專利名稱：：用于硅片傳輸系統(tǒng)的并發(fā)控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域的用于硅片傳輸系統(tǒng)的控制方法，尤其是指硅片傳輸系統(tǒng)中的對多個硬件執(zhí)行部件實(shí)現(xiàn)并發(fā)控制的方法。
背景技術(shù)：
：目前在國內(nèi)，國產(chǎn)的半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)基本還未形成。研究傳輸控制系統(tǒng)的科研機(jī)構(gòu)和高校也很少。中國期刊網(wǎng)上的學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫于2006年公開了文獻(xiàn)《硅片傳輸機(jī)器人控制系統(tǒng)的研究與開發(fā)》，該文獻(xiàn)的第四章節(jié)重點(diǎn)分析了采用的控制策略，DLL動態(tài)鏈接庫和Active控件技術(shù)是傳輸系統(tǒng)上層應(yīng)用程序和底層硬件設(shè)備程序之間交互的主要手段。底層設(shè)備程序封裝后，以頭文件的形式給上層調(diào)用，上層程序通過包含頭文件，以函數(shù)調(diào)用的形式來實(shí)現(xiàn)對底層設(shè)備的流程控制。采用這種方式，能較好的實(shí)現(xiàn)控制層次的劃分，只要系統(tǒng)的函數(shù)接口層次定義完成后，開發(fā)人員就能并行開發(fā)。但是采用上述函數(shù)接口的形式，底層函數(shù)被調(diào)用后，到結(jié)果返回之前，被調(diào)用函數(shù)內(nèi)部經(jīng)歷了復(fù)雜執(zhí)行過程，上層程序無法獲知所調(diào)用函數(shù)內(nèi)部執(zhí)行的細(xì)節(jié)過程。另外，如果采用非異步的函數(shù)，執(zhí)行期間，很容易阻塞上層調(diào)用程序。北京航空航天大學(xué)出版社于2004年4月出版的《51系列單片機(jī)高級實(shí)例開發(fā)指南》涉及了運(yùn)動控制系統(tǒng)的開發(fā)，其中上下層的通訊是通過ASCII形式的命令字符串，應(yīng)答字符串方式來實(shí)現(xiàn)，通常是一條命令對應(yīng)一條應(yīng)答消息，這種方式也不能完全反映出被調(diào)用方的執(zhí)行過程細(xì)節(jié)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明解決的技術(shù)問題在于提供一種對硅片傳輸系統(tǒng)多個硬件執(zhí)行部件實(shí)現(xiàn)并發(fā)控制的方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種新的并發(fā)控制方法，所述硅片傳輸系統(tǒng)包括下發(fā)命令的主控計(jì)算機(jī)以及控制數(shù)個執(zhí)行部件的傳輸計(jì)算機(jī)，所述主計(jì)算機(jī)包括一個主消息接收隊(duì)列、對應(yīng)執(zhí)行部件的數(shù)個發(fā)送隊(duì)列和數(shù)個子消息接收隊(duì)列，該并發(fā)控制方法包括如下步驟a.主控計(jì)算機(jī)對數(shù)個執(zhí)行部件連續(xù)下發(fā)命令，根據(jù)下發(fā)命令的關(guān)鍵字，將命令分類，分別加入對應(yīng)執(zhí)行部件的發(fā)送隊(duì)列中；b.判斷每一執(zhí)行部件的前一個命令是否執(zhí)行完畢，若是，執(zhí)行步驟c,若否，將該當(dāng)前命令的發(fā)送線程掛起；c.從每一執(zhí)行部件的發(fā)送隊(duì)列中取出命令，向?qū)?yīng)的執(zhí)行部件發(fā)送命令；d.傳輸計(jì)算機(jī)將下發(fā)命令的所有應(yīng)答消息反饋給主控計(jì)算機(jī)，依次加入所述主消息接收隊(duì)列內(nèi)；e.對消息接收隊(duì)列中的應(yīng)答消息進(jìn)行提取解析，將同一執(zhí)行部件的應(yīng)答消息放入對應(yīng)的子接收隊(duì)列內(nèi)。其中所述下達(dá)命令使用的數(shù)據(jù)文件包括命令語句字符串、數(shù)行狀態(tài)碼以及結(jié)束標(biāo)志。進(jìn)一步地，步驟e是利用哈西表對主接收隊(duì)列中的應(yīng)答消息進(jìn)行提取解析的，該哈西表的建立過程包括如下步驟打開下發(fā)命令的數(shù)據(jù)文件進(jìn)行讀取，建立狀態(tài)碼數(shù)組；獲取命令語句字符串，作為哈西表的關(guān)鍵字，獲取狀態(tài)碼加入對應(yīng)的狀態(tài)碼數(shù)組，作為哈西表關(guān)鍵字的值；將所有命令語句字符串以及對應(yīng)的狀態(tài)碼數(shù)組加入散列表，形成哈西表。