一種loadport控制系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù),尤其涉及一種1adport控制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]1adport (硅片裝載設(shè)備)做為硅片生產(chǎn)的輸入輸出端口，在半導(dǎo)體行業(yè)中有非常廣泛的應(yīng)用。
[0003]目前，為了適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的自動(dòng)化要求，1adport上通常都要裝配E84光通訊傳感器和RFID傳感器，其中，E84光通訊傳感器一般用來(lái)與OHT或RGV等設(shè)備做信號(hào)互鎖，RFID傳感器用來(lái)輔助生產(chǎn)管理。而通常的E84光通訊傳感器及RFID傳感器均為第三方廠商提供，其控制接口不能集成到1adport廠家的控制系統(tǒng)中。這樣就使上位系統(tǒng)在控制1adport時(shí)，還需要增加接口轉(zhuǎn)換模塊將E84光通訊傳感器及RFID傳感器的控制接口轉(zhuǎn)化為上位系統(tǒng)可控制的接口，如通過(guò)1轉(zhuǎn)網(wǎng)口的設(shè)備將E84傳感器信號(hào)轉(zhuǎn)換為網(wǎng)口再接入上位系統(tǒng)，通過(guò)串口服務(wù)器將RFID的RS232接口轉(zhuǎn)化為網(wǎng)口再接入上位系統(tǒng)。一般的硅片生產(chǎn)設(shè)備會(huì)配二到四個(gè)1adport,而為了將這些1adport接入上位系統(tǒng)就需要增加很多轉(zhuǎn)換設(shè)備，這會(huì)造成上位系統(tǒng)的控制資源浪費(fèi)，并且控制架構(gòu)分散，使上位系統(tǒng)的復(fù)雜化。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述存在的技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供一種可以集成多種接口功能的1adport控制系統(tǒng)。
[0005]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了下述技術(shù)方案:
[0006]一種1adport控制系統(tǒng)，包括:
[0007]高速信號(hào)采集模塊，用于采集MAPPING傳感器信號(hào)和光柵尺信號(hào)，并將上述信號(hào)轉(zhuǎn)換為FPGA可讀寫的信號(hào)，同時(shí)根據(jù)上述信號(hào)鎖存當(dāng)前光柵尺位置值；
[0008]傳感器接口模塊，用于采集光通訊傳感器及RFID傳感器的控制信號(hào)，并將所述控制信號(hào)轉(zhuǎn)換為FPGA可讀寫的信號(hào)；
[0009]主控邏輯模塊，信號(hào)連接于所述高速信號(hào)采集模塊，用于采集所述高速信號(hào)采集模塊米集的MAPPING傳感器信號(hào)和光柵尺信號(hào)及其鎖存的光柵尺位置值；
[0010]所述主控邏輯模塊還與所述傳感器接口模塊信號(hào)連接，用于控制所述傳感器接口模塊采集的光通訊傳感器及RFID傳感器的控制信號(hào)；
[0011 ] 低速1控制模塊，信號(hào)連接于主控邏輯模塊，用于將所述主控邏輯模塊輸出的弱信號(hào)經(jīng)功率放大后驅(qū)動(dòng)電磁閥，并將光電傳感器輸入的高電平信號(hào)經(jīng)隔離和電平調(diào)整后輸入到所述主控邏輯模塊中；
[0012]中央處理模塊，信號(hào)連接于所述主控邏輯模塊，用于獲取所述主控邏輯模塊的控制信息，并完成對(duì)所述光柵尺、所述MAPPING傳感器、所述光通訊傳感器、所述RFID傳感器、所述電磁閥及所述光電傳感器的集中控制；及
[0013]上位通訊模塊，信號(hào)連接于所述中央處理模塊，用于控制所述1adport系統(tǒng)。
[0014]優(yōu)選地，所述高速信號(hào)采集模塊還包括高速隔離型光電耦合器，所述高速隔離型光電耦合器采集MAPPING傳感器信號(hào)和光柵尺信號(hào)。
[0015]優(yōu)選地，所述MAPPING傳感器和光柵尺，用來(lái)檢測(cè)所述控制系統(tǒng)中晶圓的數(shù)量、存放位置及放置的位置是否正確。
[0016]優(yōu)選地，所述高速信號(hào)采集模塊還用于將所述光柵尺信號(hào)進(jìn)行隔離、整形及濾波處理及將所述MAPPING傳感器信號(hào)做隔離及電平調(diào)整，轉(zhuǎn)化為FPGA可讀取的信號(hào)。
[0017]優(yōu)選地，所述傳感器接口模塊包括控制接口電路，所述傳感器接口模塊通過(guò)所述控制接口電路采集所述光通訊傳感器及RFID傳感器的控制信號(hào)，所述控制接口電路為RS232接口或1信號(hào)接口中的最少一種。
[0018]優(yōu)選地，所述傳感器接口模塊還用于將所述光通訊傳感器及RFID傳感器的控制信號(hào)經(jīng)調(diào)理及電平轉(zhuǎn)換后轉(zhuǎn)換為FPGA可讀寫的信號(hào)。
[0019]優(yōu)選地，所述光通訊傳感器為E84光通訊傳感器，所述E84光通訊傳感器為2個(gè)，分別與外圍潔凈天車和地面有軌小車非接觸式通訊，所述RFID傳感器用來(lái)讀寫安裝在晶圓盒上的電子標(biāo)簽信息。
