專利名稱：一種基于半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種基于半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理方法。
背景技術(shù)：
社會發(fā)展到今天，當(dāng)一個工程師追蹤產(chǎn)品問題或者改進(jìn)產(chǎn)品性能時，如果沒有數(shù) 據(jù)支持那是不可能完成工作的。可以說數(shù)據(jù)是當(dāng)今企業(yè)的基石。隨著當(dāng)今半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā) 展，產(chǎn)品制造越來越自動化和智能化，產(chǎn)品生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)也在不斷細(xì)化，這樣導(dǎo)致生產(chǎn)相關(guān) 的數(shù)據(jù)量呈幾何級爆炸式增長，那么，如何在簡單、快速、方便正確的將數(shù)據(jù)管理起來的同 時保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性是一個困擾和困難的事情。原因如下 1.巨量的數(shù)據(jù)在各個系統(tǒng)，例如生產(chǎn)管理系統(tǒng)(Ma皿facturingExecution System,MES)、電子設(shè)計自動化(Electronic Design Automation,EDA)系統(tǒng)、自動信息統(tǒng)計 系統(tǒng)(Automatic Message Accounting System,AMAS)等系統(tǒng)中間相互傳遞，在各種操作系 統(tǒng)平臺上(windows/Unix/Lniux等)生成和查閱，以及在各種編碼(二進(jìn)制，十進(jìn)制，十六 進(jìn)制，ASCII等)間相互轉(zhuǎn)換，由于上面這些系統(tǒng)、平臺、編碼間存在差異性，有時難免會產(chǎn) 生數(shù)據(jù)的錯誤； 2.現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)分工越來越細(xì)，一個集成電路(integrated circuit, IC)的 生產(chǎn)數(shù)據(jù)需要隨著生產(chǎn)步驟的深入需要在晶片制造廠、碰撞測試廠、電路檢測(Circuit Probe， CP)測試廠、裝配廠、FT測試廠以及客戶間共享和傳遞，這種數(shù)據(jù)間的多次傳遞也導(dǎo) 致數(shù)據(jù)容易發(fā)生錯誤； 3.所有的系統(tǒng)都需要人來做維護，這就可能由于人為的疏忽造成數(shù)據(jù)的錯誤，一 個系統(tǒng)的錯誤，就可能進(jìn)而產(chǎn)生所有相關(guān)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)都出現(xiàn)錯誤甚至導(dǎo)致系統(tǒng)異常；
4.在大量數(shù)據(jù)面前即使萬分之一的錯誤概率，也將導(dǎo)致大量的實際錯誤存在，就 需要人花大量的精力去處理。 既然數(shù)據(jù)發(fā)生錯誤不可避免，這就潛在需要一個處理錯誤數(shù)據(jù)的處理系統(tǒng)，來自 動矯正各種數(shù)據(jù)錯誤。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述問題，提供一種基于半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理方 法。 本發(fā)明所述的一種基于半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理方法中，首先從數(shù)據(jù)庫中將已
存儲在數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)傳遞給被處理系統(tǒng)，然后在上述被處理系統(tǒng)中將所述數(shù)據(jù)與半導(dǎo)體
測試數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，比較兩個數(shù)據(jù)中的至少一個待比較值，如果有待比較值異常，則進(jìn)入數(shù)
據(jù)矯正階段，對有待比較值異常的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)進(jìn)行矯正，如果數(shù)據(jù)無法矯正則轉(zhuǎn)為人
工處理，如果數(shù)據(jù)可以矯正則將半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)矯正并存入數(shù)據(jù)庫中。 上述待比較值包括關(guān)鍵值、屬性值、特殊屬性值和不可矯正屬性值。
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數(shù)據(jù)矯正步驟具體為 (1)如果上述關(guān)鍵值異常，則上述被處理系統(tǒng)將上述半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)給人工處理，人工處理完成后再重新進(jìn)入處理程序； (2)如果上述屬性值異常，則上述被處理系統(tǒng)依照上述被處理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)，確定關(guān)鍵值與屬性值是否屬于預(yù)定原則，如果是，則根據(jù)上述預(yù)定原則對上述半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)進(jìn)行矯正，如果不是，則轉(zhuǎn)為人工處理； (3)如果上述特殊屬性值異常，則上述被處理系統(tǒng)將上述半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)丟棄；