進(jìn)一步地，步驟c通過哈西表對應(yīng)答消息進(jìn)行提取解析的過程包括如下步驟判斷主接收隊(duì)列中是否有應(yīng)答消息，若有，繼續(xù)判斷得到是否是錯誤碼；若得到的是錯誤碼，加入錯誤隊(duì)列，反之，繼續(xù)判斷應(yīng)答消息的內(nèi)容是否含狀態(tài)碼和屬性碼若既含狀態(tài)碼又含屬性碼，將狀態(tài)碼加入狀態(tài)隊(duì)列，設(shè)置屬性碼；若只含狀態(tài)碼，將狀態(tài)碼加入狀態(tài)隊(duì)列；若只含屬性碼，設(shè)置屬性碼；判斷有新消息加入主接收隊(duì)列中，若有，循環(huán)執(zhí)行上面步驟；若無，逐項(xiàng)比較狀態(tài)隊(duì)列中的狀態(tài)碼和哈西表的散列表中對應(yīng)關(guān)鍵字的值，將針對同一執(zhí)行部件的應(yīng)答消息放入對應(yīng)的子接收隊(duì)列中。本發(fā)明提供的并行控制方法，可以對硅片傳輸系統(tǒng)的多個執(zhí)行部件連續(xù)下發(fā)命令實(shí)現(xiàn)并行控制，節(jié)省了執(zhí)行時(shí)間，進(jìn)而提高了生產(chǎn)效率；通過采用哈西表技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對混雜信息的并行處理。圖1是硅片傳輸系統(tǒng)的物理結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是硅片傳輸系統(tǒng)的通訊結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是哈西表形成的流程圖。圖4是應(yīng)答消息解析方法的流程圖。圖5是本發(fā)明對傳輸系統(tǒng)執(zhí)行部件的并發(fā)控制方法的流程圖。具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對本發(fā)明用于硅片傳輸系統(tǒng)的并發(fā)控制方法的較佳實(shí)施例進(jìn)行描述，以期進(jìn)一步理解本發(fā)明的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明提供的并發(fā)控制方法應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)雜的硅片傳輸系統(tǒng)。圖1是一種硅片傳輸系統(tǒng)的物理結(jié)構(gòu)圖，圖中顯示了該傳輸系統(tǒng)具有若干個執(zhí)行部件(設(shè)備)，其包括三個獨(dú)立的用于存放硅片的版庫1、2、3(以下分別稱為1號版庫、2號版庫、3號版庫)、一個直線導(dǎo)軌5，一個多軸機(jī)械手4以及數(shù)個傳感器(如真空傳感器、掃描傳感器、接近開關(guān)等等，未圖示)。所述機(jī)械手4一共有五個工作位置。版庫被抬升之后，機(jī)械手4在直線導(dǎo)軌5上滑行，可以從任何一個版庫的任何一個槽位取或者放硅片。圖2是所述硅片傳輸系統(tǒng)的通訊結(jié)構(gòu)圖。參閱圖2并結(jié)合圖1,該傳輸系統(tǒng)包括主控計(jì)算機(jī)6、傳輸計(jì)算機(jī)7以及若干控制執(zhí)行部件的設(shè)備。通過大部分設(shè)備如控制機(jī)械手的機(jī)械手控制器、真空傳感器、直線導(dǎo)軌5以及與版庫對應(yīng)的三個硅片盒管理a、b、c是通過以太網(wǎng)或者RS232COM2-5串口與傳輸計(jì)算機(jī)7進(jìn)行通訊的，還有一部分部件如數(shù)字I/O是通過傳輸計(jì)算機(jī)7的擴(kuò)展槽進(jìn)行連接控制的。傳輸計(jì)算機(jī)7整合這些設(shè)備、部件通過集線器或者交換器、以太網(wǎng)等與上位的主控計(jì)算機(jī)6實(shí)現(xiàn)通信。主控計(jì)算機(jī)6和傳輸計(jì)算機(jī)7采用的是雙向交互通訊，即傳輸計(jì)算機(jī)7不但能接受主控計(jì)算機(jī)6下發(fā)命令，做主被動應(yīng)答，還應(yīng)當(dāng)具有主動上發(fā)消息功能，告知主控計(jì)算機(jī)6，傳輸系統(tǒng)設(shè)備、部件發(fā)生的最新變化。主控計(jì)算機(jī)6下發(fā)的一條命令比如機(jī)械手初始化命令對應(yīng)積4成手4一系列復(fù)雜動作，而每一個動作的完成只是整個命令序列的一個步驟。整個初始化過程可以劃分成數(shù)層次(節(jié)點(diǎn))，每個層次(節(jié)點(diǎn))包含一系列動作(參閱下附表2)。