本發(fā)明涉及電氣制品的裝配工序的管理方法。

背景技術(shù)：

在對(duì)組合了裝有半導(dǎo)體部件(IC，LSI，晶體管等)的基板和存儲(chǔ)裝置等的電氣制品進(jìn)行裝配時(shí)，為了防止由帶電的工具或人手進(jìn)行作業(yè)而使用了將靜電除去并防止的衣物等。但是，裝配中，電氣制品和工具或人不一定是同電位，有產(chǎn)生意外的靜電放電的可能性。關(guān)于靜電放電的檢測(cè)，有以下的文獻(xiàn)。

在日本特開平10－12691號(hào)公報(bào)中公開了在電子設(shè)備(例如薄膜晶體管液晶顯示器)的制造工序中通過天線對(duì)基板上產(chǎn)生的基于剝離帶電的靜電放電的電磁波或放電光進(jìn)行檢測(cè)、并由此檢測(cè)與靜電放電相關(guān)的損害的技術(shù)。

在日本特表2009－515171號(hào)公報(bào)中公開了通過經(jīng)由電阻將地電位與電路基板之間連接的電壓計(jì)測(cè)電路來計(jì)測(cè)裝配工具接觸電路基板時(shí)發(fā)生的靜電放電、并由此監(jiān)視電路基板的ESD曝露的技術(shù)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平10－12691號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特表2009－515171號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

通過上述的以往技術(shù)能夠在對(duì)象物上檢測(cè)出發(fā)生了靜電放電，但不能判斷該靜電放電對(duì)于對(duì)象物是否帶來涉及其品質(zhì)程度的影響。因此，有連沒有受到涉及品質(zhì)程度的影響的對(duì)象物也被視為不合格品的情況，相應(yīng)地導(dǎo)致良品率惡化。

本發(fā)明是為了解決上述的那樣的課題而做出的，其目的在于提供一種能夠精度良好地對(duì)受到靜電放電的影響的電氣制品進(jìn)行識(shí)別并管理的電氣制品的裝配工序的管理方法。

用于解決課題的手段

本發(fā)明是為了達(dá)成上述的目的而至少具備搭載有半導(dǎo)體部件的基板和電源電路的電氣制品的裝配工序的管理方法，該電氣制品的裝配工序的管理方法的特征在于，

在執(zhí)行上述電氣制品的裝配的期間，總是計(jì)測(cè)夾著上述電氣制品的內(nèi)部的阻抗要素而電連接的電線或信號(hào)線上的2點(diǎn)間的電位差，

在上述2點(diǎn)間的電位差發(fā)生了超過用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定閾值的變化的情況下，記錄上述2點(diǎn)間的電位差的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)，并將用于識(shí)別上述電氣制品已受到靜電放電的影響的標(biāo)識(shí)賦予給上述電氣制品。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，通過總是計(jì)測(cè)夾著電氣制品的內(nèi)部的阻抗要素而電連接的電線或信號(hào)線上的2點(diǎn)間的電位差，監(jiān)視在執(zhí)行電氣制品的裝配的期間、在2點(diǎn)間的電位差是否沒有發(fā)生超過規(guī)定閾值的變化，從而能夠精度良好地識(shí)別并管理受到了靜電放電的影響的電氣制品。

