專利名稱：流速控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種流速控制裝置，該流速控制裝置能夠減弱壓力流體流過流道的脈動，且該流速控制裝置能夠非常精確地控制壓力流體的流速。
相關(guān)技術(shù)的說明

圖10所示為用于控制流體流過流道的流速的流速控制系統(tǒng)。
流速控制系統(tǒng)1包括泵3，該泵3泵送和供給儲存在罐2內(nèi)的壓力流體；打開/關(guān)閉閥5，該打開/關(guān)閉閥5通過管通道4與該泵3的下游側(cè)相連，且該打開/關(guān)閉閥5打開/關(guān)閉用于使壓力流體通過該泵3供給的流體通道；以及流速控制閥7，該流速控制閥7通過管通道6與該打開/關(guān)閉閾5的下游側(cè)相連，且該流速控制閥控制壓力流體流過流體通道的流速。
在流速控制閥7的下游側(cè)提供有流速傳感器8，該流速傳感器8檢測流過該流體通道的壓力流體的流速。根據(jù)該流速傳感器8提供的檢測信號，在指示器9上表示出壓力流體流過該流體通道的流速。
電動氣動調(diào)節(jié)器11通過管通道12與流速控制閥7相連，用于調(diào)節(jié)從壓縮氣源10供給的空氣的壓力，以便使流速控制閥7的先導(dǎo)室有預(yù)定的先導(dǎo)壓力。該電動氣動調(diào)節(jié)器11根據(jù)控制器13發(fā)出的控制信號而將由壓縮氣源10供給的空氣控制為具有預(yù)定壓力，從而使該壓力成為先導(dǎo)壓力。
下面將示意說明上述普通流速控制系統(tǒng)1的工作。壓力流體儲存在罐2內(nèi)，并通過泵3供給。當(dāng)打開/關(guān)閉閥5打開時，壓力流體引入流速控制閥7。先導(dǎo)壓力通過電動氣動調(diào)節(jié)器11而調(diào)節(jié)成具有預(yù)定壓力，并引入流速控制閥7的控制室。在流速控制閥7中，未示出閥塞的閥打開程度通過使引入控制室的控制壓力與由打開/關(guān)閉閥5供給的壓力流體的壓力(主壓力)平衡而進行控制。
因此，在流速控制閥7中，閥塞的閥打開程度通過使根據(jù)控制器13發(fā)出的控制信號而控制的控制壓力與由打開/關(guān)閉閥5供給的壓力流體的主壓力平衡而進行調(diào)節(jié)。在控制成具有與閥塞的閥打開程度相對應(yīng)的流速后，提供該壓力流體。
來自流速控制閥7的壓力流體的流量由流速傳感器8檢測，該檢測的流速表示在指示器9上。
不過，在上述普通流速控制系統(tǒng)1中，流速控制閥7的閥打開程度由電動氣動調(diào)節(jié)器11的氣動壓力(先導(dǎo)壓力)控制。因此，當(dāng)控制未示出的閥塞的閥打開程度時，由于響應(yīng)延遲，在流速中出現(xiàn)一些偏差，因此難于穩(wěn)定地控制流速。
而且，在普通的流速控制系統(tǒng)1中，流體操作裝置之間的管道通道通過管通道4、6相連，該流體操作裝置例如包括打開/關(guān)閉閥5、流速控制閥7以及電動氣動調(diào)節(jié)器11。因此，管道操作復(fù)雜，安裝區(qū)域增加，且工作空間增大。
而且，在普通的流速控制系統(tǒng)1中，例如由于泵的供給操作，在由打開/關(guān)閉閥5供給的壓力流體中出現(xiàn)一些壓力波動，例如脈動，因此，很難通過流速控制閥7穩(wěn)定地控制流速。
發(fā)明簡介本發(fā)明的總目的是提供一種流速控制裝置，該流速控制裝置能夠消除在控制閥塞的閥打開程度時的任何響應(yīng)延遲，減小整個裝置的尺寸，并減小安裝空間。
本發(fā)明的主要目的是提供一種流速控制裝置，該流速控制裝置能夠減小壓力波動例如脈動，并穩(wěn)定地控制壓力流體的流速。
