專利名稱：用于觸摸面板的板件及其制造方法
技術領域：
本公開涉及一種用于觸摸面板的板件及其制造方法。
背景技術：
在最近的各種電子產(chǎn)品中，應用一種觸摸面板，該觸摸面板利用這樣的輸入方法，即，通過使用手指或諸如觸控筆的輸入設備來接觸顯示在顯示設備上的圖像。觸摸面板可以分為電阻層式觸摸面板和靜電電容式觸摸面板。在電阻層式觸摸面板中，當電極由于輸入設備的壓力而短路時，檢測到位置。在靜電電容式觸摸面板中，當電極之間的靜電電容由于手指接觸而變化時，檢測到位置。參照圖4，電阻層式觸摸面板或靜電電容式觸摸面板包括通過圖案化導電透明層形成的感應圖案110。在形成感應圖案的圖案化過程中使用的刻蝕溶液會導致產(chǎn)生污點或薄霧120。這是因為用于圖案化過程的刻蝕溶液是向鹽酸中加入乙醇酸或醋酸得到的強混合酸。此外，該強酸的刻蝕溶液會損壞導電透明層和中間透明層(例如，SiO2層)，因而在中間透明層中的裂紋會擴展到導電透明層，從而使其耐用性降低。

發(fā)明內容
技術問題本發(fā)明提供一種用于觸摸面板的板件及其制造方法，所述板件除了防止產(chǎn)生污點之外還提高了電特性和光特性，并且提高了耐用性。技術方案在一個實施例中，一種用于觸摸面板的板件包括透明襯底；在所述透明襯底上的中間透明層；以及在所述中間透明層上的導電透明層，其中，所述中間透明層和所述導電透明層中的至少一層包括過氧化合物。所述中間透明層可以包括具有SiO3和SiO4中至少一種的過氧化合物。所述導電透明層可以包括氧進一步與氧化銦錫(ITO)鍵合的過氧化合物。所述中間透明層包括具有3103和SiO4中至少一種的過氧化合物，并且所述導電透明層包括氧進一步與氧化銦錫(ΙΤ0)鍵合的過氧化合物。所述透明襯底可以是塑料片或塑料膜。一種用于觸摸面板的板件的制造方法，包括在透明襯底上形成中間透明層；以及在所述中間透明層上形成導電透明層，其中，所述中間透明層和所述導電透明層中的至少一層包括過氧化合物。所述中間透明層可以包括過氧化合物。所述方法可以進一步包括在形成所述中間透明層之前，通過將氧氣注入到氧化物氣體中，形成過氧化合物；以及在形成所述中間透明層的過程中，通過在所述透明襯底上沉積所述過氧化合物來形成所述中間透明層。
所述形成所述過氧化合物的步驟可以包括通過將氧氣注入到SiO2氣體中，生成具有SiO3和SiO4中至少一種的過氧化合物。所述導電透明層可以包括過氧化合物。所述形成所述導電透明層的步驟可以包括通過將氧氣注入到氧化物氣體中，形成過氧化合物；以及在所述中間透明層上沉積所述過氧化合物。所述形成所述導電透明層的步驟可以包括通過將氧氣注入到ITO氣體中，生成與更多氧鍵合的ITO過氧化合物；以及在所述中間透明層上沉積所述ITO過氧化合物。
所述透明襯底是塑料片或塑料膜。在以下附圖和說明書中將詳細描述一個或多個實施例。從說明書、附圖和權利要求中，其它特征將顯而易見。有益效果根據(jù)本發(fā)明，可以防止導電透明層的圖案之間產(chǎn)生污點或薄霧，并且提高中間透明層的耐用性。因此，可以提高觸摸面板的電特性和光特性。


圖I是根據(jù)第一實施例的用于觸摸面板的板件的剖視圖；圖2是圖示根據(jù)一個實施例的用于觸摸面板的板件的制造方法的流程圖；圖3是將根據(jù)對比例的用于觸摸面板的板件浸入刻蝕溶液之后的示意圖；以及圖4是現(xiàn)有技術的觸摸面板的俯視圖。
