專利名稱：特征對(duì)準(zhǔn)的鎖定步驟光標(biāo)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的涉及半導(dǎo)體集成電路的分析，特別涉及操作代表分解的半導(dǎo)體集成電路(IC)的表面的多個(gè)圖像以從其中提取設(shè)計(jì)和布局信息的人機(jī)接口。
IC是在其上已制造大量晶體管和其它電子元件且互相連接來形成有用電路的單晶硅管芯。在制造期間，各管芯是易于操作和同時(shí)處理多個(gè)IC的較大的硅晶片襯底的一部份。
IC制造過程包括摻雜硅襯底來改變其導(dǎo)電特性和使用不同的技術(shù)把一序列的膜層建立在硅襯底上。使用離子注入產(chǎn)生摻雜層。通過把雜質(zhì)淀積在襯底的上面且加熱晶片產(chǎn)生擴(kuò)散層。利用各淀積層，淀積不同的材料且根據(jù)預(yù)定圖型通過選擇蝕刻而選擇地去除淀積的材料。制造在硅晶片上的元件跨越多層。氧化層用來絕緣。淀積的金屬層用來互連如此形成的元件的各個(gè)端子。
這些元件的識(shí)別和由金屬層提供的互連提供可從其中提取和驗(yàn)證IC的設(shè)計(jì)和/或布局的基本信息。
在反向工程樣本IC中，管芯被分解。IC樣本管芯利用如酸性蝕刻劑的嚴(yán)格系列處理進(jìn)行依次的層去除序列，特別選擇每個(gè)在這時(shí)去除的單層。其它分解處理包括干式蝕刻、拋光等等。使用這樣的處理，互連的金屬層、多晶硅層、氧化層等等一步一步地去除。在各分解步驟中檢查部份分解的IC的表面。
檢查技術(shù)包括使用光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡以及其它表面檢查設(shè)備。一般地，掃描電子顯微鏡準(zhǔn)確但是它本身的造價(jià)和操作昂貴。光學(xué)顯微鏡可使用在照明的亮域、對(duì)比干擾和暗域模式。在亮域或?qū)Ρ雀蓴_模式中，管芯上的元件的實(shí)際限度受邊緣效應(yīng)所扭曲。這些邊緣效應(yīng)可由有經(jīng)驗(yàn)分析家來解釋、但需要大量計(jì)算由計(jì)算機(jī)分析。
“檢查微電路圖型的方法”已在1986年11月18日授予Suszko的美國專利第4,623,255號(hào)中描述。此方法涉及在分解步驟之間拍攝IC管芯。膠片透明度被印出并且由工程分析者用來從所拍攝的IC提取設(shè)計(jì)和布局信息。雖然Suszko的教導(dǎo)有優(yōu)點(diǎn)，但是設(shè)計(jì)和布局提取受大塊透明度的處理和交叉相關(guān)阻礙。
另一個(gè)“從集成電路提取設(shè)計(jì)和布局信息的自動(dòng)化系統(tǒng)”由Yu等人在1992年2月4日發(fā)布的美國專利第5,086,477號(hào)中描述。數(shù)碼照相機(jī)和受控制階段在各分解步驟后用來捕捉以重疊花樣的圖像。所捕捉數(shù)字圖像儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器中，且根據(jù)在各覆蓋圖像的邊界處的重疊來重新組合為圖像馬賽克。Yu等人描述在分解步驟的圖像馬賽克上實(shí)施的圖型匹配并且指出在從覆蓋圖像提取布局信息中涉及的困難。Yu等人的自動(dòng)化系統(tǒng)似乎適于從對(duì)反向工程有困難的復(fù)雜IC提取設(shè)計(jì)信息。為了完成它，建立“單元”(cell)資料庫。單元資料庫包括已知用來實(shí)施特定功能的元件的特定配置的圖像。單元資料庫用于自動(dòng)的圖型匹配以幫助例如應(yīng)用特定集成電路(ASIC)的反向工程。然而，Yu等人沒有描述如何操作代表在分解IC中的不同步驟的多個(gè)圖像馬賽克，以便同時(shí)從中提取設(shè)計(jì)和布局信息。因制造在硅晶片上的各個(gè)元件可能跨越多膜層，因此期望同時(shí)分析圖像馬賽克。
因此對(duì)人機(jī)接口需要使IC的多個(gè)圖像的操作能夠幫助從中同時(shí)提取設(shè)計(jì)和布局信息。
發(fā)明目的本發(fā)明的一個(gè)目的是提供人機(jī)接口，使IC的多個(gè)圖像的操作能夠幫助從中同時(shí)提取設(shè)計(jì)和布局信息。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供人機(jī)接口，適于幫助跨越代表半導(dǎo)體集成電路(IC)的一個(gè)或多個(gè)表面的多個(gè)圖像的特征識(shí)別和分析。
本發(fā)明的另一目的是提供支持多個(gè)視圖的人機(jī)接口，各視圖顯示圖像馬賽克的一部份和多個(gè)的多鎖定步驟光標(biāo)之一。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供幫助分析員使用IC的照相圖像確定IC的結(jié)構(gòu)的裝置。
本發(fā)明的另一目的是提供幫助分析員定義在一個(gè)或多個(gè)圖像的所關(guān)注的區(qū)域以生成所關(guān)注的區(qū)域的多個(gè)馬賽克視圖的裝置。
本發(fā)明的又另一個(gè)目的是幫助分析員使用馬賽克視圖之一中的主光標(biāo)和鎖定步驟光標(biāo)關(guān)聯(lián)各個(gè)馬賽克視圖的特征的裝置，該裝置自動(dòng)地跟蹤每個(gè)其它馬賽克視圖中的主光標(biāo)的相對(duì)位置。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供使用主光標(biāo)和多個(gè)鎖定步驟光標(biāo)分析IC的方法，幫助分析員分析相關(guān)IC的圖像馬賽克的不同的圖像馬賽克的特征。
