專利名稱：：用于硅片傳輸系統(tǒng)的服務(wù)器架構(gòu)以及信息交換方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域硅片傳輸系統(tǒng)的裝置以及信息的控制方法，尤其是指一種服務(wù)器架構(gòu)以及信息交換方法。
背景技術(shù)：
：目前在國(guó)內(nèi)，國(guó)產(chǎn)的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)基本還未形成。研究傳輸控制系統(tǒng)的科研機(jī)構(gòu)和高校也很少。中國(guó)期刊網(wǎng)上的學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù)于2006年公開了文獻(xiàn)《硅片傳輸機(jī)器人控制系統(tǒng)的研究與開發(fā)》，該文獻(xiàn)的第四章節(jié)重點(diǎn)分析了采用的控制策略，DLL動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)和Active控件技術(shù)是傳輸系統(tǒng)上層應(yīng)用程序和底層硬件設(shè)備程序之間交互的主要手段。底層設(shè)備程序封裝后，以頭文件的形式給上層調(diào)用，上層程序通過包含頭文件，以函數(shù)調(diào)用的形式來實(shí)現(xiàn)對(duì)底層設(shè)備的流程控制。采用這種方式，能較好的實(shí)現(xiàn)控制層次的劃分，只要系統(tǒng)的函數(shù)接口層次定義完成后，開發(fā)人員就能并行開發(fā)。但是采用上述函數(shù)接口的形式，底層函數(shù)被調(diào)用后，到結(jié)果返回之前，被調(diào)用函數(shù)內(nèi)部經(jīng)歷了復(fù)雜執(zhí)行過程，上層程序無法獲知所調(diào)用函數(shù)內(nèi)部執(zhí)行的細(xì)節(jié)過程。另外，如杲采用非異步的函數(shù)，執(zhí)行期間，很容易阻塞上層調(diào)用程序。北京航空航天大學(xué)出版社于2004年4月出版的《51系列單片機(jī)高級(jí)實(shí)例開發(fā)指南》涉及了運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的開發(fā)，其中上下層的通訊是通過ASCII形式的命令字符串，應(yīng)答字符串方式來實(shí)現(xiàn)，通常是一條命令對(duì)應(yīng)一條應(yīng)答消息，這種方式也不能完全反映出被調(diào)用方的#1行過程細(xì)節(jié)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明解決的技術(shù)問題在于提供一種可實(shí)時(shí)跟蹤傳輸系統(tǒng)執(zhí)行細(xì)節(jié)的服務(wù)器架構(gòu)和信息交換方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種新的用于傳輸系統(tǒng)的服務(wù)器架構(gòu)。所述傳輸系統(tǒng)包括上位的主控計(jì)算機(jī)以及連接數(shù)個(gè)石更件i殳備的傳輸計(jì)算機(jī)，所述服務(wù)器架構(gòu)用于傳輸計(jì)算機(jī)上，所述服務(wù)器架構(gòu)包括服務(wù)器類、通訊類、數(shù)個(gè)設(shè)備狀態(tài)類以及直接與硬件設(shè)備交互的數(shù)個(gè)設(shè)備驅(qū)動(dòng)類，其中服務(wù)器類通過通訊類與主控計(jì)算機(jī)交互消息，服務(wù)器將接收的消息下發(fā)給設(shè)備狀態(tài)類，設(shè)備狀態(tài)類通過對(duì)應(yīng)的設(shè)備驅(qū)動(dòng)類間接控制硬件設(shè)備的執(zhí)行，且將硬件設(shè)備的最新狀態(tài)通過反饋給服務(wù)器類來上傳至主控計(jì)算機(jī)。服務(wù)器類與主控計(jì)算機(jī)交互消息包括服務(wù)器類接收主控計(jì)算機(jī)的下發(fā)命令、對(duì)每一下發(fā)命令的層次狀應(yīng)答消息以及硬件設(shè)備自發(fā)產(chǎn)生的告示信息。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供了一種用于傳輸系統(tǒng)的信息交換方法。該信息交互控制方法包括如下步驟a.設(shè)備狀態(tài)類在設(shè)備驅(qū)動(dòng)類中注冊(cè)所有與其相關(guān)的事件；b.在設(shè)備驅(qū)動(dòng)類中定義事件，聲明執(zhí)行函數(shù)；c.