數(shù)個初始化層次(節(jié)點(diǎn))的完成構(gòu)成一個完整的初始化過程。主控計(jì)算機(jī)6在下發(fā)傳輸系統(tǒng)初始化指令后，需要實(shí)時(shí)感知傳輸系統(tǒng)具體初始化過程的每一步驟的進(jìn)展，判斷初始化進(jìn)程進(jìn)展的那一個層次，相關(guān)層次中的那一步，這是一個動態(tài)實(shí)時(shí)的跟蹤過程。當(dāng)命令下發(fā)失敗，初始化不能繼續(xù)下去的時(shí)候，主控計(jì)算機(jī)6能在第一時(shí)間，根據(jù)傳輸計(jì)算機(jī)7連續(xù)不斷上傳的反饋消息做出正確的判斷。本實(shí)施例中，主控計(jì)算機(jī)6與傳輸計(jì)算機(jī)7之間采用層次狀的消息結(jié)構(gòu)進(jìn)行通訊。針對傳輸系統(tǒng)設(shè)備、部件的復(fù)雜性，設(shè)計(jì)了如表1所示的消息結(jié)構(gòu)模板。表l消息結(jié)構(gòu)模板<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table>錯誤<錯誤—XX="錯誤碼"/>該消息結(jié)構(gòu)模板具有如下特征1.針對每一條命令(每一項(xiàng))，消息結(jié)構(gòu)模板分成三個部分事件的開始、結(jié)束以及內(nèi)容。2.事件位于應(yīng)答消息的最外層，表示主控計(jì)算機(jī)下發(fā)命令后事件的開始和事件的結(jié)束。3.事件應(yīng)答消息字符串位于尖括號內(nèi)，以"事件—XX，，開頭，"事件，，標(biāo)識本消息的性質(zhì)，其后的"XX"為具體產(chǎn)生事件的所有者，對應(yīng)設(shè)備、執(zhí)行部件；"參數(shù)="參數(shù)值""是具體事件的特征說明。4.事件的開始與結(jié)束分別通過反^t消息的"<"和"</，，來區(qū)別。5.'內(nèi)容消息包含于事件消息之內(nèi)部。6.內(nèi)容消息位于尖括號內(nèi)，內(nèi)容結(jié)束由"/>"結(jié)尾。7.內(nèi)容的第一種組成形式是"狀態(tài)—XXJ狀態(tài)碼""，其中"狀態(tài)"表示本內(nèi)容消息的性質(zhì)，其后的"XX"為產(chǎn)生內(nèi)容消息的所有者，"狀態(tài)碼"是具體狀態(tài)特征說明。8.內(nèi)容的第二種組成形式是"屬性—XX^'屬性碼""，其中"屬性"表示本內(nèi)容消息的性質(zhì)，其后的"XX"為產(chǎn)生內(nèi)容消息的所有者，"屬性碼"是具體屬性特征說明。9.內(nèi)容的第三種組成形式是"狀態(tài)—XX^狀態(tài)碼"屬性一XX一'屬性碼""，它是特征7和8兩部分內(nèi)容的疊加，該種形式的內(nèi)容既有狀態(tài)部分又有屬性部分。10.錯誤消息和內(nèi)容消息屬于同一個層次，它們都位于事件消息層次之內(nèi)。當(dāng)有錯誤發(fā)生時(shí)，產(chǎn)生錯誤消息。錯誤消息的組成形式是"錯誤—XX="錯誤碼""。其中"錯誤"表示本消息的性質(zhì)，其后的"XX，，為產(chǎn)生錯誤消息的所有者，"錯誤碼，，是具體錯誤的特征說明。根據(jù)表l所示的消息結(jié)構(gòu)模板以及上述特征7-9,下面給出三個消息結(jié)構(gòu)的具體實(shí)施例結(jié)構(gòu)1:內(nèi)容為狀態(tài)碼(實(shí)例1)主控計(jì)算機(jī)命令(發(fā)出)<命令_真空傳感器—連接/>傳輸計(jì)算機(jī)(應(yīng)答)失敗情況<事件—真空傳感器_連接><狀態(tài)—真空傳感器—連接="2030"/>注釋"2030"表示正在進(jìn)行連接<錯誤—真空傳感器—連接="5010"/>注釋"5010"表示連接失敗，原因端口錯誤</事件—真空傳感器—連接>主控計(jì)算機(jī)命令(發(fā)出)<命令—真空傳感器—連接/>傳輸計(jì)算機(jī)(應(yīng)答)成功情況<事件一真空傳感器—連接><狀態(tài)—真空傳感器._連接="2030"/>注釋"2030，，表示正在進(jìn)行連接<狀態(tài)—真空傳感器.