觸摸面板和帶觸摸面板的顯示裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明能夠得到具有能夠?qū)⑴渚€和端子穩(wěn)定地連接的端子構(gòu)造的觸摸面板的結(jié)構(gòu)。觸摸面板具備：絕緣性的基板(10)；在上述基板(10)上形成的在第一方向延伸的第一電極；在上述基板(10)上形成的在與上述第一方向交叉的第二方向延伸的第二電極；將上述第一電極和上述第二電極相互絕緣的第一絕緣膜(15)；在上述基板(10)上形成的端子部(18)；和將上述第一電極以及上述第二電極與上述端子部(18)電連接的配線(14)。上述端子部(18)包括：與上述配線(14)的下表面接觸地形成的第一導(dǎo)電膜(181)；和與上述第一導(dǎo)電膜(181)的上表面接觸地形成的第二導(dǎo)電膜(182)，上述第二導(dǎo)電膜(182)與上述配線(14)僅在上述配線(14)的側(cè)面部接觸。
【專(zhuān)利說(shuō)明】觸摸面板和帶觸摸面板的顯示裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及觸摸面板和帶觸摸面板的顯示裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及觸摸面板的端子的構(gòu)造。
【背景技術(shù)】
[0002]觸摸面板與顯示裝置重疊使用。因此，在顯示區(qū)域中形成的傳感電極通常由氧化銦錫(ΙΤ0:Indium Tin Oxide)、氧化銦鋅(IZO:Indium Zinc Oxide)等的透明導(dǎo)電膜形成。
[0003]另一方面，在顯示區(qū)域以外的邊框區(qū)域中，有使用電阻低的金屬配線的情況。但是，金屬配線當(dāng)曝露于大氣或水分時(shí)會(huì)腐蝕。因此，當(dāng)金屬配線露出時(shí)，存在長(zhǎng)期可靠性差的情況。
[0004]日本特開(kāi)2004-61687號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了一種液晶顯示裝置用基板，其具有:多個(gè)總線；在總線上形成的絕緣樹(shù)脂層；在絕緣樹(shù)脂層上形成的像素電極；與像素電極和總線連接的薄膜晶體管；和將外部電路與總線電連接的外部連接端子。
[0005]該液晶顯示裝置用基板具備:與總線電連接的第一端子電極；在第一端子電極的外周部上的至少一部分形成的構(gòu)造物；在第一端子電極和構(gòu)造物上形成的第二端子電極；和將第一端子電極和第二端子電極連接的電極連接改換區(qū)域。在此，構(gòu)造物由與絕緣樹(shù)脂層不同的形成材料形成，第二端子電極由與像素電極相同的形成材料形成。
[0006]上述文獻(xiàn)中記載有:構(gòu)造物由與樹(shù)脂絕緣層不同的形成材料形成，由此，能夠密合良好地形成第二端子電極和構(gòu)造物。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]在上述結(jié)構(gòu)中，在第二端子電極由金屬形成的情況下，根據(jù)金屬的種類(lèi)的不同，存在發(fā)生腐蝕，長(zhǎng)期可靠性差的情況。
[0008]另一方面，在第二端子電極由ITO或IZO等的透明電極膜形成的情況下，這些材料的電阻高成為問(wèn)題。特別是，在端子的截面積小的情況下，電阻變高。另外，在配線與透明電極的接觸面積小的情況下，接觸電阻變高。這些成為使觸摸面板的靈敏度下降的原因。
[0009]本發(fā)明的目的是得到具有能夠?qū)⑴渚€和端子穩(wěn)定地連接的端子構(gòu)造的觸摸面板的結(jié)構(gòu)。
[0010]在此公開(kāi)的觸摸面板具備:絕緣性的基板；在上述基板上形成的在第一方向延伸的第一電極；在上述基板上形成的在與上述第一方向交叉的第二方向延伸的第二電極；將上述第一電極和上述第二電極相互絕緣的第一絕緣膜；在上述基板上形成的端子部；和將上述第一電極以及上述第二電極與上述端子部電連接的配線。上述端子部包括:與上述配線的下表面接觸地形成的第一導(dǎo)電膜；和與上述第一導(dǎo)電膜的上表面接觸地形成的第二導(dǎo)電膜，上述第二導(dǎo)電膜與上述配線僅在上述配線的側(cè)面部接觸。
[0011]根據(jù)本發(fā)明，能夠得到具有能夠?qū)⑴渚€和端子穩(wěn)定地連接的端子構(gòu)造的觸摸面板的結(jié)構(gòu)?！緦?zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的帶觸摸面板的顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。
[0013]圖2是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的觸摸面板的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0014]圖3是沿圖2的A-A’線和B-B’線的各線的截面圖。
[0015]圖4是表示第一實(shí)施方式的端子部的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0016]圖5是沿圖4的C-C’線、D-D’線和E-E’線的各線的截面圖。
[0017]圖6A是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0018]圖6B是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0019]圖6C是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0020]圖6D是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0021]圖6E是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0022]圖6F是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0023]圖7是表示比較例的端子部的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0024]圖8是沿圖7的C-C’線、D-D’線和E-E’線的各線的截面圖。
[0025]圖9是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0026]圖10是沿圖9的A-A’線和B_B’線的各線的截面圖。
