專利名稱:Ic裝備配方編輯器的配置方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種編輯器配置技術(shù),具體的說是一種IC裝備配方編輯器的配置方法。
背景技術(shù):
ICGntegratedcircuit,集成電路)產(chǎn)業(yè)是一個高度專業(yè)化的產(chǎn)業(yè),一般的IC裝備的生產(chǎn)流程都非常復雜,其配方相對于其他行業(yè)來說也更加復雜。在設(shè)計配方編輯器時, 往往需要根據(jù)不同的適用環(huán)境來改變配方的內(nèi)容和結(jié)構(gòu),因此配方編輯器設(shè)計的靈活性問題成為了 IC軟件開發(fā)者的一個難題。常規(guī)的配方編輯器是一種固定形式的編輯器,其靈活性受到了很大的限制。有些配方編輯器可以通過IC軟件中的配置文件來配置其內(nèi)容,但靈活性不強,不能對配方編輯器的具體結(jié)構(gòu),如表格結(jié)構(gòu)進行配置。如果需要對配方結(jié)構(gòu)進行較大的改動,則需要去修改 IC軟件中配方編輯器的程序代碼,很是繁瑣。這樣不僅增加了客戶修改配方結(jié)構(gòu)的復雜性, 有時還需要設(shè)計人員對程序進行修改,增加了開發(fā)成本。同時,由于每一次開發(fā)都要重新設(shè)計配方編輯器的結(jié)構(gòu),增加了二次開發(fā)的復雜性。
發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的IC裝備的配方編輯器的復雜程度較高,靈活性不強等不足之處,本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種可以靈活的對配方編輯器進行配置,節(jié)省配置時間,提高生產(chǎn)和維護的效率的IC裝備配方編輯器的配置方法。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是本發(fā)明一種IC裝備配方編輯器的配置方法包括以下步驟啟動配方編輯器中的配置窗體;在配置窗體中對IC裝備配方中的配置信息進行配置,并保存為配置文件;重新啟動配方編輯器,自動讀取上述配置文件中的信息;配方編輯器根據(jù)所讀取的配置文件信息以及對配方編輯器的結(jié)構(gòu)進行重新設(shè)置, 生成配方編輯器的配方編輯界面。所述配置信息包括數(shù)據(jù)類型、文件信息、參數(shù)信息、嵌套關(guān)系信息以及配方編輯器結(jié)構(gòu)信息。配方編輯器讀取配置文件信息以及對配方編輯器的結(jié)構(gòu)進行重新設(shè)置包括以下步驟將配置文件信息寫入內(nèi)存;判斷配置信息是否有效,如果有效,則根據(jù)內(nèi)存中的配置信息重新分配配方編輯器的結(jié)構(gòu);如果無效,則停止分配配方編輯器結(jié)構(gòu)。還包括讀取IC裝備軟件中配方文件及填充配方編輯器數(shù)據(jù)步驟,具體為
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讀取IC裝備軟件中的配方文件并將配方文件中的信息寫入內(nèi)存;比較內(nèi)存中的配方文件信息與配方編輯器結(jié)構(gòu)是否匹配,如果匹配,則使用配方編輯器對配方文件進行編輯;如果不匹配,則退出配方編輯器。所述判斷配置信息是否有效包括以下步驟讀取配置文件,獲得配置文件總節(jié)點下的各子節(jié)點;判斷配置文件中各子節(jié)點對應各類信息是否存在,如果存在,則遍歷其子節(jié)點,將各類信息寫入內(nèi)存,否則停止讀取并發(fā)送錯誤報告。所述配置文件以XML格式保存;配置文件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)包含若干節(jié)點,按照自定義的一系列規(guī)則來設(shè)定配置文件中的各節(jié)點的名稱和屬性,進而實現(xiàn)對配置文件信息的設(shè)置。配方編輯器的結(jié)構(gòu)為表格形式,利用配置文件的信息對表格結(jié)構(gòu)進行配置。在配置窗體中對IC裝備配方中的配置信息進行配置為在配置窗體中分別編輯配置信息中的各類信息,得到編輯后的各類配置信息并存儲到內(nèi)存中。1.使用方便。本發(fā)明配置文件以定義好的格式作為節(jié)點的標識,用不同層次的節(jié)點來描述對不同的配方信息的配置,可以通過配置文件自定義數(shù)據(jù)類型,使用戶可以在不用修改代碼的情況下對配方編輯器進行有效的配置。2.功能強大。配置功能雖然在很多領(lǐng)域得到了運用,但是常規(guī)的配置只是簡單的對一些參數(shù)進行配置,無法對編輯器的結(jié)構(gòu)進行配置。本發(fā)明可以實現(xiàn)對配方編輯器的表格的結(jié)構(gòu)進行配置,如實現(xiàn)參數(shù)的父子關(guān)系,以及單元格的靈活拆分等。3.擴展性強??梢詫σ粋€配置文件進行修改,成為一個新的配置文件。還可以針對不同的配方類型,將配方編輯器關(guān)聯(lián)到不同的配置文件,實現(xiàn)配方編輯器的多重配置。
