專利名稱：一種氣體壓力穩(wěn)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及氣體壓力穩(wěn)定裝置，具體涉及一種耐強(qiáng)腐蝕性氣體介質(zhì)壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)精密裝置。
背景技術(shù)：
中國(guó)專利(專利號(hào)為200680009421. 4)公開了一種氣體壓力調(diào)節(jié)器，其通過(guò)一節(jié)氣門在第一限定線縱向移動(dòng)，改變節(jié)氣門開口大小，調(diào)節(jié)氣體通過(guò)量。抵抗節(jié)氣門運(yùn)動(dòng)的為調(diào)節(jié)器彈簧單元。中國(guó)專利(專利號(hào)為01803599. χ)還公開了另一種壓力調(diào)節(jié)器，通過(guò)控制壓力介質(zhì)入口處的閉合件，在閉合件上支承有一閥彈簧，閥彈簧另一端支承在彈簧導(dǎo)向套筒中。壓力變化時(shí)閥彈簧被壓縮或伸長(zhǎng)，閉合件開啟或關(guān)閉，調(diào)節(jié)氣體通過(guò)量。現(xiàn)有氣體壓力穩(wěn)定裝置，在使用強(qiáng)腐蝕氣體介質(zhì)時(shí)，其壓力感受元件均為彈簧元件并直接作用于閉合元件，易受腐蝕氣體的影響，整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但存在精度低，壽命短，長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性差等缺點(diǎn)，不適宜在特種氣體介質(zhì)條件下長(zhǎng)期穩(wěn)定使用。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種可實(shí)現(xiàn)在強(qiáng)腐蝕性氣體介質(zhì)中的壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)， 達(dá)到恒壓作用，壓力調(diào)節(jié)精度高，運(yùn)行穩(wěn)定、壽命長(zhǎng)、易維護(hù)的氣體壓力穩(wěn)定裝置。實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的技術(shù)方案一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，該裝置包括圓柱形的氣罐，在氣罐上方固定有平板；氣罐一端連接氣體輸入管，另一端連接氣體輸出管；閥座上安裝閥門后裝于氣體輸入管或氣體輸出管一端；閥門另一端對(duì)應(yīng)設(shè)置在氣罐內(nèi)的閥門體； 閥門體連接閥門桿，閥門桿上端連接設(shè)置在平板上的轉(zhuǎn)叉。在平板上固定有膜片，平板對(duì)應(yīng)膜片處開有通孔，通過(guò)該通孔使得氣罐與膜片相通；膜片上方罩有零位腔蓋。下針形桿放置在零位腔蓋內(nèi)，呈“ Π ”形的傳感器杠桿的一個(gè)支腿固定在零位腔蓋側(cè)壁，下針形桿的底端放在膜片上表面，下針形桿的頂端頂著上述傳感器杠桿的一個(gè)支腿。呈“Π”形的傳感器杠桿的另一個(gè)支腿設(shè)在零位腔蓋上方，上針形桿的底端放置在該支腿上表面，上針形桿的頂端頂著小杠桿一端；小杠桿另一端搭在小球上；小球放置在氣流管上；氣流管上方對(duì)應(yīng)大杠桿的一端，大杠桿的另一端連接轉(zhuǎn)叉。氣流管下部放置于伺服裝置內(nèi)，在伺服裝置內(nèi)、氣流管下部固定有盤座，通過(guò)固定在盤座上的伺服裝置彈簧箱伸長(zhǎng)或收縮帶動(dòng)盤座動(dòng)作，從而帶動(dòng)氣流管在伺服裝置殼體內(nèi)上下移動(dòng)；伺服裝置底端連接壓縮空氣管。如上所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其在平板上固定有罩殼，膜片、零位腔蓋、下針形桿、傳感器杠桿、上針形桿、小杠桿、氣流管、伺服裝置、大杠桿以及轉(zhuǎn)叉放置在罩殼內(nèi)。