[0027]圖1lA是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0028]圖1lB是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0029]圖1lC是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0030]圖1lD是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0031]圖1lE是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0032]圖1lF是用于對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板的制造方法進(jìn)行說(shuō)明的截面圖。
[0033]圖12是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的端子部的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0034]圖13是沿圖12的C-C’線、D_D’線和E_E’線的各線的截面圖。
[0035]圖14是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的端子部的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。[0036]圖15是沿圖14的C-C’線、D_D’線和E_E’線的各線的截面圖。
[0037]圖16是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的端子部的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0038]圖17是沿圖16的C-C’線、D_D’線和E_E’線的各線的截面圖。
[0039]圖18是表示本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式的觸摸面板的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0040]圖19是沿圖18的A-A’線和B_B’線的各線的截面圖。
[0041]圖20是表示本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施方式的觸摸面板的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0042]圖21是沿圖20的A-A’線和B-B ’線的各線的截面圖。
[0043]圖22是表示本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式的帶觸摸面板的顯示裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0044]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的觸摸面板具備:絕緣性的基板；在上述基板上形成的在第一方向延伸的第一電極；在上述基板上形成的在與上述第一方向交叉的第二方向延伸的第二電極；將上述第一電極和上述第二電極相互絕緣的第一絕緣膜；在上述基板上形成的端子部；和將上述第一電極以及上述第二電極與上述端子部電連接的配線。上述端子部包括:與上述配線的下表面接觸地形成的第一導(dǎo)電膜；和與上述第一導(dǎo)電膜的上表面接觸地形成的第二導(dǎo)電膜，上述第二導(dǎo)電膜與上述配線僅在上述配線的側(cè)面部接觸(第一結(jié)構(gòu))。
[0045]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，端子部由第一導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜的二層構(gòu)成。因此，能夠使端子部的截面積變大，能夠使電阻降低。
[0046]配線在制造工序中表面會(huì)變性(例如氧化)，當(dāng)在其上形成導(dǎo)電膜時(shí)，存在接觸電阻變高的情況。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，第一導(dǎo)電膜與配線的下表面接觸地形成。另外，第二導(dǎo)電膜與配線僅在配線的側(cè)面部接觸。由此，能夠?qū)⒍俗硬亢团渚€穩(wěn)定地連接。
[0047]在上述第一結(jié)構(gòu)中，能夠采用以下結(jié)構(gòu):上述第一電極包括:沿上述第一方向配置的多個(gè)第一島狀電極；和將相鄰的上述第一島狀電極彼此連接的第一連接部，上述第二電極包括:沿上述第二方向配置的多個(gè)第二島狀電極；和將相鄰的上述第二島狀電極彼此連接的第二連接部，上述第一島狀電極、上述第二島狀電極、上述第一連接部和上述第一導(dǎo)電膜由相同的材料形成，上述第二連接部和上述第二導(dǎo)電膜由相同的材料形成(第二結(jié)構(gòu))。
[0048]在上述第一結(jié)構(gòu)中，能夠采用以下結(jié)構(gòu):上述第一電極包括:沿上述第一方向配置的多個(gè)第一島狀電極；和將相鄰的上述第一島狀電極彼此連接的第一連接部，上述第二電極包括:沿上述第二方向配置的多個(gè)第二島狀電極；和將相鄰的上述第二島狀電極彼此連接的第二連接部，上述第二連接部和上述第一導(dǎo)電膜由相同的材料形成，上述第一島狀電極、上述第二島狀電極、上述第一連接部和上述第二導(dǎo)電膜由相同的材料形成(第三結(jié)構(gòu))。
[0049]在上述第一結(jié)構(gòu)中，能夠采用以下結(jié)構(gòu):上述第一電極包括:沿上述第一方向配置的多個(gè)第一島狀電極；和將相鄰的上述第一島狀電極彼此連接的第一連接部，上述第二電極包括:沿上述第二方向配置的多個(gè)第二島狀電極；和將相鄰的上述第二島狀電極彼此連接的第二連接部，上述第一島狀電極、上述第二島狀電極、上述第一連接部、上述第二連接部、上述第一導(dǎo)電膜和上述第二導(dǎo)電膜由相同的材料形成(第四結(jié)構(gòu))。[0050]根據(jù)上述第二至第四結(jié)構(gòu)，能夠使制造工序簡(jiǎn)化。
[0051 ] 在上述第一至第四結(jié)構(gòu)中的任一結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選還具有覆蓋上述配線形成的第二絕緣膜(第五結(jié)構(gòu))。
[0052]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，配線被第二絕緣膜覆蓋。因此，不會(huì)曝露于大氣或水分。由此，能夠防止配線的腐蝕，提高長(zhǎng)期可靠性。
[0053]在上述第五結(jié)構(gòu)中，能夠采用以下結(jié)構(gòu):上述絕緣膜和上述配線，在與上述端子部在俯視時(shí)重疊的部分具有缺口部，上述第一導(dǎo)電膜和上述第二導(dǎo)電膜經(jīng)由上述缺口部接觸(第六結(jié)構(gòu))。