附圖說明

圖1是用于說明涉及本發(fā)明的實(shí)施方式1的裝置構(gòu)成的圖。

圖2是用于對(duì)實(shí)施方式1中半導(dǎo)體部件5與靜電計(jì)測(cè)器9之間的電連接進(jìn)行說明的圖。

圖3是用于對(duì)實(shí)施方式1中電氣制品2的裝配工序的管理方法進(jìn)行說明的流程圖。

圖4是用于說明實(shí)施方式1的1個(gè)變形例的圖。

圖5是用于說明實(shí)施方式1的1個(gè)變形例的圖。

圖6是用于說明涉及本發(fā)明的實(shí)施方式2的裝置構(gòu)成的圖。

圖7是用于對(duì)實(shí)施方式2中半導(dǎo)體部件5與靜電計(jì)測(cè)器9之間的電連接進(jìn)行說明的圖。

圖8是用于對(duì)實(shí)施方式2中電氣制品2的裝配工序的管理方法進(jìn)行說明的流程圖。

圖9是用于說明實(shí)施方式2的1個(gè)變形例的圖。

圖10是用于對(duì)實(shí)施方式3中信號(hào)線上的2點(diǎn)間的電位差進(jìn)行計(jì)測(cè)的例進(jìn)行說明的圖。

圖11是用于說明實(shí)施方式1的1個(gè)變形例的圖。

圖12是用于說明實(shí)施方式1的1個(gè)變形例的圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，對(duì)各圖中共同的要素賦予相同的符號(hào)而省略重復(fù)的說明。

實(shí)施方式1

圖1是用于說明涉及本發(fā)明的實(shí)施方式1的裝置構(gòu)成的圖。

圖1所示的裝置具備作業(yè)臺(tái)1。電氣制品2被置于作業(yè)臺(tái)1。電氣制品2至少具備基板3和電源電路4?；?搭載有半導(dǎo)體部件5?；?和電源電路4使用工具6而搭載于電氣制品2。

半導(dǎo)體部件5通過電線7經(jīng)由基板3而與電源電路4電連接。并且，電線7經(jīng)由端子8而與靜電計(jì)測(cè)器9連接。靜電計(jì)測(cè)器9與計(jì)算機(jī)10連接。

靜電計(jì)測(cè)器9在進(jìn)行電氣制品2的裝配的期間，總是計(jì)測(cè)夾著電氣制品2的內(nèi)部的阻抗要素(半導(dǎo)體部件5)而電連接的電線7上的2點(diǎn)間的電位差。另外，計(jì)測(cè)周期優(yōu)選的是100ns以下。

并且，靜電計(jì)測(cè)器9在上述的2點(diǎn)間的電位差發(fā)生了超過用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定閾值的變化的情況下，將上述的2點(diǎn)間的電位差的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向計(jì)算機(jī)10發(fā)送。另外，上述的閾值是表示可能影響到品質(zhì)的靜電放電的指標(biāo)，預(yù)先基于實(shí)驗(yàn)結(jié)果或仿真結(jié)果被設(shè)定。作為一例，在半導(dǎo)體部件的額定電壓為5.5V的情況下，閾值被設(shè)定為7V。

計(jì)算機(jī)10具備例如包含ROM、RAM等的存儲(chǔ)器、對(duì)各種信息進(jìn)行輸入輸出的輸入輸出接口、和能夠基于各種信息執(zhí)行各種運(yùn)算處理的處理器。計(jì)算機(jī)10接受并記錄從靜電計(jì)測(cè)器9發(fā)送的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)，并且對(duì)電氣制品2賦予用于識(shí)別電氣制品2已受到靜電放電的影響的標(biāo)識(shí)。具體來說，計(jì)算機(jī)10向計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)追加標(biāo)識(shí)。計(jì)算機(jī)10具有畫面作為輸出接口，將追加了標(biāo)識(shí)的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向畫面顯示。并且，計(jì)算機(jī)10具有與外部機(jī)器連接的通信連接器作為輸出接口，經(jīng)由通信連接器將計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向外部發(fā)送。

圖2是用于對(duì)實(shí)施方式1中半導(dǎo)體部件5與靜電計(jì)測(cè)器9的電連接進(jìn)行說明的圖。

圖1所示的電線7包含圖2所示的2根電線71、72。2根電線71、72將電源電路4(圖2中為電源裝置)和半導(dǎo)體部件5連線。靜電計(jì)測(cè)器9連接于電線71上的1點(diǎn)和電線72上的1點(diǎn)。靜電計(jì)測(cè)器9對(duì)2根電線71、72間的電位差進(jìn)行計(jì)測(cè)。