[0020]優(yōu)選地，所述主控邏輯模塊包含F(xiàn)PGA器件，所述還用于將所述控制系統(tǒng)中全部控制單元及電氣元件的控制接口轉(zhuǎn)換為可供所述中央處理模塊操作的控制總線及數(shù)據(jù)總線。
[0021]優(yōu)選地，所述電磁閥用于驅(qū)動(dòng)所述控制系統(tǒng)中氣缸及氣閥；所述光電傳感器用來(lái)檢測(cè)所述控制系統(tǒng)中機(jī)械執(zhí)行機(jī)構(gòu)是否執(zhí)行到位。
[0022]優(yōu)選地，所述中央處理模塊包含嵌入式CPU。
[0023]本發(fā)明提供的一種1adport控制系統(tǒng)，通過(guò)高速信號(hào)采集模塊采集MAPPING傳感器信號(hào)和光柵尺信號(hào)，并將上述信號(hào)轉(zhuǎn)換為FPGA可讀寫的信號(hào)，時(shí)根據(jù)上述信號(hào)鎖存當(dāng)前光柵尺位置值；通過(guò)傳感器接口模塊采集光通訊傳感器及RFID傳感器的控制信號(hào)，并將所述控制信號(hào)轉(zhuǎn)換為FPGA可讀寫的信號(hào)；再由主控邏輯模塊采集所述高速信號(hào)采集模塊采集的MAPPING傳感器信號(hào)和光柵尺信號(hào)及其鎖存的光柵尺位置值和控制所述傳感器接口模塊采集的光通訊傳感器及RFID傳感器的控制信號(hào)；通過(guò)低速1控制模塊將所述主控邏輯模塊輸出的弱信號(hào)經(jīng)功率放大后驅(qū)動(dòng)電磁閥，并將光電傳感器輸入的高電平信號(hào)經(jīng)隔離和電平調(diào)整后輸入到所述主控邏輯模塊中；再由中央處理模塊獲取所述主控邏輯模塊的控制信息，并完成對(duì)所述光柵尺、所述MAPPING傳感器、所述光通訊傳感器、所述RFID傳感器、所述電磁閥及所述光電傳感器的集中控制，最后通過(guò)上位通訊模塊，控制所述1adport系統(tǒng)。上述1adport控制系統(tǒng)集成了所述光柵尺、所述MAPPING傳感器、所述光通訊傳感器、所述RFID傳感器、所述電磁閥及所述光電傳感器的控制接口，可使上位控制器在不增加任何外部資源的情況下只通過(guò)一根控制總線集中控制loadport。相對(duì)于現(xiàn)有的方案節(jié)省了大量的成本及空間，并且使硅片生產(chǎn)系統(tǒng)的控制架構(gòu)更加簡(jiǎn)單實(shí)用。
【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1為一實(shí)施方式的loadport控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清晰，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0026]請(qǐng)參閱圖1，圖1為本發(fā)明提供的1adport控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖100，包高速信號(hào)采集模塊110、傳感器接口模塊120、主控邏輯模塊130、低速1控制模塊140、中央處理模塊150。
[0027]高速信號(hào)采集模塊110用于采集MAPPING傳感器信號(hào)111和光柵尺112信號(hào)，并將上述信號(hào)轉(zhuǎn)換為FPGA可讀寫的信號(hào)，同時(shí)根據(jù)上述信號(hào)鎖存當(dāng)前光柵尺位置值。
[0028]高速信號(hào)采集模塊110還可以包括高速隔離型光電耦合器(圖未示)，高速隔離型光電耦合器采集MAPPING傳感器信號(hào)和光柵尺信號(hào)。
[0029]優(yōu)選地，MAPPING傳感器111和光柵尺112，用來(lái)檢測(cè)控制系統(tǒng)100中晶圓的數(shù)量、存放位置及放置的位置是否正確?？梢岳斫?，當(dāng)晶圓盒安放在1adport上時(shí)，通過(guò)MAPPING傳感器111和光柵尺112用來(lái)檢測(cè)晶圓盒中晶圓的數(shù)量、存放位置及放置的位置是否正確坐寸ο
[0030]優(yōu)選地，高速信號(hào)采集模塊還用于將接收到的光柵尺112的信號(hào)進(jìn)行隔離、整形及濾波處理；及將采集到的MAPPING傳感器111信號(hào)做隔離及電平調(diào)整，轉(zhuǎn)化為FPGA可讀取的信號(hào)。
[0031]傳感器接口模塊120用于采集光通訊傳感器121及RFID傳感器122的控制信號(hào)，并將上述控制信號(hào)轉(zhuǎn)換為FPGA可讀寫的信號(hào)。
[0032]優(yōu)選地，傳感器接口模塊120包括控制接口電路(圖未示)，傳感器接口模塊120通過(guò)控制接口電路采集光通訊傳感器121及RFID傳感器122的控制信號(hào)，其中，控制接口電路為RS232接口或1信號(hào)接口中的最少一種。可以理解，光通訊傳感器121能夠同時(shí)兼容1型和RS232型兩種控制接口電路，RFID傳感器122能夠兼容RS232控制接口電路。
[0033]優(yōu)選地，傳感器接口模塊120還用于將光通訊傳感器121及RFID傳感器122的控制信號(hào)經(jīng)調(diào)理及電平轉(zhuǎn)換后轉(zhuǎn)換為FPGA可讀寫的信號(hào)。
[0034]優(yōu)選地，光通訊傳感器121為E84光通訊傳感器，E84光通訊傳感器優(yōu)選為2個(gè)，分別與外圍潔凈天車和地面有軌小車非接觸式通訊；RFID傳感器122用來(lái)讀