[0054]在上述第五結(jié)構(gòu)中，能夠采用以下結(jié)構(gòu):上述絕緣膜和上述配線，在與上述端子部在俯視時(shí)重疊的部分具有開(kāi)口部，上述第一導(dǎo)電膜和上述第二導(dǎo)電膜經(jīng)由上述開(kāi)口部接觸(第七結(jié)構(gòu))。
[0055]根據(jù)上述第六或第七結(jié)構(gòu)，能夠使第一導(dǎo)電膜與第二導(dǎo)電膜的接觸面積增大。另夕卜，能夠使電流的通路增加。由此，能夠使第一導(dǎo)電膜與第二導(dǎo)電膜的接觸電阻降低。
[0056]在上述第一至第七結(jié)構(gòu)中的任一結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選在上述第一導(dǎo)電膜與上述配線重疊的部分，上述第一導(dǎo)電膜的寬度比上述配線的寬度寬(第八結(jié)構(gòu))。
[0057]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠使第一導(dǎo)電膜與配線的接觸面積增大。因此，能夠使第一導(dǎo)電膜與配線的接觸電阻降低。
[0058]在上述第一至第八結(jié)構(gòu)中的任一結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選上述第一導(dǎo)電膜形成為與上述配線的整體在俯視時(shí)重疊(第九結(jié)構(gòu))。
[0059]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，第一導(dǎo)電膜與配線重疊地形成。由此，能夠使電阻降低。另外，通過(guò)采用這樣的冗余結(jié)構(gòu)，即使一方斷線也能夠維持導(dǎo)通，因此，能夠提高可靠性。
[0060]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的帶觸摸面板的顯示裝置具備:液晶顯示裝置；和上述第一至第九結(jié)構(gòu)中的任一結(jié)構(gòu)的觸摸面板(帶觸摸面板的顯示裝置的第一結(jié)構(gòu))。
[0061][實(shí)施方式]
[0062]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。對(duì)圖中相同或?qū)?yīng)的部分，標(biāo)注相同的符號(hào)，不重復(fù)進(jìn)行其說(shuō)明。此外，為了使得說(shuō)明容易理解，在以下參照的附圖中，結(jié)構(gòu)被簡(jiǎn)化或示意化地表示，一部分的構(gòu)成部件被省略。另外，各圖中所示的構(gòu)成部件間的尺寸比不一定表示實(shí)際的尺寸比。
[0063][整體結(jié)構(gòu)]
[0064]圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的帶觸摸面板的顯示裝置7的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。帶觸摸面板的顯示裝置7具備觸摸面板1、彩色濾光片基板71、薄膜晶體管(TFT:ThinFilm Transistor)基板72、密封件73、液晶74、偏光板75、76和粘貼件77。
[0065]彩色濾光片基板71與TFT基板72相互相對(duì)配置。在彩色濾光片基板71和TFT基板72的周緣部形成有密封件73，在內(nèi)部封入有液晶74。在彩色濾光片基板71的與液晶74側(cè)相反的一側(cè)的表面上，通過(guò)粘貼件77粘貼有觸摸面板I。在觸摸面板I的與彩色濾光片基板71側(cè)相反的一側(cè)的表面上，配置有偏光板75。在TFT基板72的與液晶74側(cè)相反的一側(cè)的表面上，配置有偏光板76。
[0066]觸摸面板1，詳細(xì)結(jié)構(gòu)將在后面說(shuō)明，是靜電電容方式的觸摸面板，具備絕緣性的基板10和傳感電極(X電極11、Y電極12等)等。X電極11和Y電極12形成為格子狀。X電極11和Y電極12在它們與接近觸摸面板I的手指等之間形成靜電電容。觸摸面板I根據(jù)該靜電電容的變化，檢測(cè)出手指等的位置。
[0067]彩色濾光片基板71具備絕緣性的基板711、黑矩陣712、彩色濾光片713和共用電極714。共用電極714在基板711的大致整個(gè)面上均勻地形成。
[0068]TFT基板72具備絕緣性的基板721、像素電極722和未圖示的TFT。像素電極722和TFT在基板721上形成為矩陣狀。此外，作為T(mén)FT，能夠使用包含非晶硅或氧化銦鎵鋅(IZGO)的TFT，優(yōu)選使用包含電子遷移率大的IZGO的TFT。
[0069]帶觸摸面板的顯示裝置7驅(qū)動(dòng)TFT基板72的TFT，在任意的像素電極722與共用電極714之間生成電場(chǎng)。通過(guò)該電場(chǎng)，液晶74的取向變化。從偏光板76側(cè)入射的光,通過(guò)偏光板76,在特定的方向偏振。入射至液晶74的光的偏振方向根據(jù)液晶74的取向而變化。僅在特定的方向偏振的光透過(guò)偏光板75。
[0070]這樣，帶觸摸面板的顯示裝置7能夠在任意的像素電極722中控制光的透過(guò)和不透過(guò)。透過(guò)像素電極722的光由彩色濾光片713著色。通過(guò)規(guī)則地預(yù)先配置多種顏色例如紅色、綠色、藍(lán)色的彩色濾光片713，能夠通過(guò)加法混色顯示各種顏色。黑矩陣712對(duì)來(lái)自形成有像素電極722的部位以外的部位的光進(jìn)行遮光，使對(duì)比度提高。
[0071]以上對(duì)帶觸摸面板的顯示裝置7的概略結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說(shuō)明。在帶觸摸面板的顯示裝置7中，將偏光板75配置在觸摸面板I的外側(cè)(與彩色濾光片基板71側(cè)相反的一側(cè))的表面上。但是，帶觸摸面板的顯示裝置7也可以為將偏光板75配置在彩色濾光片基板71的與液晶74側(cè)相反的一側(cè)的表面上，在其上貼合觸摸面板I的結(jié)構(gòu)。
[0072][觸摸面板的結(jié)構(gòu)]
[0073]以下，對(duì)觸摸面板I的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0074]圖2是示意性地表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的觸摸面板I的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。圖3是沿圖2的A-A’線和B-B’線的各線的截面圖。觸摸面板I具備基板10、X電極11、Y電極12、配線14、絕緣膜15和保護(hù)膜16。此外，在圖2中，為了容易看圖，對(duì)配線14畫(huà)有陰影線。
