專利名稱：多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試技術(shù)，特別涉及一種多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方 法。
背景技術(shù)：
在射頻集成電路設(shè)計中，由于大電流和高功率的應(yīng)用要求，有源器件的設(shè)計多采 用多單元射頻晶體管結(jié)構(gòu)，如圖1所示，多單元射頻晶體管結(jié)構(gòu)其實包括兩部分，一部分是 重復(fù)并聯(lián)的射頻晶體管單元11，另一部分則是多個射頻晶體管單元之間的相互連線12。為 了對多單元射頻晶體管結(jié)構(gòu)進行準(zhǔn)確的射頻參數(shù)模擬，傳統(tǒng)方法是預(yù)先設(shè)計多單元射頻晶 體管的版圖結(jié)構(gòu)，然后直接對其進行射頻測試，進行射頻參數(shù)模擬。以上方法有較多缺點， 如多單元射頻晶體管的版圖結(jié)構(gòu)設(shè)計不僅需要大量的人力資源，而且無法覆蓋各種不同 的高功率射頻集成電路應(yīng)用。同時，多單元射頻晶體管工作電流很大，其射頻測試也受到現(xiàn) 有測試設(shè)備的限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法，能 降低進行射頻參數(shù)模擬的人力資源，能靈活方便地模擬多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法，包括以 下步驟一 .設(shè)計多單元射頻晶體管總結(jié)構(gòu)中用于重復(fù)并聯(lián)的各單個射頻晶體管單元的 版圖結(jié)構(gòu)，并對各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)進行射頻測試，得到各單個射頻晶體管 單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)；二 .將多單元射頻晶體管多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的版圖文件 調(diào)入電磁仿真軟件，同時在電磁仿真軟件中定義和多單元射頻晶體管結(jié)構(gòu)生產(chǎn)工藝完全匹 配的金屬和介質(zhì)層參數(shù)，然后對多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)進行電磁仿真得 到多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)；三.將所述多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)同所有各單個 射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)進行射頻參數(shù)的疊加得到多單元射頻晶體管總結(jié) 構(gòu)的射頻參數(shù)。本發(fā)明的多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法，先分別設(shè)計多單元射頻晶體管 結(jié)構(gòu)用于重復(fù)并聯(lián)的各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)，并對各單個射頻晶體管單元的版 圖結(jié)構(gòu)進行射頻測試，得到各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)，采用磁仿真軟 件對多單元射頻晶體管之間的相互連線結(jié)構(gòu)進行高精度的電磁仿真，從而得到相互連線結(jié) 構(gòu)準(zhǔn)確的射頻參數(shù)，在此基礎(chǔ)上，運用射頻參數(shù)疊加的算法，得到所測的多單元射頻晶體管 總結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)。由于進行各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)設(shè)計需要的人力資源遠(yuǎn)小 于進行多單元射頻晶體管總版圖結(jié)構(gòu)設(shè)計需要的人力資源，節(jié)省了傳統(tǒng)做法中大量的版圖工作，所以能大大降低進行版圖結(jié)構(gòu)設(shè)計的人力資源，從而能降低進行射頻參數(shù)模擬的人 力資源，另一方面也較大地提高了多單元射頻晶體管建模的靈活度，能靈活方便地模擬多 單元射頻晶體管的射頻參數(shù)。


下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步的詳細(xì)說明。圖1是多單元射頻晶體管結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明的多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法一實施方式流程圖。
具體實施例方式在射頻集成電路設(shè)計中采用的多單元射頻晶體管結(jié)構(gòu)如圖1所示，多單元射頻晶 體管結(jié)構(gòu)主要包括兩部分，一部分是重復(fù)并聯(lián)的多個射頻晶體管單元11，另一部分則是多 個射頻晶體管單元之間的相互連線12。本發(fā)明的多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法一實施方式如圖2所示，包括以 下步驟一 .先設(shè)計多單元射頻晶體管總結(jié)構(gòu)中用于重復(fù)并聯(lián)的各單個射頻晶體管單元 的版圖結(jié)構(gòu)，并對各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)進行射頻測試，得到各單個射頻晶 體管單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)S_Singlecell_i(i = 1，…，m，m為重復(fù)并聯(lián)的多個射 頻晶體管單元數(shù)量)；根據(jù)微波基礎(chǔ)理論，可推出重復(fù)并聯(lián)的多個射頻晶體管單元的集總 的射頻參數(shù) S_multicell，即 S_multicell = S_singlecell_l+S_singlecell_2+—+S_ singlecell_m。二 .將多單元射頻晶體管多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的版圖文件 調(diào)入電磁仿真軟件(如HFSS，Momentum等)，同時在電磁仿真軟件中定義和多單元射頻晶 體管結(jié)構(gòu)生產(chǎn)工藝完全匹配的金屬和介質(zhì)層參數(shù)，然后對多個射頻晶體管單元之間的相互 連線結(jié)構(gòu)進行電磁仿真得到多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)準(zhǔn)確的射頻參數(shù)S_ interconnection ；三.