)以使X軸上“半徑在某一范圍隨機”的圓相切的方式排列。
[0130]以下,示出所使用的參數(shù):
Xmax:生成圓的區(qū)域的X坐標最大值;
Yw:在X軸上配置圓時,取得的Y坐標的最大值的設定;
Rmin:生成的圓的最小半徑;Rmax:生成的圓的最大半徑;
Rnd:在0.0~1.0的范圍能取得的隨機數(shù)值;
Ρη:以X坐標值χη、Υ坐標值yn、半徑rn定義的圓。
[0131]如圖22所示,從處于X軸上的0.0到大概Rmin的值的范圍隨機決定Y坐標值,另外反復以使在Rmin到Rmax的范圍內(nèi)隨機決定半徑的圓與已有的圓相切的方式排列,在X軸上隨機地排1列的圓。
[0132]以下,利用圖23所示的流程圖說明算法。
[0133]首先,步驟S1中,設定必要的參數(shù)。接著,步驟S2中,如下設定圓Pd (Xd, yd, rQ)。
[0134]x。= 0.Οy0 = ο.οΑ = Rmin + (Rmax — Rmin) X
接著,步驟S3中,根據(jù)以下式?jīng)Q定圓Pn (xn, yn, rn)。
[0135]rn = Rmin + (Rmax — Rmin) XRndyn = YwXRnd
xn = xn_ ! + (rn — rn_ !> Xcos (asin (yn — yn—J / (rn — rn—工))
接著,步驟S4中,判別是否為xn > Xmax。在步驟S4中判別為xn > Xmax的情況下,結(jié)束處理。在步驟S4中判別為不是xn > Xmax的情況下,處理進入步驟S5。步驟S5中,存儲圓Pn (xn,yn,rn)0接著,在步驟S6中,增加η的值,將處理轉(zhuǎn)移到步驟S3。
[0136](2)決定“隨機的半徑的圓”,以與已有的2個圓相切、不與其他圓重疊的方式從下方依次堆疊。
[0137]以下,示出所使用的參數(shù):
Xmax:生成圓的區(qū)域的X坐標最大值;
Ymax:生成圓的區(qū)域的Y坐標最大值;
Rmin:生成的圓的最小半徑;
Rmax:生成的圓的最大半徑;
Rfill:為了提高填充率而輔助地設定圓時的最小半徑;
Rnd:在0.0~1.0的范圍能取得的隨機數(shù)值;
Pn:以X坐標值χη、Υ坐標值yn、半徑rn定義的圓。
[0138]如圖24所示,基于以(1)決定的、在X軸上排1列的圓,在R—到R_的范圍內(nèi),決定隨機的半徑的圓,以從Y坐標較小的一方起與其他圓相切的方式配置并重疊圓。另外,設定比Rmin小的Rfill,僅在所決定的圓中出現(xiàn)不能填埋的間隙時,填埋間隙來提高填充率。在不采用比Rmin小的圓的情況下,設定為Rfill = Rmin。
[0139]以下,利用圖25所示的流程圖說明算法。
[0140]首先,步驟S11中,設定必要的參數(shù)。接著,在步驟S12中,求出圓P。到圓Pn之中Y坐標值71最小的圓Pi。接著,在步驟S13中,判別是否為yi <Ymax。在步驟S13中判別為Yi < y的情況下,結(jié)束處理。在步驟S13中,判別為不是yi < Ymax的情況下,步驟S14中,將追加的圓Pk的半徑rk設為rk = Rmin + (Rmax — Rmin)XRnd。接著,在步驟S15中,求出在圓Pi附近除圓Pi之外Y坐標值yi最小的圓Ρ」。
[0141]接著,在步驟S16中,判別是否存在最小的圓Ρ”在步驟S16中判別不存在最小的圓P]的情況下,步驟S17中,以后使Pi無效。在步驟S16中判別存在最小的圓Pi的情況下,在步驟S18中,求出是否存在與圓Pi和圓&相切的半徑rk的圓Pk。圖26示出步驟S18中求出將任意半徑的圓配置成與相切的2個圓相切時的坐標的方法。
[0142]接著,在步驟S19中,判別是否存在與圓Pi和圓&相切的半徑rk的圓Pk。在步驟S19中判別為不存在圓Pk的情況下,步驟S20中,以后排除圓Pp圓匕的組合。在步驟S19中判別為存在圓Pk的情況下,在步驟S21中,判別圓P。到圓Pn中是否存在與圓Pk重疊的圓。在步驟S21判別為不存在重疊的圓的情況下,步驟S24中,存儲圓Pk (xk,yk,rk)。接著,在步驟S25中,增加η的值,將處理轉(zhuǎn)移至步驟S12。
[0143]在步驟S21中判別為存在重疊的圓的情況下,步驟S22中判別如果將圓Pk的半徑rk在Rfill以上的范圍減小是否能回避重疊。在步驟S22判別不能回避重疊的情況下,步驟S20中,以后排除圓Pp圓&的組合。在步驟S22判別為能回避重疊的情況下,使半徑rk為能回避重疊的最大值。接著,步驟S24中,存儲圓Pk (xk,yk,rk)。接著,在步驟S25中,增加η的值,將處理轉(zhuǎn)移至步驟S12。