(流程圖)

圖3是用于對(duì)實(shí)施方式1中電氣制品2的裝配工序的管理方法進(jìn)行說明的流程圖。圖3所示的例行程序每當(dāng)電氣制品2的裝配開始就被執(zhí)行。

在步驟S101中，作業(yè)者將電線7和靜電計(jì)測(cè)器9連接。具體來說，作業(yè)者將2根電線71、72與靜電計(jì)測(cè)器9連接。另外，作業(yè)者不限定于人，也可以是具有機(jī)械臂等的機(jī)械設(shè)備。

在步驟S102中，作業(yè)者判斷電氣制品2的裝配工序是否結(jié)束。在裝配工序沒有結(jié)束的情況下，執(zhí)行步驟S103的處理。

在步驟S103中，靜電計(jì)測(cè)器9對(duì)2根電線71、72間的電位差進(jìn)行計(jì)測(cè)。

在步驟S104中，靜電計(jì)測(cè)器9判斷步驟S103中被計(jì)測(cè)出的電位差是否小于閾值。如上所述，閾值是用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定值，被預(yù)先設(shè)定。

在步驟S104的判斷條件成立的情況下，不產(chǎn)生對(duì)電氣制品2的品質(zhì)有影響的靜電放電，從步驟S102繼續(xù)處理。在步驟S102中判斷為電氣制品2的裝配工序已結(jié)束的情況下，本例行程序被結(jié)束。

在步驟S104的判斷條件不成立的情況下，步驟S103中被計(jì)測(cè)出的電位差的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)被記錄在計(jì)算機(jī)10中(步驟S105)。具體來說，靜電計(jì)測(cè)器9將計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向計(jì)算機(jī)10發(fā)送，計(jì)算機(jī)10將所接收到的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。

在步驟S106中，計(jì)算機(jī)10向計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)賦予標(biāo)識(shí)。所謂標(biāo)識(shí)是用于識(shí)別電氣制品2已受到靜電放電的影響的標(biāo)識(shí)。

在步驟S107中，計(jì)算機(jī)10將賦予了標(biāo)識(shí)的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)在畫面上顯示。并且，計(jì)算機(jī)10經(jīng)由通信連接器將計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向外部發(fā)送。通過這些處理，作業(yè)者能夠獲知在制造中的半成品上已發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電。

在步驟S108中，作業(yè)者將已發(fā)生可能影響到品質(zhì)的靜電放電的半成品除去。步驟S108的處理后，本例行程序被結(jié)束。

如以上所說明的那樣，根據(jù)涉及實(shí)施方式1的電氣制品的裝配工序的管理方法，總是計(jì)測(cè)夾著電氣制品的內(nèi)部的阻抗要素而電連接的電線7上的2點(diǎn)間的電位差，并監(jiān)視在進(jìn)行電氣制品的裝配的期間、2點(diǎn)間的電位差是否沒有發(fā)生超過規(guī)定閾值的變化，從而能夠精度良好地識(shí)別并管理受到了靜電放電的影響的電氣制品。并且，根據(jù)涉及實(shí)施方式1的電氣制品的裝配工序的管理方法，在制造中的半成品中發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電的情況下，也能夠直接將裝配中途的半成品除去。

(變形例)

說明上述的實(shí)施方式1的變形例。

圖4是用于說明實(shí)施方式1的1個(gè)變形例的圖。圖4的構(gòu)成除了具有連接器71a、72b這點(diǎn)以外，與圖2的構(gòu)成是相同的。連接器71a被連接到電線71上的1點(diǎn)，連接器72b被連接到電線72上的1點(diǎn)。靜電計(jì)測(cè)器9與連接器71a和72b連接。用于電位差的計(jì)測(cè)的連接器71a、72b被預(yù)先配置在作為計(jì)測(cè)部位的2點(diǎn)處，因此靜電計(jì)測(cè)器9的安裝變得容易，電氣制品2的裝配工序的管理效率提高。

