6、艙外調(diào)節(jié)裝置7、多臺(tái)真空泵8、隔振平臺(tái)9、多只空氣彈簧10、兩個(gè)墊塊11 ;其中:
[0034]光源I具有一連接口 ；抽氣裝置2具有抽氣口和第一支撐架27 ;真空艙6的側(cè)壁上具有多個(gè)連接口、抽氣口和第二支撐架61 ;抽氣裝置2、紫外單色儀3和連接器件4的兩端都含有連接口 ；真空管5具有端口和抽氣口 ；
[0035]第一支撐架27放置于靠近隔振平臺(tái)9 一端的垂直面的位置，且第一支撐架27與隔振平臺(tái)9的垂直面平行；第一支撐架27的上端放置抽氣裝置2，第一支撐架27的下端放置于地面上并垂直于地面；
[0036]第二支撐架61放置于靠近隔振平臺(tái)9另一端的垂直面的位置，且第二支撐架61與隔振平臺(tái)9的垂直面平行；第二支撐架61的上端放置真空艙6，第二支撐架61的下端放置于地面上并垂直于地面；
[0037]隔振平臺(tái)9的下平面置于每個(gè)空氣彈簧10的上端面上；每個(gè)空氣彈簧10的下端面置于地面上；
[0038]每個(gè)墊塊11和艙外調(diào)節(jié)裝置7的下平面分別位于隔振平臺(tái)9的上平面對(duì)應(yīng)的位置上并固定連接；
[0039]光源1、紫外單色儀3位于在對(duì)應(yīng)的墊塊11上并固定連接；
[0040]每個(gè)真空泵8置于地面上，每個(gè)真空泵8的吸氣口分別與抽氣裝置2、一真空管5、真空艙6對(duì)應(yīng)的抽氣口連接；
[0041]光源1、抽氣裝置2、紫外單色儀3、連接器件4及真空艙6的連接口分別與對(duì)應(yīng)真空管5的端口連接，用于形成細(xì)長光通路和細(xì)長光通路的真空環(huán)境；
[0042]艙外調(diào)節(jié)裝置7包括艙外連接部和艙內(nèi)連接部；艙外連接部的上表面位于隔振平臺(tái)9的上表面上并固定連接；艙內(nèi)連接部的兩個(gè)連接端與真空艙6對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁通過波紋管連接，被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13置于艙內(nèi)連接部的上表面上并固定連接，艙外調(diào)節(jié)裝置7用于在真空艙6外調(diào)節(jié)被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13，使被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13在真空艙6內(nèi)移動(dòng)。
[0043]在光學(xué)實(shí)驗(yàn)中，要保持所有光學(xué)元件之間的相對(duì)位置關(guān)系正確并保持不變。在本實(shí)施例中，所有光學(xué)元件包括光源I中的光學(xué)元件、紫外單色儀3中的光學(xué)元件、真空艙6中的被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13。所有光學(xué)元件都通過墊塊11與隔振平臺(tái)9固定連接，由于放在多只空氣彈簧10上的隔振平臺(tái)9具有相當(dāng)?shù)膭偠?，光學(xué)元件連接到隔振平臺(tái)9的機(jī)械結(jié)構(gòu)具有相當(dāng)?shù)膭偠龋约八泄鈱W(xué)元件在形成真空時(shí)不發(fā)生外力變化，因此所述光學(xué)元件的相對(duì)位置能夠保持不變。在形成真空之前，初步確定被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13的方位，保證被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13與光源1、紫外單色儀3之間的正確關(guān)系。
[0044]關(guān)閉真空艙6艙門后，通過對(duì)真空泵8進(jìn)行抽氣，使真空系統(tǒng)中形成真空，并在真空系統(tǒng)的壁上產(chǎn)生大氣壓力。
