專利名稱：主緊急停止線路單元以及主緊急停止系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及控制系統(tǒng)領(lǐng)域，尤其涉及一種主緊急停止線路單元以及主緊急停止系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
由于半導(dǎo)體、發(fā)光二極管(LED,Light Emitting Diode)以及光伏等公司的制程需求，廠務(wù)端需要為生產(chǎn)線提供大量特殊氣體。而這些特殊氣體大部分都是有毒有害氣體，一旦泄漏就會(huì)造成人員傷亡等嚴(yán)重后果。因此，為了安全考慮，都會(huì)在廠務(wù)中控室(FMCS)內(nèi)安裝一個(gè)主緊急停止按鈕(MAST ΕΜ0)做遠(yuǎn)程控制。在緊急狀況時(shí)按下MAST ΕΜ0，將會(huì)停止現(xiàn)場(chǎng)所有氣體的供應(yīng)設(shè)備并觸發(fā)現(xiàn)場(chǎng)疏散報(bào)警燈(LAU)。為了安全，MAST EMO的控制方式必須采用常閉的連接方式。也就是說，平時(shí)線路處于常閉狀態(tài)，緊急狀況下，按下MAST EMO后線路斷開，該斷開信號(hào)由可編程邏輯控制器(PLC, ProgrammabIe Logic Controller)的輸入點(diǎn)(DI)輸入PLC后,執(zhí)行程序,從而,從輸出點(diǎn)(DO)輸出控制信號(hào)，用于關(guān)閉全廠的氣瓶柜(GC，Gas Cabinet)、閥件分配箱(VMB，ValveManifoldBox)以及觸發(fā)LAU紅燈亮起。MAST EMO作用是，當(dāng)緊急狀況時(shí)，按此MAST EMO達(dá)到全廠的氣體供應(yīng)系統(tǒng)的緊急中斷，以確?，F(xiàn)場(chǎng)人員的安全和控制事態(tài)的發(fā)展。現(xiàn)有的MAST EMO功能設(shè)計(jì)都是只包括一個(gè)控制按鈕(EMO)和一路控制線。這就導(dǎo)致出現(xiàn)如下問題1、當(dāng)線路老化或者誤碰動(dòng)，導(dǎo)致原來常閉連接的信號(hào)線松脫，變成斷開狀態(tài)，就會(huì)觸發(fā)遠(yuǎn)程Shut Down的輸出，嚴(yán)重影響到現(xiàn)場(chǎng)的生產(chǎn)；2、很難避免誤報(bào)警的可能。目前已發(fā)生多起類似事件，例如，某廠區(qū)，由于MAST EMO內(nèi)部線路松脫，導(dǎo)致誤報(bào)警輸出，全廠30多臺(tái)Gas cabinet和300多個(gè)VMB停止。晶圓(Wafer)報(bào)廢了一大批，系統(tǒng)停止供應(yīng)2小時(shí)。另有，某廠區(qū)，為保生產(chǎn)，將MAST EMO連接設(shè)計(jì)為常開狀態(tài)，在功能測(cè)試時(shí)候，按下MAST ΕΜ0，現(xiàn)場(chǎng)無任何反應(yīng)，結(jié)果檢查是MAST EMO內(nèi)部線路松脫但沒有任何警報(bào)。因此，如何提供一種既可保證安全、又可保證穩(wěn)定生產(chǎn)的主緊急停止系統(tǒng)是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種主緊急停止線路單元以及主緊急停止系統(tǒng)，既可保證安全、又可保證穩(wěn)定生產(chǎn)。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種主緊急停止線路單元，包括兩條控制線路，所述兩條控制線路的一端分別和零線連接，所述兩條控制線路的另一端分別連接可編程邏輯控制器的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)，所述兩條控制線采用兩個(gè)單回路控制按鈕控制或者采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制。優(yōu)選的，在上述的主緊急停止線路單元中，所述兩個(gè)單回路控制按鈕是常閉開關(guān)。優(yōu)選的，在上述的主緊急停止線路單元中，所述雙回路控制按鈕是常閉開關(guān)。本實(shí)用新型還公開了一種主緊急停止系統(tǒng)，包括主緊急停止線路單元和可編程邏輯控制器，所述主緊急停止線路單元，包括兩條控制線路，所述兩條控制線路的一端分別和零線連接，所述兩條控制線路的另一端分別連接可編程邏輯控制器的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)，所述兩條控制線采用兩個(gè)單回路控制按鈕控制或者采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制。優(yōu)選的，在上述的主緊急停止系統(tǒng)中，所述兩個(gè)單回路控制按鈕是常閉開關(guān)。優(yōu)選的，在上述的主緊急停止系統(tǒng)中，所述雙回路控制按鈕是常閉開關(guān)。優(yōu)選的，在上述的主緊急停止系統(tǒng)中，所述可編程邏輯控制器包括用于在兩條控制線處于不同狀態(tài)時(shí)發(fā)布報(bào)警信息的內(nèi)部檢測(cè)模。本實(shí)用新型提供的主緊急停止線路單元以及主緊急停止系統(tǒng)，通過采用兩條控制線路，所述兩條控制線路的一端分別和零線連接，所述兩條控制線路的另一端分別連接可編程邏輯控制器的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)所述兩條控制線采用兩個(gè)單回路控制按鈕控制或者采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制，一方面，可以使得主緊急停止線路單元具備內(nèi)部線路診斷功能，即當(dāng)任意一根控制線路出現(xiàn)問題如松脫，可編程邏輯控制器就會(huì)接收到該信息，從而發(fā)出警報(bào)，進(jìn)而，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，及時(shí)改善線路，從而，即能保證安全問題，又能保證生產(chǎn)問題。