(4)如果上述不可矯正屬性值異常，則上述被處理系統(tǒng)將上述半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)為人工處理。 上述預(yù)定原則是 如果上述關(guān)鍵值不存在則需要轉(zhuǎn)人工處理； 如果有三個或三個以上的上述屬性值與上述被處理系統(tǒng)中的值一致，則根據(jù)上述被處理系統(tǒng)中的所述數(shù)據(jù)做數(shù)據(jù)矯正，否則轉(zhuǎn)為人工處理。 上述特殊屬性值異常是指數(shù)據(jù)中記錄的測試時間比上述被處理系統(tǒng)中所述數(shù)據(jù)完成的時間早。 上述被處理系統(tǒng)包括用于提供上述數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫模塊、用于比較上述待比較值的數(shù)據(jù)比較模塊和用于矯正異常數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)矯正模塊。
上述關(guān)鍵值是產(chǎn)品批號； 上述屬性值是產(chǎn)品型號、產(chǎn)品測試站點名稱、產(chǎn)品測試制程編號、產(chǎn)品缺口位置、
Map標(biāo)示字符最長長度； 上述特殊屬性值是開始時間； 上述不可矯正屬性值是片號和產(chǎn)品測試值圖。 上述方法在半導(dǎo)體后段制程中，用于凡是晶片以片裝存在的情況下的數(shù)據(jù)處理。
本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理方法，極大地減少了人工處理的時間，降低了需要人工處理的可能，同時提高了被處理系統(tǒng)中數(shù)據(jù)的及時性和正確性，做到了簡單、快速、方便，使工程師能及時看到正確的數(shù)據(jù)做出分析，從而改善產(chǎn)品質(zhì)量。


圖1表示本發(fā)明執(zhí)行數(shù)據(jù)矯正的流程圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合具體實施例，對本發(fā)明所述的一種基于半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理方法作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。 本發(fā)明的智能數(shù)據(jù)處理方法的一個實施例是在已有EDA系統(tǒng)的基礎(chǔ)上根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)品的特性，對數(shù)據(jù)文件中的關(guān)鍵數(shù)據(jù)項進(jìn)行檢查。其主要處理過程如圖l所示，其中被處理系統(tǒng)1包括數(shù)據(jù)庫模塊2、數(shù)據(jù)比較模塊3和數(shù)據(jù)矯正模塊4，首先由數(shù)據(jù)庫模塊2將數(shù)據(jù)傳遞給被處理系統(tǒng)l，在本實施例中是EDA系統(tǒng)，然后利用數(shù)據(jù)比較模塊3將被處理系統(tǒng)1中的數(shù)據(jù)與半導(dǎo)體測試的數(shù)據(jù)文件5發(fā)出的數(shù)據(jù)進(jìn)行一一對比，如果有值異常則進(jìn)入數(shù)據(jù)矯正模塊4進(jìn)行數(shù)據(jù)矯正，如果發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)無法矯正則轉(zhuǎn)為人工處理，如果數(shù)據(jù)可以矯正則將數(shù)據(jù)矯正載入到數(shù)據(jù)庫模塊2中。 在數(shù)據(jù)矯正過程中，首先，在被處理系統(tǒng)1中定義出需要檢查的關(guān)鍵項，并給出如下定義 (1)異常類別 ①關(guān)鍵值異常產(chǎn)品批號(LOT ID) ②屬性異常產(chǎn)品型號(PRODUCT ID)，產(chǎn)品測試站點名稱(FL0WID)，產(chǎn)品測試制程編號(TEST PROGRAM)，產(chǎn)品缺口位置(SOURCENOTCH) ， M即標(biāo)示字符最長長度(MAP BINLENG加 ③特殊屬性異常開始時間(START TME) ④不可矯正異常屬性片號(WAFER ID)，產(chǎn)品測試值圖(MAP) (2) 1-3原則定義 所謂1-3原則，1是指關(guān)鍵值L0T ID這個值一定需要在被處理系統(tǒng)中存在，表明需要進(jìn)系統(tǒng)數(shù)據(jù)文件的所屬，如果不存在需要轉(zhuǎn)人工處理； 3是指屬性值，即上面異常定義中的②中的屬性，如果其中有三個或三個以上的值與被處理系統(tǒng)中的值一致，則根據(jù)被處理系統(tǒng)中的定義數(shù)據(jù)做數(shù)據(jù)矯正，否則轉(zhuǎn)為人工處理。