本發(fā)明的另外目的是提供生成IC樣本的低放大倍數(shù)圖像的切片的方法，該切片定義由分析員分析1C使用的多個(gè)圖像馬賽克。
本發(fā)明還提供分析圖像馬賽克的方法，該圖像馬賽克劃定尺寸和與樣本坐標(biāo)空間對(duì)準(zhǔn)，該方法包括步驟在用于分析該圖像馬賽克的人機(jī)接口的顯示坐標(biāo)空間上顯示的相應(yīng)的馬賽克視圖內(nèi)顯示多個(gè)圖像馬賽克的相應(yīng)的圖像馬賽克的感所關(guān)注的區(qū)域；和使用在馬賽克視圖的一個(gè)馬賽克視圖中的主光標(biāo)和在其它馬賽克視圖中的鎖定步驟光標(biāo)跟蹤跨越至少兩個(gè)馬賽克視圖的IC的特征，該主光標(biāo)控制光標(biāo)事件而鎖定步驟光標(biāo)顯示在相對(duì)于樣本坐標(biāo)空間的主光標(biāo)的相對(duì)位置的其它馬賽克視圖內(nèi)，如果該相對(duì)位置是在相應(yīng)的其它馬賽克視圖的相應(yīng)的顯示坐標(biāo)空間內(nèi)。
本發(fā)明還提供分析圖像馬賽克的裝置，該圖像馬賽克劃定尺寸和與樣本坐標(biāo)空間對(duì)準(zhǔn)，該裝置包括工作站，具有限定顯示坐標(biāo)空間的顯示區(qū)；指示設(shè)備，控制可能在該顯示坐標(biāo)空間內(nèi)移動(dòng)的系統(tǒng)指針；當(dāng)在顯示坐標(biāo)空間中顯示時(shí)，存儲(chǔ)具有各自的視圖邊界的多個(gè)馬賽克視圖的存儲(chǔ)器，每個(gè)馬賽克視圖顯示一個(gè)圖像馬賽克的至少一部分，和在每個(gè)馬賽克視圖內(nèi)顯示鎖定步驟光標(biāo)的裝置，該鎖定步驟光標(biāo)共享相對(duì)于樣本坐標(biāo)空間的位置坐標(biāo)；當(dāng)通過指示設(shè)備的操作該系統(tǒng)指針移動(dòng)跨越視圖邊界進(jìn)入多個(gè)馬賽克視圖中的一個(gè)馬賽克視圖時(shí)，該系統(tǒng)指針顯示為控制光標(biāo)事件的主光標(biāo)，而該鎖定步驟光標(biāo)顯示在相對(duì)于樣本坐標(biāo)空間的主光標(biāo)的相對(duì)位置的其它馬賽克視圖內(nèi)， 如果該相對(duì)位置是在其它馬賽克視圖的相應(yīng)的馬賽克視圖的相應(yīng)的顯示坐標(biāo)空間內(nèi)。
根據(jù)本發(fā)明，該人機(jī)接口包括顯示區(qū)，系統(tǒng)指針，多個(gè)馬賽克視圖和相應(yīng)的多個(gè)鎖定步驟光標(biāo)。該圖像馬賽克對(duì)準(zhǔn)樣本坐標(biāo)空間。顯示區(qū)定義顯示坐標(biāo)空間和系統(tǒng)指針具有相對(duì)于顯示坐標(biāo)空間的位置。多個(gè)馬賽克視圖的每個(gè)馬賽克視圖具有在顯示坐標(biāo)空間中的視圖邊界并且顯示多個(gè)馬賽克視圖的一個(gè)圖像馬賽克。每個(gè)鎖定步驟光標(biāo)具有在顯示坐標(biāo)空間中的位置和與全部其它鎖定步驟光標(biāo)共享樣本坐標(biāo)空間中的位置坐標(biāo)。當(dāng)系統(tǒng)指針定位在至少一個(gè)視圖邊界內(nèi)時(shí)，該系統(tǒng)指針采用控制光標(biāo)事件的主光標(biāo)表示。鎖定步驟光標(biāo)在該主光標(biāo)位置的其它視圖中以樣本坐標(biāo)空間顯示。圖像馬賽克例如是分解半導(dǎo)體集成電路(IC)樣本的表示。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方案，該人機(jī)接口還包括導(dǎo)航窗口，它具有在顯示坐標(biāo)空間中的視圖邊界，并且，顯示IC樣本的低放大倍數(shù)圖像表示。導(dǎo)航窗口還允許選擇多個(gè)馬賽克視圖中可顯示的至少一個(gè)感所關(guān)注的區(qū)域。
本發(fā)明還提供分析劃定尺寸和與樣本坐標(biāo)空間對(duì)準(zhǔn)的圖像馬賽克的方法。該方法包括在用于分析該圖像馬賽克的人機(jī)接口的顯示坐標(biāo)空間上顯示的各個(gè)馬賽克視圖內(nèi)所關(guān)注的區(qū)域的步驟。該方法還包括使用在馬賽克視圖的一個(gè)馬賽克視圖中的主光標(biāo)和在其它馬賽克視圖中的鎖定步驟光標(biāo)跟蹤跨越至少兩個(gè)馬賽克視圖的1C的特征，該主光標(biāo)控制光標(biāo)事件而鎖定步驟光標(biāo)顯示在相對(duì)于樣本坐標(biāo)空間的主光標(biāo)的相對(duì)位置的其它馬賽克視圖內(nèi)，如果該相對(duì)位置是在其它馬賽克視圖的相應(yīng)的顯示坐標(biāo)空間內(nèi)。
生成圖像馬賽克，例如，通過分解半導(dǎo)體集成電路(IC)樣本。使用切片工具，定義在樣本坐標(biāo)空間的坐標(biāo)生成圖像馬賽克的所關(guān)注的區(qū)域。該切片最好通過拖曳系統(tǒng)指針沿著對(duì)角線路徑定義在IC樣本的低分辯率管芯照片上的所關(guān)注的矩形的區(qū)域生成。在生成切片之后，選擇顯示在該區(qū)域或者所關(guān)注區(qū)域的馬賽克視圖中的圖像馬賽克?？梢詮呐c該切片相關(guān)的全部圖像馬賽克的表中選擇或者由該裝置自動(dòng)地選擇顯示在所關(guān)注區(qū)域的馬賽克視圖中的圖像馬賽克。當(dāng)主光標(biāo)從圖像馬賽克之一移走時(shí)，該主光標(biāo)變成對(duì)人機(jī)接口的顯示面上的系統(tǒng)指針，而鎖定步驟光標(biāo)從每個(gè)其它馬賽克視圖擦除。
