專利名稱：控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的方法，尤其涉及一種根據(jù)將從半導(dǎo)體制造設(shè)備收到的維護(hù)數(shù)據(jù)與在主計(jì)算機(jī)中預(yù)先設(shè)定的參考維護(hù)數(shù)據(jù)相比較的結(jié)果，通過(guò)自動(dòng)控制半導(dǎo)體制造設(shè)備，例如，清潔半導(dǎo)體制造設(shè)備的部件或者以新的部件替換這些部件，來(lái)防止由于半導(dǎo)體制造設(shè)備設(shè)有維護(hù)連續(xù)運(yùn)行而造成的運(yùn)行問(wèn)題的方法。
隨著電子工業(yè)中技術(shù)的進(jìn)步，用高密度半導(dǎo)體裝置提供強(qiáng)功能和更小的電子裝置成為一種趨勢(shì)。
半導(dǎo)體裝置是通過(guò)高精度工藝制造的。對(duì)于高精度的工藝，強(qiáng)功能半導(dǎo)體制造設(shè)備，例如，薄膜淀積設(shè)備、腐蝕設(shè)備等等，布置在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上。
該薄膜淀積和腐蝕設(shè)備與具有控制功能的主計(jì)算機(jī)在線連接。操作人員通過(guò)與主計(jì)算機(jī)在線連接的操作人員接口PC(O/I PC)分組(with lots)輸入運(yùn)行開(kāi)始命令。當(dāng)運(yùn)行開(kāi)始命令輸入到主計(jì)算機(jī)后，主計(jì)算機(jī)取回存儲(chǔ)于其中的流程數(shù)據(jù)，下載取回的流程數(shù)據(jù)到相應(yīng)的半導(dǎo)體制造設(shè)備。
此后，一組(a lot)要加工的晶片由操作人員或傳遞裝置放在相應(yīng)的半導(dǎo)體制造設(shè)備上。相應(yīng)的半導(dǎo)體制造設(shè)備隨后根據(jù)下載的流程數(shù)據(jù)對(duì)該組晶片執(zhí)行預(yù)先確定的流程。
通常，一組包含插入盒中的25片晶片。
當(dāng)該組中的晶片在相應(yīng)的半導(dǎo)體制造設(shè)備中加工時(shí)，操作人員監(jiān)視設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和晶片的加工狀態(tài)，以在預(yù)先確定的設(shè)備中提供的記錄格式記錄監(jiān)視結(jié)果。
當(dāng)操作人員變更時(shí)，設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和晶片的加工狀態(tài)由另一個(gè)操作人員繼續(xù)記錄。
記錄的數(shù)據(jù)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的維護(hù)，例如，清潔諸如半導(dǎo)體制造設(shè)備的腔體(chamber)之類的部件，或以新的部件取代這些部件。操作人員將以預(yù)先確定的記錄格式記錄的在設(shè)備中加工的晶片數(shù)目與參考數(shù)目進(jìn)行比較。根據(jù)比較結(jié)果，半導(dǎo)體制造設(shè)備的運(yùn)行停止，對(duì)該設(shè)備進(jìn)行適當(dāng)?shù)木S護(hù)。
然則，這種傳統(tǒng)方法的不利之處在于，維護(hù)不能迅速地進(jìn)行。操作人員在比較記錄數(shù)據(jù)和參考數(shù)據(jù)和確決定是否進(jìn)行維護(hù)時(shí)花費(fèi)了大量的時(shí)間。
另外，如果操作人員由于失誤沒(méi)能注意到該進(jìn)行維護(hù)的時(shí)間，設(shè)備就會(huì)繼續(xù)在惡劣工況下運(yùn)行，從而隨后引起運(yùn)行故障。
因而，本發(fā)明的目的是通過(guò)將由計(jì)數(shù)在設(shè)備中加工的晶片而得到的晶片計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)與在主計(jì)算機(jī)預(yù)先設(shè)定的維護(hù)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，來(lái)防止由于半導(dǎo)體制造設(shè)備沒(méi)有維護(hù)連續(xù)運(yùn)行造成的設(shè)備運(yùn)行故障，產(chǎn)生警告信息或根據(jù)比較結(jié)果暫時(shí)停止設(shè)備的運(yùn)行。
為了達(dá)到上述目的和其它優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明提供了一種控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的方法。該方法包括以下步驟接收與維護(hù)有關(guān)且從半導(dǎo)體制造設(shè)備產(chǎn)生的第一維護(hù)數(shù)據(jù)，將接收到的第一維護(hù)數(shù)據(jù)和預(yù)先設(shè)定的第一參考數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；當(dāng)接收到的第一維護(hù)數(shù)據(jù)不在第一參考數(shù)據(jù)范圍之內(nèi)時(shí)，通過(guò)下載警告信息到O/I PC來(lái)顯示警告信息，說(shuō)明是對(duì)設(shè)備該進(jìn)行維護(hù)的時(shí)候了；和接收與維護(hù)有關(guān)且在顯示警告信息之后從設(shè)備產(chǎn)生的第二維護(hù)數(shù)據(jù)，決定是否對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)處理，且如果決定不進(jìn)行維護(hù)處理，則將接收到的第二維護(hù)數(shù)據(jù)與第二參考數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；和如果接收到的第二維護(hù)數(shù)據(jù)不在第二參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)，互鎖設(shè)備以停止設(shè)備運(yùn)行。