[0144]圖27Α是示出隨機圖案的生成方法的圖像的示意圖。圖27Β是示出將圓的面積比率設為80%的隨機圖案生成的例的圖。如圖27Α所示,在設定的范圍內(nèi)使圓的半徑隨機變化并堆疊,從而能夠生成棄規(guī)則性的密度高的圖案。由于圖案沒有規(guī)則性,能夠抑制信息輸入裝置10的透明絕緣部14等的莫爾條紋的產(chǎn)生。
[0145]圖28Α是示出使圓半徑比生成圖案的圓還小的例的圖。通過在生成的圓內(nèi)描繪比其小的圓,能夠形成使各個圓不用相切而分開的圖案。利用這樣分開的圖案,能夠形成透明絕緣部14、24。
[0146]圖28Β是示出將生成圖案的圓變更為其它形狀的例的圖。通過在生成的圖案圓內(nèi)描繪任意形狀的圖形,能夠改變圖案的趨勢,或者調(diào)整面積占用率。作為在圓內(nèi)描繪的圖形的形狀例,能舉出圓、橢圓、多邊形、倒角的多邊形、不定形等,圖28Β中示出倒角的多邊形(正方形)的例。
[0147]第3實施方式中上述以外的情況與第1實施方式同樣。
[0148][效果]
依據(jù)第3實施方式,除了第1實施方式的效果之外還能得到以下效果。即,通過分開并隨機地設置的多個島部14a來構(gòu)成透明絕緣部14,因此能夠抑制透明絕緣部14中的莫爾條紋的產(chǎn)生。
[0149]<4.第4實施方式>
[透明導電性元件的構(gòu)成]
(透明電極部、透明絕緣部)
圖29A是示出第1透明導電性元件1的透明電極部13的一構(gòu)成例的平面圖。圖29B是沿著圖29A所示的A — A線的截面圖。圖29C是示出第1透明導電性元件1的透明絕緣部14的一構(gòu)成例的平面圖。圖29D是沿著圖29C所示的A — A線的截面圖。透明電極部13及透明絕緣部14之中透明電極部13是內(nèi)部具有隨機圖案的透明導電層12,透明絕緣部14是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層12。透明導電部13的圖案為多個孔部13a的圖案,透明絕緣部14的圖案為多個島部14a的圖案。多個孔部13a的圖案為隨機圖案,而多個島部14a的圖案為規(guī)則圖案。[0150]如圖29A及圖29B所示,透明電極部13是多個孔部13a分開并隨機設置的透明導電層12,在相鄰的孔部13a之間隔著導電部13b。另一方面,如圖29C及圖29D所示,透明絕緣部14是具有分開并有規(guī)則地設置的多個島部14a的透明導電層12,在相鄰的島部14a之間隔著作為絕緣部的間隙部14b。
[0151](邊界部)
圖30A?圖33B是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖。在透明電極部13和透明絕緣部14的邊界部,設有規(guī)則或隨機的形狀圖案。通過這樣在邊界部設置規(guī)則或隨機的形狀圖案,能夠抑制邊界部的視覺辨認性。
[0152]邊界部的形狀圖案包含從由孔部13a的整體、孔部13a的一部分、島部14a的整體及島部14a的一部分組成的組中選擇的1種以上的形狀。優(yōu)選的是,邊界部的形狀圖案包含從由孔部13a的整體和一部分的雙方、島部14a的整體及島部的一部分組成的組中選擇的1種以上的形狀。這是因為在孔部13a被隨機設置的情況下,邊界部的形狀圖案包含孔部13a的整體和一部分的雙方的構(gòu)成容易制作。
[0153]具體而言例如,邊界部的形狀圖案包含:(1)孔部13a及島部14a雙方的整體(圖30A) ;(2)孔部13a及島部14a雙方的一部分(圖30B) ;(3)孔部13a及島部14a的一方的整體和另一方的一部分(圖30C、圖30D) ;(4)孔部13a的整體及一部分的雙方和島部14a的整體及一部分的一方(圖31A、圖31B) ;(5)孔部13a的整體及一部分的一方和島部14a的整體及一部分的雙方(圖31C、圖31D);(6)孔部13a及島部14a的一方的整體(圖32A、圖32B) ; (7)孔部13a及島部14a的一方的一部分(圖32C、圖32D) ; (8)孔部13a的整體及一部分的雙方(圖33A);或(9)島部14a的整體及一部分的雙方(圖33B)。
[0154]優(yōu)選的是,邊界部的形狀圖案包含:(4)孔部13a的整體及一部分的雙方和島部14a的整體及一部分的一方(圖31A、圖31B) ; (6)島部14a的整體(圖32B) ; (7)島部14a的一部分(圖32D) ;(8)孔部13a的整體及一部分的雙方(圖33A);或(9)島部14a的整體及一部分的雙方(圖33B)。