本發(fā)明還提供分析圖像馬賽克的裝置，該圖像馬賽克劃定尺寸和與樣本坐標(biāo)空間對(duì)準(zhǔn)的。該裝置包括具有定義顯示坐標(biāo)空間的顯示區(qū)的工作站，和控制可以在顯示坐標(biāo)空間內(nèi)移動(dòng)的系統(tǒng)指針的指示設(shè)備。當(dāng)顯示在顯示坐標(biāo)空間中時(shí)存儲(chǔ)具有相應(yīng)的視圖邊界的多個(gè)馬賽克視圖，每個(gè)馬賽克視圖顯示該圖像馬賽克之一的至少一部分。一個(gè)算法顯示在每個(gè)馬賽克視圖內(nèi)的鎖定步驟光標(biāo)，該鎖定步驟光標(biāo)共享相對(duì)于樣本坐標(biāo)空間的位置坐標(biāo)。當(dāng)系統(tǒng)指針通過指示設(shè)備的操作移動(dòng)跨越視圖邊界進(jìn)入多個(gè)馬賽克視圖的一個(gè)馬賽克視圖時(shí)，該系統(tǒng)指針顯示為控制光標(biāo)事件的主光標(biāo)，而鎖定步驟光標(biāo)顯示在相對(duì)于樣本坐標(biāo)空間的主光標(biāo)的相對(duì)位置的其它馬賽克視圖內(nèi)，如果該相對(duì)位置是在其它馬賽克視圖的相應(yīng)的馬賽克視圖的相應(yīng)的顯示坐標(biāo)空間內(nèi)。
當(dāng)檢測到指示光標(biāo)移動(dòng)的光標(biāo)事件時(shí)，如果在顯示坐標(biāo)空間中的系統(tǒng)指針的坐標(biāo)是在該馬賽克視圖的一個(gè)馬賽克視圖內(nèi)，該顯示的裝置轉(zhuǎn)換在顯示坐標(biāo)空間中的系統(tǒng)指針的坐標(biāo)為樣本坐標(biāo)空間中的坐標(biāo)并且執(zhí)行迭代過程以便發(fā)送樣本坐標(biāo)空間中的坐標(biāo)給每個(gè)其它馬賽克視圖。
該系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)包括增加生產(chǎn)和降低由于促進(jìn)特征匹配跨越圖像馬賽克以及在從一個(gè)圖像馬賽克到另一個(gè)圖像馬賽克跟蹤部件的同時(shí)避免換位誤差引起分析員的疲乏。
附圖簡要說明從結(jié)合附圖所作的以下的詳細(xì)描述中，本發(fā)明的進(jìn)一步特征及優(yōu)點(diǎn)將變得明顯，其中

圖1是顯示范例性的概況的工作流程圖，借助該過程可獲得代表在分解半導(dǎo)體集成電路(IC)中的步驟的圖像馬賽克；圖2是顯示在制造IC中的范例性的順序步驟的過程圖；圖3是顯示反向工程分解IC中的范例性順序步驟的過程圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示用來顯示具有多個(gè)視圖和相關(guān)的鎖定步驟光標(biāo)的視覺顯示器的人機(jī)接口的示意圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示多個(gè)視圖和鎖定步驟光標(biāo)的人機(jī)接口的顯示區(qū)的示意表示圖；圖6是圖5中表示的顯示區(qū)的另一個(gè)示意表示圖，根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例說明多個(gè)視圖和鎖定步驟光標(biāo)；圖7是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示切片產(chǎn)生的示意圖；圖8是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示馬賽克視圖的產(chǎn)生的示意圖；圖9是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示產(chǎn)生切片、定義所關(guān)注區(qū)域和產(chǎn)生馬賽克視圖的過程的流程圖；及圖10是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示控制鎖定步驟光標(biāo)動(dòng)作的程序的流程圖。
請(qǐng)注意，全部附圖中相似特征由相同標(biāo)號(hào)來識(shí)別。
集成電路的制造通常涉及驗(yàn)證過程24，借助驗(yàn)證過程使用微圖像系統(tǒng)26來檢查晶片12、切割管芯20或它的部份，以提取設(shè)計(jì)有效性或競爭性分析用的設(shè)計(jì)和布局信息。
例如為了產(chǎn)品質(zhì)量確認(rèn)或競爭性分析的目的，在芯片16上實(shí)施反向工程程序28。在反向工程程序28中的第一步驟是在芯片16的解封步驟30去除管芯20。使用微成像系統(tǒng)26來檢查管芯20，以提取設(shè)計(jì)和布局信息。微成像系統(tǒng)26可包括高放大倍數(shù)的光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡、場發(fā)射電子顯微鏡等等。如在下面結(jié)合圖3敘述的，從管芯20或它的一部份的設(shè)計(jì)和布局提取涉及分解程序32的過程，借助該過程在制造過程14期間形成的各層一步一步地去除。
在計(jì)算機(jī)工作站36的控制下在各分解步驟32間獲得樣本管芯20的高放大覆蓋圖像34。計(jì)算機(jī)工作站36使用控制信號(hào)38控制微成像系統(tǒng)26。計(jì)算機(jī)工作站36接收來自微成像系統(tǒng)26的覆蓋圖像數(shù)據(jù)40，且把覆蓋圖像數(shù)據(jù)40保存到存儲(chǔ)器，通常如硬盤的物理儲(chǔ)存裝置42。
儲(chǔ)存的覆蓋圖像34組裝成圖像馬賽克44，每個(gè)圖像馬賽克44顯示在分解步驟32的管芯20的表面。在獲得管芯20的覆蓋圖像34期間，定義樣本坐標(biāo)空間46。樣本坐標(biāo)空間46用來對(duì)準(zhǔn)覆蓋圖像34和圖像馬賽克44。