如上所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其在膜片和零位腔蓋之間設(shè)有膜上彈簧。如上所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其小杠桿左右二邊繞支點(diǎn)二上下擺動(dòng)，大杠桿左右二邊繞支點(diǎn)一上下擺動(dòng)；在大杠桿和零位腔蓋之間連接有平衡彈簧，以控制大杠桿擺動(dòng)量；在大杠桿與轉(zhuǎn)叉連接處設(shè)有閉合彈簧，以確保大杠桿與轉(zhuǎn)叉的有效連接；在小杠桿與大杠桿間設(shè)置有恢復(fù)彈簧，以使小杠桿擺動(dòng)量受到抑制。如上所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其遠(yuǎn)距離調(diào)整彈簧一端連接“Π”形的傳感器杠桿端部，另一端連接傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接帶電動(dòng)機(jī)的減速器。如上所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其所述的帶電動(dòng)機(jī)的減速器處設(shè)有接圓光柵編碼器；所述的氣流管上部設(shè)有光柵位移傳感器。如上所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，由膜片和零位腔蓋構(gòu)成的零位腔連接一根氣體管路，通過(guò)該氣體管路始終保持零位腔內(nèi)的壓力為一恒定值且壓力小于lOOPa。如上所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其所述的膜片采用鈹青銅材料制成。所述的氣罐、閥座、閥門、閥門桿和平板均采用碳鋼制成后先鍍銅再鍍鎳，或者采用不銹鋼制成。本實(shí)用新型的效果在于本實(shí)用新型所述的氣體壓力穩(wěn)定裝置可實(shí)現(xiàn)在強(qiáng)腐蝕性氣體介質(zhì)中的壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)，達(dá)到恒壓作用；通過(guò)更換不同直徑的閥門和閥門體，可適應(yīng)一定范圍的壓力和流量工作區(qū)間；能夠?qū)崿F(xiàn)遠(yuǎn)距離調(diào)整及監(jiān)測(cè)參數(shù)的目的；具有壓力適用范圍廣，壓力調(diào)節(jié)精度高， 運(yùn)行穩(wěn)定，壽命長(zhǎng)，易維護(hù)等特點(diǎn)。具體效果如下(1)通過(guò)零位腔蓋、下針形桿、傳感器杠桿、上針形桿等構(gòu)成的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠有效地接收到膜片任意大小的位移量，并放大傳遞；采用氣流管、盤座等構(gòu)成的伺服裝置，利用壓縮空氣作為氣體壓力穩(wěn)定裝置調(diào)節(jié)動(dòng)力，有效地保障了裝置長(zhǎng)期穩(wěn)定的工作。(2)通過(guò)采用閥座與閥門體間隙的變化，來(lái)改變氣體通道面積，達(dá)到壓力的自動(dòng)穩(wěn)定作用，精確且及時(shí)。(3)通過(guò)光柵位移傳感器及圓光柵編碼器，成功實(shí)現(xiàn)數(shù)字化測(cè)量和遠(yuǎn)程調(diào)整與監(jiān)控。(4)本實(shí)用新型中氣罐采用碳鋼制做，鍍銅鍍鎳后可達(dá)到高抗腐蝕性。(5)膜片采用鈹青銅材料，解決了感應(yīng)元件即要具有高強(qiáng)度，又要具有高的抗強(qiáng)腐蝕性能，同時(shí)還能準(zhǔn)確地感受壓力的微小變化并傳遞給傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