[0155]在邊界部的形狀圖案不包含孔部13a的整體及一部分的至少一方的情況下,即,僅包含島部14a的整體及一部分的情況下,邊界部的形狀圖案成為規(guī)則的形狀圖案。另一方面,在邊界部的形狀圖案包含孔部13a的整體及一部分的至少一方的情況下,邊界部的形狀圖案成為隨機的形狀圖案。
[0156]此外,在上述(1)?(9)的形狀圖案的具體例中,以邊界L上將孔部13a及島部14a與邊界L的延展方向非同步地設置的構(gòu)成為例進行了說明,但形狀圖案并不限定于該例。例如,如圖33C及圖33D所示,也可以在邊界L上使孔部13a及島部14a與邊界L的延展方向同步地設置。更具體而言,也可以在邊界L上將多個反轉(zhuǎn)部15分開并規(guī)則或隨機地設置。優(yōu)選該反轉(zhuǎn)部15以透明電極部13的孔部13a的隨機圖案、或透明絕緣部14的島部14a的規(guī)則圖案設置。也可以在邊界L上混合透明電極部13的孔部13a的隨機圖案和透明絕緣部14的島部14a的規(guī)則圖案。此外,圖33C中示出反轉(zhuǎn)部15以透明絕緣部14的島部14a的規(guī)則圖案設在邊界L的例。另一方面,圖33D中示出反轉(zhuǎn)部15以透明電極部13的孔部13a的隨機圖案設在邊界L的例。
[0157]第4實施方式中上述以外的情況與第3實施方式同樣。
[0158][效果]依據(jù)第4實施方式,除了第1實施方式的效果之外還能得到以下效果。即,由于透明電極部13具有分開并隨機設置的多個孔部13a,所以能夠抑制透明電極部13中的莫爾條紋的產(chǎn)生。[0159]<5.第5實施方式>
[透明導電性元件的構(gòu)成]
(透明電極部、透明絕緣部)
圖34A是示出第1透明導電性元件1的透明電極部13的一構(gòu)成例的平面圖。圖34B是沿著圖34A所示的A — A線的截面圖。圖34C是示出第1透明導電性元件1的透明絕緣部14的一構(gòu)成例的平面圖。圖34D是沿著圖34C所示的A — A線的截面圖。透明電極部13及透明絕緣部14之中透明電極部13是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層12,透明絕緣部14是內(nèi)部具有隨機圖案的透明導電層12。透明導電部13的圖案為多個孔部13a的圖案,透明絕緣部14的圖案為多個島部14a的圖案。多個孔部13a的圖案為規(guī)則圖案,而多個島部14a的圖案為隨機圖案。
[0160]如圖34A及圖34B所示,透明電極部13是多個孔部13a分開并有規(guī)則地設置的透明導電層12,在相鄰的孔部13a之間隔著導電部13b。
[0161]如圖34C及圖34D所示,透明絕緣部14是間隙部14b以隨機的網(wǎng)孔狀設置的透明導電層12。具體而言,配置在透明絕緣部14的透明導電層12,因在隨機的方向延伸設置的間隙部14b而分割為獨立的島部14a。即,這是因為透明絕緣部14利用透明導電層12構(gòu)成,通過在隨機的方向延伸設置的間隙部14b分割透明導電層12而成的島部14a的圖案作為隨機圖案而配置。這些的島部14a的圖案(即隨機圖案),例如通過在隨機的方向延伸設置的間隙部14b,被分割為隨機的多邊形。此外,延伸設置方向隨機的間隙部14b本身也成為隨機圖案。間隙部14b例如在從設置透明導電層12的一側(cè)的面觀看第1透明導電性元件1的情況下,具有隨機的線狀。間隙部14b例如為在島部14a間設置的槽部。
[0162]這里,設在透明絕緣部14的各間隙部14b在透明絕緣部14中沿隨機的方向延伸設置。相對于延伸設置方向而言垂直方向的寬度(稱為線寬度)例如選為相同的線寬度。在該透明絕緣部14中,根據(jù)各間隙部14b的線寬度,調(diào)整透明導電層12的覆蓋率。優(yōu)選將該透明絕緣部14中的透明導電層12的覆蓋率,設定為與透明電極部13中的透明導電層12的覆蓋率相同程度。這里相同程度是指透明電極部13及透明絕緣部14無法被視覺辨認為圖案的程度。
[0163]優(yōu)選設在第1區(qū)域(電極區(qū)域)&的透明電極部13的平均邊界線長度La、和設在第2區(qū)域(絕緣區(qū)域)R2的透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb,與上述第1實施方式同樣地,在0 < La、Lb ( 20mm/mm2的范圍內(nèi)。通過使平均邊界線長度La、Lb處于上述的范圍內(nèi),能夠得到與上述第1實施方式同樣的作用效果。
[0164]參照圖35A、圖35B,對求出透明電極部13的平均邊界線長度La及透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb的方法進行說明。