通過下面的說明并結(jié)合附圖，能夠更了解本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點，附圖中通過示例的實例表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
附圖的簡要說明圖1是表示本發(fā)明一個實施例的流速控制裝置的局部省略的垂直剖視圖2是表示圖1中所示的流速控制裝置的脈動平衡部分的局部放大垂直剖視圖；圖3是表示圖1中所示的流速控制裝置的流速控制機構(gòu)的局部放大垂直剖視圖；圖4是表示流速控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的方框圖，圖1中所示的流速控制裝置包含于該流速控制系統(tǒng)中；圖5是表示圖4中所示的流速控制系統(tǒng)的一個變化實施例的結(jié)構(gòu)的方框圖；圖6是表示本發(fā)明另一實施例的流速控制裝置的局部省略的垂直剖視圖；圖7是表示圖6中所示的流速控制裝置的脈動平衡部分的局部放大垂直剖視圖；圖8是表示在圖6所示的流速控制裝置的流體通道中的內(nèi)壁上的多個消波凸起的透視圖；圖9是沿圖6中的線IX-IX的垂直剖視圖；以及圖10是表示普通的流速控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的方框圖。
優(yōu)選實施例的說明在圖1中，參考標(biāo)號20表示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的流速控制閥。
流速控制閥20包括接頭部分22，未示出的管可拆卸地與該接頭部分22相連，同時彼此間開預(yù)定距離；脈動削減機構(gòu)24，該脈動削減機構(gòu)24在該接頭部分22的軸向一側(cè)處；以及流速控制機構(gòu)26，該流速控制機構(gòu)在該接頭部分22的軸向另一側(cè)處。
流速控制裝置20由裝配成一體的接頭部分22、脈動削減機構(gòu)24和流速控制機構(gòu)26構(gòu)成。
接頭部分22有第一接頭本體30，該第一接頭本體30有在一端處的第一孔28；以及第二接頭本體34，該第二接頭本體34有在另一端處的第二孔32。在通過密封件而基本同軸相連的第一和第二接頭本體30、34中提供有流體通道36，用于與第一孔28和第二孔32連通。
而且，接頭部分22包括內(nèi)部件40和鎖定螺母42。該內(nèi)部件40分別與第一孔28以及第二孔32嚙合，并插入管38的開口內(nèi)。該鎖定螺母42擰入在第一和第二接頭本體30、34的端部刻成的螺紋槽內(nèi)，從而在管38的連接部分處保持液體密封。
脈動削減機構(gòu)24布置在接頭部分22上，并布置成靠近第一孔28。該脈動削減機構(gòu)24有殼體46，該殼體46通過連接多個塊部件而構(gòu)成，該塊部件包括布置在上部位置的閥帽44。
空氣通過與壓縮氣源48相連的壓力流體供給孔50而供給到閥帽44內(nèi)。在該閥帽44中提供有壓力調(diào)節(jié)部分54，用于將由壓力流體供給孔50供給的空氣的壓力調(diào)節(jié)成有預(yù)定壓力，并使該壓力調(diào)節(jié)后的空氣流向通道52。
在壓力調(diào)節(jié)部分54中，來自壓力流體供給孔50的空氣供給隔膜室(未示出)。由未示出的壓力調(diào)節(jié)手柄調(diào)節(jié)的彈簧部件的彈簧力與由于引入隔膜室內(nèi)的壓力流體的壓力而擠壓隔膜(未示出)的擠壓力相平衡。未示出的閥桿和閥塞在未示出的隔膜的彎曲作用下移動。因此，能夠?qū)⒂蓧毫α黧w供給孔50供給的空氣的壓力調(diào)節(jié)成有合適的壓力。
另一方面，在殼體46的下面提供有脈動平衡部分58，以便操作閥塞56，從而根據(jù)來自壓力調(diào)節(jié)部分54的空氣而打開/關(guān)閉流體通道36(ON/OFF操作)。