說(shuō)明設(shè)備在互鎖狀態(tài)的互鎖信息最好在設(shè)備和O/I PC的顯示裝置上顯示。
在設(shè)備的運(yùn)行停止后，操作人員對(duì)設(shè)備的部件進(jìn)行適當(dāng)?shù)木S護(hù)。
然后，在設(shè)備或I/O PC中的與維護(hù)有關(guān)的數(shù)據(jù)復(fù)位，復(fù)位信號(hào)傳送到主計(jì)算機(jī)。當(dāng)復(fù)位信號(hào)輸入主計(jì)算機(jī)時(shí)，主計(jì)算機(jī)根據(jù)輸入的復(fù)位信號(hào)釋放設(shè)備的互鎖狀態(tài)。
與維護(hù)有關(guān)的數(shù)據(jù)可能是通過(guò)計(jì)數(shù)在設(shè)備中加工的晶片數(shù)目得到的晶片計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)、通過(guò)計(jì)數(shù)加入到設(shè)備中的晶片組的數(shù)目得到的晶片組計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)、說(shuō)明設(shè)備從某個(gè)確定時(shí)間點(diǎn)開(kāi)始運(yùn)行的時(shí)間量的設(shè)備運(yùn)行時(shí)間數(shù)據(jù)。
通過(guò)參照附圖詳細(xì)地?cái)⑹霰景l(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，本發(fā)明的以上目的和其它優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，附圖中

圖1是傳統(tǒng)的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的方框圖；和圖2是根據(jù)本發(fā)明的控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的方法的實(shí)施例的流程圖。
以下將參照附圖更全面地?cái)⑹霰景l(fā)明，在附圖中，示出本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以用許多不同方式實(shí)施，不被認(rèn)作局限于在這里提出的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例是為了使本公開(kāi)徹底而充分，并將本發(fā)明的范圍通報(bào)給在技術(shù)領(lǐng)域的熟練人員。
如圖l所示，半導(dǎo)體制造系統(tǒng)包括多個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備30，用于對(duì)放入其中的晶片執(zhí)行預(yù)定的處理；多個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備服務(wù)器20，分別地與半導(dǎo)體制造設(shè)備30在線連接，用于直接控制半導(dǎo)體制造設(shè)備30；主計(jì)算機(jī)10，與半導(dǎo)體制造設(shè)備服務(wù)器20在線連接，用于給半導(dǎo)體制造設(shè)備30提供大量的諸如加工順序、加工環(huán)境、加工數(shù)據(jù)等間接數(shù)據(jù)，并控制整個(gè)半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線；和操作人員接口個(gè)人計(jì)算機(jī)(O/I PC)40，在線連接到主計(jì)算機(jī)10，用于給主計(jì)算機(jī)10提供與待在設(shè)備中執(zhí)行的處理有關(guān)的數(shù)據(jù)，比如，晶片組ID和設(shè)備ID。
半導(dǎo)體制造設(shè)備30和半導(dǎo)體制造設(shè)備服務(wù)器20由半導(dǎo)體通信標(biāo)準(zhǔn)(SECE)協(xié)議形成具有雙向通信能力。半導(dǎo)體制造設(shè)備服務(wù)器20和主計(jì)算機(jī)由TCP/IP協(xié)議形成具有雙向通信能力。
根據(jù)本發(fā)明的控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的方法如下。為了敘述方便，由半導(dǎo)體制造設(shè)備產(chǎn)生的與半導(dǎo)體制造設(shè)備維護(hù)有關(guān)的數(shù)據(jù)分為兩類第一維護(hù)數(shù)據(jù)和第二維護(hù)數(shù)據(jù)，第一維護(hù)數(shù)據(jù)是最初從半導(dǎo)體制造設(shè)備接收到的，第二維護(hù)數(shù)據(jù)是在警告信息產(chǎn)生之后從半導(dǎo)體制造設(shè)備接收到的。