圖2是顯示在制造IC期間的現(xiàn)有技術(shù)的順序步驟的流程圖。該圖顯示通過硅襯底的橫截面的進(jìn)程，顯示在制造如接合面的元件的范例性步驟。在制造進(jìn)程的步驟52中，使用擴(kuò)散和/或離子注入技術(shù)摻雜硅襯底，以改變其特性，特別地定義P阱，如現(xiàn)有技術(shù)中熟知的。在步驟54，植入技術(shù)用來形成n型源極和漏極。在步驟56中柵極氧化層被淀積在源極和漏極間，并且，場效應(yīng)氧化層淀積在其它區(qū)域。在步驟58中淀積多晶硅柵極層，且在步驟60和62中實(shí)現(xiàn)兩個(gè)氧化層的淀積。在步驟64淀積提供硅襯底上的柵極、源極和漏極間的連接的金屬層。步驟66說明鈍化層的淀積，通常用來在步驟22中封裝(圖1)前保護(hù)IC免受物理損壞和/或灰塵粒子的污染。
圖3是顯示使用來反向工程樣本IC的分解步驟的范例性現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)程的流程圖。步驟70說明在步驟30解封(圖1)后通過管芯20的硅襯底的橫截面。步驟72、74、76、78、80和82說明淀積材料層如鈍化層、金屬化層、多晶硅層、基本接觸層、場效應(yīng)氧化層等等的順序去除。這導(dǎo)致包括在步驟52和54(圖2)期間制造的阱結(jié)構(gòu)露出硅襯底(步驟82)。為了露出阱結(jié)構(gòu)，管芯20的后表面也可分解。步驟84和86顯示管芯20的后表面的順序分解以露出P和N阱。在提取設(shè)計(jì)和布局信息中管芯20的兩表面最好是微成像的、且都代表所關(guān)注的表面。
圖4是根據(jù)用來分析集成電路(IC)的本發(fā)明顯示人機(jī)接口的示意圖。在分析IC來提取設(shè)計(jì)和布局信息中，工程分析者210利用具有視覺顯示器222、鍵盤224和諸如(但不限于)鼠標(biāo)的指示裝置226的工作站220。視覺顯示器222具有定義對(duì)應(yīng)顯示坐標(biāo)空間的顯示區(qū)228。顯示在顯示區(qū)228中的系統(tǒng)指針由指示裝置226控制。系統(tǒng)指針具有不同形狀、尺寸和色彩。
視覺顯示器222通常是陰極射線管(CRT)、液晶顯示器(LCD)、由圖像投影儀投射的圖像等?；蛘撸藱C(jī)接口可包括由多頭視覺顯示器(未顯示)提供的分布式視覺顯示器、多個(gè)工作站220的分布式視窗環(huán)境跨越視覺顯示器222等等。分布式視窗環(huán)境可從Xconsortinm、NeXTStep/OpenStep等等獲得。
圖5是顯示在圖4中顯示的人機(jī)接口的顯示區(qū)的詳細(xì)示意圖。顯示區(qū)228顯示具有視圖邊界的導(dǎo)航窗口230和馬賽克視圖232、234、236和238。導(dǎo)航窗口230提供正在分析的樣本的整個(gè)視圖。導(dǎo)航窗口230顯示樣本的低放大的數(shù)字圖像。當(dāng)所分析樣本是單IC管芯或它的實(shí)質(zhì)部份時(shí)，顯示在導(dǎo)航窗口230中的低放大圖像稱為管芯相片。切片240在導(dǎo)航窗口230中選擇且定義管芯相片上的所關(guān)注區(qū)域。下面參考圖7和9敘述產(chǎn)生切片的范例性過程。
馬賽克視圖232、234、236和238分別顯示在分解IC的過程中的特定分解步驟后獲得的圖像馬賽克的一部份。切片240定義顯示在每個(gè)馬賽克視圖232-238中的所關(guān)注區(qū)域。下面參考圖8和9敘述產(chǎn)生馬賽克視圖的范例性過程。
鎖定步驟光標(biāo)252、254、25和258在適當(dāng)時(shí)顯示在每個(gè)馬賽克視圖內(nèi)。對(duì)應(yīng)的鎖定步驟光標(biāo)250也可顯示在導(dǎo)航窗口230中。較佳地，除了在258顯示的馬賽克顏色外，鎖定步驟光標(biāo)的形狀、尺寸和彩色是相同的。在系統(tǒng)指針設(shè)置在馬賽克視圖內(nèi)時(shí)，主光標(biāo)258指出由指示裝置226控制的系統(tǒng)指針250的目前位置。主光標(biāo)可具有與系統(tǒng)指針相同的外形，或可具有不同形狀、尺寸和/或彩色。因?yàn)殒i定步驟光標(biāo)250、252、254和256與主光標(biāo)共用樣本坐標(biāo)空間中的位置坐標(biāo)，所以在主光標(biāo)的控制下一致移動(dòng)。鎖定步驟動(dòng)作在圖式中顯示為尾隨效果。下面參考圖10敘述實(shí)現(xiàn)鎖定步驟動(dòng)作的范例性過程。
根據(jù)發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，馬賽克視圖232、234、236和238受制于縮放或移動(dòng)的切片240而縮放和/或一致移動(dòng)。因此導(dǎo)航窗口230顯示為具有移動(dòng)滑桿。
圖6是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的人機(jī)接口的顯示區(qū)228的另一示意圖。切片260顯示具有相關(guān)聯(lián)馬賽克視圖262、264、266和268。根據(jù)此實(shí)施例，所有馬賽克視圖在任一個(gè)馬賽克視圖推拉攝像鏡頭或搖動(dòng)攝像鏡頭進(jìn)行移動(dòng)拍攝的時(shí)候都推拉攝像鏡頭或搖動(dòng)攝像鏡頭進(jìn)行移動(dòng)拍攝。為了適應(yīng)該視圖拍攝，各個(gè)馬賽克視圖262、264、266和268都設(shè)有移動(dòng)滑桿241。