如圖2所示，壓力室60有脈動平衡部分58，來自壓力調(diào)節(jié)部分54的空氣(控制空氣)通過通道52引入該壓力室60。對著流體通道36的閥部件62通過引入該壓力室60中的空氣而移動。
閥部件62有滑板68，該滑板68布置在上部第一隔膜68和底部第二隔膜66之間，并可沿垂向方向移動；閥塞56，該閥塞56通過螺紋件70與滑板68的底側(cè)中心部分相連，且該閥塞56能夠接近或遠離形成于殼體46上的座部分72；密封件74，該密封件74安裝在滑板68的外周表面上的環(huán)形槽中；以及中間部件78，該中間部件78插入滑板68和閥塞56之間，且該中間部件78通過與形成于殼體46上的傾斜表面76接觸而起到止動器的作用。
第一隔膜64例如由橡膠材料形成，并起到保護滑板68的作用。優(yōu)選是，第二隔膜66例如由樹脂材料形成，例如聚四氟乙烯(PTFE)，以便保持對于壓力流體的液體密封，并防止出現(xiàn)任何液體池(pool)。
即使流過流體通道36的壓力流體受到壓力波動，例如脈動，流過流體通道36的壓力流體的壓力波動也能夠通過供給壓力室60的空氣的壓力而減小，并可以使流過的壓力流體有基本恒定的壓力。
流量控制機構(gòu)26有殼體80，該殼體80與第二接頭本體34相連；以及第一活塞82和第二活塞84，該第一活塞82和第二活塞84可沿箭頭X1或X2所示方向沿著形成于殼體80內(nèi)的腔室移動。
如圖3所示，第一活塞82有較大直徑的底部第一凸起86a以及較小直徑的上部第二凸起86b。該底部第一凸起86a可滑動地插入殼體80中?；钊芊鈮|88a安裝在第一活塞82的外周表面上的環(huán)形槽中。
第一活塞82的第二凸起86b與形成于第二活塞84的底部的凹口嚙合。一對活塞密封墊88b、88c安裝在第二活塞84的外周表面上的環(huán)形槽中。該第二活塞84可滑動地插入殼體80內(nèi)。
彈簧件90插入第二活塞84內(nèi)部和第二凸起86b之間。該第一活塞82和第二活塞84通過彈簧件90的彈簧力而彼此向外推壓。
螺紋通孔96形成于第二活塞84的基本中心部分處，并與驅(qū)動軸92螺紋配合，如后面所述。
銷釘件98安裝在第二活塞84的側(cè)表面上的槽中，這樣，銷釘件98凸出預(yù)定長度。該銷釘件98與形成于殼體80的側(cè)表面上的嚙合槽100嚙合。當(dāng)?shù)诙钊?4沿軸向移動時，該銷釘件98防止第二活塞84沿周向旋轉(zhuǎn)。
例如由柔性材料制成的閥塞102與第一活塞82的底端相連，該柔性材料例如樹脂材料或橡膠材料。閥塞102與第一活塞82一起移動。該閥塞102包括形成于基本中心部分處的厚壁部分104a以及與該厚壁部分104a形成為一體的薄壁部分104b。閥塞102形成為可柔性彎曲。
通過與形成于第二接頭本體34上的座部分106分開或通過置于該座部分106上，閥塞102將打開/關(guān)閉流體通道36。而且，根據(jù)閥塞102的閥提升量(閥塞102沿軸向的移動量)，該閥塞102能非常精確地控制流過流體通道36的壓力流體的流速。
環(huán)形緩沖部件108在閥塞102的上表面上，用于保護該閥塞102的薄壁部分104b。該緩沖部件108例如由彈性部件如橡膠制成，并由殼體80的底表面保持。
如圖1所示，閥帽110在流速控制機構(gòu)26的上側(cè)，并裝配到殼體80的上部上。在該閥帽110中提供有線性致動器112和旋轉(zhuǎn)檢測部分114。線性致動器112通過由未示出的電源供電而驅(qū)動閥塞102。該旋轉(zhuǎn)檢測部分114根據(jù)線性致動器112的移動量而檢測閥塞102的移動量。
連接器120布置成靠近旋轉(zhuǎn)檢測部分114，并用于通過引線116將檢測信號傳送給控制器118。