[0045]真空艙6與紫外單色儀3之間，由于其中一個(gè)固定在地面上，另一個(gè)固定在隔振平臺(tái)9上，真空艙6與紫外單色儀3之間就會(huì)產(chǎn)生大氣壓力。連接器件4的作用是使大氣壓力產(chǎn)生的使真空艙6與紫外單色儀3之間向一起靠攏的大氣壓力，由連接器件4其內(nèi)部的兩個(gè)壓力撐桿44來承擔(dān)，從而真空艙6與紫外單色儀3不會(huì)靠攏到一起。真空艙6由于自身的振動(dòng)等原因，會(huì)產(chǎn)生一些運(yùn)動(dòng)，連接器件4可以產(chǎn)生相應(yīng)的伸縮，但這時(shí)，真空艙6中的被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13由于和隔振平臺(tái)9的位置相對(duì)固定，因而與紫外單色儀3的位置相對(duì)不發(fā)生變化。
[0046]艙外調(diào)節(jié)裝置7的一部分在真空艙6內(nèi)部與艙內(nèi)被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13固定連接，艙外調(diào)節(jié)裝置7的另一部分在真空艙6外部與隔振平臺(tái)9固定連接，在調(diào)整臺(tái)71被鎖緊狀態(tài)下，也就是調(diào)整臺(tái)71成為一個(gè)固定不變的剛體，這時(shí)，被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13就是與隔振平臺(tái)9固定連接的關(guān)系。在真空形成過程中，產(chǎn)生的大氣壓力為兩個(gè)波紋管74之間的壓力，這個(gè)壓力由撐桿75承擔(dān)了，由于兩個(gè)波紋管74的對(duì)稱性，大氣壓力不產(chǎn)生使撐桿75相對(duì)真空艙6之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。從而保證被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13與隔振平臺(tái)9位置關(guān)系不變也就是與光源I及紫外單色儀3之間的位置關(guān)系不變，同時(shí)保證真空艙6與隔振平臺(tái)9之間位置關(guān)系也不變化。調(diào)整臺(tái)71的上表面和叉耳72固定，調(diào)整臺(tái)71的下表面和隔振平臺(tái)9固定，調(diào)整臺(tái)71的上下表面之間可以產(chǎn)生相對(duì)位置方向的變化。由于調(diào)整臺(tái)71上表面通過叉耳72固定連接到固定被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13的艙內(nèi)光學(xué)平臺(tái)76上，因此調(diào)整臺(tái)71的調(diào)整就可以改變被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13與隔振平臺(tái)9的相對(duì)位置關(guān)系，由于波紋管74的柔性，不論在真空形成前，還是在真空形成后，都可以用來調(diào)整被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13與隔振平臺(tái)9的方向與位置關(guān)系，也就是調(diào)整被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13與光源I及紫外單色儀3之間的位置關(guān)系。
[0047]光源I與紫外單色儀3是采購品，它們內(nèi)部的光學(xué)元件直接固定在它們的外殼也就是真空腔體上。要在光源I與紫外單色儀3兩者之間進(jìn)行抽氣，使用抽氣裝置2進(jìn)行，以避免布置在地面的真空泵8與通過墊塊I固定在隔振平臺(tái)9之間由大氣壓力而產(chǎn)生的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)去除真空泵8的振動(dòng)對(duì)隔振平臺(tái)9及其上各光學(xué)元件的影響。抽氣時(shí)，光源I與紫外單色儀3之間所產(chǎn)生的大氣壓力由抽氣裝置2中的撐桿24承擔(dān)，抽氣裝置2的兩個(gè)法蘭口 21之間的相對(duì)位置不變化。兩法蘭內(nèi)側(cè)的兩個(gè)波紋管23由于是柔性，其內(nèi)側(cè)真空管道25的運(yùn)動(dòng)對(duì)其外側(cè)部分影響很小。真空管道25通過支架26與地面固定，抽真空時(shí)產(chǎn)生的位置變化很小，因此抽真空時(shí)，對(duì)隔振平臺(tái)9及其固連的各部分基本不會(huì)發(fā)生影響。