[0075]X電極11包括:沿圖2的左右方向配置的多個(gè)島狀電極110 ;和將相鄰的島狀電極110彼此連接的連接部111。島狀電極110和連接部111連續(xù)地形成為一體。
[0076]Y電極12包括:沿圖2的上下方向配置的多個(gè)島狀電極120 ;和將相鄰的島狀電極120彼此連接的連接部121。島狀電極120和連接部121，如圖3所示，夾著絕緣膜15形成在不同的層。島狀電極120和連接部121經(jīng)由在絕緣膜15中形成的多個(gè)接觸孔15a接觸。
[0077]通過(guò)該結(jié)構(gòu)，X電極11和Y電極12將絕緣膜15夾在中間而交叉，相互絕緣。
[0078]在基板10的端部附近形成有端子部18。X電極11以及Y電極12與端子部18通過(guò)配線14電連接。
[0079]如圖2所示，X電極11與配線14的連接改換部分14a，與其它部分相比形成為更大的面積。這是為了使X電極11與配線14的接觸電阻變小。對(duì)于Y電極12與配線14也是同樣。
[0080]另外，如圖3所示，在X電極11與配線14的連接改換部分14a，X電極11與配線14的下表面接觸地形成。在此，“與下表面接觸”是指電極11 一部分潛入配線14的下部而接觸的狀態(tài)。雖然沒(méi)有圖示，但是Y電極12與配線14的連接改換部分也是同樣。[0081]覆蓋X電極11的島狀電極110、連接部111、Y電極12的島狀電極120和配線14的整體，形成有絕緣膜15。絕緣膜15形成為也覆蓋基板10和端子部18的一部分。在絕緣膜15之上進(jìn)一步形成有保護(hù)膜16。端子部18的一部分未被絕緣膜15和保護(hù)膜16覆蓋而露出。端子部18的露出部分經(jīng)由撓性印刷基板(FPC flexible Printed Circuit)等與驅(qū)動(dòng)電路連接。
[0082]此外，保護(hù)膜16是包含無(wú)機(jī)類(lèi)的材料的保護(hù)膜161和包含有機(jī)類(lèi)的材料的保護(hù)膜162的二層結(jié)構(gòu)。無(wú)機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜161 —般比有機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜162致密，能夠防止來(lái)自外部的水分等的浸透。因此，通過(guò)形成無(wú)機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜161，能夠防止由水分等引起的配線14的腐蝕。另一方面，有機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜162與無(wú)機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜161相比具有彈性，能夠緩和由意外的接觸等造成的沖擊。另外，利用有機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜162使觸摸面板I的表面平坦化。
[0083][端子部的結(jié)構(gòu)]
[0084][第一實(shí)施方式]
[0085]接著，對(duì)端子部18的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的端子部18的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖5是沿圖4的C-C’線、D-D’線和E-E’線的各線的截面圖。端子部18包括第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182。
[0086]如圖5所示，第一導(dǎo)電膜181與配線14的下表面接觸地形成。在此，“與下表面接觸”是指第一導(dǎo)電膜181 —部分潛入配線14的下部而接觸的狀態(tài)。第二導(dǎo)電膜182與第一導(dǎo)電膜181的上表面接觸地形成。在此，“與上表面接觸”是指第一導(dǎo)電膜182與第一導(dǎo)電膜的上部部分重疊地接觸的狀態(tài)。
[0087]絕緣膜15和配線14，在配線14與端子部18在俯視時(shí)重疊的部分的一部分具有缺口部15b。第二導(dǎo)電膜182和配線14經(jīng)由缺口部15b僅在配線14的側(cè)面部接觸。第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182，在與保護(hù)膜16在俯視時(shí)重疊的部分經(jīng)由缺口部15b接觸。此外，第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182,在與保護(hù)膜16在俯視時(shí)不重疊的部分(端子部18露出到外部的部分)相互整面地接觸。
[0088][觸摸面板I的制造方法]
[0089]以下，參照?qǐng)D6A~圖6F對(duì)觸摸面板I的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。此外，圖6A~圖6F是沿圖2的A-A’線、圖4的D-D’線和E-E’線的各線的截面圖。
[0090]如圖6A所示，在基板10上形成X電極11的連接部111、Y電極12的島狀電極120、和端子部18的第一導(dǎo)電膜181。基板10例如為玻璃基板。在圖6Α中雖然沒(méi)有圖示，但是也同時(shí)形成X電極11的島狀電極110 (參照?qǐng)D2)。
[0091]首先,在基板10上,通過(guò)派射或CVD (Chemical Vapor Deposition:化學(xué)氣相沉積)形成均勻的透明導(dǎo)電膜。透明導(dǎo)電膜例如為ITO或ΙΖ0。透明導(dǎo)電膜的厚度沒(méi)有特別限定，例如為10~50nm。
[0092]利用光刻法對(duì)在基板10上形成的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化。具體地說(shuō)，在形成島狀電極110、120、連接部111和第一導(dǎo)電膜181的部位形成光致抗蝕劑的掩模。然后，通過(guò)蝕刻將其余部分除去。蝕刻方法是任意的，例如能夠使用草酸或磷酸/醋酸/硝酸的混合酸
坐寸ο
[0093]在圖案化結(jié)束后，在200~250°C的溫度范圍進(jìn)行退火。通過(guò)該退火，非晶的透明導(dǎo)電膜(島狀電極110、120、連接部111、第一導(dǎo)電膜181)多晶化。[0094]接著，如圖6B所示，形成配線14。首先，通過(guò)濺射或蒸鍍，覆蓋島狀電極110、120、連接部111和第一導(dǎo)電膜181，整面地形成金屬膜。金屬膜優(yōu)選為低電阻，例如可以使用Al。但是，Al容易被堿腐蝕，另外，當(dāng)使Al與ITO直接接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生由電離化趨勢(shì)的不同引起的電腐蝕。因此，優(yōu)選為與耐腐蝕性高的金屬的疊層結(jié)構(gòu)。因此，金屬膜例如優(yōu)選使用MoNb/Al/MoNb、MoN/Al/MoN、Mo/Al/Mo等疊層膜。金屬膜的厚度沒(méi)有特別限制，例如為0.3 ~1.0 μ m0