具體實施例方式在實施例的描述中，應該理解，當層(或膜)、區(qū)域、圖案或結構被表述為在襯底、層 (或膜)、區(qū)域或圖案“上面/上方”或“下面/下方”時，它可以是直接在所述襯底、所述層(或膜)、所述區(qū)域或所述圖案“上面/上方”或“下面/下方”，也可以存在中間層。將基于附圖描述每個層的“上面/上方”或“下面/下方”。在附圖中，為了清楚和方便，可以修改每個層(或膜)、區(qū)域、圖案或結構的厚度或尺寸，因此不完全反應其實際尺寸。在下文中，將參照附圖詳細描述實施例。圖I是根據(jù)第一實施例的用于觸摸面板的板件的剖視圖。參照圖1，用于觸摸面板的板件包括透明襯底210、中間透明層220和導電透明層230。盡管附圖中所示的導電透明層230未被圖案化，但是也可以圖案化導電透明層230，并且這也在本發(fā)明的范圍之內。更詳細地，透明襯底210是塑料片或塑料膜。例如，所述塑料材料可以使用丙烯酸樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯樹脂(Polyrthylene napthalate resin)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)樹脂、聚丙烯樹脂、聚芳基樹脂(Poly aryl resin)、聚醚砜(PES)樹月旨、聚甲基戍烯(Poly Methly Pentene)樹脂、聚醚醚酮(Poly Ether Ether Ketone)樹脂、聚砜(PSF)樹脂、醋酸纖維素(Acetic cellulose)樹脂、非晶聚烯烴(Amorphouspolyolefin)樹脂、聚乙烯樹脂、聚酯樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰胺樹脂、PAI (Polyamide-imide,聚酰胺酰亞胺)樹脂、PPS(PolyphenyIene sulfide,聚苯硫醚)樹脂、PEI(polyether-imide,聚醚酰亞胺)樹脂、烯烴樹脂、乙烯樹脂和氟樹脂。此外，透明襯底210上的中間透明層220是氧與透明氧化物(例如，諸如Si02、A1203、SiO、In03、HfO2, Pb5O11, TiO2和Ta2O5等氧化物)進一步鍵合的化合物。在下文中，在整個說明書中，氧與透明氧化物進一步鍵合的化合物被稱為過氧化合物。這里，所述鍵合包括各種化學鍵合(其中氧可以鍵合)，諸如離子鍵合、共價鍵合、金屬鍵合和配價鍵合。例如，由過氧化合物形成的中間透明層220可以包括SiO3或SiO4層。中間透明層220具有比現(xiàn)有技術 的SiO2層改進的耐化學性和耐用性的結構。更詳細地，就諸如SiO2的氧化物的透明電介質而言，由于增加了預定量的氧含量，原子與氧原子之間的鍵角增大，因此晶體結構縮小并且變得稠密。另外，由于增加了與氧原子的鍵合，因此增大了透明度。此外，導電透明層230形成在中間透明層220上，并且導電透明層230可以是氧化銦錫(ΙΤ0)。這里，氧還可以與ITO層鍵合。與此類似，由于ITO層中加入了預定量的氧，可以提聞電導率。下面將參照圖2更詳細地描述上述板件的制造方法。圖2是圖示根據(jù)一個實施例的用于觸摸面板的板件的制造方法的流程圖。參照圖2，在操作SI中，通過將氧氣注入氧化物氣體中來產(chǎn)生過氧化合物。例如，將氧氣注入到諸如SiO2氣體的氧化物氣體中，由此生成SiO3或SiO4過氧化合物。接著，在操作S2中，將過氧化合物沉積在透明襯底上，以形成中間透明層。接著，在操作S3中，在中間透明層上形成導電透明層。這里，導電透明層可以是ITO層。此時，ITO層可以進一步與氧鍵合。根據(jù)將更多氧與ITO層鍵合的方法，在通過將氧氣注入到ITO氣體中而與更多氧鍵合的ITO過氧化合物形成之后，可以將ITO過氧化合物沉積在中間透明層上。