圖1為本發(fā)明方法中重新啟動配方編輯器及自動讀取上述配置文件信息流程圖;圖2為本發(fā)明方法中判斷配置信息是否有效流程圖;圖3為本發(fā)明方法中配置窗體程序流程圖;圖4為參數(shù)名為列表頭時的參數(shù)父子關(guān)系示意圖;圖5為本發(fā)明實施例中對配置文件定義示意圖;圖6為應用本發(fā)明方法得到的配方編輯器的編輯界面。
具體實施例方式為解決配方編輯器的靈活性不強的問題,本發(fā)明提供一種對配方編輯器進行配置的方法,即IC裝備配方編輯器的配置方法,可以實現(xiàn)對配方編輯器的靈活配置。本發(fā)明方法所采用的主要步驟如下啟動配方編輯器中的配置窗體;在配置窗體中對IC裝備配方中的配置信息進行配置,并保存為配置文件;重新啟動配方編輯器,自動讀取上述配置文件中的信息;配方編輯器根據(jù)所讀取的配置文件信息以及對配方編輯器的結(jié)構(gòu)進行重新設(shè)置,生成配方編輯器的配方編輯界面。其中配置信息包括數(shù)據(jù)類型、文件信息、參數(shù)信息、嵌套關(guān)系信息以及配方編輯器結(jié)構(gòu)信息。如圖1所示,重新啟動配方編輯器及自動讀取上述配置文件信息過程如下將配置文件信息寫入內(nèi)存;判斷配置信息是否有效,如果有效,則根據(jù)內(nèi)存中的配置信息重新分配配方編輯器的結(jié)構(gòu);如果無效,則停止分配配方編輯器結(jié)構(gòu)并彈出提示。如圖2所示,上述判斷配置信息是否有效為讀取配置文件,獲得配置文件總節(jié)點Recipe下的各子節(jié)點;判斷配置文件中各子節(jié)點對應各類信息是否存在,如果存在,則遍歷其子節(jié)點,將各類信息寫入內(nèi)存,否則停止讀取并發(fā)送錯誤報告。重新啟動配方編輯器及自動讀取上述配置文件信息還包括讀取IC裝備軟件中配方文件及填充配方編輯器數(shù)據(jù)步驟,即讀取IC裝備軟件中的配方文件并將配方文件中的信息寫入內(nèi)存;比較內(nèi)存中的配方文件信息與配方編輯器結(jié)構(gòu)是否匹配,如果匹配,則使用配方編輯器對配方文件進行編輯;否則報告錯誤信息并退出配方編輯器。所述配置文件以XML格式保存,XML(extensible Markup Language)即可擴展標記語言,它與HTML —樣,都是處于SGML,標準通用語言。Xml是hternet環(huán)境中跨平臺的, 依賴于內(nèi)容的技術(shù),是當前處理結(jié)構(gòu)化文檔信息的有力工具。擴展標記語言XML是一種簡單的數(shù)據(jù)存儲語言,使用一系列簡單的標記描述數(shù)據(jù),而這些標記可以用方便的方式建立, 雖然XML占用的空間比二進制數(shù)據(jù)要占用更多的空間,但XML極其簡單易于掌握和使用。配方編輯器的結(jié)構(gòu)為表格形式,利用配置文件的信息對表格結(jié)構(gòu)進行配置。如圖3所示,在配置窗體中對IC裝備配方中的配置信息進行配置,并保存為配置文件,過程如下將配置文件中的配置信息載入內(nèi)存中;判斷上述配置信息是否有效,如有效,則將配置信息中的數(shù)據(jù)填充到配置窗體中;用戶編輯配置窗體,并將配置信息保存到配置文件中,完成一次配置窗體的配置過程。如果不進行將配置信息保存到配置文件中的操作,則退出配置過程;如果配置信息無效,則彈出錯誤提示。配置文件對配方編輯器結(jié)構(gòu)的配置如下設(shè)置配方各參數(shù)的父子關(guān)系,即一個總參數(shù)下包含若干個子參數(shù),在配方編輯器表格中按照嵌套的形式表現(xiàn)出來,如圖4所示。配置文件以XML形式存儲,以下為該XML文件內(nèi)部數(shù)據(jù)的示例〈Recipe〉〈DocumentInfo><PARAM name = " Frozen" value = " 0〃 type = " BOOL" viewtype = “ “ />
<PARAM name = " Name" value = “ “ type = " STRI NG" viewtype = “ “ /><PARAM name=" CreateTime" value = “ “ type = " STRING" viewtype