圖1為本實(shí)用新型所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置主視圖；圖2為本實(shí)用新型所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置俯視圖；圖3為本實(shí)用新型所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置局部視圖。圖中1.氣罐；2.平板；3.轉(zhuǎn)叉；4.罩殼；5.閉合彈簧；6.傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；7.大杠桿； 8.遠(yuǎn)距離調(diào)整彈簧；9.上針形桿；10.支點(diǎn)一 ；11.小杠桿；12.傳感器杠桿；13.平衡彈簧； 14.支點(diǎn)二；15.恢復(fù)彈簧；16.小球；17.光柵位移傳感器；18.伺服裝置彈簧箱；19.伺服裝置；20.氣流管；21.盤座；22.壓縮空氣管；23.零位腔蓋；24.下針形桿；25.膜上彈簧； 26.膜片；27.圓光柵編碼器；28.帶電動(dòng)機(jī)的減速器；29.閥門桿；30.氣體輸出管；31.閥門體；32.閥門；33.閥座；34.氣體輸入管。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置作進(jìn)一步描述。
5[0026]如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置包括氣罐1，氣罐1 的筒身為圓柱形，在氣罐1上方固定有平板2，在平板2上固定有罩殼4，罩殼4內(nèi)放置有膜片26、零位腔蓋23、下針形桿對(duì)、傳感器杠桿12、上針形桿9、小杠桿11、氣流管20、伺服裝置19、大杠桿7以及轉(zhuǎn)叉3等部件。氣罐1相對(duì)位置上設(shè)置有二個(gè)直徑相等的連接管，一個(gè)為氣體輸入管34，另一個(gè)為氣體輸出管30。標(biāo)準(zhǔn)的閥座33裝配于氣體輸入管34(或氣體輸出管30)上，閥座33上安裝有不同規(guī)格的閥門32，氣罐1內(nèi)相對(duì)位置設(shè)置有對(duì)應(yīng)規(guī)格的閥門體31。閥門體31連接閥門桿29，閥門桿四上端連接設(shè)置在平板2上的轉(zhuǎn)叉3。通過(guò)轉(zhuǎn)叉3帶動(dòng)閥門桿四動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)閥門體31與閥門32的開與關(guān)，即可調(diào)節(jié)氣體壓力或流量。當(dāng)閥門桿四擺動(dòng)時(shí)，閥門體31與閥門32間隙發(fā)生變化，流經(jīng)氣體壓力穩(wěn)定裝置的氣體流量增大或減少，壓力隨之變化。當(dāng)間隙為0時(shí)，氣體壓力穩(wěn)定裝置關(guān)閉。氣罐1、閥門32、閥座33、閥門桿四、 平板2這些與工作物質(zhì)接觸的部件均采用碳鋼制作后鍍銅鍍鎳或直接采用不銹鋼制作，解決了耐腐蝕的問(wèn)題。在平板2上固定有膜片沈，平板2對(duì)應(yīng)膜片沈處開有通孔，通過(guò)該通孔使得氣罐1與膜片沈相通。膜片沈上方罩有零位腔蓋，在膜片沈和零位腔蓋之間設(shè)有膜上彈簧25。膜片沈下方與氣罐1構(gòu)成工作腔；膜片沈上方和零位腔蓋23構(gòu)成零位腔。膜片 26是氣體壓力穩(wěn)定裝置的關(guān)鍵元件，采用鈹青銅材料制做。在零位腔處可連接一根氣體管路，通過(guò)該氣體管路保持零位腔內(nèi)的壓力小于工作腔內(nèi)的壓力，并保持零位腔內(nèi)的恒低壓 (彡1001 ),確保工作腔與零位腔形成一定的壓力差。下針形桿M放置在零位腔蓋內(nèi)，呈“Π”形的傳感器杠桿12的一個(gè)支腿固定在零位腔蓋側(cè)壁。下針形桿M的底端放置在膜片沈上表面中心點(diǎn)，下針形桿M的頂端頂著傳感器杠桿12的上述支腿。呈“Π”形的傳感器杠桿12的另一個(gè)支腿設(shè)在零位腔蓋上方，上針形桿9的底端放置在該支腿上表面。上針形桿9的頂端頂著小杠桿11 一端，小杠桿11另一端搭在小球 16上。小球16放置在氣流管20上，氣流管20上方對(duì)應(yīng)大杠桿7的一端，大杠桿7的另一端連接轉(zhuǎn)叉3的搖臂。小杠桿11左右二邊繞支點(diǎn)二 14上下擺動(dòng)，大杠桿7左右二邊繞支點(diǎn)一 10上下擺動(dòng)，支點(diǎn)一 10固定在零位腔蓋23上，支點(diǎn)二 14固定在大杠桿上。