專利名稱:雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板及其制造方法,屬于觸控面板復(fù)合層結(jié)構(gòu)及其制程技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
通常觸控面板的感應(yīng)層由上線圖案感應(yīng)層和下線感應(yīng)圖案層組成,上下感應(yīng)圖案相互交錯方式貼合在一起。將上下線的感應(yīng)圖案設(shè)置在同一平面的基材上構(gòu)成單層感應(yīng)層結(jié)構(gòu)的觸控面板。若要實現(xiàn)觸控面板的單層感應(yīng)層結(jié)構(gòu),所需的加工條件要求相對分片貼合エ藝較高。采用光阻蝕刻エ藝可以對觸控面板的不同深度層面進行光阻蝕刻得到相應(yīng)的圖案。因此,需要相應(yīng)的觸控面板結(jié)構(gòu)構(gòu)造與光阻エ藝的有機結(jié)合可以節(jié)省貼合エ序來加 エ觸控面板,從而有效降低觸控產(chǎn)品的厚度重量,提高透光度和觸控敏感度。本發(fā)明引入PET (Polyethylene Terephthalate,聚對苯ニ甲酸こニ醇酯)作為熱塑性工程塑料具有良好的力學(xué)強度,其優(yōu)良的耐熱性和耐化學(xué)侵蝕性符合曲面觸控的基材要求。作為單片上下線感應(yīng)體的載體,可以使產(chǎn)品的外觀平整。采用整體鍍材分面蝕刻方法,使其復(fù)合層結(jié)構(gòu)安全可靠,操作性強,有利于進行大規(guī)模生產(chǎn),并且對原有的技術(shù)設(shè)備利用率高,不要再次大資本投入新技術(shù)設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題本發(fā)明針對雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板,采用光阻蝕刻エ藝和PET基材雙面鍍材方式,提出一種產(chǎn)品良率和觸控精準(zhǔn)度高,能降低觸控面板體的厚度和生產(chǎn)成本,不要再次大資本投入新技術(shù)設(shè)備的雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板及其制造方法。技術(shù)方案本發(fā)明公開了ー種雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板,透明PET基板兩面分別設(shè)置上線感應(yīng)圖案和下線感應(yīng)圖案;其中,上、下串聯(lián)感應(yīng)單元組相互垂直,各自分布在透明PET基板兩面;串聯(lián)感應(yīng)単元組的邊緣端連接電極走線。上述透明PET基板的厚度為75微米 250微米;電極走線為銅線構(gòu)成,電極走線的厚度為IOOOA 1500A。本發(fā)明的制造雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板的方法,包括如下步驟在無塵干燥條件下進行;步驟I :透明PET基板兩面鍍透明導(dǎo)電材料;步驟2 :透明導(dǎo)電材料表面鍍金屬導(dǎo)電材料;步驟3 :先在第一面的金屬導(dǎo)電材料表面貼保護膜,然后在第二面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,設(shè)置靶標(biāo)曝光顯影蝕刻形成電極走線和下線感應(yīng)圖案;步驟4 :把附著在第二面下線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻掉;步驟5 :在第二面的下線感應(yīng)圖案和電極走線表面貼保護膜;步驟6 :第一面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,以第二面靶標(biāo)曝光顯影蝕刻第一面形成第一面的電極走線和上線感應(yīng)圖案;
步驟7 :把附著在第一面上線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻棹。有益效果本發(fā)明公開了雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板及其制造方法,利用整體鍍材分面蝕刻操作性強,其復(fù)合層結(jié)構(gòu)安全可靠的特點,進行大規(guī)模生產(chǎn),并且對原有的技術(shù)設(shè)備利用率高,不要再次大資本投入新技術(shù)設(shè)備。通過采用光阻蝕刻エ藝可以對觸控面板的不同深度層面進行光阻蝕刻得到相應(yīng)的圖案。因此,電鍍エ藝與光阻エ藝的有機結(jié)合可以節(jié)省復(fù)雜的貼合エ序來加工觸控面板,從而有效降低觸控產(chǎn)品的厚度重量,提高透光度和觸控敏感度。
圖I是本發(fā)明的觸控面板剖面總體結(jié)構(gòu)組成示意圖。其中有PET基板1,上線感應(yīng)圖案2,下線感應(yīng)圖案3,電極走線4。圖2是本發(fā)明的局部結(jié)構(gòu)圖案示意框圖。 圖3是本發(fā)明的第二面下線感應(yīng)圖案制作流程示意框圖。圖4是本發(fā)明的第一面上線感應(yīng)圖案制作流程示意框圖。
具體實施例方式下面是本發(fā)明的具體實施例來進ー步描述圖I和圖2所示,本發(fā)明的雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板,包括透明PET基板I兩面分別設(shè)置上線感應(yīng)圖案2和下線感應(yīng)圖案3 ;其中,上、下串聯(lián)感應(yīng)單元組相互垂直,各自分布在透明PET基板I兩面;串聯(lián)感應(yīng)單元組的邊緣端連接電極走線4。上述透明PET基板I的厚度為75微米 250微米;電極走線4為銅線構(gòu)成,電極走線4的厚度為IOOOA 1500A。通過圖3和圖4可知,制造雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板的方法,包括如下步驟在無塵干燥條件下進行;步驟I :透明PET基板兩面鍍透明導(dǎo)電材料;步驟2 :透明導(dǎo)電材料表面鍍金屬導(dǎo)電材料;步驟3 :先在第一面的金屬導(dǎo)電材料表面貼保護膜,然后在第二面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,設(shè)置靶標(biāo)曝光顯影蝕刻形成電極走線和下線感應(yīng)圖案;步驟4 :把附著在第二面下線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻掉;步驟5 :在第二面的下線感應(yīng)圖案和電極走線表面貼保護膜;步驟6 :第一面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,以第二面靶標(biāo)曝光顯影蝕刻第一面形成第一面的電極走線和上線感應(yīng)圖案;步驟7 :把附著在第一面上線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻棹。