本技術(shù)屬于半導(dǎo)體設(shè)備冷卻，尤其涉及一種通用型一體化溫控裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體設(shè)備中需要應(yīng)用溫度控制裝置為設(shè)備內(nèi)的熱源器件或內(nèi)部環(huán)境提供高精度恒溫循環(huán)冷卻水，用以吸收熱源器件產(chǎn)生的熱量，實(shí)現(xiàn)對(duì)熱源器件或內(nèi)部環(huán)境的高精度溫控，使其能穩(wěn)定工作，從而保證半導(dǎo)體設(shè)備的整體工作性能。

2、現(xiàn)有的溫控裝置中的水循環(huán)動(dòng)力主要由臥式水泵提供，與制冷單元布置一層，水箱及加熱部件布置一層，電氣單獨(dú)布置一層，結(jié)構(gòu)布局不合理，裝置體積偏大，原材料用量大，導(dǎo)致制造成本高，也會(huì)造成客戶現(xiàn)場(chǎng)安裝使用占地面積大的問題，影響客戶使用體驗(yàn)，且現(xiàn)有的溫控裝置主要專業(yè)用于光刻機(jī)或某類專門的半導(dǎo)體設(shè)備，通用性欠佳。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種通用型一體化溫控裝置，以解決上述問題，達(dá)到合理布局，壓縮溫控裝置整體尺寸，并可以在多種半導(dǎo)體設(shè)備上通用的目的。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下方案：一種通用型一體化溫控裝置，包括：

3、整機(jī)框架，所述整機(jī)框架內(nèi)設(shè)置有中間隔板；

4、水循環(huán)單元，所述水循環(huán)單元包括設(shè)置在所述整機(jī)框架內(nèi)側(cè)底部的水箱，所述水箱內(nèi)設(shè)置有水循環(huán)動(dòng)力泵和加熱單元，所述水循環(huán)動(dòng)力泵的出水端連通有出水管，所述水循環(huán)動(dòng)力泵的進(jìn)水端連通有進(jìn)水管；

5、制冷單元，所述制冷單元位于所述整機(jī)框架的內(nèi)側(cè)底部，所述進(jìn)水管與所述制冷單元對(duì)應(yīng)設(shè)置；

6、電氣單元，所述電氣單元設(shè)置在所述中間隔板的頂部，所述電氣單元與所述水循環(huán)動(dòng)力泵、加熱單元和制冷單元電性連接。

7、優(yōu)選的，所述加熱單元包括電加熱絲和溫控開關(guān)，所述電加熱絲和所述溫控開關(guān)分別設(shè)置在所述水箱內(nèi)，所述溫控開關(guān)與所述電加熱絲電性連接。

8、優(yōu)選的，所述出水管上連通有溫度傳感器。

9、優(yōu)選的，所述水箱上還連通有補(bǔ)水管和排水管，所述補(bǔ)水管和所述排水管上分別連通有電磁閥和手動(dòng)閥。

10、優(yōu)選的，所述水箱總設(shè)置有液位開關(guān)，所述液位開關(guān)與所述電磁閥電性連接。

11、優(yōu)選的，所述制冷單元包括冷凝器和蒸發(fā)器，所述進(jìn)水管上連通有盤繞管，所述盤繞管與所述蒸發(fā)器對(duì)應(yīng)設(shè)置。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)和技術(shù)效果：

13、1、本實(shí)用新型的溫控裝置結(jié)構(gòu)緊湊、合理，體積小，減少了原材料成本，減少客戶現(xiàn)場(chǎng)占地空間，降低了設(shè)備綜合成本，提升了產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力，同時(shí)，原材料的減少使用，也使本產(chǎn)品更加環(huán)保。

14、2、本實(shí)用新型的溫控裝置具有一定的通用性，水循環(huán)需求在參數(shù)范圍內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備均可以使用，適用范圍較廣，具有較高的推廣應(yīng)用價(jià)值。

技術(shù)特征：

1.一種通用型一體化溫控裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種通用型一體化溫控裝置，其特征在于：所述加熱單元(2)包括電加熱絲(14)和溫控開關(guān)(20)，所述電加熱絲(14)和所述溫控開關(guān)(20)分別設(shè)置在所述水箱(3)內(nèi)，所述溫控開關(guān)(20)與所述電加熱絲(14)電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種通用型一體化溫控裝置，其特征在于：所述出水管(10)上連通有溫度傳感器(15)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種通用型一體化溫控裝置，其特征在于：所述水箱(3)上還連通有補(bǔ)水管(16)和排水管(17)，所述補(bǔ)水管(16)和所述排水管(17)上分別連通有電磁閥(18)和手動(dòng)閥(19)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種通用型一體化溫控裝置，其特征在于：所述水箱(3)總設(shè)置有液位開關(guān)(21)，所述液位開關(guān)(21)與所述電磁閥(18)電性連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種通用型一體化溫控裝置，其特征在于：所述制冷單元(4)包括冷凝器(12)和蒸發(fā)器(13)，所述進(jìn)水管(11)上連通有盤繞管(22)，所述盤繞管(22)與所述蒸發(fā)器(13)對(duì)應(yīng)設(shè)置。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于半導(dǎo)體設(shè)備冷卻技術(shù)領(lǐng)域，提供一種通用型一體化溫控裝置,包括整機(jī)框架，整機(jī)框架內(nèi)設(shè)置有中間隔板；水循環(huán)單元，水循環(huán)單元包括設(shè)置在整機(jī)框架內(nèi)側(cè)底部的水箱，水箱內(nèi)設(shè)置有水循環(huán)動(dòng)力泵和加熱單元，水循環(huán)動(dòng)力泵的出水端連通有出水管，水循環(huán)動(dòng)力泵的進(jìn)水端連通有進(jìn)水管；制冷單元，制冷單元位于整機(jī)框架的內(nèi)側(cè)底部，進(jìn)水管與制冷單元對(duì)應(yīng)設(shè)置；電氣單元，電氣單元設(shè)置在中間隔板的頂部，電氣單元與水循環(huán)動(dòng)力泵、加熱單元和制冷單元電性連接。本技術(shù)合理布局，可以壓縮溫控裝置整體尺寸，并可以在多種半導(dǎo)體設(shè)備上通用。

技術(shù)研發(fā)人員：程永鋒,程亞飛,胡興濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240523
技術(shù)公布日：2024/12/23