線性致動器112包括線性步進馬達，該線性步進馬達根據(jù)控制器118發(fā)出的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動控制信號(脈沖信號)而通電/斷電。該線性致動器112包括在機匣中的未示出的定子和未示出的轉(zhuǎn)子。在由未示出的電源供給的磁激勵電流的作用下，該未示出的轉(zhuǎn)子沿預(yù)定方向旋轉(zhuǎn)。
線性致動器112的驅(qū)動軸92可在其旋轉(zhuǎn)作用下沿軸向(箭頭X1或X2的方向)移動。
線性致動器112的驅(qū)動軸92有第一軸部分122和第二軸部分124，它們分別刻有具有預(yù)定節(jié)距的螺紋部分。上部的第一軸部分122的直徑大于底部的第二軸部分124的直徑。
未示出的發(fā)光部分和未示出的光接收部分布置在旋轉(zhuǎn)檢測部分114中，并在彼此相對且相互間隔預(yù)定距離的位置處。在該旋轉(zhuǎn)檢測部分114中有未示出的轉(zhuǎn)子，該裝置與線性致動器112的驅(qū)動軸92相連，以便與該驅(qū)動軸92一起旋轉(zhuǎn)。在該結(jié)構(gòu)中，由發(fā)光元件發(fā)出的光經(jīng)過該轉(zhuǎn)子內(nèi)部，并由光接收元件接收。因此，例如可以檢測線性致動器112的驅(qū)動軸92的旋轉(zhuǎn)角和旋轉(zhuǎn)圈數(shù)，并作為檢測信號傳送給控制器118。
控制器118根據(jù)檢測信號例如線性致動器112的驅(qū)動軸92的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)和節(jié)距數(shù)據(jù)而計算驅(qū)動軸92沿軸向的移動量。并根據(jù)控制器118的計算結(jié)果來計算在閥塞102和座部分106之間的距離，即閥塞102的閥提升量。
因此，控制器118確定相對于閥塞102的預(yù)定提升量的偏差，以便調(diào)節(jié)閥塞102的提升量，從而使偏差變?yōu)榱?。因此，可以非常精確地控制壓力流體流過該流體通道36的流速。
根據(jù)本發(fā)明實施例的流速控制裝置20的結(jié)構(gòu)基本如上所述。下面將介紹它的工作、功能和效果。
如圖4所示，儲存在罐132中的壓力流體通過泵130的泵送而供給流速控制裝置20的接頭部分22。該壓力流體通過接頭部分22的第一孔28而引入脈動平衡部分58中。在該壓力調(diào)節(jié)部分54中，由壓力流體供給孔50供給的空氣引入未示出的隔膜室。在未示出的隔膜的彎曲作用下，彈簧件的彈簧力與引入隔膜室中的空氣的壓力平衡。因此，該空氣調(diào)節(jié)成有合適壓力。
因此，通過壓力調(diào)節(jié)部分54而調(diào)節(jié)成有合適壓力的空氣通過通道52引入脈動平衡部分58的壓力室60中。流過流體通道36的壓力流體的主壓力與引入壓力室60中的空氣的壓力平衡。
當(dāng)流過流體通道36的壓力流體受到任何壓力波動例如脈動時，流過該流體通道36的壓力流體的壓力波動由供給壓力室60的空氣消減，因此，流過流體通道36的壓力流體的壓力能夠保持基本恒定。
換句話說，當(dāng)流過流體通道36的壓力流體受到任何壓力波動例如脈動時，壓力流體的壓力波動通過第二隔膜66傳遞給滑板68，該滑板68將稍微向上和向下運動。在該處理過程中，壓力室60中的空氣產(chǎn)生阻尼作用，該壓力室60位于對著該流體通道36的一側(cè)，滑板68插入到它們之間。因此，壓力流體的壓力波動減小，并將適當(dāng)吸收該壓力波動。
來自脈動平衡部分58的壓力流體沿流體通道36流動，并引入流速控制機構(gòu)26中。在該流速控制機構(gòu)26中，根據(jù)控制器118發(fā)出的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動控制信號，通過線性致動器112的通電/斷電而確定閥塞102的提升量，該閥塞102的提升量用于調(diào)節(jié)閥塞102和座部分106之間的距離。從而調(diào)節(jié)閥塞102的閥打開程度。流過流體通道36的壓力流體控制成有與閥塞102的閥打開程度相對應(yīng)的流量。
