專利名稱：電容型觸摸面板、顯示裝置及電容型觸摸面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電容型觸摸面板、具有該功能的顯示裝置及電容型觸摸面板的制造方 法。
背景技術(shù)：
電容型觸摸面板是捕捉因人的手指等導(dǎo)電體接近而產(chǎn)生的電容的變化來檢測觸 摸位置的裝置。例如，可用作為因手指觸摸特定部位而操作開關(guān)的觸摸開關(guān)。另外，還開發(fā)有附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置，該附帶電容型觸摸面板功 能的顯示裝置將電容型觸摸面板配置在液晶顯示裝置的表面等，來使顯示和輸入一體化。例如，在預(yù)先決定了要檢測的部位的情況下，也可以如圖17(a)及(b)所示那樣， 將ITOandium Tin Oxide 銦錫氧化物)等透明電極圖案與該部位相對應(yīng)地進(jìn)行布線。圖 17(a)及(b)是表示電容型觸摸面板的透明電極圖案的配置例的說明圖。此外，圖17(a)表 示從觸摸面板的表面?zhèn)?被觸摸的一側(cè))來看的情況下的透明電極圖案的配置例。另外， 圖17(b)是圖17(a)所示的觸摸面板的剖視圖(A-A’剖視圖)。在圖17(a)及(b)所示的 例子中，在透明基板91的背面?zhèn)鹊拿?與被觸摸一側(cè)相反的面)，與所要檢測的各部位相對 應(yīng)地形成有透明電極和其走線布線作為透明電極圖案92。然而，為了檢測出觸摸位置作為χ方向和y方向的任意坐標(biāo)，需要將透明電極圖案 在X方向和y方向上配置成矩陣狀，根據(jù)其交點(diǎn)來檢測出觸摸位置。此外，所謂配置成矩陣 狀，是指以在兩個(gè)方向上將分別獨(dú)立而成列的透明電極圖案與分別在其他方向上成列的透 明電極圖案交叉的方式進(jìn)行配置。上述配置成矩陣狀的方法中有以下一種方法即，至少在兩塊透明基板的單側(cè)的 面上形成有分別沿構(gòu)成矩陣狀的方向中的任一方向排列的透明電極圖案，使形成有該透明 電極圖案的各透明基板通過樹脂等相重合來成為矩陣狀(以下，稱為第一方法)。圖18 (a)及(b)是表示使用第一方法來將透明電極圖案配置成矩陣狀的情況下的 配置例的說明圖。此外，圖18(a)表示從觸摸面板的表面?zhèn)葋砜吹那闆r下的透明電極圖案 的配置例，圖18(b)是圖18(a)所示的觸摸面板的剖視圖(A-A’剖視圖)。在圖18(a)及 (b)所示的例子中，在透明基板911的單側(cè)的面上，形成有與X軸的坐標(biāo)相對應(yīng)地排列的四 列透明電極圖案921，還在透明基板912的單側(cè)的面上，形成有與Y軸的坐標(biāo)相對應(yīng)地排列 的六列透明電極圖案922，使用樹脂等粘接劑93來將這兩片透明基板911和912進(jìn)行貼合， 從而配置成矩陣狀。另外，作為其他方法，還有以下方法S卩，在一片透明基板的表面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊拿?分別形成沿單個(gè)方向排列的透明電極圖案，從而來將透明電極圖案配置為矩陣狀。圖19 (a) 及(b)是表示使用第二方法來將透明電極圖案配置成矩陣狀的情況下的配置例的說明圖。 此外，圖19(a)表示從觸摸面板的表面?zhèn)葋砜吹那闆r下的透明電極圖案的配置例，圖19(b) 是圖19(a)所示的觸摸面板的剖視圖(A-A’剖視圖)。在圖19(a)及(b)所示的例子中，在 透明基板91的表面?zhèn)鹊拿嫔?，形成有與X軸的坐標(biāo)相對應(yīng)地排列的四列透明電極圖案921，還在透明基板91的背面?zhèn)鹊拿嫔?，形成有與Y軸的坐標(biāo)相對應(yīng)地排列的六列透明電極圖案 922，從而將透明電極圖案配置成矩陣狀。例外，例如在專利文獻(xiàn)1中也記載有將透明電極圖案配置成矩陣狀的電容型觸摸 面板的一個(gè)例子?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本專利特開2007-272644號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，在第一方法中，必須使用兩片以上的透明基板，并分別形成透明電極圖案， 因而，存在因形成圖案而制造成本升高的問題。另外，在第二方法中，必須在透明基板的兩個(gè)面都形成透明電極圖案，因而也存在 制造成本升高的問題。另外，還存在透明電極圖案容易被劃傷的問題。此外，在專利文獻(xiàn)1中記載了以下方法即，在一片透明基板的單面配置透明電極 圖案，使形成有該透明電極圖案的透明基板彎曲，從而成為矩陣狀。然而，在該方法中，或許 能夠降低形成圖案的成本，但是由于必須彎曲透明基板，因此，存在限定材料或因加工工序 而制造成本升高的問題。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能抑制制造成本且高品質(zhì)的電容型觸摸面板、 附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置、及電容型觸摸面板的制造方法。更具體而言，其目的 在于提供一種至少對于透明電極圖案容易進(jìn)行圖案形成、構(gòu)成矩陣狀的透明電極圖案的相 對位置精度高、對因接觸而產(chǎn)生的傷痕等的耐用性強(qiáng)的電容型觸摸面板、附帶電容型觸摸 面板功能的顯示裝置、及電容型觸摸面板的制造方法。本發(fā)明的電容型觸摸面板的特征在于，在透明基板的單側(cè)的面上，包括沿第一方 向延伸的多列的列電極；及沿與第一方向交叉的方向即第二方向延伸的多列的列電極，沿 上述第一方向延伸的各列電極和沿上述第二方向延伸的各列電極在其交叉區(qū)域的至少一 部分中設(shè)置電絕緣層，使相互成為電非導(dǎo)通狀態(tài)，并在上述交叉區(qū)域中設(shè)置橋接布線(例 如，橋接布線401)，使上述各列電極中的至少一方成為導(dǎo)通狀態(tài)。另外，對沿第一方向延伸的各列電極和沿第二方向延伸的各列電極以以下方式隔 開來進(jìn)行配置即，除去位于交叉區(qū)域的各方向的列電極的交叉部位中的任一方的交叉部 位，分別在透明基板的同一面中不重疊。另外，第一列電極和第二列電極中至少一方的列電極可以采用以下列電極圖案 (例如，圖3所示列電極圖案2-BD，上述列電極圖案包含多個(gè)電極單位(例如，圖2所示 的電極單位201。和201d)、以及連接該電極單位間的連接布線(例如，圖2所示的連接布線 202)。另外，第一列電極和第二列電極中至少一方的列電極包括列電極圖案(例如，圖 3所示的列電極圖案2、)，該列電極圖案包含以與上述另一方的列電極不重疊的方式斷開 配置的多個(gè)電極單位；以及橋接布線(例如，橋接布線401)，該橋接布線將該列電極圖案所 包含的相鄰電極單位間(例如，圖2所示的電極單位201a*201b)以在與位于該電極單位 間的另一方的列電極之間夾著電絕緣層的狀態(tài)來連接。