[0165]能夠與上述第1實施方式同樣地求出透明電極部13的平均邊界線長度La。
[0166]設有網(wǎng)孔狀的間隙部14b的透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb,能如下求出。透明絕緣部14的平均邊界線長度Lb是通過圖像解析測量邊界線(Σ1^ = 1 +.… + ln),除得到邊界線長度U、… ,L10 [mm/mm2]以外,能與上述第1實施方式同樣地求出。但是,邊界線lid1、...、ln)是指各島部14a與間隙部14b的邊界線。
[0167](邊界部)
圖36A、圖36B是示出邊界部的形狀圖案的例的平面圖。在透明電極部13和透明絕緣部14的邊界部,設有規(guī)則或隨機的形狀圖案。通過這樣在邊界部設置規(guī)則或隨機的形狀圖案,能夠抑制邊界部的視覺辨認性。此外,圖36A示出設有隨機的形狀圖案的邊界部的例。另一方面,圖36B示出設有規(guī)則的形狀圖案的邊界部的例。
[0168]邊界部的形狀圖案中,通過上述透明絕緣部14的隨機圖案形成透明絕緣部14側(cè)的形狀圖案以外的情形與第3實施方式的邊界部的形狀圖案同樣。
[0169][透明導電性元件的制造方法]
第5實施方式的第1透明導電性元件1的制造方法,除作為絕緣區(qū)域的透明絕緣部14的隨機圖案的生成方法以外,其它方面與第1實施方式的第1透明導電性元件1的制造方法同樣。以下,對透明絕緣部14的隨機圖案的生成方法進行說明。
[0170][隨機圖案的生成方法]
首先,生成圓形狀的隨機圖案。作為圓形狀的隨機圖案的生成方法,能夠采用與上述第3實施方式同樣的生成方法。接著,如圖37A所示,在生成的圓形狀的隨機圖案中,產(chǎn)生連結(jié)外周相切的圓的中心彼此的直線。由此,如圖37B所示,生成由沿隨機的方向延伸設置的線段構(gòu)成的多邊形的隨機圖案。接著,如圖37C所示,將構(gòu)成多邊形的隨機圖案的線段擴展為既定的線寬度。由此,能得到圖34C所示的透明絕緣部14中的間隙部14b的隨機圖案。
[0171]如圖38所示,對于隨機的圓的圖案,以隨機的角度拉線而形成網(wǎng)圖案也可。即,將各圓的中心坐標按照原樣利用,拉出通過各圓的中心的直線。此時在0度~180度的范圍內(nèi)隨機決定各直線的旋轉(zhuǎn)角度,從而如圖38所示形成隨機斜率的線。這樣的情況下,也能生成隨機網(wǎng)圖案。
[0172]如圖39所示,間隙部14b能夠變化為各種線寬度W。通過改變間隙部14b的線寬度W,能夠在較寬的范圍內(nèi)調(diào)整由間隙部14b分割的透明導電層12導致的透明絕緣部14的覆蓋率。下述的表1中示出根據(jù)作為隨機圖案生成的圓的半徑r的范圍(Rmin~R?x)、及間隙部14b的每個線寬度W,算出透明導電層12導致的透明絕緣部14的覆蓋率[% ]的結(jié)果。
[0173][表1]
【權(quán)利要求】
1.一種透明導電性元件,其中具備:具有表面的基體材料;以及在上述表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,上述透明導電部及上述透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,在上述透明導電部及上述透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導電性元件,其中,上述透明導電部的圖案為多個孔部的圖案,上述透明絕緣部的圖案為多個島部的圖案,上述邊界部的形狀圖案包含從由上述孔部的整體、上述孔部的一部分、上述島部的整體及上述島部的一部分組成的組中選擇的1種以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透明導電性元件,其中,上述邊界部的形狀圖案所包含的上述島部及上述孔部的整體,與上述透明導電部及上述透明絕緣部的邊界相切地設置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透明導電性元件,其中,上述邊界部的形狀圖案所包含的上述孔部及上述島部的一部分分別具有上述孔部及島部被上述透明導電部及上述透明絕緣部的邊界局部切斷的形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求2~4的任一個所述的透明導電性元件,其中,上述多個孔部的圖案及上述多個島部的圖案的雙方為規(guī)則圖案,上述邊界部的形狀圖案為規(guī) 則的形狀圖案。