如圖2所示，主計(jì)算機(jī)10在步驟S100接收從半導(dǎo)體制造設(shè)備30產(chǎn)生的第一維護(hù)數(shù)據(jù)(M/D)。
第一維護(hù)數(shù)據(jù)可能是通過(guò)計(jì)數(shù)在設(shè)備30中加工的晶片數(shù)目得到的晶片計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)、通過(guò)計(jì)數(shù)加入到設(shè)備30中的晶片組的數(shù)目得到的晶片組計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)、說(shuō)明設(shè)備30從某個(gè)確定時(shí)間點(diǎn)開(kāi)始運(yùn)行的時(shí)間量的設(shè)備運(yùn)行時(shí)間數(shù)據(jù)。
當(dāng)主計(jì)算機(jī)10接收到第一維護(hù)數(shù)據(jù)時(shí)，主計(jì)算機(jī)10在步驟S110從其數(shù)據(jù)庫(kù)中取回對(duì)應(yīng)于設(shè)備30的ID(標(biāo)識(shí)符)的第一參考數(shù)據(jù)(R/D)，并將取回的第一參考數(shù)據(jù)與在步驟100接收到的第一維護(hù)數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。
當(dāng)接收到的第一維護(hù)數(shù)據(jù)大于或等于第一參考數(shù)據(jù)時(shí)，主計(jì)算機(jī)10在步驟S120下載警告信息到設(shè)備30和O/IPC40，以在設(shè)備30和O/I PC 40的顯示裝置(未示出)上顯示警告信息。
在設(shè)備30和O/IPC40上顯示警告信息使操作人員更容易識(shí)別。
其后，在步驟S130主計(jì)算機(jī)10確定是否進(jìn)行設(shè)備30的維護(hù)。
例如，如果從設(shè)備30產(chǎn)生的第一維護(hù)數(shù)據(jù)確定為不包含在第一參考數(shù)據(jù)范圍內(nèi)的第二維護(hù)數(shù)據(jù)，則這意味著不考慮警告信息，設(shè)備繼續(xù)執(zhí)行流程。
當(dāng)?shù)诙S護(hù)數(shù)據(jù)不斷地從設(shè)備30接收到，在步驟S140主計(jì)算機(jī)將第二維護(hù)數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)于設(shè)備30的ID的預(yù)先設(shè)定的第二參考數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。
當(dāng)然，第二考參考數(shù)據(jù)與第一參考數(shù)據(jù)相比，處于更大的范圍內(nèi)。
當(dāng)?shù)诙S護(hù)數(shù)據(jù)大于或等于第二參考數(shù)據(jù)時(shí)，在步驟S150主計(jì)算機(jī)10強(qiáng)制互鎖設(shè)備30以停止設(shè)備30的運(yùn)行。
在步驟S160，主計(jì)算機(jī)10下載互鎖信息到設(shè)備30和O/IPC40以在設(shè)備30和O/IPC40的顯示設(shè)備上顯示互鎖信息，這樣操作人員可以可視化地識(shí)別設(shè)備30在互鎖狀態(tài)。
在檢查顯示的互鎖信息之后，在步驟S170操作人員執(zhí)行諸如用新部件替換設(shè)備30的部件或者清潔這些部件的適當(dāng)維護(hù)。
當(dāng)適當(dāng)?shù)木S護(hù)完成后，在步驟S180操作人員復(fù)位在設(shè)備30或者O/IPC40中的維護(hù)數(shù)據(jù)，并發(fā)送復(fù)位信號(hào)到主計(jì)算機(jī)10。
在步驟S190，主計(jì)算機(jī)10接收，通過(guò)設(shè)備30或者O/IPC40發(fā)送的復(fù)位信號(hào)，即互鎖釋放信號(hào)，和釋放設(shè)備30的互鎖狀態(tài)。操作人員可以手動(dòng)釋放設(shè)備30的互鎖狀態(tài)。
如上所述，主計(jì)算機(jī)自動(dòng)地確定對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備進(jìn)行維護(hù)的時(shí)間點(diǎn)，通知操作人員執(zhí)行維護(hù)的時(shí)間點(diǎn)。當(dāng)未對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)時(shí)，設(shè)備自動(dòng)互鎖。因此，可以防止由于設(shè)備設(shè)有維護(hù)連續(xù)運(yùn)行造成的運(yùn)行問(wèn)題。另外，由于主計(jì)算機(jī)迅速地通知操作人員進(jìn)行設(shè)備維護(hù)的時(shí)間點(diǎn)，操作人員可以迅速地進(jìn)行維護(hù)。因而，設(shè)備的維護(hù)可以定期地和迅速地執(zhí)行。結(jié)果，設(shè)備可以保持在最佳運(yùn)行狀態(tài)。
本發(fā)明已參照上述實(shí)施例予以說(shuō)明。然而，顯然按照前面敘述的各種替換、修改和變型對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員是清楚明白的。因此，本發(fā)明包含所有在所附權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)的替換、修正和變型。