—連接="2040，7>注釋"2030"表示連接已經(jīng)建立</事件—真空傳感器—連接>結(jié)構(gòu)2:內(nèi)容為狀態(tài)和屬性碼(實(shí)例2)主控計(jì)算機(jī)命令(發(fā)出)<命令—版庫—獲取—開鎖時(shí)間版庫="1"/>注釋"l"指的是l號版庫傳輸計(jì)算機(jī)(應(yīng)答)<事件一版庫—獲取—開鎖時(shí)間版庫="1"><狀態(tài)—版庫—獲取—開鎖時(shí)間="2050"屬性—版庫—獲取—開鎖時(shí)間="250，V〉</事件—版庫—獲取一開鎖時(shí)間版庫="1">注釋"2050"表示成功獲取開鎖時(shí)間"250"表示具體的開鎖時(shí)間是250毫秒結(jié)構(gòu)3:內(nèi)容為屬性碼(實(shí)例3)主控計(jì)算機(jī)命令(發(fā)出)<命令一版庫—掃描版庫="1">傳輸計(jì)算機(jī)(應(yīng)答)<事件—版庫一掃描版庫="1"><屬性—版庫—掃描="EFFFFFFFFFFFFFFFFFFFFFFCE，，/〉</事件_版庫—掃描版庫="1">其中"EFFFFFFFFFFFFFF'FFFFFFFFCE"是相關(guān)的片反庫槽掃描消息可能的數(shù)值E:槽位空0=槽交叉F:槽占位由上述實(shí)例可知，根據(jù)內(nèi)容的結(jié)構(gòu)形式不同，消息結(jié)構(gòu)具有三種形式，分別對應(yīng)上述結(jié)構(gòu)l、結(jié)構(gòu)2以及結(jié)構(gòu)3，分別具有不同的應(yīng)用場合。有些命令下發(fā)后，返回的只有狀態(tài)碼，反映命令執(zhí)行過程中的事務(wù)的狀態(tài)變遷情況，如運(yùn)動定位命令，該命令#丸4亍時(shí)包含運(yùn)動開始-加速_勻速運(yùn)動-減速-停止運(yùn)動5個狀態(tài)，這類命令就適合套用結(jié)構(gòu)1的格式。部分命令關(guān)心的只是定量的數(shù)量值(屬性)，如版庫掃描指令，關(guān)心的只是版庫的相應(yīng)槽位的具體內(nèi)容，這類命令就適合于套用結(jié)構(gòu)3的格式。同時(shí)需要狀態(tài)，屬性的消息就需要套用結(jié)構(gòu)2的格式。主控計(jì)算機(jī)與傳輸計(jì)算機(jī)之間的消息交互采用的消息結(jié)構(gòu)具有上述三種形式，且結(jié)構(gòu)與結(jié)構(gòu)之間能互相嵌套，形成更為復(fù)雜的消息結(jié)構(gòu)。表2是主控計(jì)算機(jī)和傳輸計(jì)算機(jī)采用嵌套的消息結(jié)構(gòu)進(jìn)行復(fù)雜信息交互的實(shí)例。表2主控計(jì)算機(jī)與傳輸計(jì)算機(jī)之間的信息交互<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>傳輸系統(tǒng)的設(shè)備、執(zhí)行部件發(fā)生狀態(tài)變更時(shí)，還應(yīng)當(dāng)具有主動上發(fā)消息通知上位主控計(jì)算機(jī)的功能。在此種情況下產(chǎn)生的消息并不應(yīng)對主控計(jì)算機(jī)的下發(fā)命令，而是由控制底層設(shè)備、執(zhí)行部件的傳輸計(jì)算機(jī)自動產(chǎn)生的告示消息。該告示消息的通用格式如表3所示。表3告示消息通用格式<告示—錯誤XX="錯誤碼"><告示事件XX一'狀態(tài)碼"〉表3所示的告示信息的通用模板具有如下特征1.告示消息字符串位于尖括號內(nèi)。2.告示的第一種形式是"告示—錯誤XX一'錯誤碼""，其中"告示_錯誤"表示本消息的性質(zhì)，其后的"XX"為消息的所有者，"錯誤碼"是具體告示錯誤特征說明。3.告示的第二種形式是"告示—事件XX—狀態(tài)碼""，其中"告示—事件"表示本消息的性質(zhì)，其后的"XX"為消息的所有者，"狀態(tài)碼"是具體告示事件特征說明。根據(jù)表3提供的通用格式，該告示消息的實(shí)例如下機(jī)械手掉電機(jī)械手緊停按鈕被按下機(jī)械手速度變化機(jī)械手運(yùn)行模式變化<告示—錯誤機(jī)械手="3010，，>"3010"含義<告示_錯誤機(jī)械手="3020">"3020"含義<告示—事件機(jī)械手="2020，，〉"2020，，含義<告示—事件機(jī)械手="2020，，〉"2100,，含義從上面四個實(shí)例中可以明顯看出，告示消息是由傳輸計(jì)算機(jī)控制的設(shè)備、執(zhí)行部件自動產(chǎn)生的，而非主控計(jì)算機(jī)下發(fā)命令后的應(yīng)答。告示消息的產(chǎn)生是隨時(shí)隨地產(chǎn)生的，具有不可預(yù)測性，但這些設(shè)備、執(zhí)行部件的實(shí)時(shí)消息對主控計(jì)算機(jī)又非常重要，因此采用上述告示消息可以很好的實(shí)現(xiàn)傳輸計(jì)算機(jī)和主控計(jì)算才幾的雙向交互通訊。分析表2可知，傳輸系統(tǒng)的執(zhí)行部件機(jī)械手、版庫、真空傳感器包含大量運(yùn)動，每一執(zhí)行部件執(zhí)行每一命令具有多個應(yīng)答消息，需要一定的時(shí)間，如機(jī)械手初始化5分鐘，1條命令對應(yīng)20條反饋消息；版庫初始化3分鐘，l條命令對應(yīng)6條反饋消息；掃描器件初始化2分鐘，1條命令對應(yīng)4條反饋消息(未在表2中顯示)。