圖5是用于說明實(shí)施方式1的1個(gè)變形例的圖。圖5的構(gòu)成除了靜電計(jì)測(cè)器9具備發(fā)送計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)的無線通信功能、并追加了無線通信機(jī)11這點(diǎn)以外，與圖1的構(gòu)成是相同的。無線通信機(jī)11接收靜電計(jì)測(cè)器9所發(fā)送的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)，并向計(jì)算機(jī)10發(fā)送。這樣也可以是將靜電計(jì)測(cè)器9和計(jì)算機(jī)10無線連接的構(gòu)成。

圖11是用于說明實(shí)施方式1的1個(gè)變形例的圖。在圖11所示的構(gòu)成中，按照每個(gè)作業(yè)臺(tái)設(shè)有靜電計(jì)測(cè)器9，各靜電計(jì)測(cè)器9與共同的有線傳送器12連接。有線傳送器12與計(jì)算機(jī)10連接。各靜電計(jì)測(cè)器9經(jīng)由有線傳送器12將計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向計(jì)算機(jī)10發(fā)送。這樣也可以是將多個(gè)靜電計(jì)測(cè)器9和1臺(tái)計(jì)算機(jī)10有線連接的構(gòu)成。這點(diǎn)在以下的實(shí)施方式中也是相同的。

圖12是用于說明實(shí)施方式1的1個(gè)變形例的圖。在圖12所示的構(gòu)成中，按照每個(gè)作業(yè)臺(tái)設(shè)有靜電計(jì)測(cè)器9，各靜電計(jì)測(cè)器9具備無線通信功能。無線通信機(jī)13接收各靜電計(jì)測(cè)器9所發(fā)送的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)，并向計(jì)算機(jī)10發(fā)送。這樣也可以是將多個(gè)靜電計(jì)測(cè)器9和1臺(tái)計(jì)算機(jī)10無線連接的構(gòu)成。這點(diǎn)在以下的實(shí)施方式中也是相同的。

實(shí)施方式2

接著，參照?qǐng)D6～圖9來說明本發(fā)明的實(shí)施方式2。

上述的實(shí)施方式1中，為了對(duì)夾著阻抗要素(半導(dǎo)體部件)而電連接的電線上的2點(diǎn)間的電位差進(jìn)行計(jì)測(cè)，對(duì)電源電路4和半導(dǎo)體部件5之間的電線7上的2點(diǎn)間的電位差進(jìn)行計(jì)測(cè)。但是，電位差的計(jì)測(cè)部位不限定于此。實(shí)施方式2中設(shè)為對(duì)電源電路4的插座的端子間的電位差進(jìn)行計(jì)測(cè)。

圖6是用于說明本發(fā)明的實(shí)施方式2的裝置構(gòu)成的圖。

圖6所示的裝置具備作業(yè)臺(tái)1。電氣制品2被置于作業(yè)臺(tái)1上。電氣制品2至少具備基板3和電源電路4?；?搭載有半導(dǎo)體部件5。基板3和電源電路4使用工具6而搭載于電氣制品2。

電源電路4和半導(dǎo)體部件5經(jīng)由基板3通過電線7被電連接。并且，電線7在電源電路4內(nèi)與電線20電連接。電線20具有插座21。插座21與端子8連接。因此，電線20經(jīng)由端子8而與靜電計(jì)測(cè)器9連接。靜電計(jì)測(cè)器9與計(jì)算機(jī)10連接。

靜電計(jì)測(cè)器9在進(jìn)行電氣制品2的裝配的期間，總是計(jì)測(cè)夾著電氣制品2的內(nèi)部的阻抗要素(半導(dǎo)體部件5)而電連接的電線20上的2點(diǎn)間的電位差。另外，計(jì)測(cè)周期優(yōu)選的是100ns以下。