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另外，本發(fā)明的電容型觸摸面板在透明基板的單側(cè)的面上，包括包含沿第一方向 排列的多個(gè)斷開的電極單位(例如，圖2所示的電極單位201a，201b)的多列的列電極圖案 (例如，圖3所示的列電極圖案 2-A6)；及包含沿與上述第一方向交叉的方向即第二 方向排列的多個(gè)斷開的電極單位(例如圖2所示的電極單位201。，201d)的多列的列電極 圖案(例如，圖3所示的列電極圖案21 2-B4)，上述第二方向的各列電極圖案還包含連 接布線(例如，連接布線202)，該連接布線連接該列電極圖案所包含的多個(gè)電極單位中相 鄰的電極單位間，上述連接布線在上述列電極圖案與另一方的列電極圖案相交叉的區(qū)域的 至少一部分中，以隔開上述另一方的列電極圖案所包含的電極單位之間的位置關(guān)系進(jìn)行設(shè) 置，設(shè)置電絕緣層(例如，絕緣層3)，該電絕緣層覆蓋用于連接電極單位間所需要的布線區(qū) 域、與位于該電極單位之間的第二方向的列電極圖案的連接布線相重疊的區(qū)域，上述電極 單位間是上述第一方向的列電極圖案所包含的、而未由連接布線連接的電極單位間，并設(shè) 置橋接布線(例如，橋接布線401)，該橋接布線以在與上述第二方向的列電極圖案的連接 布線之間夾著上述電絕緣層的狀態(tài)來連接第一方向的列電極圖案所包含的上述電極單位 間。在這種情況下，利用橋接布線使第一方向的列電極圖案所包含的相鄰的電極單位 彼此之間導(dǎo)通，從而構(gòu)成沿第一方向延伸的列電極，利用連接布線使第二方向的列電極圖 案所包含的相鄰電極單位彼此之間導(dǎo)通，從而構(gòu)成沿第二方向延伸的列電極。另外，本發(fā)明的電容型觸摸面板在透明基板的單側(cè)的面上，包括包含沿第一方向 排列的多個(gè)斷開的電極單位的多列的列電極圖案(例如，圖10所示的列電極圖案2-Ai 2-A6)；及包含沿與上述第一方向交叉的方向即第二方向排列的多個(gè)斷開的電極單位的多 列的列電極圖案(例如，圖10所示的列電極圖案2- 2-B4)，上述第一方向的各列電極 圖案及第二方向的各列電極圖案中至少相交叉的一方的列電極圖案還包含一根以上的連 接布線，該連接布線連接該列電極圖案所包含的多個(gè)電極單位中至少一組相鄰的電極單位 間，上述連接布線在該列電極圖案與另一方的列電極圖案相交叉的區(qū)域的至少一部分中， 以隔開上述另一方的列電極圖案所包含的電極單位之間的位置關(guān)系進(jìn)行設(shè)置，設(shè)置電絕緣 層，該電絕緣層覆蓋用于連接電極單位間所需要的布線區(qū)域、與位于該電極單位之間的其 他列電極圖案相重疊的區(qū)域，上述電極單位間是上述第一方向的列電極圖案及上述第二方 向的列電極圖案所包含的、而未由連接布線連接的電極單位間，并設(shè)置橋接布線，該橋接布 線以在與位于該電極單位間的所述其他列電極圖案之間夾著上述電絕緣層的狀態(tài)來連接 未由上述連接布線連接的電極單位間。由此，設(shè)置連接布線、橋接布線的列電極圖案不限定 為一個(gè)方向，也能對每一交叉區(qū)域決定設(shè)置連接布線的一側(cè)和設(shè)置橋接布線的一側(cè)。在這種情況下，利用橋接布線或連接布線使第一方向的列電極圖案所包含的相鄰 的電極單位彼此之間導(dǎo)通，從而構(gòu)成沿第一方向延伸的列電極，利用橋接布線或連接布線 使第二方向的列電極圖案所包含的相鄰電極單位彼此之間導(dǎo)通，從而構(gòu)成沿第二方向延伸 的列電極。另外，也可以使第一方向的各列電極圖案和第二方向的各列電極圖案以分別在透 明基板的同一面上不重疊的方式進(jìn)行隔開配置。另外，若從形成于透明基板的列電極來看，也可以將起到作為接地功能的透明電 極形成于與被觸摸的一側(cè)相反一側(cè)的整個(gè)基板面。
另外，例如電極單位的形狀也可以是多邊形狀。另外，例如列電極圖案也可以由透 明導(dǎo)電性膜構(gòu)成。另外，本發(fā)明的附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置的特征在于，將采用上述結(jié) 構(gòu)的電容型觸摸面板與可視側(cè)的表面通過樹脂層(例如，粘接層幻進(jìn)行層疊。另外，本發(fā)明的電容型觸摸面板的制造方法的特征在于，在透明基板的單側(cè)的面 的同一面上，包括透明電極圖案形成工序，該透明電極圖案形成工序形成透明電極圖案， 該透明電極圖案包含沿第一方向延伸的列電極圖案、沿第二方向延伸的列電極圖案、以及 連接布線，上述沿第一方向延伸的列電極圖案包含沿第一方向排列的多個(gè)斷開的電極單 位，上述沿第二方向延伸的列電極圖案包含沿與上述第一方向交叉的方向即第二方向排列 的多個(gè)斷開的電極單位，上述連接布線在沿上述第一方向延伸的列電極圖案和沿上述第二 方向延伸的列電極圖案相交叉的區(qū)域即交叉區(qū)域的至少一部分中，連接構(gòu)成一方的列電極 圖案的電極單位間；形成覆蓋以下區(qū)域的電絕緣層的電絕緣層形成工序，上述區(qū)域是用于 連接電極單位間所需要的布線區(qū)域和設(shè)置于該電極單位之間的連接布線相重疊的區(qū)域，上 述電極單位間是以在上述交叉區(qū)域中不與連接布線導(dǎo)通的方式隔開配置的、而構(gòu)成未設(shè)置 該連接布線側(cè)的列電極圖案的電極單位間；以及在上述透明電極圖案形成工序和橋接布 線圖案形成工序之間形成至少覆蓋以下區(qū)域的電絕緣層的電絕緣層形成工序，上述區(qū)域是 上述透明電極圖案所包含的連接布線、與上述橋接布線圖案所包含的橋接布線相重疊的區(qū) 域。另外，電容型觸摸面板的制造方法也可以在透明基板的單側(cè)的面的同一面上，包 括按照以下順序的工序即，透明電極圖案形成工序，該透明電極圖案形成工序形成透明電 極圖案，該透明電極圖案包含沿第一方向延伸的列電極圖案、沿第二方向延伸的列電極圖 案、以及連接布線，上述沿第一方向延伸的列電極圖案包含沿第一方向排列的多個(gè)斷開的 電極單位，上述沿第二方向延伸的列電極圖案包含沿與上述第一方向交叉的方向即第二方 向排列的多個(gè)斷開的電極單位，上述連接布線在沿上述第一方向延伸的列電極圖案和沿上 述第二方向延伸的列電極圖案相交叉的區(qū)域即交叉區(qū)域的至少一部分中，連接構(gòu)成一方的 列電極圖案的電極單位間；電絕緣層形成工序，該電絕緣層形成工序形成覆蓋以下區(qū)域的 電絕緣層，上述區(qū)域是用于連接電極單位間所需要的布線區(qū)域和設(shè)置于該電極單位之間的 連接布線相重疊的區(qū)域，上述電極單位間是在上述交叉區(qū)域中以不與連接布線導(dǎo)通的方式 隔開配置的、而構(gòu)成未設(shè)置該連接布線側(cè)的列電極圖案的電極單位間；以及橋接布線圖案 形成工序，該橋接布線圖案形成工序形成包含橋接布線的橋接布線圖案，該橋接布線將在 上述交叉區(qū)域中以不與連接布線導(dǎo)通的方式隔開配置的上述電極單位間、以在與位于該電 極單位間的連接布線之間夾著上述電絕緣層的狀態(tài)進(jìn)行連接。