如果采用接收一條完整命令應(yīng)答消息后，再執(zhí)行下一條命令，那么整個初始化所需要的時(shí)間可長達(dá)16分鐘。若采用連續(xù)發(fā)送命令，而把接收反饋消息過程分離出來處理，則整個初始化過程僅需要5分鐘。為了使各個執(zhí)行部件能夠并發(fā)執(zhí)行，并且能夠按照復(fù)雜的工藝流程實(shí)現(xiàn)動作序列間的配合，需要提供一種消息解析方法以對多個執(zhí)行部件混雜消息進(jìn)行并發(fā)處理。另外，從表2中可知，一條命令對應(yīng)數(shù)條應(yīng)答消息，且每一命令對應(yīng)應(yīng)答消息的數(shù)量和類型均不一樣。一條命令下發(fā)后，需要判斷收回的應(yīng)答消息是否完整、匹酉己，為此，還設(shè)計(jì)了一套應(yīng)用到上述消息解析方法中的哈西表技術(shù)，在本發(fā)明的消息解析過程，通過哈西表技術(shù)命令的反饋的應(yīng)答消息是否完整和匹配。考慮到傳輸系統(tǒng)命令的多樣性和擴(kuò)展性，本發(fā)明還提供了用于硅片傳輸系統(tǒng)的數(shù)據(jù)文件模板，如表4所示，該表考慮的是正常執(zhí)行流程過程中產(chǎn)生的消息序列。表4數(shù)據(jù)文件的模板<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>表4所示的數(shù)據(jù)文件具有如下特征1.一條命令行在數(shù)據(jù)文件才莫板對應(yīng)一項(xiàng)，每一項(xiàng)由四個部分組成注釋語句、命令語句字符串、狀態(tài)碼、結(jié)束標(biāo)志。2.注釋語句以#開頭，對命令文字進(jìn)行注釋；#是注釋識別碼標(biāo)志，用于程序的幫助文件；注釋語句是命令的可選部分，有些是不需要該注釋語句的。3.緊接注釋語句下面的是一行命令語句字符串，在形成哈西表的時(shí)候，該部分作為關(guān)鍵字。4.關(guān)鍵字下面的是狀態(tài)碼，狀態(tài)碼可能占多行,，由具體的消息內(nèi)容所決定，狀態(tài)碼縮進(jìn)二格，表示附屬于命令語句字符串。5.狀態(tài)碼下面是結(jié)束標(biāo)志，在本實(shí)施例中設(shè)計(jì)成$標(biāo)識符，哈西表數(shù)據(jù)文件建立時(shí)，通過此標(biāo)識符，判斷一項(xiàng)的結(jié)束。根據(jù)表4提供的數(shù)據(jù)文件模板，提供一個數(shù)據(jù)文件的具體實(shí)例，表示如下#注釋語句真空傳感器—連接正在連接中連接建立$#注釋語句才幾械手—初始化正在初始化初始4b成功$才幾械手_連才妄正在連接中連接建立從該具體實(shí)例可知，命令語句字符串(即建立哈西表時(shí)候的關(guān)鍵字)和狀態(tài)碼具有不同的格式。命令語句字符串采用是"執(zhí)行部件—動作，，的形式，而狀態(tài)碼采用的是方便程序處理諸如"0010"這樣數(shù)字字符串形式。圖3是形成哈西表的流程圖。以下部分結(jié)合圖3描述哈西表的形成過程，首先打開數(shù)據(jù)文件進(jìn)行讀取，判斷數(shù)據(jù)文件是否結(jié)束，若沒有結(jié)束，建立該項(xiàng)命令的狀態(tài)碼數(shù)組。然后獲取命令字標(biāo)識符即數(shù)據(jù)文件的命令語句字符串，其作為哈西表的關(guān)鍵字，該關(guān)鍵字是主控計(jì)算機(jī)下發(fā)命令的特征碼部分，例如"<命令一真空傳感器—連接/>"的特征碼部分是"真空傳感器—連接"，也就是說"真空傳感器_連接"是哈西表對應(yīng)下發(fā)命令"<命令—真空傳感器—連接/>"的關(guān)鍵字。注意，#開頭的行是注釋行，僅僅起幫助文件的作用，在建立哈西表的時(shí)候被忽略。接下來繼續(xù)判斷該項(xiàng)命令是否讀取完畢，即判斷是否讀取到狀態(tài)結(jié)束標(biāo)志$,將若讀取到，將獲得的命令標(biāo)識符以及對應(yīng)該命令標(biāo)識符的狀態(tài)碼數(shù)組加入散列表內(nèi)，完成哈西表的建立。圖3中的命令標(biāo)識符就是指表4中的命令語句字符串，也是形成的哈西表的關(guān)鍵字，對應(yīng)的狀態(tài)碼數(shù)組就是該關(guān)鍵字的值。上面提到，本發(fā)明的并發(fā)控制方法中使用的消息解析方法可以對混雜的消息進(jìn)行并發(fā)處理。在解析過程中，就是利用上述建立的哈西表來確認(rèn)應(yīng)答消息是否完整和匹配的。