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一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:6313907閱讀:371來源:國知局
一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),所述的控制系統(tǒng)設(shè)置在干燥箱內(nèi),包括輔熱電機(jī)、定時器電路、時間顯示屏、熱敏電阻、電壓比較電路、報警電路、繼電器和加熱電路,所述的輔熱電機(jī)通過輔熱開關(guān)與市電連接,所述電壓比較電路通過電源開關(guān)與市電連接,所述電壓比較電路的輸入端與熱敏電阻和定時器電路連接,所述的電壓比較電路的輸出端與繼電器和報警電路連接,所述的定時器電路與電源開關(guān)和時間顯示屏連接。本實用新型可實現(xiàn)超溫報警、超溫斷電和時間控制及顯示,解決現(xiàn)有硅片干燥箱溫度控制不準(zhǔn)確的問題。
【專利說明】一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng)【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及控制系統(tǒng),特別指一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的硅片干燥箱都使用溫度計以及人工控制干燥箱的溫度,具有控制溫度不穩(wěn),容易過熱,且需要人員經(jīng)常查看,費時費力。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題,在于提供一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),解決現(xiàn)有硅片干燥箱溫度無法自動控制的問題。
[0004]本實用新型是這樣實現(xiàn)的:
[0005]一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),所述的控制系統(tǒng)設(shè)置在干燥箱內(nèi),包括輔熱電機(jī)、定時器電路、時間顯示屏、熱敏電阻、電壓比較電路、報警電路、繼電器和加熱電路,所述的輔熱電機(jī)通過輔熱開關(guān)與市電連接,所述電壓比較電路通過電源開關(guān)與市電連接,所述電壓比較電路的輸入端與熱敏電阻和定時器電路連接,所述的電壓比較電路的輸出端與繼電器和報警電路連接,所述的定時器電路與電源開關(guān)和時間顯示屏連接。
[0006]進(jìn)一步地, 所述熱敏電阻為鉬電阻。
[0007]進(jìn)一步地,所述的報警電路為聲音報警。
[0008]進(jìn)一步地,所述的繼電器為固態(tài)繼電器。
[0009]進(jìn)一步地,還包含一個電源指示燈,所述電源指示燈與電源開關(guān)連接。
[0010]本實用新型的優(yōu)點在于:本實用新型可實現(xiàn)超溫自動斷電及報警,避免了干燥箱過熱的問題,且可以定時加熱和顯示加熱時間。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]下面參照附圖結(jié)合實施例對本實用新型作進(jìn)一步的說明。
[0012]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0013]如圖1所示,一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),所述的控制系統(tǒng)設(shè)置在干燥箱內(nèi),包括輔熱電機(jī)、定時器電路、時間顯示屏、熱敏電阻、電壓比較電路、報警電路、繼電器和加熱電路,所述的輔熱電機(jī)通過輔熱開關(guān)與市電連接,所述電壓比較電路通過電源開關(guān)與市電連接,所述電壓比較電路的輸入端與熱敏電阻和定時器電路連接,所述的電壓比較電路的輸出端與繼電器和報警電路連接,所述的定時器電路與電源開關(guān)和時間顯示屏連接。本實用新型在使用時,當(dāng)溫度過高或定時器電路的時間到達(dá)時,則電壓比較電路會控制繼電器斷開,避免了加熱電路(如電熱絲)的加熱,同時電壓比較電路會控制報警電路實現(xiàn)報警,則用戶可以知道已經(jīng)達(dá)到加熱溫度,即可對硅片進(jìn)行進(jìn)一步處理。[0014]進(jìn)一步地,所述熱敏電阻為鉬電阻。鉬電阻具有溫度控制準(zhǔn)確,溫漂小的優(yōu)點。報警電路為聲音報警或者光電報警,繼電器為固態(tài)繼電器,固態(tài)繼電器使用壽命長。以及本實用新型還包含一個電源指示燈,所述電源指示燈與電源開關(guān)連接。則當(dāng)電源開關(guān)閉合時,電源指示燈會亮起,提醒用戶。
[0015]為了安全起見,在市電與電源開關(guān)之間可以接一個交流接觸器。
[0016]雖然以上描述了本實用新型的【具體實施方式】,但是熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,我們所描述的具體的實施例只是說明性的,而不是用于對本實用新型的范圍的限定,熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在依照本實用新型的精神所作的等效的修飾以及變化,都應(yīng)當(dāng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求所保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),其特征在于:所述的控制系統(tǒng)設(shè)置在干燥箱內(nèi),包括輔熱電機(jī)、定時器電路、時間顯示屏、熱敏電阻、電壓比較電路、報警電路、繼電器和加熱電路,所述的輔熱電機(jī)通過輔熱開關(guān)與市電連接,所述電壓比較電路通過電源開關(guān)與市電連接,所述電壓比較電路的輸入端與熱敏電阻和定時器電路連接,所述的電壓比較電路的輸出端與繼電器和報警電路連接,所述的定時器電路與電源開關(guān)和時間顯示屏連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),其特征在于:所述熱敏電阻為鉬電阻。
3.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),其特征在于:所述的報警電路為聲音報警。
4.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),其特征在于:所述的繼電器為固態(tài)繼電器。
5.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片干燥箱控制系統(tǒng),其特征在于:還包含一個電源指示燈,所述電源指示燈與電源開關(guān)連接。
【文檔編號】G05D23/24GK203745929SQ201420075218
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年2月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月21日
【發(fā)明者】黃賽琴, 陳輪興, 林勇 申請人:福建安特微電子有限公司
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