設(shè)備驅(qū)動(dòng)類處于新狀態(tài)時(shí)觸發(fā)相應(yīng)的事件，事件發(fā)生觸發(fā)所有注冊(cè)過該事件的設(shè)備狀態(tài)類的更新行為，獲取硬件設(shè)備的當(dāng)前狀態(tài)，使設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類的狀態(tài)保持一致；d.設(shè)備狀態(tài)類將硬件設(shè)備當(dāng)前狀態(tài)通過服務(wù)器類、通訊類反饋給主控計(jì)算機(jī)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，承發(fā)明提供的服務(wù)器架構(gòu)通過將針對(duì)每一硬件設(shè)備設(shè)置設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類，實(shí)現(xiàn)了硬件設(shè)備之間的模塊化，提高了傳輸系統(tǒng)的維護(hù)性和擴(kuò)展性；服務(wù)器架構(gòu)設(shè)有與主控計(jì)算機(jī)交互的通訊類，兩者之間交互釆用的是層次狀的消息結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)硬件設(shè)備狀態(tài)的實(shí)時(shí)跟蹤；采用本發(fā)明提供的信息交換方法，允許獨(dú)立改變?cè)O(shè)備驅(qū)動(dòng)類和設(shè)備狀態(tài)類，也可以不改動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)類和其他設(shè)備狀態(tài)類的前提下增加新的狀態(tài)類。圖1傳輸系統(tǒng)的物理結(jié)構(gòu)示意圖；圖2傳輸系統(tǒng)的通訊結(jié)構(gòu)示意圖；圖3傳輸計(jì)算機(jī)上服務(wù)器架構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4設(shè)備驅(qū)動(dòng)類和設(shè)備狀態(tài)類的靜態(tài)結(jié)構(gòu)圖；圖5設(shè)備驅(qū)動(dòng)類和設(shè)備狀態(tài)類信息交互順序圖。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明用于硅片傳輸系統(tǒng)服務(wù)器架構(gòu)以及信息交換方法的較佳實(shí)施例進(jìn)行描述，以期進(jìn)一步理解本發(fā)明的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。圖1是一種硅片傳輸系統(tǒng)的物理結(jié)構(gòu)圖，圖中顯示了該傳輸系統(tǒng)具有若干個(gè)執(zhí)行部件(設(shè)備)，其包括三個(gè)獨(dú)立的用于存放硅片的版庫(kù)1、2、3(以下分別稱為1號(hào)版庫(kù)、2號(hào)版庫(kù)、3號(hào)版庫(kù))、一個(gè)直線導(dǎo)軌5，一個(gè)多軸機(jī)械手4以及數(shù)個(gè)傳感器(如真空傳感器、掃描傳感器、接近開關(guān)等等，未圖示)。所述機(jī)械手4一共有五個(gè)工作位置。版庫(kù)被抬升之后，機(jī)械手4在直線導(dǎo)軌5上滑行，可以從任何一個(gè)版庫(kù)的任何一個(gè)槽位取或者放硅片。圖2是所述硅片傳輸系統(tǒng)的通訊結(jié)構(gòu)圖。參閱圖2并結(jié)合圖1,該傳輸系統(tǒng)包括主控計(jì)算機(jī)6、傳輸計(jì)算機(jī)7以及若干控制執(zhí)行部件的設(shè)備。大部分設(shè)備如控制機(jī)械手的機(jī)械手控制器、真空傳感器、直線導(dǎo)軌5以及與版庫(kù)對(duì)應(yīng)的三個(gè)硅片盒管理a、b、c是通過以太網(wǎng)或者RS232COM2-5串口與傳輸計(jì)算機(jī)7進(jìn)行通訊的，還有一部分部件如數(shù)字I/O是通過傳輸計(jì)算機(jī)7的擴(kuò)展槽進(jìn)行連接控制的。傳輸計(jì)算機(jī)7整合這些設(shè)備、部件(以下統(tǒng)稱"硬件設(shè)備")通過集線器或者交換器、以太網(wǎng)等與上位的主控計(jì)算機(jī)6實(shí)現(xiàn)通信。主控計(jì)算機(jī)6和傳輸計(jì)算機(jī)7采用的是雙向交互通訊，即傳輸計(jì)算機(jī)7不但能接受主控計(jì)算機(jī)6下發(fā)命令，做出被動(dòng)應(yīng)答，還應(yīng)當(dāng)具有主動(dòng)上發(fā)消息功能，告知主控計(jì)算機(jī)6傳輸系統(tǒng)硬件設(shè)備的最新變化。主控計(jì)算機(jī)6下發(fā)的一條命令比如機(jī)械手初始化命令對(duì)應(yīng)機(jī)械手4一系列復(fù)雜動(dòng)作，而每一個(gè)動(dòng)作的完成只是整個(gè)命令序列的一個(gè)步驟。