專(zhuān)利名稱(chēng)：一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
目前，在晶圓廠的全自動(dòng)化生產(chǎn)線上的生產(chǎn)設(shè)備經(jīng)常是全天候(24小時(shí))運(yùn)轉(zhuǎn)，即設(shè)備自行進(jìn)行生產(chǎn)、控制，及自動(dòng)在上下工序間傳送；現(xiàn)有技術(shù)中，主要是通過(guò)電腦終端對(duì)該自動(dòng)化生產(chǎn)線及設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控，主要是將各設(shè)備的上分別與制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execution System,簡(jiǎn)稱(chēng)MES)進(jìn)行通訊連接，以更新MES中各設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)信息；然而，當(dāng)設(shè)備發(fā)生死機(jī)等情況時(shí)，設(shè)備會(huì)中斷與MES之間的連接，而現(xiàn)有的MES系統(tǒng)又不會(huì)及時(shí)發(fā)現(xiàn)該通訊中斷并進(jìn)行報(bào)警，進(jìn)而導(dǎo)致產(chǎn)品工藝的異常，浪費(fèi)設(shè)備機(jī)時(shí)，且使用人力進(jìn)行巡查處理時(shí)，又會(huì)浪費(fèi)大量的人力成本，致使整個(gè)生產(chǎn)工藝成本的增加。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述存在的問(wèn)題，本發(fā)明揭示了一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)及方法，主要是根據(jù)預(yù)設(shè)的作業(yè)時(shí)間與運(yùn)行中實(shí)際作業(yè)時(shí)間的比對(duì)，對(duì)疑似異常死機(jī)的設(shè)備及時(shí)進(jìn)行自動(dòng)報(bào)警的工藝。
本發(fā)明的目的是通過(guò)下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，應(yīng)用于自動(dòng)化生產(chǎn)線上，包括用于對(duì)芯片進(jìn)行工藝處理的生產(chǎn)設(shè)備，其中，還包括
監(jiān)測(cè)模塊，與所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行通訊連接，以用于從所述生產(chǎn)設(shè)備上提取設(shè)備信息；判斷模塊，分別與所述自動(dòng)化生產(chǎn)線和所述檢測(cè)模塊進(jìn)行通訊連接，根據(jù)提取的所述設(shè)備信息判斷所述生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，并根據(jù)該運(yùn)行狀態(tài)決定是否觸發(fā)警報(bào)。上述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其中，還包括與所述判斷模塊連接的報(bào)警裝置，接收所述警報(bào)并發(fā)出聲光警報(bào)。上述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其中，還包括與所述判斷模塊連接的顯示裝置，用于顯示觸發(fā)警報(bào)的生產(chǎn)設(shè)備的信息。上述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其中，所述判斷模塊中根據(jù)所述生產(chǎn)設(shè)備中進(jìn)行的工藝預(yù)設(shè)有常規(guī)作業(yè)時(shí)間值。上述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其中，所述設(shè)備信息包括所述生產(chǎn)設(shè)備中是否有任一批次作業(yè)中，若有，則還包括該生產(chǎn)設(shè)備中最后開(kāi)始作業(yè)批次的開(kāi)始時(shí)間。上述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其中，所述生產(chǎn)設(shè)備中無(wú)任一批次作業(yè)中時(shí)，所述判斷模塊判斷所述生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)；反之，則根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備中最后開(kāi)始作業(yè)批次的開(kāi)始時(shí)間計(jì)算其進(jìn)行工藝的時(shí)間值，若該時(shí)間值大于系統(tǒng)設(shè)定的常規(guī)作業(yè)時(shí)間值，則所述判斷模塊判斷所述生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)。一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，包括上述任意一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其中，
抽取所述生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)備信息；當(dāng)所述生成設(shè)備處于產(chǎn)品生產(chǎn)狀態(tài)時(shí)，判斷該生產(chǎn)設(shè)備中是否有任一批次作業(yè)中； 若該生產(chǎn)設(shè)備中無(wú)任一批次作業(yè)中，則判斷所述生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警
報(bào)；