[0095]利用光刻法對(duì)在基板10的整個(gè)面上形成的金屬膜進(jìn)行圖案化。具體地說(shuō)，在形成配線14的部位形成光致抗蝕劑的掩模。然后，通過(guò)蝕刻將其余部分除去。蝕刻方法是任意的，例如能夠使用磷酸/醋酸/硝酸的混合酸等。
[0096]接著，如圖6C所示，覆蓋基板10的整個(gè)面形成絕緣膜15。接著，如圖6D所示，在絕緣膜15中形成接觸孔15a和缺口部15b。在絕緣膜15中形成缺口部15b時(shí)，同時(shí)也在配線14中形成缺口部。
[0097]作為絕緣膜15,可以使用有機(jī)類(lèi)絕緣體或無(wú)機(jī)類(lèi)絕緣體。
[0098]首先，對(duì)作為絕緣膜15使用有機(jī)類(lèi)絕緣體的情況進(jìn)行說(shuō)明。有機(jī)類(lèi)絕緣體例如是包含丙烯酸樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂等的光致抗蝕劑。在基板10的整個(gè)面上，利用旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)或狹縫涂敷機(jī)均勻地涂敷光致抗蝕劑。絕緣膜15除了將X電極11和Y電極12絕緣以外，還承擔(dān)保護(hù)配線14等的作用。因此，絕緣膜15優(yōu)選較厚。絕緣膜15的厚度沒(méi)有特別限定，例如為1.5~3.0 μ m。
[0099]利用光刻法對(duì)在基板10的整個(gè)面上形成的絕緣膜15進(jìn)行圖案化，形成接觸孔15a和缺口部15b。 [0100]進(jìn)一步，將絕緣膜15作為掩模，進(jìn)行蝕刻，在配線14中也形成缺口部。蝕刻方法是任意的，例如能夠使用磷酸/醋酸/硝酸的混合酸等。
[0101]對(duì)作為絕緣膜15使用無(wú)機(jī)類(lèi)絕緣體的情況進(jìn)行說(shuō)明。無(wú)機(jī)類(lèi)絕緣體例如是SiN、SiO2, SiON等。在基板10的整個(gè)面上，通過(guò)CVD形成由這些物質(zhì)構(gòu)成的均勻的無(wú)機(jī)膜。在該情況下，絕緣膜15的厚度也優(yōu)選較厚，優(yōu)選為配線14的厚度的2倍以上。
[0102]利用光刻法對(duì)在基板10的整個(gè)面上形成的絕緣膜15進(jìn)行圖案化，形成接觸孔15a和缺口部15b。具體地說(shuō)，在形成接觸孔15a和缺口部15b的部位以外的部位形成光致抗蝕劑的掩模。然后，通過(guò)蝕刻形成接觸孔15a和缺口部15b。蝕刻方法是任意的，例如能夠使用利用氟類(lèi)氣體的干式蝕刻。
[0103]進(jìn)一步，保持殘留該掩模的狀態(tài)，對(duì)配線14進(jìn)行蝕刻，在配線14中也形成缺口部。蝕刻方法是任意的，例如能夠使用磷酸/醋酸/硝酸的混合酸等。
[0104]接著，如圖6E所示，形成Y電極12的連接部121和端子部18的第二導(dǎo)電膜182。通過(guò)濺射或CVD，形成均勻的透明導(dǎo)電膜。透明導(dǎo)電膜例如為ITO或ΙΖ0。透明導(dǎo)電膜的厚度沒(méi)有特別限定，例如為10~50nm。
[0105]利用光刻法對(duì)在基板10上形成的透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化。具體地說(shuō)，在形成連接部121和第二導(dǎo)電膜182的部位形成光致抗蝕劑的掩模。然后，通過(guò)蝕刻將其余部分除去。蝕刻方法是任意的，例如能夠使用草酸或磷酸/醋酸/硝酸的混合酸等。
[0106]在圖案化結(jié)束后，可以進(jìn)行用于使連接部121和第二導(dǎo)電膜182多晶化的退火。
[0107]最后，如圖6F所示，覆蓋基板10的大致整個(gè)面形成保護(hù)膜16。保護(hù)膜16如上所述是將包含無(wú)機(jī)類(lèi)的材料的保護(hù)膜161和包含有機(jī)類(lèi)的材料的保護(hù)膜162疊層而得到的。
[0108]無(wú)機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜161例如是SiN、SiO2, SiON等。在基板10的整個(gè)面上，通過(guò)CVD形成由這些物質(zhì)構(gòu)成的均勻的無(wú)機(jī)膜。此時(shí)，使用金屬掩模等，使得端子部18的一部分露出。保護(hù)膜161的厚度沒(méi)有特別限定，例如為50~500nm。
[0109]有機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜162例如為丙烯酸樹(shù)脂。在基板10的整個(gè)面上，利用旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)或狹縫涂敷機(jī)形成均勻的膜。此時(shí)，使用金屬掩模等，使得端子部18的一部分露出。保護(hù)膜162的厚度沒(méi)有特別限定，例如為1.5~3.0 μ m。
[0110]以上，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的觸摸面板I的結(jié)構(gòu)和制造方法進(jìn)行了說(shuō)明。
[0111]根據(jù)本實(shí)施方式的觸摸面板I的結(jié)構(gòu)，端子部18由第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182的二層構(gòu)成。因此，能夠使端子部18的截面積變大，能夠使電阻降低。 [0112]包含金屬的配線14在制造工序中表面會(huì)變性(例如氧化)，當(dāng)在其上形成導(dǎo)電膜時(shí)，存在接觸電阻變高的情況。根據(jù)本實(shí)施方式，在形成第一導(dǎo)電膜181之后，在其上形成配線14使它們接觸。即，第一導(dǎo)電膜181形成為與配線14的下表面接觸。由此，能夠使接觸電阻穩(wěn)定化。
[0113]在本實(shí)施方式中，在絕緣膜15和配線14中形成缺口部15b,使第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182經(jīng)由缺口部15b接觸。如上所述，在配線14之上形成有導(dǎo)電膜的情況下，存在接觸電阻變高的情況。因此，存在配線14與第二導(dǎo)電膜182之間成為高電阻的可能性。在本實(shí)施方式中，通過(guò)形成缺口部15b，使第二導(dǎo)電膜182和配線14僅在配線14的側(cè)面部接觸。另外，通過(guò)形成缺口部15b，使第一導(dǎo)電膜181與第二導(dǎo)電膜182的接觸面積增加。由此，能夠使電流的通路增加。因此，能夠使端子部18低電阻化。