在大杠桿 7和零位腔蓋23之間連接有平衡彈簧13，以控制大杠桿7擺動(dòng)量。在大杠桿7與轉(zhuǎn)叉3連接處設(shè)有閉合彈簧5，以確保大杠桿7與轉(zhuǎn)叉3的有效連接。在小杠桿11與大杠桿7間設(shè)置有恢復(fù)彈簧15，以使小杠桿11擺動(dòng)量受到抑制。氣流管20下部放置于伺服裝置19內(nèi)，在伺服裝置19內(nèi)、氣流管20下部固定有盤座21，可通過(guò)固定在盤座21上的伺服裝置彈簧箱18伸長(zhǎng)或收縮帶動(dòng)盤座21動(dòng)作，從而帶動(dòng)氣流管20在伺服裝置19殼體內(nèi)上下移動(dòng)。伺服裝置19底端連接壓縮空氣管22。氣流管20上部連接有光柵位移傳感器17。遠(yuǎn)距離調(diào)整彈簧8 —端連接“Π”形的傳感器杠桿12，另一端連接傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)6連接帶電動(dòng)機(jī)的減速器觀，帶電動(dòng)機(jī)的減速器觀上連接圓光柵編碼器27。本實(shí)用新型所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置工作時(shí)先通過(guò)壓縮空氣管22向伺服裝置19內(nèi)通入氣流，使得氣流管20內(nèi)有向上的氣流，從而吹起氣流管20上方的小球16，使得小球16與氣流管20之間存在間隙。
6[0035]當(dāng)氣罐1內(nèi)工作壓力上升時(shí)，膜片沈的中心向上鼓，推動(dòng)下針形桿M向上移動(dòng)， 傳感器杠桿12隨之移動(dòng)，傳感器杠桿12上端的上針形桿9也向上移動(dòng)，推動(dòng)小杠桿11 一側(cè)(左側(cè))向上，使得小杠桿11另一側(cè)(右側(cè))向下壓小球16，小球16與氣流管20的間隙減小，使得氣流管20出氣口面積減小；此時(shí)，伺服裝置19內(nèi)壓縮空氣壓力升高，伺服裝置彈簧箱18帶動(dòng)盤座21進(jìn)而帶動(dòng)氣流管20在伺服裝置19內(nèi)向上移動(dòng)，將大杠桿7 —側(cè) (右側(cè))頂起，大杠桿7另一側(cè)(左側(cè))向下壓閉合彈簧5，然后通過(guò)轉(zhuǎn)叉3帶動(dòng)閥門桿四位移，使閥門體31與閥門32間隙減小，氣體通道面積減小，工作腔內(nèi)壓力下降。當(dāng)氣流管20在伺服裝置19內(nèi)向上移動(dòng)時(shí)，其移動(dòng)距離可通過(guò)光柵位移傳感器17 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。當(dāng)上述過(guò)程開始后，相關(guān)彈性元件同時(shí)開始反向作用。當(dāng)氣流管20上移頂起大杠桿右側(cè)時(shí)，小杠桿11右側(cè)同時(shí)上升。在小杠桿11與大杠桿7間恢復(fù)彈簧15的作用下，小杠桿11右側(cè)上升受到抑制。而小球16在壓縮空氣作用下將上升，其與氣流管20間隙變大，部分壓縮空氣從氣流管20排出，伺服裝置19內(nèi)壓力將停止增長(zhǎng)，氣體壓力穩(wěn)定裝置恢復(fù)穩(wěn)定狀態(tài)。此時(shí)壓力變動(dòng)至整定值，氣罐1內(nèi)工作壓力與膜片26達(dá)成平衡，壓力穩(wěn)定在要求值。當(dāng)氣罐1內(nèi)工作壓力下降，上述過(guò)程反向進(jìn)行。當(dāng)氣罐1內(nèi)工作壓力下降時(shí)，膜片沈的中心向下鼓，下針形桿M向下移動(dòng)，傳感器杠桿12隨之移動(dòng)，傳感器杠桿12上端的上針形桿9也向下移動(dòng)，帶動(dòng)小杠桿11 一側(cè)(左側(cè))向下，使得小杠桿11另一側(cè)(右側(cè))向上移動(dòng)，小球16與氣流管20的間隙增大，部分壓縮空氣從氣流管20排出；此時(shí)，伺服裝置19內(nèi)壓縮空氣壓力下降，伺服裝置彈簧箱18帶動(dòng)盤座21進(jìn)而帶動(dòng)氣流管20在伺服裝置19內(nèi)向下移動(dòng)，使大杠桿7—側(cè)(右側(cè))下移， 大杠桿7另一側(cè)(左側(cè))向上移動(dòng)，通過(guò)閉合彈簧5、轉(zhuǎn)叉3帶動(dòng)閥門桿四位移，使閥門體 31與閥門32間隙增大，氣體通道面積增大，工作腔內(nèi)壓力上升。