另外，電容型觸摸面板的制造方法也可以在透明基板的單側(cè)的面的同一面上，包 括按照以下順序的工序即，橋接布線圖案形成工序，該橋接布線圖案形成工序包含橋接布 線，該橋接布線用于連接電極單位間而配置于上述透明基板面的預(yù)定的部位，上述電極單 位間是在形成透明電極圖案時(shí)在上述透明電極圖案所包含的交叉區(qū)域中以不與連接布線 導(dǎo)通的方式隔開配置的、而構(gòu)成未設(shè)有該連接布線側(cè)的列電極圖案的電極單位間，上述透 明電極圖案包括沿第一方向延伸的列電極圖案、沿第二方向延伸的列電極圖案、以及連接 布線，上述沿第一方向延伸的列電極圖案包含沿第一方向排列的多個(gè)斷開的電極單位，上述沿第二方向延伸的列電極圖案包含沿與上述第一方向交叉的方向即第二方向排列的多 個(gè)斷開的電極單位，上述連接布線在沿上述第一方向延伸的列電極圖案和沿上述第二方向 延伸的列電極圖案相交叉的區(qū)域即交叉區(qū)域的至少一部分中，連接構(gòu)成一方的列電極圖案 的電極單位間；電絕緣層形成工序，該電絕緣層形成工序以覆蓋上述橋接布線圖案所包含 的橋接布線的中間部、且使橋接布線的兩端部露出的方式形成電絕緣層；以及透明電極圖 案形成工序，該透明電極圖案形成工序?qū)⑸鲜鐾该麟姌O圖案形成在該透明電極圖案的構(gòu)成 未設(shè)置連接布線側(cè)的列電極圖案的電極單位間利用用于連接該電極單位間的上述橋接布 線而成為導(dǎo)通狀態(tài)的位置。根據(jù)本發(fā)明，由于采用以下結(jié)構(gòu)即，在透明基板的單側(cè)的面上，對于配置成矩陣 狀的第一方向及第二方向的列電極，通過在交叉區(qū)域中設(shè)置電絕緣層而彼此成為電非導(dǎo)通 狀態(tài)，并對各列電極中的至少一方在交叉區(qū)域中通過設(shè)置橋接布線而成為導(dǎo)通狀態(tài)，因此， 能夠獲得以下電容型觸摸面板及附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置，上述電容型觸摸面 板對于電極圖案容易進(jìn)行圖案形成，且構(gòu)成矩陣狀的各列的電極圖案的相對位置精度高， 而且對因接觸而產(chǎn)生的傷痕等的耐用性強(qiáng)。因而，能夠提供一種能抑制制造成本且高品質(zhì) 的電容型觸摸面板、附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置、及電容型觸摸面板的制造方法。


圖1 (a)是表示本發(fā)明的電容型觸摸面板的構(gòu)成例的俯視圖，圖1 (b)是圖1 (a)的 線A-A，的剖視圖。圖2是表示透明電極圖案的配置例的說明圖。圖3是表示透明電極圖案的配置例的說明圖。圖4是表示用于形成絕緣層的掩膜圖案的例子的說明圖。圖5是表示形成有絕緣層的狀態(tài)下的觸摸面板的例子的說明圖。圖6是表示用于形成橋接布線圖案的掩膜圖案的例子的說明圖。圖7是表示在透明基板上層疊有透明電極圖案、絕緣層、及橋接布線圖案的狀態(tài) 的說明圖。圖8(a)是表示先形成橋接布線圖案的情況下的電容型觸摸面板的構(gòu)成例的俯視 圖，圖8(b)是圖8(a)的線A-A’的剖視圖。圖9是表示用于形成透明電極圖案的掩膜圖案的例子的說明圖。圖10是表示透明電極圖案的其他配置例的說明圖。圖11是表示使用圖10所示的透明電極圖案的情況下的列電極的形成例的說明圖。圖12是表示透明電極圖案的其他配置例的說明圖。圖13是表示使用圖12所示的透明電極圖案的情況下的列電極的形成例的說明 圖。圖14(a)及(b)是表示透明電極圖案的其他配置例的說明圖。圖15是示意性表示觸摸面板的其他構(gòu)成例的剖視圖。圖16是示意性表示附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置的構(gòu)成例的剖視圖。圖17(a)是表示電容型觸摸面板的透明電極圖案的配置例的俯視圖，圖17(b)是圖17(a)的線A-A’的剖視圖。圖18(a)是表示使用第一方法將透明電極圖案配置成矩陣狀的情況下的配置例 的俯視圖，圖18(b)是圖18(a)的線A-A’的剖視圖。圖19(a)是表示使用第二方法將透明電極圖案配置成矩陣狀的情況下的配置例 的俯視圖，圖19(b)是圖19(a)的線A-A’的剖視圖。
具體實(shí)施例方式下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1(a)及(b)是表示本發(fā)明的電容型觸 摸面板的構(gòu)成例的說明圖。此外，圖1(a)是本發(fā)明的電容型觸摸面板的一個(gè)例子即觸摸面 板10的俯視圖。另夕卜，圖1 (b)是觸摸面板10的剖視圖(A-A’剖視圖)。此夕卜，圖1 (a)表 示從背面?zhèn)葋砜从|摸面板10的情況下的俯視圖，圖1 (b)表示將觸摸面板10的背面?zhèn)瘸?的剖視圖。圖1(a)及(b)所示的觸摸面板10采用以下結(jié)構(gòu)即，在透明基板1的單側(cè)的面上， 形成沿相交叉的兩個(gè)軸的各軸方向延伸的列電極，該列電極在其交叉部分中通過在中間隔 著電絕緣層從而形成電非接觸狀態(tài)。為了檢測出觸摸位置，而沿各軸方向延伸的各列電極 必須相互獨(dú)立。因此，在本發(fā)明中，在透明基板1的單側(cè)的面上形成有透明電極圖案2和橋 接布線圖案4，上述透明電極圖案2是由以下形式形成的即，使構(gòu)成矩陣狀的各列電極圖 案(沿各軸方向延伸的多列電極圖案)作為一層的透明電極圖案進(jìn)行排列，且在兩列相交 叉的區(qū)域中以某一列不與另一列相接觸的方式來斷開，上述橋接布線圖案4對用于連接透 明電極圖案2的斷開部位的各橋接布線401進(jìn)行圖案形成(成形)，在此基礎(chǔ)上，在橋接布 線圖案4和透明電極圖案2重合的區(qū)域(交叉區(qū)域)中，在透明電極圖案2和橋接布線圖 案4之間設(shè)置有由絕緣性物質(zhì)構(gòu)成的絕緣層3。由此，在透明基板1的單側(cè)的面上形成有配置成矩陣狀的第一軸方向的列電極及 第二軸方向的列電極。此外，在圖1(a)及(b)所示的例子中表示了以下例子即，在透明基板1的單側(cè)的 面上，首先形成透明電極圖案2，以覆蓋該透明電極圖案2的預(yù)定部位(各列電極圖案的交 叉區(qū)域中未斷開的部分)的方式來形成絕緣層3，然后，形成跨過形成于交叉區(qū)域的絕緣層 3而使斷開部位導(dǎo)通的各橋接布線401 (即，橋接布線圖案4)。圖2及圖3表示透明電極圖案2的配置例。圖1(a)及(b)所示的透明電極圖 案2如圖2的局部所示那樣，在將相交的兩個(gè)軸設(shè)為X軸和Y軸的情況下，包括電極單位 集合和連接布線202，上述電極單位集合至少包含沿X軸方向成列的兩個(gè)以上的電極單位 201 (例如，電極單位201a, 201b)和沿Y軸方向成列的兩個(gè)以上的電極單位201 (例如，電極 單位201。，201d)，上述連接布線202使得以在X軸方向和Y軸方向相交叉的位置關(guān)系進(jìn)行 配置的各電極單位(在圖2所示的例子中，電極單位201a、201b、和電極單位201。、電極單位 201d)僅在某一個(gè)軸方向上連接。例如，圖2所示的電極單位201a、201b相當(dāng)于構(gòu)成圖3的 列電極圖案的一個(gè)構(gòu)成要素。另外，例如，圖2所示的電極單位201。、201d相當(dāng)于構(gòu)成 圖3的列電極圖案2-Bi的一個(gè)構(gòu)成要素。此外，在圖2所示的例子中，還表示了引向成為 各列的電極集合的走線布線203(例如，走線布線20;3a，203b)。走線布線203只要與構(gòu)成各 列電極圖案的電極單位201中的任一個(gè)相連接即可。