此實(shí)用新型設(shè)計(jì)改變了傳統(tǒng)的單EMO的單信號(hào)控制設(shè)計(jì)的不足，利用雙信號(hào)設(shè)計(jì)，既可保證安全、又可保證穩(wěn)定生產(chǎn)，而且還具有內(nèi)部線路診斷功能。此實(shí)用新型改造簡單方便，只需多一個(gè)EMO和一路信號(hào)線，占用DI模塊中的一個(gè)DI點(diǎn)。本實(shí)用系新型不僅適用于廠務(wù)氣體的GMS系統(tǒng)，而且適用于其它需要做遠(yuǎn)程shut down控制的所有系統(tǒng)。

本實(shí)用新型的主緊急停止線路單元以及主緊急停止系統(tǒng)由以下的實(shí)施例及附圖
全A屮
口 ED ο圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，11、21-控制線路，12,22-零線，13、23_可編程邏輯控制器，131,231-輸入點(diǎn)，14-控制按鈕，24-雙回路控制按鈕。
具體實(shí)施方式
下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。實(shí)施例一請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)施例提供的主緊急停止線路單元，包括兩條控制線路11，所述兩條控制線路11的一端分別和零線12連接，所述兩條控制線路11的另一端分別連接可編程邏輯控制器13的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)131，所述兩條控制線11可以采用兩個(gè)單回路控制按鈕14控制，即所述兩條控制線11可以分別采用一個(gè)單回路控制按鈕14，所述兩條控制線11也可以采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制，即所述兩條控制線11也可以共用一個(gè)雙回路控制按鈕。在本實(shí)施例的主緊急停止線路單元中，所述兩條控制線11分別采用一個(gè)單回路控制按鈕14。通過采用兩條控制線路11，所述兩條控制線路11的一端分別和零線12連接，所述兩條控制線路11的另一端分別連接可編程邏輯控制器13的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)131，所述兩條控制線11分別采用一個(gè)單回路控制按鈕14，一方面，可以使得主緊急停止線路單元具備內(nèi)部線路診斷功能，即當(dāng)任意一根控制線路11出現(xiàn)問題如松脫，可編程邏輯控制器13就會(huì)接收到該信息，從而發(fā)出警報(bào)，進(jìn)而能夠使得操作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，及時(shí)改善線路，從而，既可保證安全、又可保證穩(wěn)定生產(chǎn)。較佳的，所述單回路控制按鈕14是常閉開關(guān)。采用常閉開關(guān)比常開開關(guān)更加安全，因?yàn)椋绻捎贸ｉ_開關(guān)，當(dāng)需要發(fā)布主緊急停止控制信號(hào)時(shí)，容易因?yàn)槌ｉ_開關(guān)無法關(guān)閉或者常開開關(guān)內(nèi)部線路接觸不良導(dǎo)致，無法及時(shí)關(guān)閉敞開開關(guān)，因而無法實(shí)現(xiàn)主緊急停止控制。實(shí)施例二請(qǐng)參閱圖2，本實(shí)施例與實(shí)施例一的區(qū)別在于所述兩條控制線21共用一個(gè)雙回路控制按鈕24。由于所述兩條控制線21共用一個(gè)雙回路控制按鈕24，一方面，可以使得主緊急停止線路單元具備內(nèi)部線路診斷功能，即當(dāng)任意一根控制線路21出現(xiàn)問題如松脫，可編程邏輯控制器23就會(huì)接收到該信息，從而發(fā)出警報(bào)，進(jìn)而能夠使得操作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，及時(shí)改善線路，從而，既能保證安全問題，又能保證生產(chǎn)問題。較佳的，在本實(shí)施例的主緊急停止線路單元中，所述雙回路控制按鈕24是常閉開關(guān)。采用常閉開關(guān)比常開開關(guān)更加安全，如果采用常開開關(guān)，當(dāng)需要發(fā)布主緊急停止控制信號(hào)時(shí)，容易因?yàn)槌ｉ_開關(guān)無法關(guān)閉或者常開開關(guān)內(nèi)部線路接觸不良導(dǎo)致，無法及時(shí)關(guān)閉敞開開關(guān)，因而無法實(shí)現(xiàn)主緊急停止控制。實(shí)施例三請(qǐng)參閱圖3，本實(shí)施例提供的主緊急停止系統(tǒng)，包括主緊急停止線路單元和可編程邏輯控制器13，所述主緊急停止線路單元，包括兩條控制線路11，所述兩條控制線路11的一端分別和零線12連接，所述兩條控制線路11的另一端分別連接可編程邏輯控制器13的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)131，所述兩條控制線11采用兩個(gè)單回路控制按鈕14分別控制。也就是說，本實(shí)施例中，所述主緊急停止線路單元采用如實(shí)施例一所述的主緊急停止線路單元。本實(shí)施例的的主緊急停止系統(tǒng)中，所述可編程邏輯控制器包括用于在兩條控制線11處于不同狀態(tài)時(shí)發(fā)布報(bào)警信息的內(nèi)部檢測(cè)模。