控制器118向線性致動器112發(fā)送通電信號，以便使第一和第二軸部分122、124與線性致動器112的驅(qū)動軸92一樣沿箭頭X1的方向移動。因此，第一活塞82和在螺紋通孔96中與第二軸部分124螺紋連接的第二活塞84都通過驅(qū)動軸92的旋轉(zhuǎn)而向上移動。因此，閥塞102也向上運動，且該閥塞102與座部分106分離。
與線性致動器112的旋轉(zhuǎn)量一樣，閥塞102沿軸向的移動量也由旋轉(zhuǎn)檢測部分114檢測?？刂破?18根據(jù)旋轉(zhuǎn)檢測部分114發(fā)出的檢測信號(脈沖信號)來控制線性致動器112，從而使閥塞102停在預(yù)定位置。
控制器118統(tǒng)計旋轉(zhuǎn)檢測部分114發(fā)出的脈沖數(shù)，并且當(dāng)計數(shù)到預(yù)定的脈沖數(shù)時向線性致動器112發(fā)送斷電信號，從而停止線性致動器112的驅(qū)動?？刂破?18能夠通過旋轉(zhuǎn)量以及與第二活塞84螺紋連接的第二軸部分124的螺紋節(jié)距來計算驅(qū)動軸92的移動量，該旋轉(zhuǎn)量例如驅(qū)動軸92的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)和旋轉(zhuǎn)角。因此，閥塞102的提升量可以非常精確地控制，從而能夠非常精確地控制與閥塞102的提升量相對應(yīng)的壓力流體的流速。
如上所述，在本發(fā)明的實施例中，閥塞102的提升量根據(jù)控制器118的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動控制信號來控制。因此，閥塞102的閥打開程度能夠在無偏差的情況下進行調(diào)節(jié)，并能夠穩(wěn)定控制流過流體通道36的壓力流體的流速。
在本發(fā)明的實施例中，該裝置例如構(gòu)成為使普通技術(shù)的打開/關(guān)閉閥5、流速控制閥7以及電動氣動調(diào)節(jié)器11裝配成一體。因此，不需要進行任何用于使各流體操作裝置連接的管道操作。不會有由于管道材料而引起的流體泄漏等。整個裝置的尺寸能夠減小，并可以減小安裝空間。
而且，如圖5所示，流速傳感器140布置在流速控制裝置20下游側(cè)的流體通道內(nèi)，以便通過將該流速傳感器140的傳感器檢測信號傳送給控制器118而進行反饋控制。因此，可以實時監(jiān)測流體流過流體通道的流速。
在該結(jié)構(gòu)中，控制器118使預(yù)定的流速數(shù)據(jù)與由流速傳感器140發(fā)出的傳感器檢測信號比較，以便調(diào)節(jié)閥塞102的閥提升量，從而使它們之間的差值為零。因此，可以非常精確地控制流體實際流過流體通道36的流速。
本發(fā)明另一實施例的流速控制裝置150如圖6至9所示。與圖1中所示的上述實施例的流速控制裝置20的結(jié)構(gòu)部件相同的結(jié)構(gòu)部件以相同的參考標(biāo)號表示，并省略對它的詳細說明。
根據(jù)該另一實施例的流速控制裝置150包括多個消波凸起(凸起)177a至177f，這些消波凸起在流體通道36的內(nèi)壁上，并靠近第一孔28布置，且這些消波凸起從內(nèi)壁表面朝著流體通道36的內(nèi)部中心凸出預(yù)定長度。