以下結(jié)合圖4對該消息解析方法進(jìn)行詳細(xì)描述主控計(jì)算機(jī)具有一個存放各種消息的主接收隊(duì)列，傳輸計(jì)算機(jī)將傳輸系統(tǒng)設(shè)備、執(zhí)行部件的應(yīng)答消息反饋給主控計(jì)算機(jī)，且放入上述主接收隊(duì)列；首先判斷主接收隊(duì)列中是否存放有消息，若有，繼續(xù)判斷得到是否是錯誤碼；反之，解析終止；若得到的不是錯誤碼，則繼續(xù)判斷消息內(nèi)容是否含狀態(tài)碼和屬性碼，反之加入錯誤隊(duì)列若既含狀態(tài)碼又含屬性碼，將狀態(tài)碼加入狀態(tài)隊(duì)列，設(shè)置屬性碼；若只含狀態(tài)碼，將狀態(tài)碼加入狀態(tài)隊(duì)列;若只含屬性碼，設(shè)置屬性碼；繼續(xù)判斷有新消息加入主接收隊(duì)列中，若有，循環(huán)執(zhí)行上面步驟；若無，逐項(xiàng)比較狀態(tài)隊(duì)列中的每一項(xiàng)值(狀態(tài)碼)和哈西表中對應(yīng)的散列表中的關(guān)鍵字(命令字符串)的值(哈西表中的狀態(tài)碼數(shù)組)，判斷出該消息是對主控計(jì)算機(jī)那個下發(fā)命令的應(yīng)答消息。圖4顯示的消息解析方法可以對接收對列中的混雜消息進(jìn)行并發(fā)處理，使得主控計(jì)算機(jī)對傳輸系統(tǒng)的多個執(zhí)行部件的并發(fā)控制成為可能。主控計(jì)算機(jī)的下發(fā)命令過程和接收傳輸計(jì)算機(jī)反饋應(yīng)答消息過程相互獨(dú)立，利用圖4的解析方法對混雜消息提取解析，實(shí)現(xiàn)對多個執(zhí)行部件的并發(fā)控制。以下部分舉例說明利用上述消息解析方法實(shí)現(xiàn)對多個執(zhí)行部件并發(fā)控制的方法。本實(shí)施例中，需要并發(fā)控制的執(zhí)行部件是版庫、傳感器、機(jī)械手。主控計(jì)算機(jī)對上述三個執(zhí)行部件下發(fā)的三條命令分別是版庫裝載命令、硅片掃描命令、機(jī)械手裝載命令，傳輸計(jì)算機(jī)反饋的應(yīng)答消息格式如下<命令—版庫—裝載版庫="1號版庫"/>01<事件—版庫一裝載版庫="1號版庫">02<狀態(tài)—版庫—裝載="狀態(tài)碼1"/〉03<狀態(tài)—版庫_裝載="狀態(tài)碼2"/>04</事件—版庫—裝載版庫="1號版庫"><命令一硅片_掃描版庫^"i號版庫"/〉11<事件—硅片—掃描版庫="1號版庫，，>12<狀態(tài)—硅片—掃描="狀態(tài)碼，V〉13</事件—珪片—掃描版庫="1號版庫，，><命令—機(jī)械手—傳輸源="位置號"目的="位置號"/>21<事件—機(jī)械手—傳輸源="位置號"目的="位置號"〉22<狀態(tài)—機(jī)械手—傳輸="狀態(tài)碼1，7>23<狀態(tài)—機(jī)械手—傳輸="狀態(tài)碼2"/>24<狀態(tài)—機(jī)械手—傳輸="狀態(tài)碼3"/>25</事件—機(jī)械手—傳輸源="位置號"目的="位置號">為方便描述，對每條命令對應(yīng)的應(yīng)答消息分別標(biāo)上號。第一條版庫裝載命令對應(yīng)的應(yīng)答碼4條，標(biāo)號01-04;第二條硅片掃描命令對應(yīng)的應(yīng)答碼3條，標(biāo)號11-13;第三條機(jī)械手傳輸命令對應(yīng)的應(yīng)答碼5條，標(biāo)號21-25。連續(xù)下發(fā)上述三條命令，傳輸計(jì)算機(jī)的服務(wù)器端反饋上來的消息順序可能如下01、02、11、21、12、22、13、03、23、04、24、25。應(yīng)用該并發(fā)控制方法的傳輸系統(tǒng)中的主控計(jì)算機(jī)除了包括上述主消息接收隊(duì)列，還包括若干個對應(yīng)每個執(zhí)行部件的發(fā)送隊(duì)列、接收子隊(duì)列以及若干收發(fā)線程。請參閱圖5，該控制方法包括如下步驟命令的下發(fā)過程，結(jié)合圖4:1.啟動主控計(jì)算機(jī)內(nèi)的三個發(fā)送線程機(jī)械手隊(duì)列發(fā)送線程、版庫隊(duì)列發(fā)送線程、傳感器隊(duì)列發(fā)送線程。2.請求控制命令發(fā)送。3.根據(jù)命令關(guān)鍵字例如"<命令—真空傳感器—連接/〉"的關(guān)鍵字是"真空傳感器_連接"，分類加入相應(yīng)執(zhí)行部件的命令發(fā)送隊(duì)列機(jī)械手隊(duì)列、版庫隊(duì)列、傳感器隊(duì)列。4.