實施例I :透明PET基板I的厚度為75微米;電極走線4為銅線構(gòu)成,電極走線4的厚度為1000人。制造雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板的方法,包括如下步驟在無塵干燥條件下進行;步驟I :透明PET基板兩面鍍透明導(dǎo)電材料;步驟2 :透明導(dǎo)電材料表面鍍金屬導(dǎo)電材料;步驟3 :先在第一面的金屬導(dǎo)電材料表面貼保護膜,然后在第二面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,設(shè)置靶標(biāo)曝光顯影蝕刻形成電極走線和下線感應(yīng)圖案;步驟4 :把附著在第二面下線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻掉;步驟5 :在第二面的下線感應(yīng)圖案和電極走線表面貼保護膜;步驟6 :第一面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,以第二面靶標(biāo)曝光顯影蝕刻第一面形成第一面的電極走線和上線感應(yīng)圖案;步驟7 :把附著在第一面上線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻棹。實施例2 透明PET基板I的厚度為250微米;電極走線4為銅線構(gòu)成,電極走線4的厚度為1500A。 制造雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板的方法,包括如下步驟在無塵干燥條件下進行;步驟I :透明PET基板兩面鍍透明導(dǎo)電材料;步驟2 :透明導(dǎo)電材料表面鍍金屬導(dǎo)電材料;步驟3 :先在第一面的金屬導(dǎo)電材料表面貼保護膜,然后在第二面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,設(shè)置靶標(biāo)曝光顯影蝕刻形成電極走線和下線感應(yīng)圖案;步驟4 :把附著在第二面下線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻掉;步驟5 :在第二面的下線感應(yīng)圖案和電極走線表面貼保護膜;步驟6 :第一面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,以第二面靶標(biāo)曝光顯影蝕刻第一面形成第一面的電極走線和上線感應(yīng)圖案;步驟7 :把附著在第一面上線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻棹。實施例3 透明PET基板I的厚度為180微米;電極走線4為銅線構(gòu)成,電極走線4的厚度為1250A。制造雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板的方法,包括如下步驟在無塵干燥條件下進行;步驟I :透明PET基板兩面鍍透明導(dǎo)電材料;步驟2 :透明導(dǎo)電材料表面鍍金屬導(dǎo)電材料;步驟3 :先在第一面的金屬導(dǎo)電材料表面貼保護膜,然后在第二面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,設(shè)置靶標(biāo)曝光顯影蝕刻形成電極走線和下線感應(yīng)圖案;步驟4 :把附著在第二面下線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻掉;步驟5 :在第二面的下線感應(yīng)圖案和電極走線表面貼保護膜;步驟6 :第一面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,以第二面靶標(biāo)曝光顯影蝕刻第一面形成第一面的電極走線和上線感應(yīng)圖案;步驟7 :把附著在第一面上線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻棹。
權(quán)利要求
1.ー種雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板,其特征在于透明PET基板(I)兩面分別設(shè)置上線感應(yīng)圖案(2)和下線感應(yīng)圖案(3);其中,上、下串聯(lián)感應(yīng)單元組相互垂直,各自分布在透明PET基板(I)兩面;串聯(lián)感應(yīng)單元組的邊緣端連接電極走線(4)。
2.如權(quán)利要求I所述雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板,其特征在于所述透明PET基板(I)的厚度為75微米 250微米;電極走線⑷為銅線構(gòu)成,電極走線⑷的厚度為1000A 1500A。
3.—種如權(quán)利要求I所述的制造雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板的方法,包括如下步驟,其特征在于所述步驟在無塵條件下進行; 步驟I :透明PET基板兩面鍍透明導(dǎo)電材料; 步驟2 :透明導(dǎo)電材料表面鍍金屬導(dǎo)電材料; 步驟3:先在第一面的金屬導(dǎo)電材料表面貼保護膜,然后在第二面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,設(shè)置靶標(biāo)曝光顯影蝕刻形成電極走線和下線感應(yīng)圖案; 步驟4 :把附著在第二面下線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻掉; 步驟5 :在第二面的下線感應(yīng)圖案和電極走線表面貼保護膜; 步驟6 :第一面的金屬導(dǎo)電材料上貼光阻膜,以第二面靶標(biāo)曝光顯影蝕刻第一面形成第一面的電極走線和上線感應(yīng)圖案; 步驟7 :把附著在第一面上線感應(yīng)圖案上的金屬蝕刻棹。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種雙面感應(yīng)結(jié)構(gòu)的觸控面板及其制造方法,屬于觸控面板復(fù)合層結(jié)構(gòu)及其制程技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明引入PET(Polyethylene Terephthalate,聚對苯二甲酸乙二醇酯)作為熱塑性工程塑料具有良好的力學(xué)強度,其優(yōu)良的耐熱性和耐化學(xué)侵蝕性符合曲面觸控的基材要求。作為感應(yīng)體的載體,可以使產(chǎn)品的外觀平整。采用整體鍍材分面蝕刻方法,使其復(fù)合層結(jié)構(gòu)安全可靠,操作性強,有利于進行大規(guī)模生產(chǎn),并且對原有的技術(shù)設(shè)備利用率高,不要再次大資本投入新技術(shù)設(shè)備。
文檔編號G06F3/041GK102693026SQ20111007277
公開日2012年9月26日 申請日期2011年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月25日
發(fā)明者李世強 申請人:牧東光電(蘇州)有限公司