整個(gè)初始化過程可以劃分成數(shù)層次(節(jié)點(diǎn))，每個(gè)層次(節(jié)點(diǎn))包含一系列動(dòng)作(參閱下附表2)。數(shù)個(gè)初始化層次(節(jié)點(diǎn))的完成構(gòu)成一個(gè)完整的初始化過程。主控計(jì)算機(jī)6在下發(fā)傳輸系統(tǒng)初始化指令后，需要實(shí)時(shí)感知傳輸系統(tǒng)具體初始化過程的每一步驟的進(jìn)展，判斷初始化進(jìn)程進(jìn)展到那一個(gè)層次，相關(guān)層次中的那一步，這是一個(gè)動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)的跟蹤過程。當(dāng)命令下發(fā)失敗，初始化不能繼續(xù)下去的時(shí)候，主控計(jì)算機(jī)6能在第一時(shí)間，根據(jù)傳輸計(jì)算機(jī)7連續(xù)不斷上傳的反饋消息做出正確的判斷。要達(dá)到這一要求，需要設(shè)計(jì)一套形式有效的消息機(jī)制來反應(yīng)主控計(jì)算機(jī)6和傳輸計(jì)算機(jī)7之間的信息交互。為了實(shí)現(xiàn)主控計(jì)算機(jī)6與傳輸計(jì)算機(jī)7之間實(shí)時(shí)雙向通訊，本發(fā)明提出了一種層次狀的消息結(jié)構(gòu)，表l為該消息結(jié)構(gòu)^t板。表l消息結(jié)構(gòu)模板事件<事件—XX參數(shù)="參數(shù)值"><廠事件—XX參數(shù)="參數(shù)值">內(nèi)容(狀態(tài)碼)<狀態(tài)—XX="狀態(tài)碼'7〉內(nèi)容(狀態(tài)和屬性碼)<狀態(tài)—XX="狀態(tài)碼"屬性—XX="屬性碼'7>內(nèi)容(屬性碼)<屬性—XX="屬性碼"/>錯(cuò)誤<錯(cuò)誤—XX=="錯(cuò)誤碼'7>該消息結(jié)構(gòu)模板具有如下特征1.針對(duì)每一條命令(每一項(xiàng))，消息結(jié)構(gòu)模板分成三個(gè)部分事件的開始、結(jié)束以及內(nèi)容，2.事件位于應(yīng)答消息的最外層，表示主控計(jì)算機(jī)下發(fā)命令后事件的開始和事件的結(jié)束。3.事件應(yīng)答消息字符串位于尖括號(hào)內(nèi)，以"事件一XX，，開頭，"事件"標(biāo)識(shí)本消息的性質(zhì)，其后的"XX"為具體產(chǎn)生事件的所有者，對(duì)應(yīng)硬件設(shè)備；"參數(shù)="參數(shù)值""是具體事件的特征說明。4.事件的開始與結(jié)東分別通過反饋消息的"<"和"</，，來區(qū)別。5.內(nèi)容消息包舍于事件消息之內(nèi)部。6.內(nèi)容消息位于尖括號(hào)內(nèi)，內(nèi)容結(jié)束由"/>"結(jié)尾。7.內(nèi)容的第一種組成形式是"狀態(tài)—XX二"狀態(tài)碼""，其中"狀態(tài)"表示本內(nèi)容消息的性質(zhì)，其后的"XX"為產(chǎn)生內(nèi)容消息的所有者，"狀態(tài)碼"是具體狀態(tài)特征說明。8.內(nèi)容的第二種組成形式是"屬性—XX二"屬性碼""，其中"屬性"表示本內(nèi)容消息的性質(zhì)，其后的"XX"為產(chǎn)生內(nèi)容消息的所有者，"屬性碼"是具體屬性特征說明。9.內(nèi)容的第三種組成形式是"狀態(tài)—XX-"狀態(tài)碼"屬性—XX二"屬性碼""，它是特征7和8兩部分內(nèi)容的疊加，該種形式的內(nèi)容既有狀態(tài)部分又有屬性部分。10.錯(cuò)誤消息和內(nèi)容消息屬于同一個(gè)層次，它們都位于事件消息層次之內(nèi)。當(dāng)有錯(cuò)誤發(fā)生時(shí)，產(chǎn)生錯(cuò)誤消息。錯(cuò)誤消息的組成形式是"錯(cuò)誤—XX'錯(cuò)誤碼""。其中"錯(cuò)誤"表示本消息的性質(zhì)，其后的"XX"為產(chǎn)生錯(cuò)誤消息的所有者，"錯(cuò)誤碼"是具體錯(cuò)誤的特征說明。11.該消息結(jié)構(gòu)模板對(duì)大小寫不^:感，其只注意字符的意義，不注意字符的表現(xiàn)形式。