當(dāng)氣流管20下移，大杠桿右側(cè)與小杠桿11右側(cè)同時(shí)下移時(shí)，小球16與氣流管20 間隙減小，伺服裝置19內(nèi)壓縮空氣排出量減小，伺服裝置19內(nèi)壓力增長(zhǎng)，氣體壓力穩(wěn)定裝置恢復(fù)穩(wěn)定狀態(tài)。在小杠桿11與大杠桿7間恢復(fù)彈簧15的作用下，小杠桿11右側(cè)下降受到抑制。此時(shí)壓力變動(dòng)至整定值，氣罐1內(nèi)工作壓力與膜片沈達(dá)成平衡，壓力穩(wěn)定在要求值。本實(shí)用新型中氣體壓力穩(wěn)定裝置工作腔的壓力設(shè)置，采用遠(yuǎn)距離調(diào)整彈簧8進(jìn)行。當(dāng)需要進(jìn)行壓力調(diào)整時(shí)，通過(guò)帶電動(dòng)機(jī)的減速器觀的轉(zhuǎn)動(dòng)，將遠(yuǎn)距離調(diào)整彈簧8的拉伸量進(jìn)行調(diào)整，帶動(dòng)“Π”形的傳感器杠桿12上下動(dòng)作，傳感器杠桿12上下動(dòng)作使得下針形桿M上下動(dòng)作，從而調(diào)整膜片沈上施加的預(yù)緊力，實(shí)現(xiàn)工作壓力的人工設(shè)定。通過(guò)圓光柵編碼器27可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)遠(yuǎn)距離調(diào)整彈簧8的調(diào)整量。本實(shí)用新型中可通過(guò)更換不同特性參數(shù)的膜上彈簧25，實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)范圍的變化。本實(shí)用新型所述的氣體壓力穩(wěn)定裝置各部件連接處采用耐氟橡膠或四氟乙烯襯墊?？赏ㄟ^(guò)更換不同尺寸的閥門體31與閥門32，即可實(shí)現(xiàn)小流量到大流量的變化。
權(quán)利要求1.一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，該裝置包括圓柱形的氣罐(1)，在氣罐(1)上方固定有平板 (2)；氣罐(1) 一端連接氣體輸入管(34)，另一端連接氣體輸出管(30)；閥座(3 上安裝閥門(3 后裝于氣體輸入管(34)或氣體輸出管(30) —端；閥門(3 另一端對(duì)應(yīng)設(shè)置在氣罐(1)內(nèi)的閥門體(31)；閥門體(31)連接閥門桿09)，閥門桿09)上端連接設(shè)置在平板 ⑵上的轉(zhuǎn)叉⑶；其特征在于在平板( 上固定有膜片(26)，平板( 對(duì)應(yīng)膜片06)處開有通孔，通過(guò)該通孔使得氣罐(1)與膜片06)相通；膜片06)上方罩有零位腔蓋03)；下針形桿04)放置在零位腔蓋內(nèi)，呈“Π”形的傳感器杠桿(1 的一個(gè)支腿固定在零位腔蓋側(cè)壁，下針形桿04)的底端放在膜片06)上表面，下針形桿04)的頂端頂著上述傳感器杠桿(1 的一個(gè)支腿；呈“Π”形的傳感器杠桿(12)的另一個(gè)支腿設(shè)在零位腔蓋03)上方，上針形桿(9)的底端放置在該支腿上表面，上針形桿(9)的頂端頂著小杠桿(11) 一端；小杠桿(11)另一端搭在小球(16)上；小球(16)放置在氣流管00)上；氣流管00)上方對(duì)應(yīng)大杠桿(7)的一端，大杠桿(7)的另一端連接轉(zhuǎn)叉(3)；氣流管00)下部放置于伺服裝置(19)內(nèi)，在伺服裝置(19)內(nèi)、氣流管00)下部固定有盤座(21)，通過(guò)固定在盤座上的伺服裝置彈簧箱(18)伸長(zhǎng)或收縮帶動(dòng)盤座動(dòng)作，從而帶動(dòng)氣流管00)在伺服裝置(19)殼體內(nèi)上下移動(dòng)；伺服裝置(19)底端連接壓縮空氣管(22)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于在平板( 