導(dǎo)航窗口230也顯示具有所定義的另一切片270。切片270是與馬賽克視圖272、274、276和278相關(guān)的。根據(jù)發(fā)明的此實(shí)施例，馬賽克視圖272、274、276和278被顯示具有不相同尺寸，每個(gè)可獨(dú)立地重定尺寸和推拉攝像鏡頭進(jìn)行移動(dòng)拍攝。
圖7是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示切片的產(chǎn)生的示意圖。通過使用指示裝置226把系統(tǒng)指針定位在導(dǎo)航窗口中在導(dǎo)航窗口230中產(chǎn)生切片240。在系統(tǒng)指針被定位在被重新配置和顯示為主光標(biāo)258的導(dǎo)航窗口230后，由工程分析者210實(shí)施由標(biāo)號(hào)300代表如鼠標(biāo)點(diǎn)擊的觸發(fā)事件(圖4)。觸發(fā)事件激活工具選擇菜單302。工具選擇菜單例如可為上翻菜單。出現(xiàn)在工具選擇菜單302中的菜單項(xiàng)目304允許工程分析者210激活切片生成工具306。切片生成工具306用來通過點(diǎn)擊指示裝置，而且，對(duì)角地拖動(dòng)主光標(biāo)258而產(chǎn)生矩形切片240來規(guī)定所關(guān)注區(qū)域的一個(gè)拐角308，而在管芯相片上選擇所關(guān)注區(qū)域。工具選擇菜單也可以下拉菜單實(shí)現(xiàn)。切片生成工具代表一個(gè)類型的切片產(chǎn)生器。根據(jù)發(fā)明的另一實(shí)施例，可借通過發(fā)出切片產(chǎn)生命令來激活切片生成工具。根據(jù)另外的實(shí)施例，可使用“熱鍵”來激活切片產(chǎn)生。如本領(lǐng)域的技術(shù)人員了解的，也可使用其它方法激活切片產(chǎn)生。
圖8是根據(jù)本發(fā)明的示例的實(shí)施例顯示馬賽克視圖產(chǎn)生的示意圖。根據(jù)發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，切片240具有啟動(dòng)馬賽克視圖的產(chǎn)生的相關(guān)聯(lián)馬賽克視圖產(chǎn)生器。
圖9是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示通過選擇管芯相片上所關(guān)注區(qū)域產(chǎn)生切片和對(duì)切片產(chǎn)生馬賽克視圖的過程的流程圖。在步驟310切片產(chǎn)生過程開始。根據(jù)發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，人機(jī)接口是事件驅(qū)動(dòng)接口，檢查響應(yīng)工程分析者210的活動(dòng)產(chǎn)生的事件。如本領(lǐng)域中熟知的，取決于人機(jī)接口的設(shè)計(jì)及工程分析者210的偏好，可以多種方式產(chǎn)生接口事件。例如，如上敘述的，使用上翻菜單、下拉菜單、熱鍵或操作的命令模式啟動(dòng)切片的產(chǎn)生。根據(jù)發(fā)明在人機(jī)接口中啟動(dòng)任一個(gè)或多個(gè)的這些選項(xiàng)。
在步驟312中檢測事件。在步驟314，分析該事件來確定它是請(qǐng)求切片產(chǎn)生。如上指出的，可使用例如菜單選擇、命令線或熱鍵初始化切片產(chǎn)生。若事件不是切片產(chǎn)生要求，則處理該事件(步驟315)且在步驟312重開始事件監(jiān)視。若在步驟314中確定事件為開始切片事件，則切片產(chǎn)生過程監(jiān)視定義在管芯相片上的所關(guān)注區(qū)域的切片坐標(biāo)的返回。例如如果在預(yù)定時(shí)間間隔(未顯示)內(nèi)坐標(biāo)未返回，則可在步驟318測試系統(tǒng)指針的位置，以判定系統(tǒng)指針是否在管芯相片上。若是，則過程回到對(duì)所關(guān)注區(qū)域的選擇的監(jiān)視。若否，則在步驟320可顯示消息來指示工程分析者210選擇在管芯相片上所關(guān)注區(qū)域。
當(dāng)收到切片坐標(biāo)時(shí)，在步驟322中切片坐標(biāo)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中，且在步驟324檢查切片產(chǎn)生參數(shù)以判定是否啟動(dòng)自動(dòng)馬賽克視圖產(chǎn)生。自動(dòng)馬賽克視圖產(chǎn)生是根據(jù)發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供的特性，自動(dòng)地對(duì)與切片相關(guān)的每個(gè)圖像馬賽克產(chǎn)生馬賽克視圖?；蛘?，對(duì)切片顯示的馬賽克視圖可從與該切片相關(guān)的所有圖像馬賽克的表中選出。若切片產(chǎn)生參數(shù)指出啟動(dòng)了自動(dòng)馬賽克視圖產(chǎn)生(步驟324)，則在步驟326中取回圖像馬賽表且對(duì)每個(gè)圖像馬賽克產(chǎn)生由切片坐標(biāo)定義的一個(gè)馬賽克視圖并顯示在顯示器空間228上。
若切片產(chǎn)生參數(shù)指出自動(dòng)馬賽克視圖產(chǎn)生激活了(步驟324)，則在步驟326中來取回圖像馬賽表，并且，對(duì)每個(gè)圖像馬賽克產(chǎn)生由切片坐標(biāo)定義的一個(gè)馬賽克視圖，且該馬賽克視圖顯示(步驟328)在顯示器空間228上(圖4)。