沖艮據(jù)表1所示的消息結(jié)構(gòu)模板以及上述特征7-9，下面給出三個(gè)消息結(jié)構(gòu)的具體實(shí)施例結(jié)構(gòu)1:內(nèi)容為狀態(tài)碼(實(shí)例1)主控計(jì)算機(jī)命令(發(fā)出)<命令_真空傳感器—連接/>傳輸計(jì)算機(jī)(應(yīng)答)失敗情況<事件_真空傳感器一連接><狀態(tài)一真空傳感器—連接="2030"/>注釋"2030，，表示正在進(jìn)行連接<-錯(cuò)誤一真空傳感器—連接="5010"/>注釋"5010，，表示連接失敗，原因端口錯(cuò)誤</事件一真空傳感器—連接>主控計(jì)算機(jī)命令(發(fā)出)<命令—真空傳感器—連接,/>傳輸計(jì)算機(jī)(應(yīng)答)成功情況<事件_真空傳感器—連接><狀態(tài)—真空傳感器—連接="2030"/>注釋"2030，，表示正在進(jìn)行連接<狀態(tài)—真空傳感器—連接二"2040，，/>注釋"2030"表示連接已經(jīng)建立</事件—真空傳感器一連接>結(jié)構(gòu)2:內(nèi)容為狀態(tài)和屬性碼(實(shí)例2)<命令—版庫(kù)_獲取_開鎖時(shí)間版庫(kù)="1，，/>注釋"1"指的是1號(hào)版庫(kù)傳輸計(jì)算機(jī)(應(yīng)答)<事件—版庫(kù)—獲取—開鎖時(shí)間版庫(kù)="1，，><狀態(tài)—版庫(kù)—獲取—開鎖時(shí)間="2050"屬性—版庫(kù)—獲取—開鎖時(shí)間="250'7〉</事件—版庫(kù)—獲取_開鎖時(shí)間版庫(kù)="1">注釋"2050，，表示成功獲取開鎖時(shí)間"250，，表示具體的開鎖時(shí)間是250毫秒結(jié)構(gòu)3:內(nèi)容為屬性碼(實(shí)例3)主控計(jì)算機(jī)命令(發(fā)出)<命令—版庫(kù)一掃描版庫(kù)="1，，>傳輸計(jì)算機(jī)(應(yīng)答)<事件—版庫(kù)一掃描版庫(kù)="1"><屬性j反庫(kù)—掃描一'EFFFFFFFFFFFFFFFFFFFFFFCE"/〉</事件—版庫(kù)一掃描版庫(kù)="1">其中"EFFFFFFFFFFFrFFFFFFFFFFCE"是神目關(guān)的W反庫(kù)才曹才34葛消息可能的數(shù)值￡=槽位空〔=槽交叉F二槽占位由上述實(shí)例可知，根據(jù)內(nèi)容的結(jié)構(gòu)形式不同，消息結(jié)構(gòu)具有三種形式，分別對(duì)應(yīng)上述結(jié)構(gòu)l、結(jié)構(gòu)2以及結(jié)構(gòu)3，分別具有不同的應(yīng)用場(chǎng)合。有些命令下發(fā)后，返回的只有狀態(tài)碼，反映命令執(zhí)行過程中的事務(wù)的狀態(tài)變遷情況，如運(yùn)動(dòng)定位命令，該命令執(zhí)行時(shí)包含運(yùn)動(dòng)開始-加速-勻速運(yùn)動(dòng)-減速-停止運(yùn)動(dòng)5個(gè)狀態(tài)，這類命令就適合套用結(jié)構(gòu)1的格式。部分命令關(guān)心的只是定量的數(shù)量值(屬性)，如版庫(kù)掃描指令，關(guān)心的只是版庫(kù)的相應(yīng)槽位的具體內(nèi)容，這類命令就適合于套用結(jié)構(gòu)3的格式。同時(shí)需要狀態(tài)，屬性的消息就需要套用結(jié)構(gòu)2的格式。本發(fā)明提供的消息結(jié)構(gòu)具有上述三種形式，且結(jié)構(gòu)與結(jié)構(gòu)之間能互相嵌套，形成更為復(fù)雜的消息結(jié)構(gòu)。表2是主控計(jì)算機(jī)和傳輸計(jì)算機(jī)采用嵌套的消息結(jié)構(gòu)進(jìn)行復(fù)雜信息交互的實(shí)例。表2主控計(jì)算機(jī)與傳輸計(jì)算機(jī)之間的信息交互<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>傳輸系統(tǒng)硬件設(shè)備發(fā)生狀態(tài)變更時(shí)，還應(yīng)當(dāng)具有主動(dòng)上發(fā)消息通知上位主控計(jì)算機(jī)的功能。在此種情況下產(chǎn)生的消息并不應(yīng)對(duì)主控計(jì)算機(jī)的下發(fā)命令，而是由控制硬件設(shè)備的傳輸計(jì)算機(jī)自動(dòng)產(chǎn)生的告示消息。該告示消息的通用格式如表3所示。表3告示消息通用格式<告示_錯(cuò)誤<告示事件XX="錯(cuò)誤碼">XX-'M犬態(tài)石馬"〉機(jī)械手掉電機(jī)械手緊停按鈕被按下機(jī)械手速度變化機(jī)械手運(yùn)行模式變化表3所示的告示信息的通用模板具有如下特征1.告示消息字符串位于尖括號(hào)內(nèi)。2.告示的第一種形式是"告示—錯(cuò)誤XX-"錯(cuò)誤碼""，其中"告示—錯(cuò)誤"表示本消息的性質(zhì)，其后的"XX"為消息的所有者，"錯(cuò)誤碼"是具體告示錯(cuò)誤特征說明。3.告示的第二種形式是"告示—事件XX^"狀態(tài)碼""，其中"告示—事件，，表示本消息的性質(zhì)，其后的"XX"為消息的所有者，"狀態(tài)碼"是具體告示事件特征說明。根據(jù)表3提供的通用格式，該告示消息的實(shí)例如下<告示—錯(cuò)誤機(jī)械手="3010">"3010"含義<告示—錯(cuò)誤機(jī)械手="3020">"3020"含義<告示—事件機(jī)械手="2020">"2020，，含義<告示—事件機(jī)械手="2100">"2100，，含義從上面四個(gè)實(shí)例中可以明顯看出，告示消息是由傳輸計(jì)算機(jī)控制的硬件設(shè)備自動(dòng)產(chǎn)生的，而非主控計(jì)算機(jī)下發(fā)命令后的應(yīng)答。