此外，作為列電極圖案的構(gòu)成要素，也可以不區(qū)別電極單位201和連接布線202， 而將形成作為連接為一體的電極的單位表現(xiàn)作為一個(gè)透明電極。例如，在圖2所示的例子 中，也可以包含電極單位201。、電極單位201d、連接布線202、走線布線20 而表現(xiàn)為一個(gè)透 明電極。在這種情況下，在圖2所示的例子中，透明電極圖案2也可以表現(xiàn)為包含三個(gè)以上 的獨(dú)立透明電極，上述三個(gè)以上的獨(dú)立透明電極包含一個(gè)透明電極(此處，透明電極包括 電極單位201。、電極單位201d、連接布線202、及走線布線203b)、及將該透明電極夾在中間 進(jìn)行配置的兩個(gè)透明電極(此處，包括電極單位201a的透明電極、和包括電極單位201b、引 線布線20 的透明電極)。例外，也可以不區(qū)分電極單位201和連接布線202，而將沿第一 方向或第二方向延伸的列電極中的一方設(shè)為一連串的帶狀電極。在本發(fā)明中，如圖3所示，無論電極單位201間是否由連接布線202連接，都將以 沿各軸方向成列的方式配置有電極單位201所形成的列電極作為一個(gè)列電極圖案。即這是 因?yàn)椋词勾藭r(shí)電極單位間未由連接布線202連接，但最終也由橋接布線401連接。例如， 在圖3中表示了形成有10個(gè)列電極圖案 Z-A6J-B1 2-B4的例子。即，在本發(fā)明 中，通過利用連接布線202或橋接布線401使各列電極圖案中包含的各電極單位201導(dǎo)通， 從而構(gòu)成矩陣狀的各列電極。在圖3中表示了以下例子即，作為沿X軸方向成列的列電極圖案，而形成有用于 檢測Y軸坐標(biāo)的六列的列電極圖案2、 2-A6。另外，還表示了以下例子即，作為沿Y軸 方向成列的列電極圖案，而形成有用于檢測X軸坐標(biāo)的四列的列電極圖案2-Bi 2-B4。各電極單位201以根據(jù)其形狀而分別在平面上隔置、分離且間隙較少的方式進(jìn)行 配置，只要作為觸摸面板能獲得任意的精度即可。例如，對于沿X軸方向成列的電極單位 201和沿Y軸方向成列的電極單位201，也能以密集地配置于整個(gè)觸摸區(qū)域的方式，且各軸 方向的列電極圖案2相交叉的區(qū)域是盡可能小的區(qū)域的方式，以長方形、菱形、六邊形這些 多邊形狀，將它們相互交叉或串接排列。另外，對于電極單位，也可以在其形狀內(nèi)設(shè)置切口 或孔。由此，能使使用者不易識(shí)別出電極單位。透明基板1是電絕緣性的基板，例如可以是玻璃基板、PET(聚對苯二甲酸乙二醇 脂)薄膜/片材、PC(聚碳酸酯)薄膜/片材等。另外，作為構(gòu)成絕緣層3的透明性的電絕緣性物質(zhì)，例如，可以使用S^2等無機(jī)材 料、光刻樹脂等有機(jī)樹脂材料。在前者的SiO2的情況下，能利用濺射法容易地獲得形成圖案 后的絕緣層，在光刻樹脂的情況下，能夠利用光刻工藝容易地獲得形成圖案后的絕緣層。另 外，在使用掩膜利用濺射法來用無機(jī)材料形成絕緣層的情況下，因與掩膜的位置對準(zhǔn)精度 的誤差的關(guān)系，需要加長橋接布線，進(jìn)一步安全確保橋接布線的電連接，在另一種光刻工藝 的情況下，如上所述那樣容易對絕緣層進(jìn)行圖案形成。特別在透明基板是玻璃基板的情況下，最好使用具有與玻璃基板的表面所產(chǎn)生的 硅烷醇基進(jìn)行反應(yīng)的基團(tuán)的光刻樹脂是感光性樹脂。通過使用相關(guān)感光性樹脂，從而能夠 在玻璃基板和感光性樹脂之間產(chǎn)生化學(xué)結(jié)合來形成緊貼力高的絕緣層。例如，作為感光性 樹脂，可以舉出感光性聚烯酸類樹脂、感光性甲基丙烯類樹脂、感光性聚酰亞胺類樹脂、感 光性聚硅氧烷類樹脂、感光性聚乙烯類樹脂、及感光性丙烯聚氨酯類樹脂等。另外，在從透明基板的背面?zhèn)?、即與人們的手指等觸摸的一側(cè)相反的面來看絕緣 層時(shí)，特別在由金屬材料形成橋接布線的情況下，在因該材料的金屬色而顯眼的情況下，最好以隱蔽性的材料來形成絕緣層。作為構(gòu)成橋接布線圖案4(即，各橋接布線401)的導(dǎo)電物質(zhì)，可以使用例如ITO的 透明電導(dǎo)性膜。另外，將各橋接布線401的布線寬度形成得較細(xì)，從而還能夠使用Mo(鉬)、 Al(鋁)、Au(金)這些金屬材料。在使用金屬材料的情況下，也可以采用多層結(jié)構(gòu)。例如， 可以是Mo-Al-Mo的三層結(jié)構(gòu)。另外，為了不易被腐蝕，也可以采用合金。例如，已知有若 為Mo，則能微量地添加Nb (鈮)，若為Al，則能微量地添加Nd (釹)。在由相關(guān)金屬材料構(gòu) 成橋接布線的情況下，不一定需要透明性，可以是有反射性。特別在透明基板為玻璃基板的情況下，最好能夠使用相對于玻璃基板的緊貼力 高、比ITO的導(dǎo)電性高、耐用性、耐磨損性也優(yōu)異的Mo、Mo合金、Al、AL合金、Au、Au合金等 金屬材料。作為具有更高耐腐蝕性的合金，可以舉出例如Mo-Nb類合金、Al-Nd類合金等作 為優(yōu)選例。對于由相關(guān)金屬材料構(gòu)成的橋接布線，由于相比由ITO形成的橋接布線的導(dǎo)電 性要高，因此能夠使橋接布線的布線寬度變細(xì)、變短、或變薄，能夠提高橋接布線的設(shè)計(jì)的 自由度，還能改良橋接布線的外觀，在產(chǎn)品的設(shè)計(jì)上也是優(yōu)選的。接著，對本實(shí)施方式的觸摸面板10的制造方法進(jìn)行說明。首先，在透明基板1的 單側(cè)的面上，使用濺射法等來使ITO成膜，利用光刻技術(shù)等將成膜后的ITO膜加工成圖3所 示的圖案形狀，從而形成透明電極圖案2。接著，使用圖4所示的掩膜圖案7，對形成有透明 電極圖案2的透明基板1的同一面(形成有透明電極圖案2的面)使用濺射法等來使絕緣 性物質(zhì)成膜，從而形成如圖5所示那樣的覆蓋透明電極2的特定部位(沿X軸方向成列的 列電極圖案和沿Y方向成列的列電極圖案相交叉的區(qū)域)的絕緣層3。圖5是表示形成有 絕緣層3的狀態(tài)下的觸摸屏10的例子的說明圖。接著，使用圖6所示的掩膜圖案8，對形成有絕緣層3的透明基板1的同一面(形 成有絕緣層3的面)使用濺射法等來使導(dǎo)電物質(zhì)成膜，從而形成以跨過絕緣層3之上的方 式來配置使透明電極圖案2的特定部位(列電極圖案2中斷開而形成的電極單位間)連接 的各橋接布線401的橋接布線圖案4。