=〃 “/><PARAM name = “ Creator “ value = “ “ type = “ STRING “ viewtype
=〃 “/><PARAM name=" ReviseTime" value = “ “ type = " STRING" viewtype
=〃 “/><PARAM name = “ Revisor “ value = “ “ type = “ STRING “ viewtype
=〃 “/><PARAM name = " Description" value = “ “ type = " STRING" viewtype
=〃 “/><PARAM name = " Version " value = “ “ type = " STRI NG 〃 viewtype
=〃 “/>〈/DocumentInfo><Step><PARAM name = " 印_Name 〃 value = “ “ type = " STRING" viewtype
=〃 “/><PARAM name = “ End_Condition “ subitem = ‘‘ 2 ‘‘ type =〃 GROUP" viewtype = “ “ /><PARAM name = “ End_Condition Mode “ value = “ Time(Sec) “ type =〃 ENUM" viewtype =““l(fā)ist =" Time(Sec) ;Astron On ;Pre (Torr) ;Temp(°C ) " /><PARAM name = “ End_Condition Value “ value = " \ " type =〃 INT" viewtype = “ “ min = 〃 0〃max=" 1000〃 /><PARAM name = “ MaxTime “ value = " 1 " type = “ INT “ viewtype =〃 “min = “ 0〃 max=" 1000〃 /><PARAM name = " App_PM〃 value = " PMA" type = " ENUM" viewtype =““l(fā)ist = “ PMA ;PMB ;PMC ;PMD ;All 〃 /><PARAM name=" Pressure" subitem = " 2" type =" GROUP" viewtype
=〃 “/><PARAM name = “ Pressure Mode “ value = “ Servo “ type =〃 ENUM" viewtype = “ “ list=" Servo ;TV"/><PARAM name = “ Pressure Value “ value = " 1 " type = “ I NT" viewtype = “ “ min = 〃 0〃 max=" 1000〃 /><PARAM name = " Pin_Position " value = " Home " type =〃 ENUM" viewtype = “ “ list=" Home ; Li ft" /><PARAM name = " Gap:A" value = " 20mm" type = " ENUM" viewtype="“l(fā)ist=" 20mm ;homing" /><PARAM name = " Gap:B" value = " 20mm" type = " ENUM" viewtype ="“l(fā)ist=" 20mm ;homing" /><PARAM name = " RF_time:A〃 value = " 1〃 type = " I NT" viewtype =〃 “min=〃 0〃 max=" 1000〃 /><PARAM name = " RF_time:B〃 value = " 1〃 type = " INT" viewtype =〃 “min=〃 0〃 max=" 1000〃 /><PARAM name = " HF_power:A" value = " 1〃 type = " INT" viewtype =〃 “min=〃 0〃 max=" 1000〃 /><PARAM name = " HF_power:B" value = " 1〃 type = " INT" viewtype =〃 “min=〃 0〃 max=" 1000〃 /></Step>〈/Recipe〉嵌套關(guān)系信息在配置文件中的定義方法如下參數(shù)父子關(guān)系的設(shè)定,是通過設(shè)定參數(shù)節(jié)點的“name”和“type”屬性完成的;如果想將某參數(shù)設(shè)置為父級參數(shù),首先要將其“type”屬性設(shè)置為“GROUP”,同時設(shè)定其“ subitem”屬性為一個常數(shù),表示該父級參數(shù)下包含子參數(shù)的數(shù)量;設(shè)定完父級參數(shù)后,要在父級節(jié)點的后面設(shè)定其子參數(shù),子參數(shù)的設(shè)定只需修改其節(jié)點的“name”屬性,命名規(guī)則為父參數(shù)名稱+空格+子參數(shù)名稱,節(jié)點的其余屬性不變。數(shù)據(jù)類型在配置文件中的定義方法如下