告示消息的產(chǎn)生是隨時(shí)隨地產(chǎn)生的，具有不可預(yù)測(cè)性，但這些硬件設(shè)備的實(shí)時(shí)消息對(duì)主控計(jì)算機(jī)又非常重要，因此采用上述告示消息可以很好的實(shí)現(xiàn)傳輸計(jì)算機(jī)和主控計(jì)算機(jī)的雙向交互通訊。以上部分描述了傳輸系統(tǒng)需要的層次消息結(jié)構(gòu)，以下部分對(duì)層次消息的產(chǎn)生、產(chǎn)生層次消息的服務(wù)器架構(gòu)以及信息交換控制方式進(jìn)行描述。請(qǐng)參閱上附表2，傳輸系統(tǒng)的層次消息是由傳輸計(jì)算機(jī)上服務(wù)器運(yùn)行程序生成。傳輸計(jì)算機(jī)直接控制著多個(gè)硬件設(shè)備，如圖1及圖2所示。在傳輸計(jì)算機(jī)的服務(wù)器程序的構(gòu)架設(shè)計(jì)中，針對(duì)每一個(gè)具體的硬件設(shè)備，設(shè)計(jì)了兩個(gè)類設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類。請(qǐng)繼續(xù)結(jié)合圖4，設(shè)備狀態(tài)類中設(shè)計(jì)狀態(tài)機(jī)，設(shè)備狀態(tài)類維護(hù)硬件設(shè)備的狀態(tài)變遷過程，接受上層(主控計(jì)算機(jī))的指令參數(shù)輸入，調(diào)用設(shè)備驅(qū)動(dòng)類的執(zhí)行函數(shù)，觀察設(shè)備驅(qū)動(dòng)類產(chǎn)生的新事件，更新獲取當(dāng)前硬件設(shè)備的狀態(tài)，并更新狀態(tài)機(jī)。設(shè)備驅(qū)動(dòng)類直接和具體硬件設(shè)備交互，根據(jù)設(shè)備廠商提供的通信協(xié)議或者驅(qū)動(dòng)程序接口函數(shù)，來控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)。設(shè)備驅(qū)動(dòng)類直接和硬件相關(guān)，不同的廠商的硬件，會(huì)提供完全不同的硬件指令，因而更改了硬件配置后，整個(gè)相關(guān)的設(shè)備驅(qū)動(dòng)類必須重寫。對(duì)設(shè)備狀態(tài)類而言，它負(fù)責(zé)的是一個(gè)邏輯上的流程控制(工藝過程)，它不直接和具體的硬件驅(qū)動(dòng)函數(shù)交互，而是通過調(diào)用設(shè)備驅(qū)動(dòng)類的方法，間接控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)的執(zhí)行，因而設(shè)備狀態(tài)類的結(jié)構(gòu)是相對(duì)穩(wěn)定的。只要工藝流程不變，邏輯上就不會(huì)有變化。替換了新的硬件設(shè)備后，僅需要更新設(shè)備驅(qū)動(dòng)類。每一硬件設(shè)備的設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類之間的依賴關(guān)系是一種目標(biāo)和觀察者的關(guān)系，目標(biāo)對(duì)應(yīng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)類，觀察者對(duì)應(yīng)設(shè)備狀態(tài)類。一個(gè)目標(biāo)(設(shè)備驅(qū)動(dòng)類)可以有任意數(shù)目的依賴它的觀察者(設(shè)備狀態(tài)類)，一旦目標(biāo)(設(shè)備驅(qū)動(dòng)類)有所改變，所有與該目標(biāo)改變相關(guān)的觀察者(設(shè)備狀態(tài)類)都得到通知。作為對(duì)這個(gè)通知的響應(yīng)，每個(gè)觀察者(設(shè)備狀態(tài)類)都將查詢目標(biāo)(設(shè)備驅(qū)動(dòng)類)且自動(dòng)更新以使其狀態(tài)與目標(biāo)的狀態(tài)同步。針對(duì)圖1和圖2所示傳輸系統(tǒng)的硬件設(shè)備特點(diǎn)和控制結(jié)構(gòu)，本發(fā)明提供的傳輸計(jì)算機(jī)的服務(wù)器架構(gòu)設(shè)計(jì)了13個(gè)類，如圖3所示。服務(wù)器類是核心類，它通過通信類與外界(上位主控計(jì)算機(jī))進(jìn)行信息交互，調(diào)用日志類記錄傳輸系統(tǒng)運(yùn)行信息和出錯(cuò)信息，對(duì)命令消息進(jìn)行分類后下發(fā)到對(duì)應(yīng)的設(shè)備狀態(tài)類。