若該生產(chǎn)設(shè)備中有任一批次作業(yè)中，則根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備中最后開(kāi)始作業(yè)批次的開(kāi)始時(shí)間計(jì)算其進(jìn)行工藝的時(shí)間值；
若進(jìn)行工藝的時(shí)間值大于系統(tǒng)設(shè)定的常規(guī)作業(yè)時(shí)間值，則判斷所述生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)；反之，則判斷所述生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)正常，并繼續(xù)下一工藝。上述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，其中，還包括上述觸發(fā)警報(bào)的同時(shí)，通過(guò)顯示模塊將生產(chǎn)設(shè)備信息顯示。上述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，其中，還包括進(jìn)行上述判斷工藝步驟的判斷模塊，并采用監(jiān)測(cè)模塊抽取所述生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)備信息。上述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其中，還包括與所述判斷模塊連接的報(bào)警裝置，以接收所述警報(bào)并發(fā)出聲光警報(bào)。綜上所述，本發(fā)明一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)及方法，通過(guò)根據(jù)預(yù)設(shè)的作業(yè)時(shí)間與運(yùn)行中實(shí)際作業(yè)時(shí)間的比對(duì)，對(duì)疑似異常死機(jī)的設(shè)備及時(shí)進(jìn)行自動(dòng)報(bào)警，同時(shí)將該疑似死機(jī)的設(shè)備信息顯示出來(lái)，以便于工程師方便、及時(shí)、準(zhǔn)確的對(duì)異常的生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行檢查分析，從而在提高工程師巡檢效率的同時(shí)，有效的避免了生產(chǎn)設(shè)備機(jī)時(shí)的浪費(fèi)，進(jìn)而降低了整個(gè)生產(chǎn)工藝的成本。


圖I是本發(fā)明實(shí)施例一中監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意 圖2是本發(fā)明實(shí)施例二中監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式 下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明
實(shí)施例一
圖I是本發(fā)明實(shí)施例一中監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖I所示，本發(fā)明一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，在晶圓廠的全自動(dòng)化生產(chǎn)線上，包括判斷模塊、檢測(cè)模塊、MES服務(wù)器、報(bào)警裝置、多個(gè)顯示裝置和多個(gè)生產(chǎn)設(shè)備，該多個(gè)生產(chǎn)設(shè)備均與MES服務(wù)器進(jìn)行雙向通訊連接，以收集生產(chǎn)設(shè)備信息并控制生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行；檢測(cè)模塊與MES服務(wù)器連接，以抽取生產(chǎn)設(shè)備的信息，如生產(chǎn)設(shè)備中是否有任一批次作業(yè)、生產(chǎn)設(shè)備編碼等信息；判斷模塊分別與檢測(cè)模塊及MES服務(wù)器進(jìn)行連接，以根據(jù)檢測(cè)模塊抽取的生產(chǎn)設(shè)備信息，判斷是否觸發(fā)警報(bào)至報(bào)警裝置，在觸發(fā)警報(bào)的同時(shí)將異常生產(chǎn)設(shè)備信息發(fā)送至多個(gè)顯示裝置進(jìn)行顯示，以便于在聲光報(bào)警信息提醒時(shí)，提供觸發(fā)警報(bào)的生產(chǎn)設(shè)備的信息，以方便工程師準(zhǔn)確、及時(shí)的對(duì)生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行分析處理。其中，當(dāng)生產(chǎn)設(shè)備信息中的生產(chǎn)設(shè)備中無(wú)任一批次作業(yè)中時(shí)，判斷模塊判斷該生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)，并將該生產(chǎn)設(shè)備的編碼等信息經(jīng)顯示模塊進(jìn)行顯示；反之，則將生產(chǎn)設(shè)備中最后開(kāi)始作業(yè)批次的開(kāi)始時(shí)間減去當(dāng)前時(shí)間進(jìn)行計(jì)算進(jìn)行工藝時(shí)間的差值，若該時(shí)間差值大于系統(tǒng)設(shè)定的常規(guī)作業(yè)的時(shí)間值，則判斷模塊判斷該生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)，并將該生產(chǎn)設(shè)備的編碼等信息經(jīng)顯示模塊進(jìn)行顯示；若該時(shí)間差值小于或等于系統(tǒng)設(shè)定的常規(guī)作業(yè)的時(shí)間值，則判斷模塊判斷該生產(chǎn)設(shè)備正常，并通知MES服務(wù)器繼續(xù)進(jìn)行工藝處理。上述的顯示裝置可以利用現(xiàn)有生產(chǎn)線上的顯示終端進(jìn)行顯示，如電腦顯示器等；判斷模塊和檢測(cè)模塊可以嵌入設(shè)置在MES服務(wù)器或生產(chǎn)線上電腦終端上，以便于操作；當(dāng)生產(chǎn)線上的生產(chǎn)設(shè)備處于產(chǎn)品生產(chǎn)(RUN)的狀態(tài)時(shí)，本發(fā)明監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)中的各部件開(kāi)始進(jìn)行分析處理，并可根據(jù)工藝需求設(shè)置間隔處理的時(shí)間，如根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行的工藝操作時(shí)間等設(shè)置每隔10分鐘進(jìn)行一次設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的檢測(cè)。實(shí)施例二