是機(jī)械手命令，判斷前一個機(jī)械手命令是否執(zhí)行完畢，是，即能繼續(xù)發(fā)送，否，線程掛起；是版庫命令，判斷前一個版庫命令是否執(zhí)行完畢，是，即能繼續(xù)發(fā)送，否，線程掛起；是傳感器命令，判斷前一個傳感器命令是否執(zhí)行完畢，是，即能繼續(xù)發(fā)送，否，線程掛起。5.從機(jī)械手隊(duì)列中取命令；從版庫隊(duì)列中取命令；從傳感器隊(duì)列中取命令。6.向機(jī)械手發(fā)送命令；向版庫發(fā)送命令；向傳感器發(fā)送命令。傳輸計(jì)算機(jī)的服務(wù)器端的將其控制的執(zhí)行部件的應(yīng)答消息反饋給主控計(jì)算機(jī)，混雜消息的提取解析過程如下1.啟動主控計(jì)算機(jī)的接收線程，將接收的所有應(yīng)答消息按順序加入主控計(jì)算機(jī)的主接收隊(duì)列中。2.收到的應(yīng)答消息序列01,02,11,21，12,22，13,03,23，04，24,25。3.提取01號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為版庫裝載事件，入版庫裝載命令子接收隊(duì)列。4.提取02號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為版庫裝載命令狀態(tài)碼1應(yīng)答，入版庫裝載命令子接收隊(duì)列。5.提取ll號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為硅片掃描事件，入硅片掃描命令子接收隊(duì)列。6.提取21號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為機(jī)械手傳輸事件，入機(jī)械手傳輸命令子接收隊(duì)列。7.提取12號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為硅片掃描狀態(tài)碼應(yīng)答，入硅片掃描命令子接收隊(duì)列。8.提取22號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為^L械手傳輸狀態(tài)碼1應(yīng)答，入機(jī)械手傳輸命令子接收隊(duì)列。9.提取13號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為硅片掃描事件結(jié)束應(yīng)答，硅片掃描命令子接收隊(duì)列接收完整，硅片掃描命令執(zhí)行完畢。10.提取03號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為版庫裝載命令狀態(tài)碼2應(yīng)答，入版庫裝載命令子接收隊(duì)列。11.提取23號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為機(jī)械手傳輸狀態(tài)碼2應(yīng)答，入機(jī)械手傳輸命令子接收隊(duì)列。12.提取04號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為版庫裝載事件結(jié)束應(yīng)答，版庫裝載命令子接收隊(duì)列接收完整，版庫裝載命令執(zhí)行完畢。13.提取24號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為機(jī)械手傳輸狀態(tài)碼3應(yīng)答，入機(jī)械手傳輸命令子接收隊(duì)列。14.提取25號消息，經(jīng)哈西表比較后，確認(rèn)為機(jī)械手傳輸事件結(jié)束應(yīng)答，機(jī)械手傳輸命令子接收隊(duì)列接收完整，機(jī)械手傳輸命令執(zhí)行完畢。從上述消息下發(fā)過程和混雜消息提取解析過程分析可知，硅片傳輸系統(tǒng)的硬件執(zhí)行部件不管是三個還是更多個，都可以采用哈西表技術(shù)，通過主控計(jì)算機(jī)上設(shè)置多個發(fā)送隊(duì)列、一個應(yīng)答消息隊(duì)列以及多個相關(guān)的收發(fā)線程，實(shí)現(xiàn)對硬件多個執(zhí)行部件的并行控制。本發(fā)明提供的對多個執(zhí)行部件并行控制方法，有效節(jié)約了傳輸系統(tǒng)硅片傳輸?shù)臅r(shí)間，提高生產(chǎn)效率。權(quán)利要求1.一種用于硅片傳輸系統(tǒng)的并發(fā)控制方法，所述硅片傳輸系統(tǒng)包括下發(fā)命令的主控計(jì)算機(jī)以及控制數(shù)個執(zhí)行部件的傳輸計(jì)算機(jī)，其特征在于，所述主計(jì)算機(jī)包括一個主消息接收隊(duì)列、對應(yīng)執(zhí)行部件的數(shù)個發(fā)送隊(duì)列和數(shù)個子消息接收隊(duì)列，該并發(fā)控制方法包括如下步驟a.