[0114]在本實(shí)施方式中，同時(shí)形成X電極11的島狀電極110、連接部111、Y電極12的島狀電極120和端子部18的第一導(dǎo)電膜181。另外，同時(shí)形成Y電極12的連接部121和端子部18的第二導(dǎo)電膜182。即，端子部18與X電極11和Y電極12由相同材料在同一工序中形成，不需要另外的工序。由此，能夠使制造工序簡(jiǎn)化。
[0115]X電極11和Y電極12，為了提高光透過(guò)度，有形成得較薄的情況。在該情況下，端子部18由第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182這兩層疊層而形成，由此，能夠使截面積增加，使電阻降低。
[0116]此外，在本實(shí)施方式中，在基板10的大致整個(gè)面上形成絕緣膜15。采用了使Y電極12的島狀電極120和連接部121經(jīng)由接觸孔15a接觸的結(jié)構(gòu)。但是，只要X電極11與Y電極12絕緣，可以為任何結(jié)構(gòu)。例如，可以采用僅在X電極11與Y電極12交叉的部位形成絕緣膜15的結(jié)構(gòu)。
[0117]另外，在本實(shí)施方式中，作為保護(hù)膜16，例示了使無(wú)機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜161和有機(jī)類(lèi)的保護(hù)膜162依次疊層而成的結(jié)構(gòu)。但是，保護(hù)膜16也可以?xún)H由其中任一個(gè)構(gòu)成。另外，疊層的順序也可以調(diào)換。
[0118]在本實(shí)施方式中，在絕緣膜15中形成缺口部15b時(shí)，同時(shí)在配線14中形成缺口部。配線14的缺口部也可以在形成配線14時(shí)形成。但是，當(dāng)像本實(shí)施方式這樣在絕緣膜15和配線14中同時(shí)形成缺口部15b時(shí)，能夠使對(duì)位精密，因此更優(yōu)選。
[0119][比較例]
[0120]在此，為了說(shuō)明觸摸面板I的效果，對(duì)假想的比較例的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖7是表示比較例的端子部98的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。圖8是沿圖7的C-C’線、D-D’線和E-E’線的各線的截面圖。
[0121]端子部98由一層的導(dǎo)電膜980構(gòu)成。如圖8所示，導(dǎo)電膜980與配線14的上表面接觸地形成。
[0122]配線14在制造工序中例如在蝕刻或清洗工序等中曝露于大氣或水分。由此，存在配線14的表面變性的情況。因此，存在與配線14的上表面接觸地形成的導(dǎo)電膜980與配線14之間的接觸電阻變高的情況。
[0123]另外，在導(dǎo)電膜980形成得較薄的情況、或?qū)щ娔?80的寬度形成得較窄的情況下，端子部980的電阻變高。
[0124]在本實(shí)施方式的觸摸面板I具備的端子部18中，第一導(dǎo)電膜181與配線14的下表面接觸地形成。因此，能夠使第一導(dǎo)電膜181和配線14穩(wěn)定地接觸。另外，端子部18由第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182的二層構(gòu)成。因此，能夠使截面積變大，能夠使電阻降低。
[0125][第一實(shí)施方式的變形例]
[0126]帶觸摸面板的顯示裝置7可以具備以下說(shuō)明的觸摸面板2代替觸摸面板I。圖9是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板2的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。圖10是沿圖9的A-A’線和B-B’線的截面圖。此外，在圖9中，為了容易看圖，對(duì)配線14畫(huà)有陰影線。
[0127]觸摸面板2具備基板10、X電極21、Y電極22、配線14、絕緣膜15、保護(hù)膜16和端子部18。觸摸面板2與觸摸面板I比較，X電極和Y電極的結(jié)構(gòu)不同。
[0128]X電極21包括島狀電極210、連接部211和取出電極212。Y電極22包括島狀電極220、連接部221和取出電極222。
[0129]X電極21與X電極11同樣包括:沿圖10的左右方向配置的多個(gè)島狀電極210 ;和將相鄰的島狀電極210彼此連接的連接部211。島狀電極210和連接部211連續(xù)地形成為一體。X電極21與X電極11不同，如圖11所示形成在絕緣膜15的上層。
[0130]Y電極22與Y電極12同樣包括:沿圖10的上下方向配置的多個(gè)島狀電極220 ;和將相鄰的島狀電極220彼此連接的連接部221。如圖10所示，島狀電極220形成在絕緣膜15的上層，連接部221形成在絕緣膜15的下層。島狀電極220和連接部221經(jīng)由在絕緣膜15中形成的多個(gè)接觸孔15a接觸。
[0131]X電極21以及Y電極22與配線14經(jīng)由在絕緣膜15中形成的接觸孔15c連接。
[0132]如圖10所示，在X電極21與配線14的連接改換部分14a形成有取出電極212。配線14與取出電極212重疊地形成。配線14與絕緣膜15的接觸孔15c的位置對(duì)應(yīng)地具有開(kāi)口部。X電極21和取出電極212經(jīng)由接觸孔15c和配線14的開(kāi)口部接觸。由此，X電極21、取出電極212和配線14相互電連接。采用這樣的結(jié)構(gòu)是因?yàn)?，如上所述，存在即使使?dǎo)電膜與配線14的上表面接觸，也得不到穩(wěn)定的接觸電阻的情況。雖然沒(méi)有圖示，但是Y電極22、取出電極222和配線14也通過(guò)同樣的結(jié)構(gòu)相互電連接。
[0133][觸摸面板2的制造方法]
[0134]以下，參照?qǐng)D1lA?圖1lF對(duì)觸摸面板2的制造方法的概要進(jìn)行說(shuō)明。此外，圖1lA?圖1lF是沿圖9的A-A’線、圖4的D-D’線和E-E’線的各線的截面圖。對(duì)于與觸摸面板I同樣的工序，適當(dāng)省略說(shuō)明。
[0135]首先，如圖1lA所示，在基板10上形成Y電極22的連接部221和端子部18的第一導(dǎo)電膜181。雖然在圖1lA中沒(méi)有圖示，但是同時(shí)形成X電極21的取出電極212 (參照?qǐng)D9和圖10)和Y電極22的取出電極222 (參照?qǐng)D9)。
[0136]接著，如圖1lB所示，形成配線14。