6.根據(jù)權(quán)利要求2~4的任一個所述的透明導電性元件,其中,上述多個孔部的圖案及上述多個島部的圖案的一方為規(guī)則圖案,而另一方為隨機圖案,上述邊界部的形狀圖案為隨機的形狀圖案。
7.根據(jù)權(quán)利要求2~6的任一個所述的透明導電性元件,其中,上述孔部及上述島部具有點狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求2~6的任一個所述的透明導電性元件,其中,上述孔部具有點狀,上述島部間的間隙部具有網(wǎng)孔狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導電性元件,其中,上述透明導電部的圖案為多個孔部的圖案,上述透明絕緣部的圖案為多個島部的圖案,上述邊界部的形狀圖案包含從上述孔部反轉(zhuǎn)為上述島部的多個反轉(zhuǎn)部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透明導電性元件,其中,上述透明導電部是在上述表面連續(xù)設置的透明導電層,上述透明絕緣部是具有在上述表面以規(guī)則圖案設置的多個島部的透明導電層,上述邊界部的形狀圖案包含從由上述島部的整體及一部分組成的組中選擇的1種以上。
11.根據(jù)權(quán)利要求1~10的任一個所述的透明導電性元件,其中,上述透明導電部及上述透明絕緣部的平均邊界線長度為20mm/mm2以下。
12.根據(jù)權(quán)利要求1~10的任一個所述的透明導電性元件,其中,上述透明導電部及上述透明絕緣部的反射L值之差的絕對值小于0.3。
13.一種輸入裝置,其中具備:具有第1表面及第2表面的基體材料;以及在上述第1表面及上述第2表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,上述透明導電部及上述透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,在上述透明導電部及上述透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
14.一種輸入裝置,其中具備:第1透明導電性元件;以及設在上述第1透明導電性元件的表面的第2透明導電性元件,上述第1透明導電性元件及上述第2透明導電性元件具備:具有表面的基體材料;以及在上述表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,上述透明導電部及上述透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,在上述透明導電部及上述透明絕 緣部的邊界部設有形狀圖案。
15.—種電子設備,其中,具備透明導電性元件,該透明導電性元件具備具有第1表面及第2表面的基體材料、以及在上述第1表面及上述第2表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,上述透明導電部及上述透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,在上述透明導電部及上述透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
16.—種電子設備,其中具備:第1透明導電性元件;以及設在上述第1透明導電性元件的表面的第2透明導電性元件,上述第1透明導電性元件及上述第2透明導電性元件具備:具有第1表面及第2表面的基體材料;以及在上述第1表面及上述第2表面以平面交替地設置的透明導電部及透明絕緣部,上述透明導電部及上述透明絕緣部的至少一方是內(nèi)部具有規(guī)則圖案的透明導電層,在上述透明導電部及上述透明絕緣部的邊界部設有形狀圖案。
17.—種透明導電性元件制作用母盤,其中,具有透明導電部形成區(qū)域及透明絕緣部形成區(qū)域以平面交替地設置的表面,上述透明導電部形成區(qū)域及上述透明絕緣部形成區(qū)域的至少一方在區(qū)域內(nèi)具有規(guī)則圖案,在上述透明導電部形成區(qū)域及上述透明絕緣部形成區(qū)域的邊界部設有形狀圖案。
【文檔編號】G06F3/041GK103748537SQ201380002813
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年1月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月24日
【發(fā)明者】水野干久, 井上純一, 金子直人 申請人:迪睿合電子材料有限公司