[0048]通過艙外調(diào)節(jié)裝置7、連接結(jié)構(gòu)4、抽氣裝置2的作用，在抽真空前后，隔振平臺(tái)9及其與之固定的各部分，與同地面固定的真空艙6及真空泵8之間不發(fā)生相互的作用力，以及導(dǎo)致隔振平臺(tái)9及其與之固定部分之間發(fā)生形變的力。從而使所有光學(xué)元件之間相對(duì)位置關(guān)系正確并保持不變，使光學(xué)實(shí)驗(yàn)得以進(jìn)行。
[0049]上面所述隔振平臺(tái)9中沒有孔。續(xù)請(qǐng)參閱圖1中在隔振平臺(tái)9上還包括多個(gè)通孔12，每個(gè)第一支撐架27、每個(gè)第二支撐架61及每個(gè)第三支撐架51置于隔振平臺(tái)9上對(duì)應(yīng)的通孔12中。
[0050]所述支撐架包括:兩組第一支撐架27相互平行放置，其中每組第一支撐架27具有兩個(gè)第一支撐架27或選用多個(gè)第一支撐架27，每個(gè)第一支撐架27的長度方向垂直于隔振平臺(tái)9的平面，并隔振平臺(tái)9 一端的兩側(cè)面位于兩組第一支撐架27之間，且每個(gè)第一支撐架27的下端置于地面上的不同位置；以及
[0051]兩組第二支撐架61相互平行放置，其中每組第二支撐架61具有兩個(gè)第二支撐架61或選用多個(gè)第二支撐架61，每個(gè)第二支撐架61的長度方向垂直于隔振平臺(tái)9的平面；隔振平臺(tái)9的另一端的兩側(cè)面位于兩組第二支撐架61之間；每個(gè)第二支撐架61的下端置于地面上的不同位置。
[0052]所述第三支撐架51上端的卡箍套設(shè)于靠近真空艙6的一真空管5的管壁中，第三支撐架位于隔振平臺(tái)9 一側(cè)面或位于隔振平臺(tái)上對(duì)應(yīng)的通孔中，并第三支撐架51的下端置于地面上，用于支撐真空管5。
[0053]抽氣裝置2對(duì)光源I與單色儀3之間連接的細(xì)長管道進(jìn)行抽氣，光源I與單色儀3內(nèi)部的光學(xué)結(jié)構(gòu)與它們各自的真空系統(tǒng)是固定連接，因此采用這種抽氣裝置，解決抽氣時(shí)對(duì)隔振平臺(tái)9產(chǎn)生的作用力干擾；
[0054]請(qǐng)參閱圖2a和圖2b示出的抽氣裝置2包括:兩個(gè)法蘭21、六對(duì)螺母22、兩個(gè)波紋管23、三個(gè)連接桿24、三個(gè)固定孔2V、真空管道25、抽真空管道26、第一支撐架27、卡箍28、連接孔29、通氣孔30，其中:通氣孔30設(shè)于每個(gè)法蘭21中心的位置，在每個(gè)法蘭21上對(duì)稱分布多個(gè)連接孔29和三個(gè)固定孔24'，且多個(gè)連接孔29設(shè)于三個(gè)固定孔24'和一通氣孔30之間；真空管道25的外壁穿設(shè)于第一支撐架27的卡箍28中；抽真空管道26位于真空管道25的一抽氣口和真空泵8的吸氣口之間并固定連接；每個(gè)波紋管23的兩端位于法蘭21對(duì)應(yīng)的通氣孔和真空管道25的一端之間并固定連接；每個(gè)法蘭21的兩面位于每對(duì)螺母22之間，每個(gè)法蘭21的固定孔24'、每對(duì)螺母22分別與對(duì)應(yīng)的連接桿24的兩端具有螺紋固定連接成一體；調(diào)整三個(gè)連接桿24上的每對(duì)螺母22，控制兩個(gè)法蘭21之間的距離，將兩個(gè)法蘭21與兩個(gè)波紋管23、真空管道25、抽真空管道26、第一支撐架27形成一體結(jié)構(gòu)。
[0055]多個(gè)連接桿24與內(nèi)、外側(cè)螺母22的組合，形成了一個(gè)籠子形狀的結(jié)構(gòu)，用于承受兩個(gè)法蘭21之間在形成真空前后產(chǎn)生的拉壓力。兩個(gè)相同規(guī)格的波紋管23，將真空管道25與法蘭21外側(cè)的真空管道la、3a隔開，真空管道25的微小運(yùn)動(dòng)，不影響法蘭21處真空管道25的運(yùn)動(dòng)。真空管道25用第一支撐架27與地面固定，通過抽真空管道26連接真空泵8。在抽真空過程中，不會(huì)影響與光學(xué)元件連接的真空管道，從而不會(huì)影響被測光學(xué)結(jié)構(gòu)13和光學(xué)元件。波紋管23為柔性的焊接波紋管。連接孔29用于抽氣裝置2與真空管道la、3a之間的連接。
[0056]