一種ic裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)及其設(shè)計(jì)方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種靈活的IC裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)，包括曲線繪制系統(tǒng)加載模塊、曲線參數(shù)配置模塊、曲線數(shù)據(jù)采集模塊、曲線顯示及操作模塊，曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)出模塊。本發(fā)明還涉及一種靈活的IC裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法，采用該設(shè)計(jì)方法，用戶可以在不用修改程序代碼的情況下，通過(guò)修改對(duì)IC裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的有效配置既能實(shí)現(xiàn)歷史曲線繪制功能又能實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)曲線繪制功能。另外用戶可以對(duì)曲線參數(shù)的采集參數(shù)進(jìn)行配置以實(shí)現(xiàn)從不同的數(shù)據(jù)源采集數(shù)據(jù)，用戶還可以對(duì)曲線參數(shù)的顯示參數(shù)進(jìn)行配置實(shí)現(xiàn)不同的繪制效果。本發(fā)明可降低軟件的二次開(kāi)發(fā)成本，提高軟件的可擴(kuò)展性、可維護(hù)性和易操作性。
【專利說(shuō)明】一種ic裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)及其設(shè)計(jì)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于1C裝備控制【技術(shù)領(lǐng)域】，具體說(shuō)是一種靈活的1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪 制系統(tǒng)及其設(shè)計(jì)方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠投資已朝向12英寸晶圓發(fā)展，其晶圓生產(chǎn)工序日漸復(fù)雜，加工 生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的數(shù)據(jù)量也越來(lái)越大。如何從大量的數(shù)據(jù)中獲取更多更直觀的信息成為1C 軟件開(kāi)發(fā)中的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。
[0003] 現(xiàn)有的1C裝備控制軟件中大多以報(bào)表的形式提供給用戶，這種數(shù)據(jù)形式不夠直 觀而且也無(wú)法反應(yīng)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)。少量的1C裝備控制軟件提供曲線顯示功能，但功能并 不完備，而且靈活性差，很難根據(jù)用戶的需求進(jìn)行靈活的配置，往往需要設(shè)計(jì)人員對(duì)程序進(jìn) 行修改，增加了開(kāi)發(fā)成本，而且根據(jù)數(shù)據(jù)源的不同往往需要重新開(kāi)發(fā)軟件，增加了二次開(kāi)發(fā) 的成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明的目的是提供一種靈活的1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)及其設(shè)計(jì)方法， 通過(guò)該設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)的1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)，可以通過(guò)配置數(shù)據(jù)源屬性來(lái)實(shí)現(xiàn) 多數(shù)據(jù)源曲線的繪制功能，另外可以對(duì)曲線參數(shù)信息進(jìn)行配置，使曲線的顯示更為靈活。
[0005] 本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是：一種1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系 統(tǒng)，包括曲線繪制系統(tǒng)加載模塊、曲線參數(shù)配置模塊、曲線數(shù)據(jù)采集模塊、曲線顯示及操作 模塊和曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)出模塊；
[0006] 所述曲線繪制系統(tǒng)加載模塊，用于在所述曲線繪制系統(tǒng)初始化時(shí)，根據(jù)用戶的定 制加載相應(yīng)的模塊；
[0007] 所述曲線參數(shù)配置模塊，用于用戶根據(jù)1C裝備中實(shí)際連接設(shè)備，配置相應(yīng)的曲線 參數(shù)的采集信息和曲線參數(shù)的顯示信息，生成曲線參數(shù)配置文件，通過(guò)對(duì)曲線參數(shù)配置文 件的修改實(shí)現(xiàn)對(duì)曲線參數(shù)的添加、刪除或修改；
[0008] 所述曲線數(shù)據(jù)采集模塊，提供各個(gè)模塊間的接口，接收所述曲線參數(shù)配置模塊的 邏輯命令，根據(jù)所述的邏輯命令，實(shí)現(xiàn)對(duì)與數(shù)據(jù)采集設(shè)備的通信并獲取數(shù)據(jù)采集設(shè)備中的 采集參數(shù)；
