技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種真空壓強(qiáng)控制儀，包括電阻真空規(guī)測量系統(tǒng)、電離真空規(guī)測量系統(tǒng)、真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng)、模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊、微處理器、信號輸出模塊，電阻真空規(guī)測量系統(tǒng)、電離真空規(guī)測量系統(tǒng)分別與模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊連接，真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng)、模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊、信號輸出模塊分別與微處理器連接；電阻真空規(guī)測量系統(tǒng)用于測量低真空環(huán)境，電離真空規(guī)測量系統(tǒng)用于測量高真空環(huán)境，真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng)作為執(zhí)行機(jī)構(gòu)，用于調(diào)節(jié)工質(zhì)氣體的輸入。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)真空計(jì)不能做到的壓強(qiáng)控制；同時，儀表本身成本和使用成本都有極大降低；此外，相比其他系統(tǒng)集成類控制方案，本實(shí)用新型的動態(tài)響應(yīng)速度更高，更適用于真空度快速劇烈波動的工藝場合。

技術(shù)研發(fā)人員：熊慧;賀良武;柳靈
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都興睿寶電子科技有限公司
文檔號碼：201720039478
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.13
技術(shù)公布日：2017.07.21