版庫(kù)狀態(tài)類有三個(gè)，分別對(duì)應(yīng)于圖1中的1號(hào)版庫(kù)，2號(hào)版庫(kù)，3號(hào)版庫(kù)，維護(hù)對(duì)應(yīng)版庫(kù)的運(yùn)行狀態(tài)。運(yùn)動(dòng)狀態(tài)類管理機(jī)械手和直線導(dǎo)軌的協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)。傳感器狀態(tài)類維護(hù)屬于傳輸系統(tǒng)的傳感器的狀態(tài)變遷。配置文件類用于配置傳輸系統(tǒng)的物理設(shè)備的硬件常數(shù)及運(yùn)行配置，測(cè)校數(shù)據(jù)等。圖3中的底層是與硬件設(shè)備直接交互的5個(gè)設(shè)備驅(qū)動(dòng)類版庫(kù)驅(qū)動(dòng)類、數(shù)據(jù)采集卡驅(qū)動(dòng)類、機(jī)械手驅(qū)動(dòng)類、直線導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)類和傳感器驅(qū)動(dòng)類。請(qǐng)參閱圖4和圖5,傳輸系統(tǒng)每一硬件設(shè)備的設(shè)備狀態(tài)類與設(shè)備驅(qū)動(dòng)類信息交互的實(shí)現(xiàn)機(jī)制是第一步設(shè)置過程設(shè)備狀態(tài)類在設(shè)備驅(qū)動(dòng)類中注冊(cè)所有與其相關(guān)的事件，注銷與其無關(guān)的事件；在設(shè)備驅(qū)動(dòng)類中定義事件，聲明執(zhí)行函數(shù)。第二步設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類的交互上層(主控計(jì)算機(jī))下達(dá)指令，服務(wù)器類通過通訊類接受指令，分類后下發(fā)到對(duì)應(yīng)硬件設(shè)備的設(shè)備狀態(tài)類中；設(shè)備驅(qū)動(dòng)類從對(duì)應(yīng)的設(shè)備狀態(tài)類中獲取執(zhí)行指令，設(shè)備驅(qū)動(dòng)類直接與硬件設(shè)備交互，執(zhí)行完一條執(zhí)行指令后，該硬件設(shè)備處于一個(gè)新的狀態(tài)，此時(shí)的設(shè)備驅(qū)動(dòng)類將會(huì)觸發(fā)相應(yīng)的事件。該事件發(fā)生時(shí)，將會(huì)觸發(fā)所有注冊(cè)過事件的設(shè)備狀態(tài)類的更新行為，獲取硬件設(shè)備當(dāng)前狀態(tài)，將硬件設(shè)備的當(dāng)前狀態(tài)更新狀態(tài)機(jī)，從而使設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類的狀態(tài)保持一致。以直線導(dǎo)軌的設(shè)備狀態(tài)類，設(shè)備驅(qū)動(dòng)類信息交互實(shí)例。第一步設(shè)置過程直線導(dǎo)軌狀態(tài)類注冊(cè)連接事件直線導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)類定義連接事件，聲明連接事件的執(zhí)行函數(shù)第二步執(zhí)行時(shí)，動(dòng)態(tài)交互過程直線導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)類連接動(dòng)作過程發(fā)生，直線導(dǎo)軌連接完成，產(chǎn)生連接事件，直線導(dǎo)軌狀態(tài)類獲取連接事件通知，觸發(fā)注冊(cè)該事件的直線導(dǎo)軌狀態(tài)類的更新行為觸發(fā)后續(xù)，更新直線導(dǎo)軌的狀態(tài)采用上述消息交互方法，允許獨(dú)立的改變?cè)O(shè)備驅(qū)動(dòng)類和設(shè)備狀態(tài)類，即可以單獨(dú)復(fù)用設(shè)備驅(qū)動(dòng)類對(duì)象而無需同時(shí)復(fù)用其設(shè)備狀態(tài)類，反之亦然。它也使你可以在不改動(dòng)設(shè)備驅(qū)動(dòng)類和其他的設(shè)備狀態(tài)類的前提下增加新的設(shè)備狀態(tài)類。采用上述信息交互方法，提高了傳輸系統(tǒng)設(shè)備的多樣性和部件的替換升級(jí)，在服務(wù)器程序設(shè)計(jì)中，使傳輸工藝流程的實(shí)現(xiàn)與硬件設(shè)備驅(qū)動(dòng)執(zhí)行功能分離。被控制的設(shè)備之間實(shí)現(xiàn)模塊化，提高了整套傳輸系統(tǒng)的維護(hù)性和擴(kuò)展性。權(quán)利要求1.