當(dāng)任意一根控制線路11出現(xiàn)問題如松脫，可編程邏輯控制器13就會(huì)接收到該信息，從而發(fā)出警報(bào)，進(jìn)而，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，及時(shí)改善線路，從而，即能保證安全問題，又能保證生產(chǎn)問題。實(shí)施例四請(qǐng)參閱圖4，本實(shí)施例提供的主緊急停止系統(tǒng)與是實(shí)施例三的區(qū)別在于所述主緊急停止線路單元采用如實(shí)施例二所述的主緊急停止線路單元，也就是說，所述兩條控制線21采用一個(gè)雙回路控制按鈕24控制。綜上所述，本實(shí)用新型提供的主緊急停止線路單元以及主緊急停止系統(tǒng)，通過采用兩條控制線路，所述兩條控制線路的一端分別和零線連接，所述兩條控制線路的另一端分別連接可編程邏輯控制器的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)，所述兩條控制線采用兩個(gè)單回路控制按鈕分別控制或者采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制，一方面，可以使得主緊急停止線路單元具備內(nèi)部線路診斷功能，即當(dāng)任意一根控制線路出現(xiàn)問題如松脫，可編程邏輯控制器就會(huì)接收到該信息，從而發(fā)出警報(bào)，進(jìn)而，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，及時(shí)改善線路，從而，即能保證安全問題，又能保證生產(chǎn)問題。此實(shí)用新型設(shè)計(jì)改變了傳統(tǒng)的單EMO的單信號(hào)控制設(shè)計(jì)的不足，利用雙信號(hào)設(shè)計(jì)，既保證安全又確保穩(wěn)定生產(chǎn)，而且還具有內(nèi)部線路診斷功能。此實(shí)用新型改造簡單方便，只需多一個(gè)EMO和一路信號(hào)線，占用DI模塊中的一個(gè)DI點(diǎn)。本實(shí)用系新型不僅適用于廠務(wù)氣體的GMS系統(tǒng)，而且適用于其它需要做遠(yuǎn)程shut down控制的所有系統(tǒng)。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種主緊急停止線路單元，其特征在于，包括兩條控制線路，所述兩條控制線路的一端分別和零線連接，所述兩條控制線路的另一端分別連接可編程邏輯控制器的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)，所述兩條控制線采用兩個(gè)單回路控制按鈕控制或者采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制。
2.根據(jù)權(quán)利要求2所述的主緊急停止系統(tǒng)，其特征在于，所述兩個(gè)單回路控制按鈕是常閉開關(guān)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的主緊急停止系統(tǒng)，其特征在于，所述雙回路控制按鈕是常閉開關(guān)。
4.一種主緊急停止系統(tǒng)，其特征在于，包括主緊急停止線路單元和可編程邏輯控制器，所述主緊急停止線路單元，包括兩條控制線路，所述兩條控制線路的一端分別和零線連接，所述兩條控制線路的另一端分別連接可編程邏輯控制器的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)，所述兩條控制線采用兩個(gè)單回路控制按鈕控制或者采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的主緊急停止系統(tǒng)，其特征在于，所述單回路控制按鈕是常閉開關(guān)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的主緊急停止系統(tǒng)，其特征在于，所述雙回路控制按鈕是常閉開關(guān)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的主緊急停止系統(tǒng)，其特征在于，所述可編程邏輯控制器包括用于在兩條控制線處于不同狀態(tài)時(shí)發(fā)布報(bào)警信息的內(nèi)部檢測(cè)模。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種主緊急停止線路單元，包括兩條控制線路，所述兩條控制線路的一端分別和零線連接，兩條控制線路的另一端分別連接可編程邏輯控制器的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)，兩條控制線采用兩個(gè)單回路控制按鈕控制或者采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制。還公開了一種主緊急停止系統(tǒng)，包括主緊急停止線路單元和可編程邏輯控制器，所述主緊急停止線路單元，包括兩條控制線路，所述兩條控制線路的一端分別和零線連接，所述兩條控制線路的另一端分別連接可編程邏輯控制器的對(duì)應(yīng)的輸入點(diǎn)，所述兩條控制線采用兩個(gè)單回路控制按鈕控制或者采用一個(gè)雙回路控制按鈕控制。采用雙信號(hào)控制替代了傳統(tǒng)的單信號(hào)控制控制，具有內(nèi)部線路診斷功能，既可保證安全、又可保證穩(wěn)定生產(chǎn)。
文檔編號(hào)G05B19/05GK202837950SQ20122052062
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月11日
發(fā)明者張文武, 朱江寧 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司