由此，完成圖1(a)及(b)所示的狀態(tài)。圖7是對透明基板1上層疊有透明電極圖案2、絕緣層3、及橋接布線圖案4的狀態(tài) 進(jìn)行放大表示的說明圖。此外，圖7表示將列電極圖案和列電極圖案2-Bi相交叉的區(qū) 域在X方向上切斷的情況下的剖視圖。如圖7所示，例如在列電極圖案和列電極圖案 ？^工相交叉的區(qū)域中，作為透明電極圖案2，只要以斷開的形狀(斷開形狀)形成列電極圖 案2-Ai，除此之外以未斷開的形狀(連接形狀)來形成列電極圖案2-Bi即可。然后，以覆蓋 用連接形狀形成的列電極圖案2-Bi的連接布線202部分的方式形成絕緣層3，形成包含橋 接布線401的圖案4，上述橋接布線401跨過上述絕緣層3而使斷開的列電極圖案(更 具體而言，構(gòu)成列電極圖案而排列成一列的兩個(gè)電極單位201)連接。此外，在圖1(a)及(b)所示的例子中，舉例表示了以下例子即，最初形成透明電 極圖案2，接著形成絕緣層3，再接著形成橋接布線圖案4，但也可以顛倒該順序。S卩，可以最 初形成在成為交叉區(qū)域的部分配置各橋接布線401的橋接布線圖案4，接著，以覆蓋該橋接 布線401的中間部且使兩端部露出的方式形成絕緣層3，接著，通過以下方式來形成透明電 極圖案2 S卩，將各橋接布線401的兩端部與未利用各列電極圖案所包含的連接布線連接的 相鄰的兩個(gè)電極單位相連接，來使該電極單位間成為導(dǎo)通狀態(tài)。此外，在本發(fā)明中，若是位 于交叉區(qū)域的與構(gòu)成一方的列電極圖案的透明電極(例如，連接布線202、帶狀電極)之間夾著絕緣層3的狀態(tài)下連接構(gòu)成另一方的列電極圖案的斷開的透明電極的布線，則無論是 以跨過絕緣層3之上的方式形成，還是埋在絕緣層3之下的方式形成，都將其稱為橋接布線 401。圖8(a)及(b)是表示先形成橋接布線圖案4的情況下的電容型觸摸面板的構(gòu)成 例的說明圖。在圖8(a)及(b)所示的例子中，表示了以下例子即，在透明基板1的單側(cè)的 面上，首先形成在成為交叉區(qū)域的部位配置有各橋接布線401的橋接布線圖案4，接著，以 覆蓋各橋接布線401的中間部且使兩端部露出的方式形成絕緣層3，之后，通過以下方式來 形成透明電極圖案2 S卩，將各橋接布線401的兩端部與未利用各列電極圖案所包含的連接 布線連接的相鄰的兩個(gè)電極單位相連接，來使該電極單位間成為導(dǎo)通狀態(tài)。此外，對于透明電極圖案2的形成方法，同樣可以利用光刻技術(shù)等將使用濺射法 成膜的ITO膜加工成所希望的形狀。另外，也可以使用圖9所示的掩膜圖案9，對形成有絕 緣層3的透明基板1的同一面(形成有絕緣層3的面)使用濺射法等來形成ITO膜。另外，在圖1(a) 圖9中，表示了以下例子即，對于相交叉的各列電極圖案2，將 一個(gè)軸方向的列電極圖案設(shè)為斷開形狀，將另一個(gè)軸方向的列電極圖案設(shè)為連接形狀，但 例如對于相同軸方向的列電極圖案，也可以形成以下圖案即，將某列電極圖案設(shè)為連接形 狀，或?qū)⒛沉须姌O圖案設(shè)為斷開形狀。另外，也可以形成以下圖案即，例如在一個(gè)列電極圖 案中，在某電極單位間設(shè)為連接形狀，在某電極單位間設(shè)為斷開形狀。例如，如圖10所示那樣表示了以下例子S卩，將沿X軸方向成列的列電極圖案 2-K 2-A6中的列電極圖案2-A2、2-A4、2-A6形成為連接形狀，將另外的列電極圖案2_~、 2-A3、2-A5B成為斷開形狀，另外，將沿Y軸方向成列的電極圖案24-2^以包含斷開 形狀的部分和連接形狀的部分的形狀來形成。對于沿Y軸方向成列的列電極圖案2-Bi 2-B4，成為使隔著兩個(gè)單位相鄰的電極單位201相連接的形狀。在形成圖10所示配置例的 透明電極圖案2的情況下，最后形成圖11所示的列電極。另外，如圖12所示，也能以包含斷開形狀的部分和連接形狀的部分的形狀來形成 相交叉的各列電極圖案。此外，在形成圖12所示配置例的透明電極圖案2的情況下，最后 形成圖13所示的列電極。對于列電極圖案的連接方式，只要以包含以下連接布線的方式形 成即可，即，所示連接布線在包含沿第一軸方向排列的多個(gè)電極單位的列電極圖案和包含 沿第二軸方向排列的多個(gè)電極單位的列電極圖案相交叉的區(qū)域即交叉區(qū)域中，僅使任一方 的列電極圖案中所包含的電極單位間連接。圖14(a)及(b)是表示透明電極圖案2的其他配置例的說明圖。此外，圖14(a) 表示層疊有透明電極圖案2、絕緣層3、及橋接布線4的狀態(tài)。另外，圖14(b)是表示在圖 14(a)所示的列電極圖案和2-Bi相交叉的區(qū)域附近層疊有透明電極圖案2、絕緣層3、 及橋接布線圖案4的狀態(tài)的說明圖。如圖14(a)及(b)所示，對于Y軸方向，將作為一個(gè)單 位的矩形形狀的電極單位201呈交錯(cuò)狀地配置兩列，利用連接布線202連接配置后的電極 單位201間，設(shè)為交錯(cuò)狀的列電極圖案2-Bi 2-B3，另一方面，對于X軸方向，將作為一個(gè)單 位的矩形形狀的電極單位201呈交錯(cuò)狀地配置兩列，利用連接布線202或橋接布線401連 接配置后的電極單位201間，設(shè)為交錯(cuò)狀的列電極圖案2-Ai 2-A4。在該圖中，對于構(gòu)成 一個(gè)列電極圖案的矩形形狀的各電極單位201，隔著稍許間隔隔置、斷開來配置成交錯(cuò)狀， 但是作為整體是沿X軸方向或Y軸方向延伸，在X軸方向或Y軸方向上成列。此外，在圖
1314(a)中，對X軸方向的列電極圖案和Y軸方向的列電極圖案附加不同的陰影顯示，以使得 能夠容易地區(qū)別在哪個(gè)軸方向上成列。此外，盡管在表示構(gòu)成例的附圖中省略了圖示，但觸摸面板10包括通過透明電極 圖案2的各列電極圖案來檢測電容的電路部。該電路部可以通過例如各列電極圖案的走線 布線203的端子部和柔性薄膜等來連接。此外，也可以在與各列電極圖案的走線布線203 的端子部相連接的柔性薄膜上直接搭載IC芯片來構(gòu)成電路部。另外，例如圖15所示那樣，觸摸面板10在形成于透明基板1上的列電極(更具體 而言，包括將絕緣層3夾在中間而層疊而的透明電極圖案2和橋接布線圖案4的X軸方向 及Y軸方向的列電極)之上，設(shè)置通過UV固化性樹脂等粘接層5層疊的保護(hù)玻璃6。圖15 是示意性表示觸摸面板10的其他構(gòu)成例的剖視圖。此外，在采用上述結(jié)構(gòu)的情況下，也能 夠從保護(hù)玻璃6 —側(cè)檢測出觸摸位置。另外，例如圖16所示，也可以采用以下結(jié)構(gòu)即，將觸摸面板10與液晶顯示裝置 等顯示裝置進(jìn)行組裝，來構(gòu)成作為附帶可檢測出觸摸位置的電容型觸摸面板功能的顯示裝 置。圖16是示意性表示附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置的構(gòu)成例的剖視圖。圖16 所示的附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置100包括觸摸面板構(gòu)成部10、顯示面板構(gòu)成部 20、及背光源31。