浮點DOUBLE
布爾BOOL~
整型 ΝΤ
字符串 STRING 枚舉型 enUM~ 父參數(shù) GROUP在配置文件中可以自定義數(shù)據(jù)類型,如枚舉型(ENUM)。如XML數(shù)據(jù)所示,如果將某參數(shù)定義為枚舉型,需要同時定義該參數(shù)對應節(jié)點的“l(fā)ist”屬性,在該屬性中添加各枚舉數(shù)據(jù),用分號(;)隔開。在配方編輯器讀取配置信息時,如果發(fā)現(xiàn)某參數(shù)的數(shù)據(jù)類型為枚舉型,則會同時讀取“l(fā)ist”屬性,獲得枚舉中的各數(shù)據(jù)。配方編輯器采用表格形式,可以通過設(shè)置配置文件來對表格結(jié)構(gòu)進行配置。如XML 數(shù)據(jù)所示,如果需要拆分某參數(shù)的單元格,需要將一個參數(shù)分成2個參數(shù),同時將2個新參
7數(shù)的名稱修改為原參數(shù)名+ “ A”和原參數(shù)名+ “ B”。這2個參數(shù)是相互獨立的,可以分別設(shè)置兩個參數(shù)的數(shù)據(jù)類型等各個屬性,使他們成為2個不同的參數(shù)。在配方編輯器讀取配置信息時,如發(fā)現(xiàn)參數(shù)名稱中帶有“ A”和“B”,且“”之前的名稱相同,則會將 2個參數(shù)放在同一個單元格中,并將此單元格拆分為2個單元格,分別填充這2個參數(shù)的數(shù)據(jù)。本實施例中對配置文件定義如圖5所示配置文件為XML格式,根節(jié)點為Recipe。根節(jié)點下包含如下2個子節(jié)點文件信息節(jié)點(Document Info)和配方乂印信息節(jié)點(Step),這2個節(jié)點下又分別包含若干個PARAM節(jié)點,PARAM節(jié)點為配方文件的底層節(jié)點,用于存儲詳細的配置信息。根據(jù)在配方中所實現(xiàn)的功能不同,可將配置文件中的配置信息分為兩大部分,分別為文件信息部分及Mep信息部分,其中每個部分都包含若干個PARAM節(jié)點。文件信息部分中的PARAM節(jié)點為配方文件的底層節(jié)點,每個節(jié)點中包含其對應文件的配置信息,包括創(chuàng)建時間、修改時間、創(chuàng)建者、修改者以及描述Atep信息部分中的每個PARAM節(jié)點對應配方文件中各個參數(shù)的配置信息。應用本發(fā)明方法新建配方的過程在編輯器中實現(xiàn),步驟如下在生成配方編輯器界面之后,在編輯器界面上對配方進行編輯;編輯完成后將配方信息保存為配方文件。應用本發(fā)明方法修改配方的過程也在編輯器中實現(xiàn),步驟如下在生成配方編輯器界面之后,配方編輯器讀取配方文件,獲得配方信息;判斷配方文件信息與配方編輯器結(jié)構(gòu)是否匹配,如果匹配,則進入配方編輯界面進行編輯;修改完成后,將配方信息保存到配方文件;如果不匹配,則報告錯誤信息并退出配方編輯器。如圖6所示,應用本發(fā)明方法得到的配方編輯器的編輯界面,包含如下幾部分最左側(cè)的行標題部分為參數(shù)名稱,運用父參數(shù)與子參數(shù)的嵌套關(guān)系可以實現(xiàn)行標題的嵌套顯示,如“End_Condition”和“Pin_Position”這2個父參數(shù)分別包含“Mode”禾口 “Value”子參數(shù);最上部的列標題部分為每個乂印的序號,如“和“St印2”;中間部分為每個^ep所對應的參數(shù)信息;每個參數(shù)的單元格都與其數(shù)據(jù)類型對應,當參數(shù)類型為枚舉型(ENUM)時,會顯示為下拉菜單格式,下拉菜單的選項為枚舉中的各枚舉值;可以設(shè)定某個參數(shù)的單元格的拆分,如“Gap,,、“ RF_t ime,,和“HF_power ”。
權(quán)利要求
1.一種IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于包括以下步驟啟動配方編輯器中的配置窗體;在配置窗體中對IC裝備配方中的配置信息進行配置,并保存為配置文件;重新啟動配方編輯器,自動讀取上述配置文件中的信息;配方編輯器根據(jù)所讀取的配置文件信息以及對配方編輯器的結(jié)構(gòu)進行重新設(shè)置,生成配方編輯器的配方編輯界面。