(3)不可矯正異常定義 不可矯正異常是指WAFER ID大于25或者小于0，或者M(jìn)AP的行列大小與EDA中定義的模板不一致。 定義完成后，從半導(dǎo)體測試的結(jié)果數(shù)據(jù)文件5中提取出上述檢查項的值，然后與被處理系統(tǒng)1中定義的值做一一對比；如果有值異常則進(jìn)入數(shù)據(jù)矯正階段。數(shù)據(jù)的自動矯正分為以下類別 (1)如果發(fā)現(xiàn)是關(guān)鍵值異常，系統(tǒng)會自動發(fā)郵件給相關(guān)工程師做人工處理，因為關(guān)鍵值錯誤將導(dǎo)致文件和系統(tǒng)無法匹配，無法自動做矯正；且在人工處理完成后再重新進(jìn)入處理程序； (2)如果發(fā)現(xiàn)是屬性值異常，則會根據(jù)被處理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)，根據(jù)關(guān)鍵值與屬性值按照1-3原則對數(shù)據(jù)進(jìn)行矯正，如果不符合1-3原則則需要發(fā)郵件給相關(guān)工程師做人工處理； (3)如果發(fā)現(xiàn)是特殊屬性異常，即數(shù)據(jù)文件中的測試時間比被處理系統(tǒng)中的時間早，說明是過期數(shù)據(jù)，則會將數(shù)據(jù)文件丟棄，不進(jìn)系統(tǒng)； (4)如果發(fā)現(xiàn)是不可矯正的異常，即Wafer Id和M即異常，系統(tǒng)將會自動發(fā)郵件給相關(guān)工程師做人工處理，因為如果Wafer Id出現(xiàn)異常(值大于25或者小于0)，也會導(dǎo)致文件和系統(tǒng)無法匹配，而如果M即出現(xiàn)異常(Map的大小和系統(tǒng)的不一致)，因為M即是需要從文件中提取的主要信息，是測試的結(jié)果，系統(tǒng)中原先是不存在的，只存在一個M即的模板，所以如果M即出現(xiàn)異常則系統(tǒng)無法自動處理。 在數(shù)據(jù)做過自動矯正后，則將通過檢查和已經(jīng)做過矯正的數(shù)據(jù)存入數(shù)據(jù)庫1中。
在其他實施例中，本發(fā)明還可用于諸如MES、 AMAS等系統(tǒng)中，也能達(dá)到上述目的。目前在MES中的數(shù)據(jù)來源有幾種，一種是機臺自動化(Equipment Automation Process,EAP)系統(tǒng)直接和MES系統(tǒng)相連，實現(xiàn)數(shù)據(jù)共享，在這種情況下本系統(tǒng)是不需要使用的。但是還有一種是，機臺會實時的出一些txt或者xml格式的log文件，然后MES通過將這些log文件中的數(shù)據(jù)導(dǎo)入系統(tǒng)，這時就可以使用本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理方法。另外上下游廠商間的合作，比如產(chǎn)品測試是由下游的測試廠完成，上游廠商為了掌握測試廠的產(chǎn)品在生產(chǎn)線上的實時狀況，就需要下游廠商傳送WIP資料，上游廠商將WIP資料導(dǎo)入MES系統(tǒng)，這時可以使用本發(fā)明的智能數(shù)據(jù)處理方法。有些公司，可能不會使用MES系統(tǒng)，那為了 AMAS系統(tǒng)有數(shù)據(jù)來源，也就可能會要求上下游的廠商提供一些xml、 txt文件，然后再將這些文件導(dǎo)入數(shù)據(jù)庫作為數(shù)據(jù)來源，這時就可以使用本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理方法。 在其他實施例中，本發(fā)明在半導(dǎo)體后段制程中，可用于凡是晶片以片裝存在的情況下，均可達(dá)到上述目的。 本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理方法，極大地減少了人工處理的時間，降低了需要人工處理的可能，同時提高了被處理系統(tǒng)中數(shù)據(jù)的及時性和正確性，做到了簡單、快速、方便，使工程師能及時看到正確的數(shù)據(jù)做出分析，從而改善產(chǎn)品質(zhì)量。 以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并非用來限定本發(fā)明的實施范圍；如果不脫離本發(fā)明的精神和范圍，對本發(fā)明進(jìn)行修改或者等同替換的，均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求的保護范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求
一種基于半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于首先從數(shù)據(jù)庫中將已存儲在數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)傳遞給被處理系統(tǒng)，然后在上述被處理系統(tǒng)中將所述數(shù)據(jù)與半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，比較兩個數(shù)據(jù)中的至少一個待比較值，如果有待比較值異常，則進(jìn)入數(shù)據(jù)矯正階段，對有待比較值異常的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)進(jìn)行矯正，如果數(shù)據(jù)無法矯正則轉(zhuǎn)為人工處理，如果數(shù)據(jù)可以矯正則將半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)矯正存入數(shù)據(jù)庫中。