并且，靜電計(jì)測(cè)器9在上述的2點(diǎn)間的電位差發(fā)生了超過用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定閾值的變化的情況下，將上述的2點(diǎn)間的電位差的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向計(jì)算機(jī)10發(fā)送。另外，上述的閾值是表示可能影響到品質(zhì)的靜電放電的指標(biāo)，預(yù)先基于實(shí)驗(yàn)結(jié)果或仿真結(jié)果被設(shè)定。

關(guān)于計(jì)算機(jī)10，由于是實(shí)施方式1敘述過的那樣，因此省略其說明。

圖7是用于對(duì)實(shí)施方式2中半導(dǎo)體部件5和靜電計(jì)測(cè)器9的電連接進(jìn)行說明的圖。

圖6所示的電線20包含圖7所示的2根電線73、74。2根電線73、74將電源電路4和其插座21連線。靜電計(jì)測(cè)器9連接于電線73上的1點(diǎn)和電線74上的1點(diǎn)。靜電計(jì)測(cè)器9對(duì)2根電線73、74間的電位差進(jìn)行計(jì)測(cè)。

(流程圖)

圖8是用于對(duì)實(shí)施方式2中電氣制品2的裝配工序的管理方法進(jìn)行說明的流程圖。圖8所示的例行程序每當(dāng)電氣制品2的裝配就被執(zhí)行。該例行程序除了步驟S101被置換為步驟S201、步驟S103被置換為步驟S203、步驟S104被置換為步驟S204這點(diǎn)以外，與圖3所示的例行程序是相同的。以下，在圖8中對(duì)與圖3所示的步驟相同的步驟賦予相同的符號(hào)。

在步驟S201中，作業(yè)者將電線20和靜電計(jì)測(cè)器9連接。具體來說，作業(yè)者將2根電線73、74與靜電計(jì)測(cè)器9連接。另外，作業(yè)者不限定于人，也可以是具有機(jī)械臂等的機(jī)械設(shè)備。

在步驟S102中，作業(yè)者判斷電氣制品2的裝配工序是否結(jié)束。在裝配工序沒有結(jié)束的情況下，執(zhí)行步驟S203的處理。

在步驟S203中，靜電計(jì)測(cè)器9計(jì)測(cè)2根電線73、74間的電位差。

在步驟S204中，靜電計(jì)測(cè)器9判斷步驟S203中計(jì)測(cè)出的電位差是否小于閾值。閾值是區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定值，被預(yù)先設(shè)定。

在步驟S204的判斷條件成立的情況下，不產(chǎn)生對(duì)電氣制品2的品質(zhì)有影響的靜電放電，從步驟S102繼續(xù)處理。在步驟S102中判斷為電氣制品2的裝配工序已結(jié)束的情況下，本例行程序被結(jié)束。

在步驟S204的判斷條件不成立的情況下，步驟S203中計(jì)測(cè)出的電位差的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)被記錄(步驟S105)。具體來說，靜電計(jì)測(cè)器9將計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向計(jì)算機(jī)10發(fā)送，計(jì)算機(jī)10存儲(chǔ)所接收到的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)。

在步驟S106中，計(jì)算機(jī)10對(duì)標(biāo)識(shí)數(shù)據(jù)賦予標(biāo)識(shí)。所謂標(biāo)識(shí)是用于識(shí)別電氣制品2已受到靜電放電的影響的標(biāo)識(shí)。

在步驟S107中，計(jì)算機(jī)10將賦予了標(biāo)識(shí)的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)在畫面上顯示。并且，計(jì)算機(jī)10經(jīng)由通信連接器將計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向外部發(fā)送。通過這些處理，作業(yè)者能夠獲知在制造中的半成品中發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電。

在步驟S108中，作業(yè)者將發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電的半成品除去。步驟S108的處理后，本例行程序被結(jié)束。