如果判定(步驟324)自動(dòng)馮賽克視圖產(chǎn)生未啟動(dòng)，則與切片相關(guān)的圖像馬賽克表顯示在顯示區(qū)228上，允許工程分析者210對(duì)要產(chǎn)生(步驟330)的馬賽克視圖選擇圖像馬賽克。在步驟332，切片產(chǎn)生過程判定在步驟330中已從顯示的表中選出至少一個(gè)圖像馬賽克。若否，則在步驟334中顯示消息，要求選擇圖像馬賽克或取消該過程(步驟334)。在步驟336，對(duì)所選擇的每個(gè)圖像馬賽克產(chǎn)生馬賽克視圖，且在步驟340切片產(chǎn)生過程結(jié)束。
圖10是根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例顯示控制鎖定步驟光標(biāo)動(dòng)作的過程的流程圖。在步驟400過程開始并且是光標(biāo)事件處理環(huán)路的一部份的，其中在步驟402中檢測光標(biāo)事件，在步驟404中分析光標(biāo)事件來判定光標(biāo)事件是否代表光標(biāo)的移動(dòng)。若否，則在步驟406中處理該光標(biāo)事件。諸如在步驟408“點(diǎn)擊退出按鈕”的光標(biāo)事件結(jié)束該過程。
若在步驟404中接收的光標(biāo)事件判定是代表光標(biāo)的移動(dòng)，則在步驟410中該過程判定系統(tǒng)指針相對(duì)于顯示坐標(biāo)是否已跨越馬賽克視圖之一的視圖邊界。若在步驟410中判定系統(tǒng)指針已跨越視圖邊界，則在步驟412中過程判定系統(tǒng)指針是否跨越到視圖中或離開視圖。若在步驟412中判定系統(tǒng)指針跨越到視圖中，則在步驟414中系統(tǒng)指針畫在顯示區(qū)上來顯示主光標(biāo)。在步驟416中系統(tǒng)指針的顯示坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為樣本坐標(biāo)。在步驟418中獲得所有目前登記的視圖的表，并且在步驟420中過程重復(fù)通過表中的所有視圖，把包括系統(tǒng)主光標(biāo)的樣本坐標(biāo)的光標(biāo)事件發(fā)送到各個(gè)視圖。在接收樣本坐標(biāo)時(shí)由各視圖實(shí)現(xiàn)的過程步驟以虛線的邊界顯示。在步422中各視圖把主光標(biāo)的樣本坐標(biāo)轉(zhuǎn)換成視圖的顯示坐標(biāo)，且在視圖中把鎖定步驟光標(biāo)畫于視圖坐標(biāo)處(步驟424)。然后在步驟402過程重新開始。
若在步驟412中判定系統(tǒng)指針已移出視圖，則在步驟426恢復(fù)系統(tǒng)指針的表示為其操作系統(tǒng)表示。在步驟428，過程獲得登記視圖的表，并且重復(fù)通過該表把光標(biāo)事件發(fā)送到各個(gè)登記的視圖(步驟430)。在收到光標(biāo)事件時(shí)，各視圖從該視圖擦除鎖定步驟光標(biāo)，而且，過程從步驟402重新開始。
若判定光標(biāo)事件代表該光標(biāo)的移動(dòng)(步驟404)，而且，系統(tǒng)指針尚未跨越視圖邊界(步驟410)，則過程判定系統(tǒng)指針是否在視圖中(步驟434)。若否，則過程自步驟402繼續(xù)。
若在系統(tǒng)指針處在視圖中時(shí)收到光標(biāo)移動(dòng)事件，則主光標(biāo)的顯示坐標(biāo)轉(zhuǎn)換成樣本坐標(biāo)(步驟436)。在步驟438取回登記的視圖的表，且在步驟440中光標(biāo)事件和主光標(biāo)相對(duì)于樣本坐標(biāo)空間的新位置，以重復(fù)過程發(fā)送到各經(jīng)登記視圖。在收到新坐標(biāo)時(shí)占用的位置各視圖擦除其鎖定步驟光標(biāo)(步驟442)，且在步驟444中把主光標(biāo)的樣本坐標(biāo)轉(zhuǎn)換成視圖的顯示坐標(biāo)。若顯示坐標(biāo)是在視圖內(nèi)，則該視圖在新顯示坐標(biāo)重畫鎖定步驟光標(biāo)。
在另一實(shí)施例中，使用具有延伸至所有視圖范圍的全局?jǐn)?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)啟動(dòng)鎖定步驟中的光標(biāo)動(dòng)作。全局?jǐn)?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)儲(chǔ)存在相對(duì)于由所調(diào)查的物理樣本IC所定義的樣本坐標(biāo)空間的至少該主光標(biāo)的位置。人機(jī)接口處理從指示裝置226接收的系統(tǒng)指針事件。當(dāng)通常通過系統(tǒng)中斷收到各系統(tǒng)指針事件時(shí)，人機(jī)接口顯示在目前位置的系統(tǒng)指針，而且，更新主光標(biāo)的位置。若系統(tǒng)指針是在視圖的視圖邊界內(nèi)，則它以主光標(biāo)的形狀和配置畫在顯示器表面228，且在樣本坐標(biāo)空間中的主光標(biāo)的位置計(jì)算并存儲(chǔ)在全局?jǐn)?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中。作為中斷處理的一部份，各個(gè)其它視圖判定相對(duì)于樣本坐標(biāo)空間的主光標(biāo)的位置是否可顯示在視圖的視圖邊界內(nèi)。若是，則視圖執(zhí)行在所顯示鎖定步驟光標(biāo)的樣本坐標(biāo)空間和儲(chǔ)存在全局?jǐn)?shù)據(jù)結(jié)構(gòu)中的位置間的比較，如果需要擦除和重畫視圖中的鎖定步驟光標(biāo)。