觸摸面板構(gòu)成部10可采用與圖1 (a)及(b)所示的觸摸面板10相同的結(jié)構(gòu)。艮口， 可在透明基板1的單側(cè)的面上，形成有配置成矩陣狀的起到作為透明電極圖案的作用的列 電極(更具體而言，包括將絕緣層3夾在中間而層疊的透明電極圖案2和橋接布線圖案4 的X軸方向及Y軸方向的列電極)。另外，顯示面板構(gòu)成部20也可以與一般的顯示裝置相同。例如，若為液晶顯示裝 置，可以采用以下結(jié)構(gòu)即，在第一透明基板21和第二透明基板22之間夾著液晶23。此外， 標(biāo)號M、25表示偏光板。另外，標(biāo)號沈表示驅(qū)動(dòng)IC。此外，為了控制液晶的狀態(tài)，在各透明基板21，22上形成段電極、公共電極等，但 省略這些電極的圖示。另外，液晶23由各透明基板21、22、及密封材料密封，但省略密封材 料的圖示。例如，可以使形成于觸摸面板構(gòu)成部10的透明基板1上的列電極、和顯示面板構(gòu) 成部20的可視側(cè)的最上層(此處，是偏光板24)通過UV固化性樹脂等粘接層5進(jìn)行重合， 來構(gòu)成作為一個(gè)液晶顯示裝置。在圖16所示的例子中，表示出了將構(gòu)成觸摸面板的透明基 板1的形成有列電極的面作為液晶顯示裝置側(cè)來進(jìn)行重合的例子。由此，由于用于檢測觸 摸位置的列電極只形成于透明基板1的單側(cè)的面，因此不需要增加保護(hù)玻璃這些零部件數(shù) 量，就能容易地組裝顯示裝置。另外，通過與根據(jù)觸摸狀況來改變顯示內(nèi)容等顯示裝置的結(jié) 合，能夠容易地知道顯示面板的按壓位置。此外，通過與液晶顯示裝置重合，從而即使在從形成于觸摸面板構(gòu)成部10的透明 基板1的各列電極圖案檢測出的電容的變化中產(chǎn)生噪音的情況下，也能在觸摸面板構(gòu)成部 10和顯示面板構(gòu)成部20之間設(shè)置起到作為接地作用的透明電極。能以不形成圖案而覆蓋 面板區(qū)域整個(gè)面的方式來形成設(shè)置于觸摸面板構(gòu)成部10和顯示面板構(gòu)成部20之間的透明 電極。此外，對于起到作為接地作用的透明電極，可以在從形成于觸摸面板構(gòu)成部10的透明基板1的列電極來看時(shí)，形成于位于與被觸摸側(cè)相反一側(cè)的位置。例如，對于觸摸面板 構(gòu)成部10，也可以采用以下結(jié)構(gòu)S卩，例如圖15所示那樣，相對于形成于透明基板1的列電 極隔著樹脂等粘接劑5來層疊保護(hù)玻璃6，在與液晶顯示面板構(gòu)成部20的最上層重合一側(cè) 的整個(gè)基板面形成ITO等透明電極，且再次隔著UV固化性樹脂等粘接層5重合。根據(jù)上述 結(jié)構(gòu)，能夠不受來自顯示裝置的噪音的影響而保持穩(wěn)定，來檢測觸摸位置。此外，對于形成有用于檢測出觸摸位置的列電極的透明基板1，作為用于層疊顯示 裝置、保護(hù)玻璃(保護(hù)蓋)等的方法，示出了使用UV固化性樹脂等的例子，但其他還有使用 雙面粘著薄膜(PSA)的方法。在使用PSA的情況下，例如在列電極上粘貼PSA，之后，在真空 中實(shí)施與液晶顯示裝置、保護(hù)蓋的重合。此外，最好使用高壓釜裝置(加壓脫泡裝置)等來 不產(chǎn)生氣泡并加壓。另外，在使用樹脂的情況下，只要在透明基板上的列電極之上涂布液體 狀的樹脂，緩慢地使液晶顯示裝置、保護(hù)蓋層疊，最后進(jìn)行UV曝光來使樹脂固化即可。此外，在圖1(a) 14中，將X軸方向作為第一方向、Y軸方向作為第二方向來對 沿各方向延伸的列電極進(jìn)行了說明，但是當(dāng)然也可以將X軸方向作為第二方向，將Y軸方向 作為第一方向。下面，說明本發(fā)明的實(shí)施例。[實(shí)施例1]第一實(shí)施例是為了獲得橫4cmX縱6cm的觸摸區(qū)域而將4列X6列的列電極圖案 配置成矩陣狀的觸摸面板的例子。在本實(shí)施例中，在0. 55mm的玻璃基板的單側(cè)的面上，利 用濺射法對膜厚為20納米的ITO膜進(jìn)行成膜，利用光刻技術(shù)將其加工成圖3所示的圖案形 狀，形成透明電極圖案2。即，將構(gòu)成各列電極圖案的電極單位201的形狀設(shè)為菱形，形成透 明電極圖案2，該透明電極圖案2包括六列的列電極圖案2、 2-A6，該六列的列電極圖 案 2-~包括沿橫方向即X軸方向成列的電極單位集合；四列的列電極圖案24 2-B4，該四列的列電極圖案2-Bi 2- 包括沿縱方向即Y軸方向成列的電極單位集合；以 及對其進(jìn)行引線的走線布線。此外，在本實(shí)施例中，在各列電極圖案中，對于包括沿Y軸方 向成列的電極集合的列電極圖案21 2-B4，設(shè)置連接各電極的連接布線202來設(shè)為連接 形狀，對于另一方的列電極圖案 2-A6，不設(shè)置連接布線202而將各電極設(shè)為斷開的 斷開形狀。另外，在本例中，將菱形的電極單位201的一邊的長度設(shè)為5mm，將連接布線202 的寬度設(shè)為0. 5mm，將連接布線202的長度設(shè)為1. 5mm。接著，使用圖4所示的掩膜圖案7，對S^2進(jìn)行成膜，使得膜厚為100納米，來形成 絕緣層3。作為掩膜圖案7，使用按照絕緣層3的配置位置及形狀而開有孔的金屬板。此處， 如圖4所示，使用能對絕緣層3進(jìn)行成膜的掩膜圖案7，使得覆蓋按照連接形狀形成的列電 極圖案2-Bi 2-B4、和之后形成的橋接布線圖案4重疊的區(qū)域。此外，在本例中，對于一層 絕緣層3，設(shè)X軸方向的長度為1. 5mm, Y軸方向的長度為3mm。接著，使用圖6所示的掩膜圖案8，對ITO進(jìn)行成膜，使得膜厚為200納米，來形成 橋接布線圖案4。作為掩膜圖案8，使用按照橋接布線圖案4的配置位置及形狀而開有孔 的金屬板。此處，如圖6所示，使用能夠?qū)蚪硬季€圖案4進(jìn)行成膜的掩膜圖案8，上述橋 接布線圖案4跨過各絕緣層3，配置有使得以斷開形狀形成的列電極圖案 2-A6所包 含的各電極單位間導(dǎo)通的橋接布線401。此外，在本例中，對一根連接布線，設(shè)布線寬度為 0. 5mm,設(shè)長度為3mm。