將所述多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)S_ interconnection同所有各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)S_singlecell_i 進行射頻參數(shù)的疊加得到多單元射頻晶體管總結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)S_total即S_total = S_interconnection+S_singlecel l_l+S_sing lecel 1_2+..· +S_ singlecell—m = S_interconnection+S—multicell。本發(fā)明的多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法，摒棄了設(shè)計多單元射頻晶體管 總結(jié)構(gòu)特殊版圖結(jié)構(gòu)并進行多單元射頻晶體管測試的傳統(tǒng)做法，先分別設(shè)計多單元射頻晶 體管結(jié)構(gòu)用于重復(fù)并聯(lián)的各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)，并對各單個射頻晶體管單元 的版圖結(jié)構(gòu)進行射頻測試，得到各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)，采用磁仿 真軟件對多單元射頻晶體管之間的相互連線結(jié)構(gòu)進行高精度的電磁仿真，從而得到相互連 線結(jié)構(gòu)準(zhǔn)確的射頻參數(shù)，在此基礎(chǔ)上，運用射頻參數(shù)疊加的算法，得到所測的多單元射頻晶 體管總結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)。由于進行各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)設(shè)計需要的人力資源 遠(yuǎn)小于進行多單元射頻晶體管總版圖結(jié)構(gòu)設(shè)計需要的人力資源，節(jié)省了傳統(tǒng)做法中大量的版圖工作，所以能大大降低進行版圖結(jié)構(gòu)設(shè)計的人力資源，從而能降低進行射頻參數(shù)模擬 的人力資源，另一方面也較大地提高了多單元射頻晶體管建模的靈活度。利用現(xiàn)有的電磁 仿真軟件(如HFSS，Momentum等)進行電磁仿真得到多個射頻晶體管單元之間的相互連 線結(jié)構(gòu)準(zhǔn)確的射頻參數(shù)，提高了現(xiàn)有測試設(shè)備的利用率。
權(quán)利要求
1.一種多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法，其特征在于，包括以下步驟一.設(shè)計多單元射頻晶體管總結(jié)構(gòu)中用于重復(fù)并聯(lián)的各單個射頻晶體管單元的版圖 結(jié)構(gòu)，并對各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)進行射頻測試，得到各單個射頻晶體管單元 的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)；二.將多單元射頻晶體管多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的版圖文件調(diào)入 電磁仿真軟件，對多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)進行電磁仿真得到多個射頻晶 體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)；三.將所述多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)同所有各單個射頻 晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)進行射頻參數(shù)的疊加得到多單元射頻晶體管總結(jié)構(gòu)的 射頻參數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法，其特征在于，將多 單元射頻晶體管多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的版圖文件調(diào)入電磁仿真軟件， 同時在電磁仿真軟件中定義和多單元射頻晶體管結(jié)構(gòu)生產(chǎn)工藝完全匹配的金屬和介質(zhì)層 參數(shù)，然后對多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)進行電磁仿真得到多個射頻晶體管 單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法，設(shè)計多單元射頻晶體管總結(jié)構(gòu)中用于重復(fù)并聯(lián)的各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)，并對其進行射頻測試，得到各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)；將多單元射頻晶體管多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的版圖文件調(diào)入電磁仿真軟件，進行電磁仿真得到相互連線結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)；將所述多個射頻晶體管單元之間的相互連線結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)同所有各單個射頻晶體管單元的版圖結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)進行射頻參數(shù)的疊加得到多單元射頻晶體管總結(jié)構(gòu)的射頻參數(shù)。本發(fā)明的多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)模擬方法，能降低進行射頻參數(shù)模擬的人力資源，能靈活方便地模擬多單元射頻晶體管的射頻參數(shù)。
文檔編號G06F17/50GK102063513SQ20091020179
公開日2011年5月18日 申請日期2009年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月12日
發(fā)明者周天舒 申請人:上海華虹Nec電子有限公司