[0009] 所述曲線顯示及操作模塊，用于將所述曲線數(shù)據(jù)采集模塊采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行編 輯，形成相應(yīng)的曲線并顯示，并提供對(duì)曲線進(jìn)行操作的平臺(tái)；
[0010] 所述曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)出模塊，用于對(duì)曲線參數(shù)的數(shù)據(jù)進(jìn)行導(dǎo)出。
[0011] 所述曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)出模塊以文本文件或Excell文件的形式對(duì)曲線數(shù)據(jù)進(jìn)行導(dǎo)出。
[0012] 一種1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法，包括以下步驟：
[0013] 系統(tǒng)初始化，根據(jù)用戶的定制加載系統(tǒng)中相應(yīng)的模塊；
[0014] 生產(chǎn)曲線參數(shù)配置文件，采集曲線參數(shù)；
[0015] 對(duì)曲線參數(shù)進(jìn)行編輯并顯示。
[0016] 所述根據(jù)用戶的定制加載系統(tǒng)中相應(yīng)的模塊，具體為：
[0017] 為系統(tǒng)中的每個(gè)模塊均設(shè)計(jì)一個(gè)類型屬性，通過(guò)配置所述類型屬性動(dòng)態(tài)加載相應(yīng) 模塊，完成實(shí)時(shí)曲線和歷史曲線的切換，實(shí)現(xiàn)定制功能。
[0018] 所述生產(chǎn)曲線參數(shù)配置文件，采集曲線參數(shù)，具體為：
[0019] 采用線程的方式設(shè)計(jì)，根據(jù)模塊類型不同，連接不同的底層服務(wù)模塊，所述線程提 供各個(gè)模塊間的接口，根據(jù)應(yīng)用程序的邏輯命令實(shí)現(xiàn)對(duì)數(shù)據(jù)采集狀態(tài)控制，包括數(shù)據(jù)采集 的開(kāi)啟控制和關(guān)閉控制。
[0020] 所述對(duì)曲線參數(shù)進(jìn)行編輯并顯示，具體為：
[0021] 將曲線參數(shù)分為組基本信息和曲線參數(shù)特定信息，所述組基本信息包括組名、組 顯示名、X軸坐標(biāo)名稱、X軸小步長(zhǎng)、X軸大步長(zhǎng)、X軸顯示長(zhǎng)度、X軸總?cè)萘亢退⑿聲r(shí)間；所述 曲線參數(shù)特定信息包括變量名稱、所屬模塊名稱、曲線名稱、變量的最小值、變量的最大值、 Y軸小步長(zhǎng)、Y軸大步長(zhǎng)、標(biāo)志和曲線顏色；
[0022] 將同一組曲線設(shè)置為相同的組基本信息，每組曲線的曲線參數(shù)特定信息不同；
[0023] 將組基本信息和曲線參數(shù)特定信息保存，并供顯示時(shí)讀取。
[0024] 本發(fā)明可降低軟件的二次開(kāi)發(fā)成本，提高軟件的可擴(kuò)展性、可維護(hù)性和易操作性， 具體具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果：
[0025] 1.本發(fā)明使系統(tǒng)可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。
[0026] 2.本發(fā)明提供的數(shù)據(jù)采集模塊的設(shè)計(jì)方法，可根據(jù)曲線類型，動(dòng)態(tài)鏈接數(shù)據(jù)源，也 可根據(jù)用戶需要控制采集模塊的啟動(dòng)與停止。
[0027] 3.本發(fā)明提供的對(duì)曲線參數(shù)編輯的方法，曲線參數(shù)信息以xml文件的形式進(jìn)行存 儲(chǔ)，用戶可通過(guò)對(duì)曲線參數(shù)的編輯對(duì)曲線參數(shù)信息進(jìn)行讀取和配置。
[0028] 4.通過(guò)本發(fā)明提供的曲線繪制系統(tǒng)，具有曲線類型的定制功能，曲線參數(shù)的配置 功能，數(shù)據(jù)源的選擇功能，這樣可以更加靈活的根據(jù)用戶需求完成曲線的繪制及顯示功能。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029] 圖1是多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的架構(gòu)圖；
[0030] 圖2是1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的加載方法示意圖；
[0031] 圖3是采集模塊的程序流程圖；
[0032] 圖4是曲線參數(shù)編輯的程序流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0033] 下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0034] 為了解決1C裝備控制軟件中曲線繪制系統(tǒng)功能不完備，靈活性差的問(wèn)題，本發(fā)明 提供一種靈活的1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法，通過(guò)本方法可以提高軟件的 可擴(kuò)展性、可維護(hù)性和易操作性。