然后，將電路基板通過柔性薄膜與形成于透明基板1上的各列電極圖案的走線布 線203的端子部相連接。可確認(rèn)利用由此完成的觸摸面板10能夠感知手指所觸摸的部位。另外，對于由此完成的觸摸面板10，即使隔著樹脂的粘接層5將保護(hù)玻璃6進(jìn)行層 疊，也能確認(rèn)可感知手指所觸摸的部位。[實(shí)施例2]第二實(shí)施例是改變第一實(shí)施例的成膜順序的實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在0. 55mm玻 璃基板的單側(cè)的面上，首先使用圖6所示的掩膜圖案8對ITO進(jìn)行成膜，使得膜厚為20納 米，形成橋接布線圖案4。接著，使用圖4所示的掩膜圖案7，對S^2進(jìn)行成膜，使得膜厚為 100納米，來形成絕緣層3。在此基礎(chǔ)上，利用濺射法對膜厚為20納米的ITO膜進(jìn)行成膜， 利用光刻技術(shù)將其加工成圖3所示的圖案形狀，形成透明電極圖案2。然后，將電路基板通過柔性薄膜與形成于透明基板1上的各列電極圖案的走線布 線203的端子部相連接?？纱_認(rèn)利用由此完成的觸摸面板10能夠感知手指所觸摸的部位。[實(shí)施例3]實(shí)施例3是使用金屬材料形成橋接布線圖案4的實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在實(shí)施 例1的制造方法中，在形成橋接布線圖案4時(shí)，使用含有Nb的Mo作為導(dǎo)電物質(zhì)。在本實(shí)施 例中，在利用濺射法對膜厚為100納米的Mo(含有Nb)膜進(jìn)行成膜，對其利用光刻技術(shù)，形 成橋接布線圖案4。在本實(shí)施例中，對于一根連接布線202，將布線寬度設(shè)為20μπι。然后，將電路基板通過柔性薄膜與形成于透明基板1上的各列電極圖案的走線布 線203的端子部相連接?？纱_認(rèn)利用由此完成的觸摸面板10能夠感知手指所觸摸的部位。盡管使用了金屬材料作為導(dǎo)電物質(zhì)，但是通過將布線寬度形成得較細(xì)，從而能確 認(rèn)從外表來看還沒有到成為問題的程度。另外，即使是第二實(shí)施例所示的成膜順序，也同樣可以確認(rèn)能夠感知手指觸摸的 部位、及從外表來看還沒有到成為問題的程度。[實(shí)施例4]在本實(shí)施例中，在同樣的玻璃基板的單面上，使用形成包含與圖14(a)及(b)所示 的透明電極圖案2的圖案相對應(yīng)的各橋接布線401的橋接布線圖案4那樣的掩膜，利用濺 射法形成由膜厚100納米的含有Nb的Mo層構(gòu)成的橋接布線圖案4。接著，使用感光性的 光刻樹脂，利用光刻工藝法，以使上述各橋接布線401的兩端露出的方式來局部地形成絕 緣層3。接著，在此基礎(chǔ)上，利用濺射法對膜厚為20納米的ITO透明導(dǎo)電膜進(jìn)行成膜，對于 該ITO膜，利用光刻工藝法形成圖14(a)及(b)所示那樣的包含沿X軸方向及Y軸方向成 列的多個(gè)列電極圖案的透明電極圖案2。然后，將電路基板通過柔性薄膜與形成于透明基板1上的各列電極圖案的走線布 線203的端子部相連接?？纱_認(rèn)利用由此完成的觸摸面板10能夠感知手指所觸摸的部位。工業(yè)上的實(shí)用性本發(fā)明可適用于利用矩陣方式來檢測觸摸位置的觸摸面板及包括上述觸摸面板 功能的顯示裝置。此外，此處引用2008年9月12日申請的日本專利申請第2008-234934號的說明 書、權(quán)利要求書的范圍、附圖、及說明書摘要的全部內(nèi)容，將其引入作為本發(fā)明的說明書披 露的內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種電容型觸摸面板，其特征在于，在透明基板的單側(cè)的面上，包括沿第一方向延伸的多列的列電極；及沿與所述第一 方向交叉的方向即第二方向延伸的多列的列電極，沿所述第一方向延伸的各列電極和沿所述第二方向延伸的各列電極在其交叉區(qū)域的 至少一部分中設(shè)置電絕緣層，使相互成為電非導(dǎo)通狀態(tài)，并在所述交叉區(qū)域中設(shè)置橋接布 線，使所述各列電極中的至少一方成為導(dǎo)通狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的電容型觸摸面板，其特征在于，對沿第一方向延伸的各列電極和沿第二方向延伸的各列電極以以下方式隔開來進(jìn)行 配置即，除去位于交叉區(qū)域的各方向的列電極的交叉部位中的任一方的交叉部位，分別在 透明基板的同一面中不重疊。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的電容型觸摸面板，其特征在于，第一列電極和第二列電極中的至少一方的列電極包括包含多個(gè)電極單位、和連接該電 極單位間的連接布線的列電極圖案。
4.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的電容型觸摸面板，其特征在于，第一列電極和第二列電極中的至少一方的列電極包括列電極圖案，該列電極圖案包 含以不與所述另一方的列電極重疊的方式間隔配置的多個(gè)電極單位；以及橋接布線，該橋 接布線將該列電極圖案所包含的相鄰的電極單位間以在與位于該電極單位間的另一方的 列電極之間夾著電絕緣層的狀態(tài)來連接。
5.一種電容型觸摸面板，其特征在于，在透明基板的單側(cè)的面上，包括包含沿第一方向排列的多個(gè)斷開的電極單位的多列 的列電極圖案；及包含沿與所述第一方向交叉的方向即第二方向排列的多個(gè)斷開的電極單 位的多列的列電極圖案，所述第二方向的各列電極圖案還包含連接布線，該連接布線連接該列電極圖案所包含 的多個(gè)電極單位中相鄰的電極單位間，所述連接布線在該列電極圖案與另一方的列電極圖案相交叉的區(qū)域的至少一部分中， 以隔開所述另一方的列電極圖案所包含的電極單位之間的位置關(guān)系進(jìn)行設(shè)置，設(shè)置電絕緣層，該電絕緣層覆蓋用于連接電極單位間所需要的布線區(qū)域、與位于該電 極單位之間的第二方向的列電極圖案的連接布線相重疊的區(qū)域，所述電極單位間是所述第 一方向的列電極圖案所包含的、而未由連接布線連接的電極單位間，并設(shè)置橋接布線，該橋 接布線以在與所述第二方向的列電極圖案的連接布線之間夾著所述電絕緣層的狀態(tài)來連 接第一方向的列電極圖案所包含的所述電極單位間。
6.如權(quán)利要求5所述的電容型觸摸面板，其特征在于，利用橋接布線使第一方向的列電極圖案所包含的相鄰的電極單位彼此之間導(dǎo)通，從而 構(gòu)成沿第一方向延伸的列電極，利用連接布線使第二方向的列電極圖案所包含的相鄰電極 單位彼此之間導(dǎo)通，從而構(gòu)成沿第二方向延伸的列電極。
7.一種電容型觸摸面板，其特征在于，在透明基板的單側(cè)的面上，包括包含沿第一方向排列的多個(gè)斷開的電極單位的多列 的列電極圖案；及包含沿與所述第一方向交叉的方向即第二方向排列的多個(gè)斷開的電極單 位的多列的列電極圖案，所述第一方向的各列電極圖案及第二方向的各列電極圖案中至少相交叉的一方的列 電極圖案還包含一根以上的連接布線，該連接布線連接該列電極圖案所包含的多個(gè)電極單 位中至少一組相鄰的電極單位間，所述連接布線在該列電極圖案與另一方的列電極圖案相交叉的區(qū)域的至少一部分中， 以隔開所述另一方的列電極圖案所包含的電極單位之間的位置關(guān)系進(jìn)行設(shè)置，設(shè)置電絕緣層，該電絕緣層覆蓋用于連接電極單位間所需要的布線區(qū)域、與位于該電 極單位之間的其他列電極圖案相重疊的區(qū)域，所述電極單位間是所述第一方向的列電極圖 案及所述第二方向的列電極圖案所包含的、而未由連接布線連接的電極單位間，并設(shè)置橋 接布線，該橋接布線以在與位于該電極單位間的所述其他列電極圖案之間夾著所述電絕緣 層的狀態(tài)來連接未由所述連接布線連接的電極單位間。