圖2是本發(fā)明實(shí)施例二中監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法的流程示意圖；如圖2所示，監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，首先，檢測(cè)模塊通過(guò)MES服務(wù)器抽取各個(gè)生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)備信息；其次，判斷模塊對(duì)處于產(chǎn)品生產(chǎn)狀態(tài)的生產(chǎn)設(shè)備信息進(jìn)行分析對(duì)比，若生產(chǎn)設(shè)備信息中不包含有任一批次作業(yè)的信息，則判斷該生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸 發(fā)警報(bào)，并將該生產(chǎn)設(shè)備的編碼等信息經(jīng)顯示模塊進(jìn)行顯示，以便于生產(chǎn)線管控人員對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行處理；若生產(chǎn)設(shè)備信息中包含有任一批次作業(yè)的信息，則繼續(xù)進(jìn)行比較分析。然后，判斷模塊將該生產(chǎn)設(shè)備中最后開(kāi)始作業(yè)批次的開(kāi)始時(shí)間減去當(dāng)前時(shí)間進(jìn)行計(jì)算進(jìn)行工藝時(shí)間的差值，若該時(shí)間差值大于根據(jù)預(yù)先設(shè)定的工藝常規(guī)作業(yè)時(shí)間值，則判斷模塊判斷該生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)，并將該生產(chǎn)設(shè)備的編碼等信息經(jīng)顯示模塊進(jìn)行顯示；反之，則判斷模塊判斷該生產(chǎn)設(shè)備正常，并通知MES服務(wù)器繼續(xù)進(jìn)行工藝處理。例如，本實(shí)施例中監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，在RUN產(chǎn)品的狀態(tài)下，通過(guò)在生產(chǎn)線上電腦終端嵌入設(shè)置檢測(cè)和判斷模塊自動(dòng)抽取生產(chǎn)線上所有設(shè)備的狀態(tài)、作業(yè)信息，取得“RUN產(chǎn)品”狀態(tài)下的設(shè)備單，并將每臺(tái)設(shè)備實(shí)時(shí)運(yùn)行、作業(yè)參數(shù)與預(yù)設(shè)的對(duì)應(yīng)參數(shù)進(jìn)行比對(duì)，超出范圍的如超出時(shí)間沒(méi)有開(kāi)始新的產(chǎn)品批次作業(yè)的設(shè)備，可判斷為疑似死機(jī)，并通過(guò)警報(bào)裝置發(fā)出聲光警報(bào)，同時(shí)將該設(shè)備信息如編碼等顯示在生產(chǎn)線的顯示終端上，以便于生產(chǎn)線人員對(duì)該生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行處理。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明實(shí)施例提出一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，通過(guò)根據(jù)預(yù)設(shè)的作業(yè)時(shí)間與運(yùn)行中實(shí)際作業(yè)時(shí)間的比對(duì)，對(duì)疑似異常死機(jī)的設(shè)備及時(shí)進(jìn)行自動(dòng)報(bào)警，同時(shí)將該疑似死機(jī)的設(shè)備信息顯示出來(lái)，以便于工程師方便、及時(shí)、準(zhǔn)確的對(duì)異常的生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行檢查分析，從而在提高工程師巡檢效率的同時(shí)，有效的避免了生產(chǎn)設(shè)備機(jī)時(shí)的浪費(fèi)，進(jìn)而降低了整個(gè)生產(chǎn)工藝的成本。通過(guò)說(shuō)明和附圖，給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說(shuō)明后，各種變化和修正無(wú)疑將顯而易見(jiàn)。因此，所附的權(quán)利要求書(shū)應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書(shū)范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，應(yīng)用于自動(dòng)化生產(chǎn)線上，包括用于對(duì)芯片進(jìn)行工藝處理的生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，還包括 監(jiān)測(cè)模塊，與所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行通訊連接，以用于從所述生產(chǎn)設(shè)備上提取設(shè)備信息； 