[0137]接著，如圖1lC所示，覆蓋基板10的整個(gè)面形成絕緣膜15。接著，如圖1lD所示，在絕緣膜15中形成接觸孔15a和缺口部15b。雖然在圖1lD中沒(méi)有圖示，但是也同時(shí)形成接觸孔15c (參照?qǐng)D9和圖10)。
[0138]在絕緣膜15中形成缺口部15b時(shí)，同時(shí)也在配線14中形成缺口部。另外，在絕緣膜15中形成接觸孔15c時(shí)，同時(shí)也在配線14中形成開(kāi)口部。
[0139]接著，如圖1lE所示，形成X電極21的連接部211、Y電極22的島狀電極220和端子部18的第二導(dǎo)電膜182。雖然在圖1lE中沒(méi)有圖示，但是也同時(shí)形成X電極21的島狀電極220 (參照?qǐng)D9)。
[0140]最后，如圖1lF所示，覆蓋基板10的大致整個(gè)面形成保護(hù)膜16。
[0141]以上，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的變形例的觸摸面板2的結(jié)構(gòu)和制造方法進(jìn)行了說(shuō)明。
[0142]在觸摸面板I中 ，同時(shí)形成島狀電極110、120和連接部111、與第一導(dǎo)電膜181，同時(shí)形成連接部121和第二導(dǎo)電膜182。而在觸摸面板2中，同時(shí)形成連接部221、取出電極212和222、與第一導(dǎo)電膜181，同時(shí)形成島狀電極210、220和連接部211、與第二導(dǎo)電膜182。
[0143]利用觸摸面板2也能夠得到與觸摸面板I同樣的效果。因此，通過(guò)觸摸面板2能夠得到觸摸面板的結(jié)構(gòu)的變化。
[0144][第二實(shí)施方式]
[0145]觸摸面板I或2可以具備以下說(shuō)明的端子部28、38和48中的任一個(gè)代替端子部18。
[0146]圖12是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的端子部28的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖13是沿圖12的C-C’線、D-D’線和Ε-Ε’線的各線的截面圖。
[0147]端子部28具備接觸孔(開(kāi)口部)15d代替端子部18具備的缺口部15b。即，絕緣膜15和配線14，在配線14與端子部28在俯視時(shí)重疊的部分的一部分具有接觸孔15d。第二導(dǎo)電膜182和配線14經(jīng)由接觸孔15d僅在配線14的側(cè)面部接觸。第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182，在與保護(hù)膜16在俯視時(shí)重疊的部分，經(jīng)由接觸孔15d接觸。此外，第一導(dǎo)電膜181和第二導(dǎo)電膜182，在與保護(hù)膜16在俯視時(shí)不重疊的部分(端子部28露出到外部的部分)相互整面地接觸。
[0148]利用本實(shí)施方式的端子部28，也能夠使電阻降低。另外，能夠使其與配線14穩(wěn)定地接觸。
[0149][第三實(shí)施方式]
[0150]圖14是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的端子部38的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖15是沿圖14的C-C’線、D-D’線和E-E’線的各線的截面圖。
[0151]端子部38具備第一導(dǎo)電膜381和第二導(dǎo)電膜182。即，端子部38與端子部18比較，第一導(dǎo)電膜的結(jié)構(gòu)不同。如圖14所示，第一導(dǎo)電膜381，在第一導(dǎo)電膜381與配線14重疊的部分，形成得比配線14的寬度寬。[0152]由此，第一導(dǎo)電膜381與配線14的接觸面積變大。因此，能夠使接觸電阻降低，能夠得到穩(wěn)定的連接。
[0153][第四實(shí)施方式]
[0154]圖16是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的端子部48的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖17是沿圖16的C-C’線、D-D’線和E-E’線的各線的截面圖。
[0155]端子部48具備第一導(dǎo)電膜481和第二導(dǎo)電膜182。與端子部38的第一導(dǎo)電膜381同樣，第一導(dǎo)電膜481，在第一導(dǎo)電膜481與配線14重疊的部分，形成得比配線14的寬度寬。端子部48具備接觸孔15d代替端子部38具備的缺口部15b。
[0156]在本實(shí)施方式中也是，通過(guò)使第一導(dǎo)電膜481與配線14的接觸面積變大，能夠使接觸電阻降低。
[0157][其它實(shí)施方式]
[0158]圖18是表示本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式的觸摸面板3的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。圖19是沿圖18的A-A’線和B-B’線的各線的截面圖。觸摸面板3具備基板10、X電極11、Y電極12、配線14、絕緣膜15、保護(hù)膜16和端子部38。此外，在圖18中，為了容易看圖，對(duì)配線14畫(huà)有陰影線。
[0159]在觸摸面板3中，端子部38的第一導(dǎo)電膜381形成為與配線14的整體在俯視時(shí)重疊。另外，如圖19所示，X電極11和第一導(dǎo)電膜381連續(xù)地形成為一體。雖然沒(méi)有圖示，但是Y電極12的島狀電極120和第一導(dǎo)電膜381也連續(xù)地形成為一體。
[0160]根據(jù)本實(shí)施方式，第一導(dǎo)電膜381和配線14重疊地形成。由此，能夠使電阻降低。另外，通過(guò)采用這樣的冗余結(jié)構(gòu)，即使一方斷線也能夠維持導(dǎo)通，因此，能夠提高可靠性。
[0161]此外，在本實(shí)施方式中，將配線14的寬度形成得比第一導(dǎo)電膜381的寬度窄。但是，配線14的寬度和第一導(dǎo)電膜381的寬度也可以相同，也可以配線14的寬度比第一導(dǎo)電膜381的寬度寬。另外，觸摸面板3可以具備端子部48代替端子部38。
[0162]圖20是表示本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施方式的觸摸面板4的概略結(jié)構(gòu)的平面圖。圖21是沿圖20的A-A’線和B-B’線的各線的截面圖。觸摸面板4具備基板10、X電極21、Y電極22、配線14、絕緣膜15、保護(hù)膜16和端子部38。此外，在圖20中，為了容易看圖，對(duì)配線14畫(huà)有陰影線。