2.按權(quán)利要求1所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于所述配置信息包括數(shù)據(jù)類型、文件信息、參數(shù)信息、嵌套關(guān)系信息以及配方編輯器結(jié)構(gòu)信息。
3.按權(quán)利要求1所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于配方編輯器讀取配置文件信息以及對配方編輯器的結(jié)構(gòu)進行重新設(shè)置包括以下步驟將配置文件信息寫入內(nèi)存;判斷配置信息是否有效,如果有效,則根據(jù)內(nèi)存中的配置信息重新分配配方編輯器的結(jié)構(gòu)。
4.按權(quán)利要求3所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于如果無效,則停止分配配方編輯器結(jié)構(gòu)。
5.按權(quán)利要求3所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于還包括讀取IC裝備軟件中配方文件及填充配方編輯器數(shù)據(jù)步驟,具體為讀取IC裝備軟件中的配方文件并將配方文件中的信息寫入內(nèi)存;比較內(nèi)存中的配方文件信息與配方編輯器結(jié)構(gòu)是否匹配,如果匹配,則使用配方編輯器對配方文件進行編輯。
6.按權(quán)利要求5所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于如果不匹配,則退出配方編輯器。
7.按權(quán)利要求3所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于所述判斷配置信息是否有效包括以下步驟讀取配置文件,獲得配置文件總節(jié)點下的各子節(jié)點;判斷配置文件中各子節(jié)點對應各類信息是否存在,如果存在,則遍歷其子節(jié)點,將各類信息寫入內(nèi)存,否則停止讀取并發(fā)送錯誤報告。
8.按權(quán)利要求1所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于所述配置文件以 XML格式保存;配置文件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)包含若干節(jié)點,按照自定義的一系列規(guī)則來設(shè)定配置文件中的各節(jié)點的名稱和屬性,進而實現(xiàn)對配置文件信息的設(shè)置。
9.按權(quán)利要求1所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于配方編輯器的結(jié)構(gòu)為表格形式,利用配置文件的信息對表格結(jié)構(gòu)進行配置。
10.按權(quán)利要求1所述的IC裝備配方編輯器的配置方法,其特征在于在配置窗體中對IC裝備配方中的配置信息進行配置為在配置窗體中分別編輯配置信息中的各類信息, 得到編輯后的各類配置信息并存儲到內(nèi)存中。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種IC裝備配方編輯器的配置方法,包括以下步驟啟動配方編輯器中的配置窗體;在配置窗體中對IC裝備配方中的配置信息進行配置,并保存為配置文件;重新啟動配方編輯器,自動讀取上述配置文件中的信息;配方編輯器根據(jù)所讀取的配置文件信息以及對配方編輯器的結(jié)構(gòu)進行重新設(shè)置,生成配方編輯器的配方編輯界面。本發(fā)明方法使用戶可以在不用修改代碼的情況下對配方編輯器進行有效的配置,可以實現(xiàn)對配方編輯器的表格的結(jié)構(gòu)進行配置,如實現(xiàn)參數(shù)的父子關(guān)系,以及單元格的靈活拆分,還可以針對不同的配方類型,將配方編輯器關(guān)聯(lián)到不同的配置文件,實現(xiàn)配方編輯器的多重配置。
文檔編號G06F17/50GK102456084SQ20101052125
公開日2012年5月16日 申請日期2010年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月27日
發(fā)明者周建輝, 唐達鼎, 姜軍, 康凱, 張彥武, 張萌, 張銳, 林躍, 王宏 申請人:沈陽中科博微自動化技術(shù)有限公司