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于上述待比較值包括關(guān)鍵值、屬性值、特殊屬 性值和不可矯正屬性值。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于數(shù)據(jù)矯正步驟具體為(1) 如果上述關(guān)鍵值異常，則上述被處理系統(tǒng)將上述半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)給人工處理，人 工處理完成后再重新進(jìn)入處理程序；(2) 如果上述屬性值異常，則上述被處理系統(tǒng)依照上述被處理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)，確定關(guān)鍵 值與屬性值是否屬于預(yù)定原則，如果是，則根據(jù)上述預(yù)定原則對上述半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)進(jìn)行 矯正，如果不是，則轉(zhuǎn)為人工處理；(3) 如果上述特殊屬性值異常，則上述被處理系統(tǒng)將上述半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)丟棄；(4) 如果上述不可矯正屬性值異常，則上述被處理系統(tǒng)將上述半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)為人 工處理。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于上述預(yù)定原則是 如果上述關(guān)鍵值不存在則需要轉(zhuǎn)人工處理；如果有三個或三個以上的上述屬性值與上述被處理系統(tǒng)中的值一致，則根據(jù)上述被處 理系統(tǒng)中的所述數(shù)據(jù)做數(shù)據(jù)矯正，否則轉(zhuǎn)為人工處理。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于上述特殊屬性值異常是指數(shù)據(jù)中記錄的測 試時間比上述被處理系統(tǒng)中所述數(shù)據(jù)完成的時間早。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于上述被處理系統(tǒng)包括用于提供上述數(shù)據(jù) 的數(shù)據(jù)庫模塊、用于比較上述待比較值的數(shù)據(jù)比較模塊和用于矯正異常數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)矯正模 塊。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于 上述關(guān)鍵值是產(chǎn)品批號；上述屬性值是產(chǎn)品型號、產(chǎn)品測試站點名稱、產(chǎn)品測試制程編號、產(chǎn)品缺口位置、Map標(biāo) 示字符最長長度；上述特殊屬性值是開始時間； 上述不可矯正屬性值是片號和產(chǎn)品測試值圖。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于上述方法在半導(dǎo)體后段制程中，用于凡是 晶片以片裝存在的情況下的數(shù)據(jù)處理。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種基于半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)處理方法，首先從數(shù)據(jù)庫中將已存儲在數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)傳遞給被處理系統(tǒng)，然后在該被處理系統(tǒng)中中將所述數(shù)據(jù)與半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，比較兩個數(shù)據(jù)中的至少一個待比較值，如果有待比較值異常，則進(jìn)入數(shù)據(jù)矯正階段，對有待比較值異常的半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)進(jìn)行矯正，如果數(shù)據(jù)無法矯正則轉(zhuǎn)為人工處理，如果數(shù)據(jù)可以矯正則將半導(dǎo)體測試數(shù)據(jù)矯正并存入數(shù)據(jù)庫中。本發(fā)明的數(shù)據(jù)處理方法，極大地減少了人工處理的時間，降低了需要人工處理的可能，同時提高了被處理系統(tǒng)中數(shù)據(jù)的及時性和正確性，做到了簡單、快速、方便，使工程師能及時看到正確的數(shù)據(jù)做出分析，從而改善產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號G05B19/418GK101739408SQ200810177528
公開日2010年6月16日 申請日期2008年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月18日
發(fā)明者陳健華, 顧榮華 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司