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一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置制造方法

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一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于科學(xué)分析儀器【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置。所述反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置包括用于與反應(yīng)用氣源連接的氣管,所述氣管連接氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置的進(jìn)氣口,所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置的出氣口連接有用于與反應(yīng)器連接而向所述反應(yīng)器輸入流量穩(wěn)定的反應(yīng)氣體的毛細(xì)管。本實(shí)用新型通過(guò)利用氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體壓力在一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的壓力狀態(tài)后,通過(guò)毛細(xì)管向反應(yīng)器內(nèi)輸入,從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)輸入反應(yīng)器的氣體的流量達(dá)到穩(wěn)定的控制,同時(shí),本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低以及不會(huì)受腐蝕的特點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于科學(xué)分析儀器【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,在氣固反應(yīng)過(guò)程中,控制輸入反應(yīng)氣體的流量一般采用質(zhì)量流量控制器來(lái)控制,而向反應(yīng)器輸入的反應(yīng)氣體多數(shù)為具有腐蝕性的氣體,對(duì)質(zhì)量流量控制器的內(nèi)部器件存在一定的損害性。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于解決上述技術(shù)問(wèn)題而提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低且使用壽命長(zhǎng)的反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置,旨在解決目前向反應(yīng)器輸入的反應(yīng)用氣體會(huì)腐蝕質(zhì)量流量控制器的技術(shù)問(wèn)題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置,包括用于與反應(yīng)用氣源連接的氣管,所述氣管連接氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置的進(jìn)氣口,所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置的出氣口連接有用于與反應(yīng)器連接而向所述反應(yīng)器輸入流量穩(wěn)定的反應(yīng)氣體的毛細(xì)管。
[0006]所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)氣口側(cè)的所述氣管上設(shè)有過(guò)濾器。
[0007]所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置為氣體穩(wěn)壓閥。
[0008]本實(shí)用新型通過(guò)利用氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體壓力在一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的壓力狀態(tài)后,通過(guò)毛細(xì)管向反應(yīng)器內(nèi)輸入,從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)輸入反應(yīng)器的氣體的流量達(dá)到穩(wěn)定的控制,同時(shí),本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低,不會(huì)受腐蝕的特點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1所示為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面,結(jié)合實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)作進(jìn)一步的說(shuō)明,但本實(shí)用新型并不局限于所列的實(shí)施例。
[0011]參見圖1所示,該圖示出了本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置的結(jié)構(gòu)。為了便于說(shuō)明,僅示出了與本實(shí)用新型實(shí)施例有關(guān)的部分。
[0012]請(qǐng)參閱圖1,一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置,包括用于與反應(yīng)用氣源連接的氣管I,所述氣管I連接氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置2的進(jìn)氣口,所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置2的出氣口連接有用于與反應(yīng)器4連接而向所述反應(yīng)器4輸入流量穩(wěn)定的反應(yīng)氣體的毛細(xì)管3。[0013]進(jìn)一步的,所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)氣口側(cè)的所述氣管上設(shè)有過(guò)濾器。
[0014]本實(shí)用新型實(shí)施例中,所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置為氣體穩(wěn)壓閥。
[0015]本實(shí)用新型通過(guò)利用氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體壓力在一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的壓力狀態(tài)后,通過(guò)毛細(xì)管向反應(yīng)器內(nèi)輸入,從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)輸入反應(yīng)器的氣體的流量達(dá)到穩(wěn)定的控制,同時(shí),本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低以及不會(huì)受腐蝕的特點(diǎn)。
[0016]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾,這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置,其特征在于,包括用于與反應(yīng)用氣源連接的氣管,所述氣管連接氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置的進(jìn)氣口,所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置的出氣口連接有用于與反應(yīng)器連接而向所述反應(yīng)器輸入流量穩(wěn)定的反應(yīng)氣體的毛細(xì)管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置,其特征在于,所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)氣口側(cè)的所述氣管上設(shè)有過(guò)濾器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述反應(yīng)氣體流量的穩(wěn)定控制裝置,其特征在于,所述氣體壓力自動(dòng)穩(wěn)壓調(diào)節(jié)裝置為氣體穩(wěn)壓閥。
【文檔編號(hào)】G05D7/00GK203720665SQ201320681671
【公開日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2013年11月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月1日
【發(fā)明者】陳淑俊, 趙鐵英, 楊光 申請(qǐng)人:天津市先權(quán)工貿(mào)發(fā)展有限公司
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