判斷模塊，分別與所述自動(dòng)化生產(chǎn)線和所述檢測(cè)模塊進(jìn)行通訊連接，根據(jù)提取的所述設(shè)備信息判斷所述生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，并根據(jù)該運(yùn)行狀態(tài)決定是否觸發(fā)警報(bào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其特征在于，還包括與所述判斷模塊連接的報(bào)警裝置，接收所述警報(bào)并發(fā)出聲光警報(bào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其特征在于，還包括與所述判斷模塊連接的顯示裝置，用于顯示觸發(fā)警報(bào)的生產(chǎn)設(shè)備的信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其特征在于，所述判斷模塊中根據(jù)所述生產(chǎn)設(shè)備中進(jìn)行的工藝預(yù)設(shè)有常規(guī)作業(yè)時(shí)間值。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)備信息包括所述生產(chǎn)設(shè)備中是否有任一批次作業(yè)中，若有，則還包括該生產(chǎn)設(shè)備中最后開(kāi)始作業(yè)批次的開(kāi)始時(shí)間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其特征在于，所述生產(chǎn)設(shè)備中無(wú)任一批次作業(yè)中時(shí)，所述判斷模塊判斷所述生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)；反之，則根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備中最后開(kāi)始作業(yè)批次的開(kāi)始時(shí)間計(jì)算其進(jìn)行工藝的時(shí)間值，若該時(shí)間值大于系統(tǒng)設(shè)定的常規(guī)作業(yè)時(shí)間值，則所述判斷模塊判斷所述生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)。
7.—種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，包括權(quán)利要求1-6中任意一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其特征在于， 抽取所述生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)備信息； 當(dāng)所述生成設(shè)備處于產(chǎn)品生產(chǎn)狀態(tài)時(shí)，判斷該生產(chǎn)設(shè)備中是否有任一批次作業(yè)中； 若該生產(chǎn)設(shè)備中無(wú)任一批次作業(yè)中，則判斷所述生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)； 若該生產(chǎn)設(shè)備中有任一批次作業(yè)中，則根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備中最后開(kāi)始作業(yè)批次的開(kāi)始時(shí)間計(jì)算其進(jìn)行工藝的時(shí)間值； 若進(jìn)行工藝的時(shí)間值大于系統(tǒng)設(shè)定的常規(guī)作業(yè)時(shí)間值，則判斷所述生產(chǎn)設(shè)備疑似死機(jī)狀態(tài)，同時(shí)觸發(fā)警報(bào)；反之，則判斷所述生產(chǎn)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)正常，并繼續(xù)工藝。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，其特征在于，還包括上述觸發(fā)警報(bào)的同時(shí)，通過(guò)顯示模塊將生產(chǎn)設(shè)備信息顯示。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的方法，其特征在于，還包括進(jìn)行上述判斷工藝步驟的判斷模塊，并采用監(jiān)測(cè)模塊抽取所述生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)備信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)，其特征在于，還包括與所述判斷模塊連接的報(bào)警裝置，以接收所述警報(bào)并發(fā)出聲光警報(bào)。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)及方法。本發(fā)明提出一種監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的系統(tǒng)及方法，通過(guò)根據(jù)預(yù)設(shè)的作業(yè)時(shí)間與運(yùn)行中實(shí)際作業(yè)時(shí)間的比對(duì)，對(duì)疑似異常死機(jī)的設(shè)備及時(shí)進(jìn)行自動(dòng)報(bào)警，同時(shí)將該疑似死機(jī)的設(shè)備信息顯示出來(lái)，以便于工程師方便、及時(shí)、準(zhǔn)確的對(duì)異常的生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行檢查分析，從而在提高工程師巡檢效率的同時(shí)，有效的避免了生產(chǎn)設(shè)備機(jī)時(shí)的浪費(fèi)，進(jìn)而降低了整個(gè)生產(chǎn)工藝的成本。
文檔編號(hào)G05B19/418GK102937802SQ20121043247
公開(kāi)日2013年2月20日 申請(qǐng)日期2012年11月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月2日
發(fā)明者張曉東, 周利民, 李臻 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司