[0035] 下面結(jié)合圖1-圖4對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0036] 本發(fā)明設(shè)計(jì)的1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)，其架構(gòu)如圖1所示。首先由曲線繪 制系統(tǒng)加載模塊進(jìn)行系統(tǒng)初始化，根據(jù)用戶的定制加載相應(yīng)的曲線模塊，完成系統(tǒng)的初始 化。接下來(lái)曲線參數(shù)配置模塊負(fù)責(zé)對(duì)曲線參數(shù)的采集信息和顯示信息進(jìn)行配置。然后啟動(dòng) 曲線數(shù)據(jù)采集模塊根據(jù)曲線參數(shù)的采集信息從不同的數(shù)據(jù)源進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。曲線顯示及操 作模塊根據(jù)曲線采集模塊采集到的數(shù)據(jù)以及曲線參數(shù)的顯示信息進(jìn)行曲線的繪制，以及實(shí) 現(xiàn)對(duì)曲線的各種操作功能，最后曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)出模塊負(fù)責(zé)把曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)出。
[0037] 本發(fā)明的設(shè)計(jì)方法如下：
[0038] 首先設(shè)計(jì)1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的加載方法，在晶圓加工過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生 大量的數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)的類型又分為實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)和歷史數(shù)據(jù)兩種，對(duì)兩種類型的曲線的顯示方式 及配置方式也不同，系統(tǒng)需要根據(jù)曲線的類型動(dòng)態(tài)的加載相應(yīng)的模塊，為此需要把每個(gè)程 序模塊都設(shè)計(jì)一個(gè)類型屬性，通過(guò)配置模塊的類型屬性，系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)根據(jù)類型屬性來(lái)動(dòng)態(tài) 加載相應(yīng)模塊，實(shí)現(xiàn)定制功能。如圖2所示。
[0039] 接下來(lái)是數(shù)據(jù)采集模塊的設(shè)計(jì)方法，由于晶圓加工過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù) 采集會(huì)耗費(fèi)時(shí)間，為了使曲線采集模塊不影響曲線顯示模塊，使曲線顯示流暢，曲線采集模 塊需要采用線程的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)，根據(jù)模塊類型不同，連接底層服務(wù)模塊也不同。該線程提 供外部接口，接收外部應(yīng)用程序的邏輯命令，根據(jù)所述的邏輯命令，實(shí)現(xiàn)對(duì)數(shù)據(jù)采集狀態(tài)控 制，包括數(shù)據(jù)采集的開(kāi)啟控制和關(guān)閉控制。如圖3所示。
[0040] 如圖4所示，曲線參數(shù)編輯的設(shè)計(jì)方法，其曲線參數(shù)信息分為組基本信息和曲線 參數(shù)特定信息，組基本信息包括組名，組顯示名，X軸坐標(biāo)名稱，X軸小步長(zhǎng)，X軸大步長(zhǎng)，X 軸顯示長(zhǎng)度，X軸總?cè)萘?，刷新時(shí)間。曲線參數(shù)特定信息包括，變量名稱，所屬模塊名稱，曲線 名稱，變量的最小值，變量的最大值，Y軸小步長(zhǎng)，Y軸大步長(zhǎng)，標(biāo)志，曲線顏色。同一組曲線 的基本信息相同，曲線參數(shù)的特定信息不同。以上信息以xml文件的形式進(jìn)行存儲(chǔ)，1C裝 備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)，啟動(dòng)曲線參數(shù)配置編輯器自動(dòng)讀取曲線參數(shù)，對(duì)曲線參數(shù)進(jìn)行 配置保存。
[0041] 曲線參數(shù)配置文件以XML形式存儲(chǔ)，以下為XML文件的內(nèi)部示例：
[0042] <?xml version=" 1.0" encoding="gb2312"?> <CURVCS> <GROUP name="EPD"> <TITLE>EPD</TITLE> <XAXISTiTLE>Time</XAXISTITLE> <XAXISMINORSTEP>8</XAXISMiNORSTEP> <X AX i S M AJ ORS' I Η P>4</X ΑΧ IS M A.I () IIS'!' H P> <X ΑΧ ISS EO60CX/X ΑΧ ? S SEO <XAXISCV\P/U：lTY>7200</XAXlSCAPACnY> <FLUSHTIME> 1000</FLUSHTIME> <FLAG>128</FLAG> 〈CURVE name-"CF4-PRS」X"> <MODULE>test</M ODULE> <TITLE：>CF4_PRS_ 1 X</TITLE：> <UNr!>Unil()</UNn> <MIN>0</MIN> <MAX>50</MAX> < YAXIS ΜINORSTE P>5 0</ΥΑΧ ISMI NO RST EP> < YAXIS M A JO R STEP>5</YAX ? S M A JO R STE P> <SYMBOL>Nonc</SYMBOL> <COLOR>Blue</COLOR> 〈/CURVE〉 <Cl.iRVr； name="CF4_PRS_l X_AVG"> <MODULE>test</MODULE> <TITLE>CF4_PRS_ 1 X_AVG</TITLE> <UNiT>Unitl</UNIT> <MIN>0</V1IN> <MAX>50</MAX> <?ΑΧ IS ΜI NORSTE P>5 0</YAX IS ΜI NO RSTEP>