主控計(jì)算機(jī)對數(shù)個執(zhí)行部件連續(xù)下發(fā)命令，根據(jù)下發(fā)命令的關(guān)鍵字，將命令分類，分別加入對應(yīng)執(zhí)行部件的發(fā)送隊(duì)列中；b.判斷每一執(zhí)行部件的前一個命令是否執(zhí)行完畢，若是，執(zhí)行步驟c，若否，將該當(dāng)前命令的發(fā)送線程掛起；c.從每一執(zhí)行部件的發(fā)送隊(duì)列中取出命令，向?qū)?yīng)的執(zhí)行部件發(fā)送命令；d.傳輸計(jì)算機(jī)將下發(fā)命令的所有應(yīng)答消息反饋給主控計(jì)算機(jī)，依次加入所述主消息接收隊(duì)列內(nèi)；e.對消息接收隊(duì)列中的應(yīng)答消息進(jìn)行提取解析，將同一執(zhí)行部件的應(yīng)答消息放入對應(yīng)的子接收隊(duì)列內(nèi)。2.如權(quán)利要求1所述的并發(fā)控制方法，其特征在于所述下發(fā)命令使用的數(shù)據(jù)文件包括命令語句字符串、數(shù)行狀態(tài)碼以及結(jié)束標(biāo)志。3.如權(quán)利要求2所述的并發(fā)控制方法，其特征在于所述數(shù)據(jù)文件還包括用于對下發(fā)命令進(jìn)行注釋的注釋行。4.如權(quán)利要求2所述的并發(fā)控制方法，其特征在于所述狀態(tài)碼采用的是數(shù)字字符串形式。5.如權(quán)利要求2所述的并發(fā)控制方法，其特征在于步驟e是利用哈西表對主接收隊(duì)列中的應(yīng)答消息進(jìn)行提取解析，該哈西表的建立過程包括如下步驟打開下發(fā)命令的數(shù)據(jù)文件進(jìn)行讀取，建立狀態(tài)碼數(shù)組；獲取命令語句字符串，作為哈西表的關(guān)鍵字，獲取狀態(tài)碼加入對應(yīng)的狀態(tài)碼數(shù)組，作為哈西表關(guān)鍵字的值；將所有命令語句字符串以及對應(yīng)的狀態(tài)碼數(shù)組加入散列表，形成哈西表。6.如權(quán)利要求5所述的并發(fā)控制方法，其特征在于步驟c通過哈西表對應(yīng)答消息進(jìn)行提取解析的過程包括如下步驟判斷主接收隊(duì)列中是否有應(yīng)答消息，若有，繼續(xù)判斷得到是否是錯誤碼；若得到的是錯誤碼，加入錯誤隊(duì)列，反之，繼續(xù)判斷應(yīng)答消息的內(nèi)容是否含狀態(tài)碼和屬性碼若既含狀態(tài)碼又含屬性碼，將狀態(tài)碼加入狀態(tài)隊(duì)列，設(shè)置屬性碼；若只含狀態(tài)碼，將狀態(tài)碼加入狀態(tài)隊(duì)列；若只含屬性碼，設(shè)置屬性碼；判斷有新消息加入主接收隊(duì)列中，若有，循環(huán)執(zhí)行上面步驟；若無，逐項(xiàng)比較狀態(tài)隊(duì)列中的狀態(tài)碼和哈西表的散列表中對應(yīng)關(guān)鍵字的值，將針對同一執(zhí)行部件的應(yīng)答消息放入對應(yīng)的子接收隊(duì)列中。全文摘要本發(fā)明公開了一種用于硅片傳輸系統(tǒng)的并發(fā)控制方法，所述硅片傳輸系統(tǒng)的主控計(jì)算機(jī)包括一個主消息接收隊(duì)列、數(shù)個發(fā)送隊(duì)列和數(shù)個子消息接收隊(duì)列。該方法包括a.主控計(jì)算機(jī)對數(shù)個執(zhí)行部件連續(xù)下發(fā)命令，根據(jù)命令關(guān)鍵字，加入對應(yīng)執(zhí)行部件的發(fā)送隊(duì)列中；b.判斷執(zhí)行部件的前一個命令是否執(zhí)行完畢，若是，執(zhí)行步驟c，若否，發(fā)送線程掛起；c.從每一執(zhí)行部件的發(fā)送隊(duì)列中取出命令，向執(zhí)行部件發(fā)送命令；d.傳輸計(jì)算機(jī)將應(yīng)答消息反饋給主控計(jì)算機(jī)，依次加入主消息接收隊(duì)列內(nèi)；e.對消息接收隊(duì)列中的應(yīng)答消息進(jìn)行提取解析，將同一執(zhí)行部件的應(yīng)答消息放入對應(yīng)的子接收隊(duì)列內(nèi)。本發(fā)明提供的并發(fā)控制方法實(shí)現(xiàn)了對多個執(zhí)行部件的控制，有效節(jié)省了生產(chǎn)時(shí)間。文檔編號G05B19/418GK101169651SQ20071004723公開日2008年4月30日申請日期2007年10月19日優(yōu)先權(quán)日2007年10月19日發(fā)明者李若慶,王文剛,胡海峰申請人:上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機(jī)械工程有限公司