[0163]在觸摸面板4中，端子部38的第一導(dǎo)電膜381形成為與配線14的整體在俯視時(shí)重疊。另外，如圖21所示，X電極11的取出電極212和第一導(dǎo)電膜381連續(xù)地形成為一體。雖然沒(méi)有圖示，但是Y電極22的取出電極222和第一導(dǎo)電膜381也連續(xù)地形成為一體。
[0164]根據(jù)本實(shí)施方式，第一導(dǎo)電膜381和配線14重疊地形成。由此，能夠使電阻降低。另外，通過(guò)采用這樣的冗余結(jié)構(gòu)，即使一方斷線也能夠維持導(dǎo)通，因此，能夠提高可靠性。
[0165]此外，在本實(shí)施方式中，將配線14的寬度形成得比第一導(dǎo)電膜381的寬度窄。但是，配線14的寬度和第一導(dǎo)電膜381的寬度也可以相同，也可以配線14的寬度比第一導(dǎo)電膜381的寬度寬。另外，觸摸面板4可以具備端子部48代替端子部38。
[0166]圖22是表示本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式的帶觸摸面板的顯示裝置8的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。帶觸摸面板的顯示裝置8具備帶彩色濾光片的觸摸面板基板81、TFT基板72、密封件73、液晶74和偏光板75和76。
[0167]在帶觸摸面板的顯示裝置8中，在形成有傳感電極(X電極11和Y電極12)等的觸摸面板基板10的背面，形成有黑矩陣712、彩色濾光片713和共用電極714。即，帶彩色濾光片的觸摸面板基板81兼具觸摸面板的功能和彩色濾光片的功能。
[0168]帶觸摸面板的顯示裝置8與帶觸摸面板的顯示裝置7比較，不需要基板711和粘貼件77。因此，能夠薄型化，能夠提高光透過(guò)度。
[0169]在帶觸摸面板的顯示裝置8中，將傳感電極形成在基板10的與液晶74側(cè)相反的一側(cè)的表面上。但是，也可以將傳感電極形成在基板10的形成有黑矩陣712等的一側(cè)的表面上。此時(shí)，可以在它們之間形成平坦化膜等。
[0170]在帶觸摸面板的顯示裝置8中，帶彩色濾光片的觸摸面板基板81可以具備觸摸面板2~4中的任一個(gè)代替觸摸面板I。
[0171]以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明并不僅限于上述的各實(shí)施方式，能夠在發(fā)明的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。另外，各實(shí)施方式能夠適當(dāng)組合而實(shí)施。
[0172]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0173]本發(fā)明作為觸摸面板和帶觸摸面板的顯示裝置能夠在產(chǎn)業(yè)上利用。
【權(quán)利要求】
1.一種觸摸面板，其特征在于，具備: 絕緣性的基板； 在所述基板上形成的在第一方向延伸的第一電極； 在所述基板上形成的在與所述第一方向交叉的第二方向延伸的第二電極； 將所述第一電極和所述第二電極相互絕緣的第一絕緣膜； 在所述基板上形成的端子部；和 將所述第一電極以及所述第二電極與所述端子部電連接的配線， 所述端子部包括:與所述配線的下表面接觸地形成的第一導(dǎo)電膜；和與所述第一導(dǎo)電膜的上表面接觸地形成的第二導(dǎo)電膜， 所述第二導(dǎo)電膜與所述配線僅在所述配線的側(cè)面部接觸。
2.如權(quán)利要求1所述的觸摸面板，其特征在于: 所述第一電極包括:沿所述第一方向配置的多個(gè)第一島狀電極；和將相鄰的所述第一島狀電極彼此連接的第一連接部， 所述第二電極包括:沿所述第二方向配置的多個(gè)第二島狀電極；和將相鄰的所述第二島狀電極彼此連接的第二連接部， 所述第一島狀電極、所述第二島狀電極、所述第一連接部和所述第一導(dǎo)電膜由相同的材料形成， 所述第二連接部和所述第二導(dǎo)電膜由相同的材料形成。
3.如權(quán)利要求1所述的觸摸面板，其特征在于: 所述第一電極包括:沿所述第一方向配置的多個(gè)第一島狀電極；和將相鄰的所述第一島狀電極彼此連接的第一連接部， 所述第二電極包括:沿所述第二方向配置的多個(gè)第二島狀電極；和將相鄰的所述第二島狀電極彼此連接的第二連接部， 所述第二連接部和所述第一導(dǎo)電膜由相同的材料形成， 所述第一島狀電極、所述第二島狀電極、所述第一連接部和所述第二導(dǎo)電膜由相同的材料形成。
4.如權(quán)利要求1所述的觸摸面板，其特征在于: 所述第一電極包括:沿所述第一方向配置的多個(gè)第一島狀電極；和將相鄰的所述第一島狀電極彼此連接的第一連接部， 所述第二電極包括:沿所述第二方向配置的多個(gè)第二島狀電極；和將相鄰的所述第二島狀電極彼此連接的第二連接部， 所述第一島狀電極、所述第二島狀電極、所述第一連接部、所述第二連接部、所述第一導(dǎo)電膜和所述第二導(dǎo)電膜由相同的材料形成。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的觸摸面板，其特征在于: 還具備覆蓋所述配線形成的第二絕緣膜。
6.如權(quán)利要求5所述的觸摸面板，其特征在于: 所述配線和所述第二絕緣膜，在所述配線與所述端子部在俯視時(shí)重疊的部分的一部分具有缺口部，所述第一導(dǎo)電膜和所述第二導(dǎo)電膜經(jīng)由所述缺口部接觸。
7.如權(quán)利要求5所述的觸摸面板，其特征在于:所述配線和所述第二絕緣膜，在所述配線與所述端子部在俯視時(shí)重疊的部分的一部分具有開(kāi)口部，所述第一導(dǎo)電膜和所述第二導(dǎo)電膜經(jīng)由所述開(kāi)口部接觸。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的觸摸面板，其特征在于: 在所述第一導(dǎo)電膜與所述配線重疊的部分，所述第一導(dǎo)電膜的寬度比所述配線的寬度寬。
9.如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的觸摸面板，其特征在于: 所述第一導(dǎo)電膜形成為與所述配線的整體在俯視時(shí)重疊。
10.一種帶觸摸面板的顯示裝置，其特征在于，具備: 液晶顯不裝置；和 權(quán)利要求1至9中 任一項(xiàng)所述的觸摸面板。
【文檔編號(hào)】G06F3/044GK104024996SQ201280064430
【公開(kāi)日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2012年12月20日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月28日
【發(fā)明者】美崎克紀(jì) 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社