如圖8和9所示，多個消波凸起177a至177f為基本梯形形狀，且它的寬度從流體通道36的內(nèi)壁朝著流體通道36的中心逐漸變寬。每個消波凸起177a至177f都有具有斜切端的彎曲部分179和稍微凹入的凹口181。多個消波凸起177a至177f沿順時針方向螺旋布置在流體通道36的內(nèi)周壁表面上，并彼此間隔預(yù)定距離。
在該結(jié)構(gòu)中，如圖9所示，布置成最靠近第一孔28的消波凸起177a沿箭頭A的方向傾斜預(yù)定角度，第二消波凸起177b沿箭頭B的方向傾斜預(yù)定角度，第三消波凸起177c沿箭頭C的方向傾斜預(yù)定角度，第四消波凸起177d沿箭頭D的方向傾斜預(yù)定角度，第五消波凸起177e沿箭頭E的方向傾斜預(yù)定角度，第六消波凸起177f沿箭頭F的方向傾斜預(yù)定角度。該多個消波凸起177a至177f的數(shù)目并不局限于六個。例如可以根據(jù)流體通道36的孔徑和流體通道長度來設(shè)定消波凸起的合適數(shù)目。
當(dāng)在流過流體通道36的壓力流體中出現(xiàn)任何脈動時，該脈動壓力流體與該多個消波凸起177a至177f相撞。包含在壓力流體中的脈動能將通過該多個消波凸起177a至177f而分散和散開。
因此，即使流過流體通道36的壓力流體受到壓力波動如脈動，該壓力流體與在流體通道36的內(nèi)壁上凸出的多個消波凸起177a至177f相撞，并減小脈動能。而且，流過流體通道36的壓力流體的脈動能將通過根據(jù)壓力室60的空氣的壓力而消減。因此，該壓力流體能夠在壓力保持基本恒定時流動。
在該另一實施例中，當(dāng)在流過流體通道36的壓力流體中出現(xiàn)壓力波動例如脈動時，該脈動壓力流體分別與多個消波凸起177a至177f的傾斜表面相撞。包含在壓力流體中的脈動能通過該多個消波凸起177a至177f而散開。因此，能夠平穩(wěn)地消散脈動能。
如上所述，在該另一實施例中，即使流過流體通道36的壓力流體受到壓力波動例如脈動，該壓力流體與在流體通道36的內(nèi)壁上凸出的多個消波凸起177a至177f相撞，從而消減脈動能。而且，流過流體通道36的壓力流體的脈動能將通過供給壓力室60的空氣的壓力而消減。因此，該壓力流體能夠在壓力保持基本恒定時流動。
因此，在該另一實施例中，壓力流體的壓力波動例如脈動能夠通過簡單結(jié)構(gòu)而平穩(wěn)消減，該簡單結(jié)構(gòu)例如從流體通道36的內(nèi)壁上凸出的、作為脈動消減機構(gòu)24的多個消波凸起177a至177f。因此，可以避免增大整個裝置尺寸，從而避免增加制造成本。
權(quán)利要求
1.一種流速控制裝置，包括脈動消減機構(gòu)(24)，用于使來自壓力調(diào)節(jié)部分(54)的調(diào)節(jié)控制壓力與流過流體通道(36)的壓力流體的主壓力平衡，以便減小由所述壓力流體的脈動引起的壓力波動；以及流速控制機構(gòu)(26)，該流速控制機構(gòu)(26)有閥塞(102)，用于打開/關(guān)閉所述流體通道(36)，通過由根據(jù)控制單元發(fā)出的控制信號進行控制的線性致動器(112)來調(diào)節(jié)所述閥塞(102)的閥提升量，所述流速控制機構(gòu)(26)控制流過所述流體通道(36)的所述壓力流體的流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流速控制裝置，其中所述流速控制機構(gòu)(26)有旋轉(zhuǎn)檢測部分(114)，用于根據(jù)所述線性致動器(112)的驅(qū)動軸(92)的旋轉(zhuǎn)量來檢測沿軸向的移動量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流速控制裝置，其中所述脈動消減機構(gòu)(24)和所述流速控制機構(gòu)(26)通過接頭部分(22)而裝配成一體，所述接頭部分(22)提供有所述流體通道(36