如以上所說明的那樣，根據(jù)涉及實(shí)施方式2的電氣制品的裝配工序的管理方法，總是計(jì)測(cè)夾著電氣制品的內(nèi)部的阻抗要素而電連接的電線20上的2點(diǎn)間的電位差，并監(jiān)視在執(zhí)行電氣制品的裝配的期間、2點(diǎn)間的電位差是否沒有發(fā)生超過規(guī)定閾值的變化，從而能夠精度良好地識(shí)別并管理受到了靜電放電的影響的電氣制品。并且，根據(jù)涉及實(shí)施方式2的電氣制品的裝配工序的管理方法，在制造中的半成品中發(fā)生了可能影響到品質(zhì)的靜電放電的情況下，也能夠直接將裝配中途的半成品除去。

(變形例)

說明上述的實(shí)施方式2的變形例。圖9是用于說明實(shí)施方式2的1個(gè)變形例的圖。圖9的構(gòu)成除了靜電計(jì)測(cè)器9具備發(fā)送計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)的無線通信功能、且追加了無線通信機(jī)11這點(diǎn)以外，與圖6的構(gòu)成是相同的。無線通信機(jī)11接收靜電計(jì)測(cè)器9所發(fā)送的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)，并向計(jì)算機(jī)10發(fā)送。這樣也可以是將靜電計(jì)測(cè)器9和計(jì)算機(jī)10無線連接的構(gòu)成。

實(shí)施方式3

接著，參照?qǐng)D10來說明本發(fā)明的實(shí)施方式3。在實(shí)施方式1以及2中，計(jì)測(cè)電線上的2點(diǎn)間的電位差。但是，也可以利用設(shè)置在信號(hào)線上的信號(hào)測(cè)試用的連接器來計(jì)測(cè)信號(hào)線上的2點(diǎn)間的電位差。

圖10是用于對(duì)實(shí)施方式3中計(jì)測(cè)信號(hào)線上的2點(diǎn)間的電位差的例進(jìn)行說明的圖。電氣制品2具備基板3和電源電路?；?上配置有半導(dǎo)體部件和存儲(chǔ)器等的阻抗要素。靜電計(jì)測(cè)器9與設(shè)置在信號(hào)線上的信號(hào)測(cè)試用連接器81、82連接。靜電計(jì)測(cè)器9在進(jìn)行電氣制品2的裝配的期間，總是計(jì)測(cè)夾著阻抗要素的2個(gè)信號(hào)線上的2點(diǎn)(信號(hào)測(cè)試用連接器81、82)間的電位差。靜電計(jì)測(cè)器9在上述的2點(diǎn)間的電位差發(fā)生了超過用于區(qū)別靜電放電噪聲和正常電位范圍的規(guī)定閾值的變化的情況下，將上述的2點(diǎn)間的電位差的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)向計(jì)算機(jī)10發(fā)送。另外，上述的閾值是表示可能影響到品質(zhì)的靜電放電的指標(biāo)，預(yù)先基于實(shí)驗(yàn)結(jié)果和仿真結(jié)果被設(shè)定。關(guān)于計(jì)算機(jī)10，是上述實(shí)施方式1中敘述過的那樣，因此省略其詳細(xì)說明。計(jì)算機(jī)10將從靜電計(jì)測(cè)器9發(fā)送的計(jì)測(cè)數(shù)據(jù)記錄，并且將用于識(shí)別電氣制品2已受到靜電放電的影響的標(biāo)識(shí)對(duì)電氣制品2賦予。

標(biāo)號(hào)說明

1 作業(yè)臺(tái)

2 電氣制品

3 基板

4 電源電路

5 半導(dǎo)體部件

6 工具

7 電線

8 端子

9 靜電計(jì)測(cè)器

10 計(jì)算機(jī)

11，13 無線通信機(jī)

12 有線傳送器

20 電線

21 插座

71，72，73，74 電線

71a，72b 連接器

81，82 信號(hào)測(cè)試用連接器