一種用于硅片傳輸系統(tǒng)的服務(wù)器架構(gòu)，所述傳輸系統(tǒng)包括上位的主控計(jì)算機(jī)以及連接數(shù)個(gè)硬件設(shè)備的傳輸計(jì)算機(jī)，所述服務(wù)器架構(gòu)用于傳輸計(jì)算機(jī)上，其特征在于，所述服務(wù)器架構(gòu)包括服務(wù)器類、通訊類、數(shù)個(gè)設(shè)備狀態(tài)類以及直接與硬件設(shè)備交互的數(shù)個(gè)設(shè)備驅(qū)動(dòng)類，其中服務(wù)器類通過通訊類與主控計(jì)算機(jī)交互消息，服務(wù)器將接收的消息下發(fā)給設(shè)備狀態(tài)類，設(shè)備狀態(tài)類通過對(duì)應(yīng)的設(shè)備驅(qū)動(dòng)類間接控制硬件設(shè)備的執(zhí)行，且將硬件設(shè)備的最新狀態(tài)通過反饋給服務(wù)器類以上傳至主控計(jì)算機(jī)。2.如權(quán)利要求1所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于對(duì)應(yīng)每一硬件設(shè)備，所述服務(wù)器架構(gòu)均設(shè)有設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類。3.如權(quán)利要求1所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于所述服務(wù)器架構(gòu)還包括曰志類，其用于記錄傳輸系統(tǒng)運(yùn)行信息和出錯(cuò)信息。4.如權(quán)利要求1所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于所述傳輸系統(tǒng)的硬件設(shè)備包括版庫(kù)、直線導(dǎo)軌、機(jī)械手、數(shù)據(jù)采集卡以及傳感器；所述服務(wù)器架構(gòu)的設(shè)備狀態(tài)類包括維護(hù)版庫(kù)運(yùn)行的版庫(kù)狀態(tài)類、維護(hù)機(jī)械手和直線導(dǎo)軌協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)類、維護(hù)傳感器狀態(tài)變遷的傳感器狀態(tài)類以及維護(hù)數(shù)據(jù)采集卡狀態(tài)的數(shù)據(jù)采集卡狀態(tài)類。5.如權(quán)利要求4所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于所述設(shè)備驅(qū)動(dòng)類包括版庫(kù)驅(qū)動(dòng)類、數(shù)據(jù)采集卡驅(qū)動(dòng)類、機(jī)械手驅(qū)動(dòng)類、直線導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)類以及傳感器驅(qū)動(dòng)類。6.如權(quán)利要求1所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于服務(wù)器類與主控計(jì)算機(jī)交互消息包括服務(wù)器類接收主控計(jì)算機(jī)的下發(fā)命令、對(duì)每一下發(fā)命令的層次狀應(yīng)答消息以及硬件設(shè)備自發(fā)產(chǎn)生的告示信息。7.如權(quán)利要求6所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于所述應(yīng)答消息包括事件消息和內(nèi)容消息，其中事件消息位于內(nèi)容消息的外層。8.如權(quán)利要求7所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于事件消息的形式是"事件一XX"參數(shù)="參數(shù)值""，其中"事件"表示消息的性質(zhì)，"XX，，為產(chǎn)生事件的硬件設(shè)備，"參數(shù)="參數(shù)值""是具體事件的特征說明。9.如權(quán)利要求7所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于內(nèi)容消息的形式是"狀態(tài)—XX="狀態(tài)碼""，其中"狀態(tài)"表示內(nèi)容消息的性質(zhì)，"XX"為產(chǎn)生內(nèi)容消息的硬件設(shè)　備，"狀態(tài)碼"是具體狀態(tài)特征說明。10.如權(quán)利要求7所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于內(nèi)容消息的形式是"屬性一XX="屬性碼""，其中"屬性"表示內(nèi)容消息的性質(zhì)，"XX"為產(chǎn)生內(nèi)容消息的硬件設(shè)備，"屬性碼"是具體屬性特征說明。11.