上固定有罩殼，膜片( )、零位腔蓋(23)、下針形桿(M)、傳感器杠桿(12)、上針形桿(9)、小杠桿(11)、氣流管(20)、伺服裝置(19)、大杠桿(7)以及轉(zhuǎn)叉(3)放置在罩殼⑷內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于在膜片06)和零位腔蓋之間設(shè)有膜上彈簧05)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于所述的小杠桿(11)中間位置有支點(diǎn)二(14)，小杠桿(11)左右二邊繞支點(diǎn)二(14)上下擺動(dòng)；所述的大杠桿(7)中間位置有支點(diǎn)一(10)，大杠桿(7)左右二邊繞支點(diǎn)一(10)上下擺動(dòng)；在大杠桿(7)和零位腔蓋之間連接有平衡彈簧(1 ，以控制大杠桿(7)擺動(dòng)量；在大杠桿(7)與轉(zhuǎn)叉(3) 連接處設(shè)有閉合彈簧(5)，以確保大杠桿(7)與轉(zhuǎn)叉(3)的有效連接；在小杠桿(11)與大杠桿(7)間設(shè)置有恢復(fù)彈簧(15)，以使小杠桿(11)擺動(dòng)量受到抑制。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于所述的“Π”形的傳感器杠桿(1 端部連接遠(yuǎn)距離調(diào)整彈簧(8)，遠(yuǎn)距離調(diào)整彈簧(8)另一端連接傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)， 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)連接帶電動(dòng)機(jī)的減速器08)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于所述的帶電動(dòng)機(jī)的減速器08)處設(shè)有接圓光柵編碼器07)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于由膜片06)和零位腔蓋構(gòu)成的零位腔連接一根氣體管路，通過(guò)該氣體管路始終保持零位腔內(nèi)的壓力為一恒定值且壓力小于lOOPa。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于所述的氣流管00)上部設(shè)有光柵位移傳感器(17)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于所述的膜片06)采用鈹青銅材料制成。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體壓力穩(wěn)定裝置，其特征在于所述的氣罐(1)、閥座 (33)、閥門(32)、閥門桿09)和平板(2)均采用碳鋼制成后先鍍銅再鍍鎳，或者采用不銹鋼制成。
專利摘要本實(shí)用新型涉及氣體壓力穩(wěn)定裝置，其在氣罐上方固定有平板；平板上的膜片開有通孔，使得氣罐與膜片相通；膜片上方罩有零位腔蓋；下針形桿的底端放在膜片上表面，下針形桿的頂端頂著傳感器杠桿的一個(gè)支腿；上針形桿的底端放置在傳感器杠桿的另一個(gè)支腿上，上針形桿的頂端頂著小杠桿一端；小杠桿另一端搭在小球上；小球放置在氣流管上；氣流管上方對(duì)應(yīng)大杠桿的一端，大杠桿的另一端連接轉(zhuǎn)叉；氣流管下部放置于伺服裝置內(nèi)，通過(guò)固定在盤座上的伺服裝置彈簧箱伸長(zhǎng)或收縮帶動(dòng)盤座動(dòng)作，從而帶動(dòng)氣流管在伺服裝置殼體內(nèi)上下移動(dòng)。本實(shí)用新型裝置可實(shí)現(xiàn)在強(qiáng)腐蝕性氣體介質(zhì)中的壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)，達(dá)到恒壓作用，壓力調(diào)節(jié)精度高，運(yùn)行穩(wěn)定。
文檔編號(hào)G05D16/06GK201984354SQ20102068189
公開日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者張上昆, 杜偉華, 王道勝, 高燕子 申請(qǐng)人:四川紅華實(shí)業(yè)有限公司