8.如權(quán)利要求7所述的電容型觸摸面板，其特征在于，利用橋接布線或連接布線使第一方向的列電極圖案所包含的相鄰的電極單位彼此之 間導(dǎo)通，從而構(gòu)成沿第一方向延伸的列電極，利用橋接布線或連接布線使第二方向的列電極圖案所包含的相鄰電極單位彼此之間 導(dǎo)通，從而構(gòu)成沿第二方向延伸的列電極。
9.如權(quán)利要求3至權(quán)利要求8中任一項(xiàng)所述的電容型觸摸面板，其特征在于， 使第一方向的各列電極圖案和第二方向的各列電極圖案以分別在透明基板的同一面上不重疊的方式進(jìn)行隔開配置。
10.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求9中任一項(xiàng)所述的電容型觸摸面板，其特征在于，從形成于透明基板的列電極來看，將起到作為接地功能的透明電極形成于與被觸摸的 一側(cè)相反一側(cè)的整個(gè)基板面。
11.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求10中任一項(xiàng)所述的電容型觸摸面板，其特征在于， 電極單位的形狀為多邊形狀。
12.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求11中任一項(xiàng)所述的電容型觸摸面板，其特征在于， 至少列電極圖案由透明導(dǎo)電性膜構(gòu)成。
13.一種附帶電容型觸摸面板功能的顯示裝置，其特征在于，將如權(quán)利要求1至權(quán)利要求12中任一項(xiàng)所述的電容型觸摸面板通過樹脂層與顯示裝 置的可視側(cè)的表面進(jìn)行層疊。
14.一種電容型觸摸面板的制造方法，其特征在于， 在透明基板的單側(cè)的面的同一面上，包括透明電極圖案形成工序，該透明電極圖案形成工序形成透明電極圖案，該透明電極圖 案包含沿第一方向延伸的列電極圖案、沿第二方向延伸的列電極圖案、以及連接布線，所述 沿第一方向延伸的列電極圖案包含沿第一方向排列的多個(gè)斷開的電極單位，所述沿第二方 向延伸的列電極圖案包含沿與所述第一方向交叉的方向即第二方向排列的多個(gè)斷開的電 極單位，所述連接布線在沿所述第一方向延伸的列電極圖案和沿所述第二方向延伸的列電 極圖案相交叉的區(qū)域即交叉區(qū)域的至少一部分中，連接構(gòu)成一方的列電極圖案的電極單位 間；橋接布線圖案形成工序，該橋接布線圖案形成工序形成橋接布線圖案，該橋接布線圖 案包含連接電極單位間的橋接布線，所述電極單位間是以不與配置在所述交叉區(qū)域的連接布線導(dǎo)通的方式隔開配置的、而構(gòu)成未設(shè)置該連接布線側(cè)的列電極圖案的電極單位間；以 及電絕緣層形成工序，該電絕緣層形成工序在所述透明電極圖案形成工序和橋接布線 圖案形成工序之間形成電絕緣層，該電絕緣層至少覆蓋所述透明電極圖案所包含的連接布 線、與所述橋接布線圖案所包含的橋接布線相重疊的區(qū)域。
15.如權(quán)利要求14所述的電容型觸摸面板的制造方法，其特征在于，在透明基板的單側(cè)的面的同一面上，依次包括透明電極圖案形成工序，該透明電極圖案形成工序形成透明電極圖案，該透明電極圖 案包含沿第一方向延伸的列電極圖案、沿第二方向延伸的列電極圖案、以及連接布線，所述 沿第一方向延伸的列電極圖案包含沿第一方向排列的多個(gè)斷開的電極單位，所述沿第二方 向延伸的列電極圖案包含沿與所述第一方向交叉的方向即第二方向排列的多個(gè)斷開的電 極單位，所述連接布線在沿所述第一方向延伸的列電極圖案和沿所述第二方向延伸的列電 極圖案相交叉的區(qū)域即交叉區(qū)域的至少一部分中，連接構(gòu)成一方的列電極圖案的電極單位 間；電絕緣層形成工序，該電絕緣層形成工序形成覆蓋以下區(qū)域的電絕緣層，所述區(qū)域是 用于連接電極單位間所需要的布線區(qū)域和設(shè)置于該電極單位之間的連接布線相重疊的區(qū) 域，所述電極單位間是在所述交叉區(qū)域中以不與連接布線導(dǎo)通的方式隔開配置的、而構(gòu)成 未設(shè)置該連接布線側(cè)的列電極圖案的電極單位間；以及橋接布線圖案形成工序，該橋接布線圖案形成工序形成包含橋接布線的橋接布線圖 案，該橋接布線將在所述交叉區(qū)域中以不與連接布線導(dǎo)通的方式隔開配置的所述電極單位 間、以在與位于該電極單位間的連接布線之間夾著所述電絕緣層的狀態(tài)進(jìn)行連接。
16.如權(quán)利要求14所述的電容型觸摸面板的制造方法，其特征在于，在透明基板的單側(cè)的面的同一面上，依次包括橋接布線圖案形成工序，該橋接布線圖案形成工序包含橋接布線，該橋接布線用于連 接電極單位間而配置于所述透明基板面的預(yù)定的部位，所述電極單位間是在形成透明電極 圖案時(shí)在所述透明電極圖案所包含的交叉區(qū)域中以不與連接布線導(dǎo)通的方式隔開配置的、 而構(gòu)成未設(shè)有該連接布線側(cè)的列電極圖案的電極單位間，所述透明電極圖案包括沿第一 方向延伸的列電極圖案、沿第二方向延伸的列電極圖案、以及連接布線，所述沿第一方向延 伸的列電極圖案包含沿第一方向排列的多個(gè)斷開的電極單位，所述沿第二方向延伸的列電 極圖案包含沿與所述第一方向交叉的方向即第二方向排列的多個(gè)斷開的電極單位，所述連 接布線在沿所述第一方向延伸的列電極圖案和沿所述第二方向延伸的列電極圖案相交叉 的區(qū)域即交叉區(qū)域的至少一部分中，連接構(gòu)成一方的列電極圖案的電極單位間；電絕緣層形成工序，該電絕緣層形成工序以覆蓋所述橋接布線圖案所包含的橋接布線 的中間部、且使橋接布線的兩端部露出的方式形成電絕緣層；以及透明電極圖案形成工序，該透明電極圖案形成工序?qū)⑺鐾该麟姌O圖案形成在該透明 電極圖案的構(gòu)成未設(shè)置連接布線側(cè)的列電極圖案的電極單位間利用用于連接該電極單位 間的所述橋接布線而成為導(dǎo)通狀態(tài)的位置。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種電容型觸摸面板。在透明基板的單側(cè)的面上，包括沿第一方向延伸的多列的列電極；及沿與第一方向交叉的方向即第二方向延伸的多列的列電極，沿所述第一方向延伸的各列電極和沿所述第二方向延伸的各列電極在其交叉區(qū)域的至少一部分中設(shè)置電絕緣層，使相互成為電非導(dǎo)通狀態(tài)，并在所述交叉區(qū)域中設(shè)置橋接布線，使所述各列電極的至少一方成為導(dǎo)通狀態(tài)。
文檔編號G06F3/044GK102112950SQ200980131149
公開日2011年6月29日 申請日期2009年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月12日
發(fā)明者尾關(guān)正雄, 巖崎淳 申請人:奧博特瑞克斯株式會(huì)社