如權(quán)利要求7所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于內(nèi)容消息的形式是"狀態(tài)—XX="狀態(tài)碼"屬性一XX="屬性碼""，其中"狀態(tài)"表示內(nèi)容消息的性質(zhì)，"狀態(tài)碼"是具體狀態(tài)特征說明，"屬性"表示內(nèi)容消息的性質(zhì)，"屬性碼"是具體屬性特征說明，"XX"為產(chǎn)生內(nèi)容消息的硬件設(shè)備。12.如權(quán)利要求7所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于所述應(yīng)答消息還包括與內(nèi)容消息屬于同一層次的錯(cuò)誤消息，其中錯(cuò)誤消息的形式是"錯(cuò)誤—XX="錯(cuò)誤碼""，其中"錯(cuò)誤"表示消息的性質(zhì)，"XX"為產(chǎn)生錯(cuò)誤消息的硬件設(shè)備，"錯(cuò)誤碼"是具體錯(cuò)誤的特征說明。13.如權(quán)利要求6所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于所述告示信息的形式是"告示—錯(cuò)誤XX="錯(cuò)誤碼""，其中"告示—錯(cuò)誤，，表示消息的性質(zhì)，"XX"為產(chǎn)生消息的硬件設(shè)備，"錯(cuò)誤碼"是具體告示錯(cuò)誤特征說明。14.如權(quán)利要求6所述的服務(wù)器架構(gòu)，其特征在于所述告示信息的形式是"告示—事件XX="狀態(tài)碼，"'，其中"告示—事件"表示消息的性質(zhì)，"XX"為產(chǎn)生消息的硬件設(shè)備，"狀態(tài)碼"是具體告示事件特征說明。15.—種采用權(quán)利要求1所述服務(wù)器架構(gòu)的信息交換方法，其特征在于，該信息交換方法包括如下步驟a.設(shè)備狀態(tài)類在設(shè)備驅(qū)動(dòng)類中注冊(cè)所有與其相關(guān)的事件；b.在設(shè)備驅(qū)動(dòng)類中定義事件，聲明執(zhí)行函數(shù)；c.設(shè)備驅(qū)動(dòng)類處于新狀態(tài)時(shí)觸發(fā)相應(yīng)的事件，事件發(fā)生觸發(fā)所有注冊(cè)過該事件的設(shè)備狀態(tài)類的更新行為，獲取硬件設(shè)備的當(dāng)前狀態(tài)，使設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類的狀態(tài)保持一致；d.設(shè)備狀態(tài)類將硬件設(shè)備當(dāng)前狀態(tài)通過服務(wù)器類、通訊類反饋給主控計(jì)算機(jī)。16.如權(quán)利要求15所述的信息交互控制方法，其特征在于，在步驟b和c之間還包括步驟e:設(shè)備狀態(tài)類從服務(wù)器類獲得執(zhí)行指令，調(diào)用設(shè)備驅(qū)動(dòng)類的執(zhí)行函數(shù)，與該設(shè)備驅(qū)動(dòng)類直接交互的硬件設(shè)備執(zhí)行該執(zhí)行指令到達(dá)新狀態(tài)。全文摘要本發(fā)明公開了用于硅片傳輸系統(tǒng)的服務(wù)器架構(gòu)以及信息交換方法。所述傳輸系統(tǒng)包括上位的主控計(jì)算機(jī)以及連接控制數(shù)個(gè)硬件設(shè)備的傳輸計(jì)算機(jī)，所述服務(wù)器架構(gòu)用于傳輸計(jì)算機(jī)上，所述服務(wù)器架構(gòu)包括服務(wù)器類、通訊類、數(shù)個(gè)設(shè)備狀態(tài)類以及直接與硬件設(shè)備交互的數(shù)個(gè)設(shè)備驅(qū)動(dòng)類，其中服務(wù)器類通過通訊類與主控計(jì)算機(jī)交互消息，服務(wù)器將接收的消息下發(fā)給設(shè)備狀態(tài)類，設(shè)備狀態(tài)類通過對(duì)應(yīng)的設(shè)備驅(qū)動(dòng)類間接控制硬件設(shè)備的執(zhí)行，且將硬件設(shè)備的最新狀態(tài)通過反饋給服務(wù)器類來上傳至主控計(jì)算機(jī)。相較現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明提供的服務(wù)器架構(gòu)通過將針對(duì)每一硬件設(shè)備設(shè)置了設(shè)備狀態(tài)類和設(shè)備驅(qū)動(dòng)類，實(shí)現(xiàn)了硬件設(shè)備之間的模塊化，提高了傳輸系統(tǒng)的維護(hù)性和擴(kuò)展性。文檔編號(hào)G05B19/418GK101158866SQ20071004735公開日2008年4月9日申請(qǐng)日期2007年10月24日優(yōu)先權(quán)日2007年10月24日發(fā)明者李若慶,王文剛,胡海峰申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司