若都具有系統(tǒng)指針的多個(gè)工作站用來從代表樣本IC的多個(gè)圖像馬賽克同時(shí)地提取設(shè)計(jì)和布局信息，則可使用選擇標(biāo)準(zhǔn)判定哪個(gè)系統(tǒng)指針是主光標(biāo)可以解決主光標(biāo)內(nèi)容問題。選擇標(biāo)準(zhǔn)可包括限制特定工作站的特定系統(tǒng)指針；選擇產(chǎn)生光標(biāo)事件的最后系統(tǒng)指針；等等。工業(yè)實(shí)用性為了保證產(chǎn)品的可靠性、設(shè)計(jì)驗(yàn)證和識(shí)別設(shè)備結(jié)構(gòu)圖案的目的，本發(fā)明提供在分析半導(dǎo)體集成電路(IC)圖像是有用的一套工具。該工具包括主光標(biāo)和多個(gè)鎖定步驟光標(biāo)，當(dāng)該主光標(biāo)是在從該圖像生成的馬賽克視圖的邊界內(nèi)時(shí)跟蹤該主光標(biāo)的相對(duì)位置。
該主光標(biāo)和鎖定步驟光標(biāo)幫助分析員看上去在表示IC的不同層的不同的圖像的特征。這促進(jìn)該分析員確定IC的結(jié)構(gòu)和功能。鎖定步驟光標(biāo)通過簡化特征交叉相關(guān)和減少翻譯錯(cuò)誤降低分析員的疲乏和增加生產(chǎn)力。
上述發(fā)明的實(shí)施例的意圖只是范例性的。因此本發(fā)明的范圍只由申請(qǐng)所附的權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種用來分析圖像馬賽克的人機(jī)接口，該圖像馬賽克劃定尺寸和與樣本坐標(biāo)空間對(duì)準(zhǔn)，該人機(jī)接口包括a)顯示區(qū)，定義顯示坐標(biāo)空間；b)系統(tǒng)指針，具有在該顯示坐標(biāo)空間中的位置；c)在該顯示坐標(biāo)空間中具有相應(yīng)的視圖邊界的多個(gè)馬賽克視圖，每個(gè)馬賽克視圖顯示這些圖像馬賽克之一的至少一部份；和d)多個(gè)鎖定步驟光標(biāo)，共享相對(duì)于該樣本坐標(biāo)空間的位置坐標(biāo)；其中，該系統(tǒng)指針在視圖邊界跨越進(jìn)入多個(gè)馬賽克視圖之一內(nèi)時(shí)，如果該相對(duì)位置是在其它馬賽克視圖的相應(yīng)視圖的相應(yīng)顯示坐標(biāo)空間內(nèi)，該系統(tǒng)指針顯示為控制光標(biāo)事件的主光標(biāo)，且該鎖定步驟光標(biāo)顯示在該主光標(biāo)相對(duì)于該樣本坐標(biāo)空間的相對(duì)位置的其它馬賽克視圖內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的人機(jī)接口，其特征在于，該馬賽克視圖代表分解的半導(dǎo)體集成電路樣本。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的人機(jī)接口，其特征在于，每個(gè)馬賽克視圖顯示經(jīng)過放大相同的放大因數(shù)的圖像馬賽克的一部份和執(zhí)行樣本坐標(biāo)空間和該顯示坐標(biāo)空間之間的鎖定步驟光標(biāo)坐標(biāo)的轉(zhuǎn)換。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的人機(jī)接口，其特征在于，與切片相關(guān)的所有馬賽克視圖經(jīng)過放大相同的放大因數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3的人機(jī)接口，其特征在于，與切片相關(guān)的所有馬賽克視圖經(jīng)受相同搖動(dòng)攝像鏡頭進(jìn)行移動(dòng)拍攝。
6.根據(jù)前面的任一個(gè)權(quán)利要求的人機(jī)接口，其特征在于，該馬賽克視圖是由切片生成過程生成的。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的人機(jī)接口，其特征在于，該切片生成過程包括含有選擇菜單的圖像馬賽克選擇器。
8.根據(jù)權(quán)利要求6的人機(jī)接口，其特征在于，該切片生成過程包括含有熱鍵的圖像馬賽克選擇器。
9.根據(jù)前面的任一個(gè)權(quán)利要求的人機(jī)接口，其特征在于，還包括適于顯示樣本IC管芯的低放大圖像的導(dǎo)航窗口，該導(dǎo)航窗口啟動(dòng)該樣本IC管芯的切片的選擇，該切片定義相應(yīng)的圖像馬賽克的所關(guān)注區(qū)域，每個(gè)所關(guān)注各區(qū)域任選地顯示在該多個(gè)馬賽克視圖之一中。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的人機(jī)接口，其特征在于，該導(dǎo)航窗口還包括相關(guān)的切片生成工具。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的人機(jī)接口，其特征在于，該切片生成工具在該切片之后生成多個(gè)馬賽克視圖。
12.根據(jù)前而的任一個(gè)權(quán)利要求的人機(jī)接口，其特征在于，該系統(tǒng)指針具有第一不同形狀和尺寸。
13.根據(jù)權(quán)利要求12的人機(jī)接口，其特征在于，該主光標(biāo)具有第二不同形狀和尺寸。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的人機(jī)接口，其特征在于，該鎖定步驟光標(biāo)具有第三不同形狀和尺寸。