在下文中，將根據(jù)實施例更詳細地描述本發(fā)明。對實施例1、2和3以及對比例中的光學性質(諸如霧度和透射率)和表面損壞進行實驗，并且將它們的結果列在表I中。實施例1、2和3包括分別通過將2 3%、7%和15%的氧氣注入到SiO2層中而形成的各個中間透明層。對比例包括僅由SiO2形成的中間透明層。此時，在45°C的溫度下，在將根據(jù)實施例1、2和3的板件浸入刻蝕溶液I分鐘之后，確定表面損壞。然后，在圖3中示出在將根據(jù)對比例的板件浸入刻蝕溶液之后的照片。圖3左邊的照片是用SMT6在200倍放大時拍攝的，圖3右邊的照片是用SMT6在600倍放大時拍攝的。表I
權利要求
1.一種用于觸摸面板的板件，包括 透明襯底； 在所述透明襯底上的中間透明層；以及 在所述中間透明層上的導電透明層， 其中，所述中間透明層和所述導電透明層中的至少一層包括過氧化合物。
2.根據(jù)權利要求I所述的板件，其中，所述中間透明層包括具有SiO3和SiO4中至少一種的過氧化合物。
3.根據(jù)權利要求I所述的板件，其中，所述導電透明層包括氧進一步與氧化銦錫(ITO)鍵合的過氧化合物。
4.根據(jù)權利要求I所述的板件，其中，所述中間透明層包括具有SiO3和SiO4中至少一 種的過氧化合物，并且所述導電透明層包括氧進一步與ITO鍵合的過氧化合物。
5.根據(jù)權利要求I所述的板件，其中，所述透明襯底是塑料片或塑料膜。
6.一種用于觸摸面板的板件的制造方法，所述方法包括 在透明襯底上形成中間透明層；以及 在所述中間透明層上形成導電透明層， 其中，所述中間透明層和所述導電透明層中的至少一個包括過氧化合物。
7.根據(jù)權利要求6所述的方法，其中，所述中間透明層包括過氧化合物。
8.根據(jù)權利要求7所述的方法，進一步包括 在形成所述中間透明層之前，通過將氧氣注入到氧化物氣體中，形成過氧化合物；以及在形成所述中間透明層的過程中，通過在所述透明襯底上沉積所述過氧化合物來形成所述中間透明層。
9.根據(jù)權利要求8所述的方法，其中，形成所述過氧化合物的步驟包括通過將氧氣注入到SiO2氣體中，生成具有SiO3和SiO4中至少一種的過氧化合物。
10.根據(jù)權利要求6所述的方法，其中，所述導電透明層包括過氧化合物。
11.根據(jù)權利要求10所述的方法，其中，形成所述導電透明層的步驟包括 通過將氧氣注入到氧化物氣體中，形成過氧化合物；以及 在所述中間透明層上沉積所述過氧化合物。
12.根據(jù)權利要求10所述的方法，其中，形成所述導電透明層的步驟包括 通過將氧氣注入到ITO氣體中，生成與更多氧鍵合的ITO過氧化合物；以及 在所述中間透明層上沉積所述ITO過氧化合物。
13.根據(jù)權利要求6所述的方法，其中，所述透明襯底是塑料片或塑料膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于觸摸面板的板件及其制造方法。所述用于觸摸面板的板件包括透明襯底；在所述透明襯底上的中間透明層；以及在所述中間透明層上的導電透明層，其中，所述中間透明層和所述導電透明層中的至少一層包括過氧化合物。
文檔編號G06F3/041GK102667683SQ201080057347
公開日2012年9月12日 申請日期2010年10月15日 優(yōu)先權日2009年10月16日
發(fā)明者徐忠源, 李勤植, 洪赫振, 趙志元, 金炳秀 申請人:Lg伊諾特有限公司