權(quán)利要求
1．一種控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的方法，包括以下步驟接收從所述半導(dǎo)體制造設(shè)備產(chǎn)生的第一維護(hù)數(shù)據(jù)；將所述接收到的第一維護(hù)數(shù)據(jù)與預(yù)先設(shè)定的第一參考數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；如果所述接收到的第一維護(hù)數(shù)據(jù)不在所述預(yù)先設(shè)定的第一參考數(shù)據(jù)的范圍內(nèi)，則在預(yù)定的顯示裝置上顯示預(yù)定的警告信息，以說(shuō)明是對(duì)所述半導(dǎo)體制造設(shè)備進(jìn)行維護(hù)的時(shí)候了；在所述警告信息顯示后，接收由所述半導(dǎo)體制造設(shè)備產(chǎn)生的第二維護(hù)數(shù)據(jù)，確定是否對(duì)所述半導(dǎo)體制造設(shè)備進(jìn)行維護(hù)；如果確定對(duì)所述的半導(dǎo)體制造設(shè)備不進(jìn)行所述維護(hù)，則將所述接收到的第二維護(hù)數(shù)據(jù)和預(yù)先設(shè)定的第二參考數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；如果所述接收到的第二維護(hù)數(shù)據(jù)不在所述第二參考數(shù)據(jù)的范圍內(nèi)，則互鎖所述半導(dǎo)體制造設(shè)備，以停止所述半導(dǎo)體制造設(shè)備的運(yùn)行。
2．如權(quán)利要求1所述的方法，還包括在所述預(yù)定顯示裝置上顯示互鎖信息以說(shuō)明所述半導(dǎo)體制造設(shè)備處在互鎖狀態(tài)的步驟。
3．如權(quán)利要求2所述的方法，其中所述預(yù)定的顯示裝置是操作人員接口個(gè)人計(jì)算機(jī)的顯示裝置。
4．如權(quán)利要求2所述的方法，其中所述預(yù)定的顯示裝置是所述半導(dǎo)體制造設(shè)備的顯示裝置。
5．如權(quán)利要求1所述的方法，在停止所述半導(dǎo)體制造設(shè)備的運(yùn)行的步驟之后，還包括對(duì)所述的半導(dǎo)體制造設(shè)備的部件進(jìn)行維護(hù)的步驟。
6．如權(quán)利要求1或5所述的方法，還包括以下步驟復(fù)位在所述半導(dǎo)體制造設(shè)備或操作人員接口個(gè)人計(jì)算機(jī)內(nèi)與所述半導(dǎo)體制造設(shè)備有關(guān)的所述維護(hù)數(shù)據(jù)，并發(fā)送復(fù)位信號(hào)到主計(jì)算機(jī)；和根據(jù)所述復(fù)位信號(hào)通過(guò)所述主計(jì)算機(jī)釋放所述半導(dǎo)體制造設(shè)備的所述互鎖狀態(tài)。
7．如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述維護(hù)數(shù)據(jù)是通過(guò)計(jì)數(shù)在所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中加工的晶片數(shù)目而得到的晶片計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)。
8．如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述維護(hù)數(shù)據(jù)是通過(guò)計(jì)數(shù)在所述半導(dǎo)體制造設(shè)備中加入的晶片組數(shù)目得到的晶片組計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)。
9．如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述維護(hù)數(shù)據(jù)是說(shuō)明所述半導(dǎo)體制造設(shè)備從某確定時(shí)間起運(yùn)行的時(shí)間量的設(shè)備運(yùn)行時(shí)間數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種控制半導(dǎo)體制造設(shè)備的方法,包括以下步驟:將從設(shè)備產(chǎn)生的維護(hù)數(shù)據(jù)與在主計(jì)算機(jī)中的預(yù)定參考數(shù)據(jù)進(jìn)行比較;如果維護(hù)數(shù)據(jù)大于或等于參考數(shù)據(jù),則顯示警告信息和停止設(shè)備運(yùn)行。因此,該方法可以防止由于設(shè)備的無(wú)維護(hù)連續(xù)運(yùn)行造成的運(yùn)行故障。主計(jì)算機(jī)自動(dòng)地定期通知操作人員對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)的時(shí)間。因而,維護(hù)可以定期地迅速地進(jìn)行。結(jié)果,設(shè)備可以保持在最佳運(yùn)行狀態(tài)。
文檔編號(hào)G05B23/02GK1225459SQ9811873
公開(kāi)日1999年8月11日 申請(qǐng)日期1998年8月26日 優(yōu)先權(quán)日1998年2月3日
發(fā)明者金成根, 金秉完 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社