15.一種分析圖像馬賽克的方法，該圖像馬賽克要?jiǎng)澏ǔ叽绾蛯?duì)準(zhǔn)樣本坐標(biāo)空間，該方法包括下列步驟a)把多個(gè)圖像馬賽克的相應(yīng)的圖像馬賽克的所關(guān)注區(qū)域顯示在用來分析該圖像馬賽克的人機(jī)接口的顯示坐標(biāo)空間上顯示的相應(yīng)的馬賽克視圖內(nèi)；b)使用在一個(gè)馬賽克視圖中的主光標(biāo)和在其它馬賽克視圖中的鎖定步驟光標(biāo)，跟蹤跨越至少兩個(gè)馬賽克視圖的IC的特征，其中，該主光標(biāo)控制光標(biāo)事件，而該鎖定步驟光標(biāo)顯示在相對(duì)于該樣本坐標(biāo)空間的該主光標(biāo)的相對(duì)位置的其它馬賽克視圖內(nèi)，只要該相對(duì)位置是在相應(yīng)的其它馬賽克視圖的相應(yīng)的顯示坐標(biāo)空間內(nèi)即可。
16.根據(jù)權(quán)利要求15的方法，其特征在于，還包括通過分解半導(dǎo)體集成電路樣本生成該圖像馬賽克的步驟。
17.根據(jù)權(quán)利要求15的方法，其特征在于，還包括使用切片生成工具定義在該樣本坐標(biāo)空間上的坐標(biāo)來定義該所關(guān)注區(qū)域的步驟。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的方法，其特征在于，還包括通過沿著對(duì)角線路徑拖動(dòng)系統(tǒng)指針，定義在該IC樣本的低分辨率管芯相片上的所關(guān)注矩形區(qū)域來產(chǎn)生切片的步驟。
19.根據(jù)權(quán)利要求18的方法，其特征在于，還包括在產(chǎn)生該切片后選擇要顯示在所關(guān)注區(qū)域的馬賽克視圖中的該圖像馬賽克的步驟。
20.根據(jù)權(quán)利要求19的方法，其特征在于，還包括從與該切片相關(guān)的所有圖像馬賽克的表中，選擇顯示在該所關(guān)注區(qū)域的馬賽克視圖中的該圖像馬賽克的步驟。
21.根據(jù)權(quán)利要求15-20中的任一個(gè)權(quán)利要求的方法，其特征在于當(dāng)該主光標(biāo)從馬賽克之一移動(dòng)時(shí)，該主光標(biāo)變成在人機(jī)接口的顯示面上的系統(tǒng)指針，而該鎖定步驟光標(biāo)從每個(gè)其它的馬賽克視圖中擦除。
22.一種用來分析圖像馬賽克的裝置，該圖像馬賽克劃定尺寸和與樣本坐標(biāo)空間對(duì)準(zhǔn)，該裝置包括a)工作站，具有定義顯示坐標(biāo)空間的顯示區(qū)；b)指示裝置，控制可在該顯示坐標(biāo)空間內(nèi)移動(dòng)的系統(tǒng)指針；c)存儲(chǔ)器，用來存儲(chǔ)當(dāng)在該顯示坐標(biāo)空間中顯示時(shí)具有相應(yīng)的視圖邊界的多個(gè)馬賽克視圖，每個(gè)馬賽克視圖顯示一個(gè)圖像馬賽克的至少一部份；及d)用來在每個(gè)馬賽克視圖內(nèi)顯示鎖定步驟光標(biāo)的裝置，該鎖定步驟光標(biāo)共享相對(duì)該樣本坐標(biāo)空間的位置坐標(biāo)；其中當(dāng)通過操作該指示裝置該系統(tǒng)指針跨越視圖邊界移動(dòng)到多個(gè)馬賽克視圖之一時(shí)，該系統(tǒng)指針顯示為控制光標(biāo)事件的主光標(biāo)而該鎖定步驟光標(biāo)顯示在相對(duì)該樣本坐標(biāo)空間的主光標(biāo)的相對(duì)位置的其它馬賽克視圖內(nèi)，只要該相對(duì)位置是在其它馬賽克視圖的相應(yīng)的顯示坐標(biāo)空間內(nèi)。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的裝置，其特征在于，顯示該鎖定步驟光標(biāo)的裝置是事件驅(qū)動(dòng)的。
24.根據(jù)權(quán)利要求23的裝置，其特征在于，在檢測指示光標(biāo)移動(dòng)的光標(biāo)事件時(shí)，該顯示裝置把在該顯示坐標(biāo)空間中的該系統(tǒng)指針的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換為在該樣本坐標(biāo)空間中的坐標(biāo)并且執(zhí)行迭代過程發(fā)送該樣本坐標(biāo)空間中的該坐標(biāo)給每個(gè)其它馬賽克視圖，如果在該顯示坐標(biāo)空間中的該系統(tǒng)指針的坐標(biāo)是在一個(gè)馬賽克視圖中。
25.根據(jù)權(quán)利要求22-24的任一個(gè)權(quán)利要求的裝置，其特征在于該圖像馬賽克代表分解的半導(dǎo)體集成電路樣本。
全文摘要
從半導(dǎo)體集成電路的依次分解的圖像馬賽克提取設(shè)計(jì)和布局信息的裝置包括視覺顯示器、系統(tǒng)指針和多個(gè)鎖定步驟光標(biāo)。視覺顯示器顯示所關(guān)注的各個(gè)圖像馬賽克的視圖區(qū)。如由系統(tǒng)指針的位置決定的，各視圖在適當(dāng)時(shí)顯示一個(gè)鎖定步驟光標(biāo)。當(dāng)系統(tǒng)指針處在視圖內(nèi)時(shí)，對(duì)應(yīng)的鎖定步驟光標(biāo)被顯示為主光標(biāo)，而其它視圖顯示具有和主光標(biāo)不同大小和形狀的鎖定步驟光標(biāo)。所有鎖定步驟光標(biāo)在主光標(biāo)的控制下一致移動(dòng)。從圖像馬賽克提取設(shè)計(jì)和布局信息的方法使用鎖定步驟光標(biāo)來迅速匹配跨越圖像馬賽克的特征，且在從一個(gè)圖像馬賽克到另一個(gè)圖像馬賽克跟蹤特征時(shí)避免換位錯(cuò)誤。
文檔編號(hào)G06T11/80GK1439125SQ01811890
公開日2003年8月27日 申請(qǐng)日期2001年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月27日
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