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[0045] </GROUP> 〈/CURVES〉
【權(quán)利要求】
1. 一種1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)，其特征在于，包括曲線繪制系統(tǒng)加載模塊、曲 線參數(shù)配置模塊、曲線數(shù)據(jù)采集模塊、曲線顯示及操作模塊和曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)出模塊； 所述曲線繪制系統(tǒng)加載模塊，用于在所述曲線繪制系統(tǒng)初始化時(shí)，根據(jù)用戶的定制加 載相應(yīng)的模塊； 所述曲線參數(shù)配置模塊，用于用戶根據(jù)1C裝備中實(shí)際連接設(shè)備，配置相應(yīng)的曲線參數(shù) 的采集信息和曲線參數(shù)的顯示信息，生成曲線參數(shù)配置文件，通過(guò)對(duì)曲線參數(shù)配置文件的 修改實(shí)現(xiàn)對(duì)曲線參數(shù)的添加、刪除或修改； 所述曲線數(shù)據(jù)采集模塊，提供各個(gè)模塊間的接口，接收所述曲線參數(shù)配置模塊的邏輯 命令，根據(jù)所述的邏輯命令，實(shí)現(xiàn)對(duì)與數(shù)據(jù)采集設(shè)備的通信并獲取數(shù)據(jù)采集設(shè)備中的采集 參數(shù)； 所述曲線顯示及操作模塊，用于將所述曲線數(shù)據(jù)采集模塊采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行編輯，形 成相應(yīng)的曲線并顯示，并提供對(duì)曲線進(jìn)行操作的平臺(tái)； 所述曲線數(shù)據(jù)導(dǎo)出模塊，用于對(duì)曲線參數(shù)的數(shù)據(jù)進(jìn)行導(dǎo)出。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)，其特征在于，所述曲線 數(shù)據(jù)導(dǎo)出模塊以文本文件或Excell文件的形式對(duì)曲線數(shù)據(jù)進(jìn)行導(dǎo)出。
3. -種1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，包括以下步驟： 系統(tǒng)初始化，根據(jù)用戶的定制加載系統(tǒng)中相應(yīng)的模塊； 生產(chǎn)曲線參數(shù)配置文件，采集曲線參數(shù)； 對(duì)曲線參數(shù)進(jìn)行編輯并顯示。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法，其特征在 于，所述根據(jù)用戶的定制加載系統(tǒng)中相應(yīng)的模塊，具體為： 為系統(tǒng)中的每個(gè)模塊均設(shè)計(jì)一個(gè)類型屬性，通過(guò)配置所述類型屬性動(dòng)態(tài)加載相應(yīng)模 塊，完成實(shí)時(shí)曲線和歷史曲線的切換，實(shí)現(xiàn)定制功能。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法，其特征在 于，所述生產(chǎn)曲線參數(shù)配置文件，采集曲線參數(shù)，具體為： 采用線程的方式設(shè)計(jì)，根據(jù)模塊類型不同，連接不同的底層服務(wù)模塊，所述線程提供各 個(gè)模塊間的接口，根據(jù)應(yīng)用程序的邏輯命令實(shí)現(xiàn)對(duì)數(shù)據(jù)采集狀態(tài)控制，包括數(shù)據(jù)采集的開(kāi) 啟控制和關(guān)閉控制。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種1C裝備多數(shù)據(jù)源曲線繪制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法，其特征在 于，所述對(duì)曲線參數(shù)進(jìn)行編輯并顯示，具體為： 將曲線參數(shù)分為組基本信息和曲線參數(shù)特定信息，所述組基本信息包括組名、組顯示 名、X軸坐標(biāo)名稱、X軸小步長(zhǎng)、X軸大步長(zhǎng)、X軸顯示長(zhǎng)度、X軸總?cè)萘亢退⑿聲r(shí)間；所述曲 線參數(shù)特定信息包括變量名稱、所屬模塊名稱、曲線名稱、變量的最小值、變量的最大值、Y 軸小步長(zhǎng)、Y軸大步長(zhǎng)、標(biāo)志和曲線顏色； 將同一組曲線設(shè)置為相同的組基本信息，每組曲線的曲線參數(shù)特定信息不同； 將組基本信息和曲線參數(shù)特定信息保存，并供顯示時(shí)讀取。
【文檔編號(hào)】G06F9/44GK104281438SQ201310272817
【公開(kāi)日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2013年7月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月1日
【發(fā)明者】金妮, 徐皚冬, 劉明哲, 王鍇, 王晨曦 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所