)，用于使布置在所述接頭部分(22)一側(cè)的第一孔(28)和布置在所述接頭部分(22)的另一側(cè)的第二孔(32)連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流速控制裝置，其中，所述脈動消減機構(gòu)(24)包括壓力調(diào)節(jié)部分(54)，用于將從壓力流體供給孔(50)引入的壓力流體調(diào)節(jié)成有預(yù)定壓力；脈動平衡部分(58)，該脈動平衡部分(58)有閥部件(62)，用于根據(jù)來自所述壓力調(diào)節(jié)部分(54)的所述壓力流體而打開/關(guān)閉所述流體通道(36)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的流速控制裝置，其中所述閥部件(62)通過從所述壓力調(diào)節(jié)部分(54)流出并引入壓力室(60)的所述壓力流體的壓力而移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的流速控制裝置，其中，所述閥部件(62)包括滑板(68)，該滑板(68)布置成可在第一隔膜(64)和第二隔膜(66)之間移動；閥塞(56)，該閥塞(56)與所述滑板(68)相連；密封件(74)，該密封件(74)安裝在所述滑板(68)的外表面上；以及中間部件(78)，該中間部件(78)在所述滑板(68)和所述閥塞(56)之間。
7.一種流速控制裝置，用于通過利用閥塞(102)來控制流過流體通道(36)的壓力流體的流速，該閥塞(102)用于打開/關(guān)閉所述流體通道(36)，所述裝置包括脈動消減機構(gòu)(24)，用于減小由流過所述流體通道(36)的所述壓力流體的脈動而引起的壓力波動，所述脈動消減機構(gòu)(24)包括多個從所述流體通道(36)的內(nèi)壁上凸出的凸起(177a至177f)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流速控制裝置，其中所述多個凸起(177a至177f)沿所述流體通道(36)的軸向螺旋布置。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流速控制裝置，其中各所述凸起(177a至177f)有基本梯形形狀，所述梯形形狀的寬度從所述流體通道(36)的所述內(nèi)壁朝著所述流體通道(36)的中心逐漸變寬。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的流速控制裝置，其中各所述凸起(177a至177f)在所述寬度最寬的端頭處形成有斜切彎曲部分(179)和凹口(181)。
全文摘要
一種流速控制裝置，由裝配成一體的脈動消減機構(gòu)(24)和流速控制機構(gòu)(26)構(gòu)成，該脈動消減機構(gòu)(24)用于使來自壓力調(diào)節(jié)部分(54)的調(diào)節(jié)控制壓力與流過流體通道(36)的壓力流體的主壓力平衡，以便減小由壓力流體的脈動引起的壓力波動，該流速控制機構(gòu)(26)用于通過由根據(jù)控制器(118)發(fā)出的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動控制信號進行控制的線性致動器(112)來調(diào)節(jié)閥塞(102)的閥提升量，從而控制流過流體通道(36)的壓力流體的流量。
文檔編號G05D16/18GK1431571SQ02154780
公開日2003年7月23日 申請日期2002年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月4日
發(fā)明者深野喜弘, 內(nèi)野正, 鈴木貴光 申請人:Smc株式會社