變量很小，最多不超過本身尺寸的千萬分之一的微小位移，具有良好的往復(fù)形變恢復(fù)能力，穩(wěn)定性好、精度高，進一步提高了本申請精密位移裝置的精確性和可靠性。
[0024]作為本申請的優(yōu)選方案，所述精密位移裝置還包括設(shè)置在所述支撐平臺上的第一位移件和設(shè)置在所述第一位移件上的第二位移件，所述驅(qū)動裝置與所述第一位移件相配合，為所述第一位移件提供沿所述支撐平臺的位移，所述第一位移件具有一相對于其位移方向傾斜的斜面，所述第二位移件滑動設(shè)置在所述第一位移件的斜面上，使所述第二位移件可沿所述第一位移件的斜面滑動，所述第一位移件與第二位移件之間貼緊配合，所述測量反射鏡設(shè)置在所述第二位移件上，所述支撐平臺上還設(shè)置有約束裝置，所述約束裝置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的運動，使得當(dāng)?shù)谝晃灰萍凰鲵?qū)動裝置帶動而產(chǎn)生位移時，所述第二位移件被所述第一位移件帶動而產(chǎn)生位移，并且，所述第二位移件的位移方向與所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面與其位移方向的夾角為A度，0〈A〈45。
[0025]在本申請的上述方案中，驅(qū)動裝置與第一位移件相配合，為第一位移件提供沿支撐平臺的位移，第一位移件具有一相對于其位移方向傾斜的斜面，第二位移件滑動設(shè)置在第一位移件的斜面上，使第二位移件可沿第一位移件的斜面滑動，在精密位移裝置工作時，驅(qū)動裝置提供一定的位移量推動第一位移件，此時，由于約束裝置限制第二位移件沿第一位移件位移方向上的運動，使第二位移件的位移方向與第一位移件的位移方向相垂直，如此，第二位移件的位移量與驅(qū)動裝置為第一位移件提供的位移量相關(guān)，還與第一位移件的斜面與其位移方向的夾角相關(guān)。
[0026]S卩，設(shè)第一位移件的斜面與其位移方向的夾角為A度，當(dāng)驅(qū)動裝置提供的位移量為X時，第二位移件在垂直于驅(qū)動裝置運動方向上產(chǎn)生的位移量即為Y = Xtan(A),如此，當(dāng)夾角A小于45度時，將得到一個小于X值的位移量，當(dāng)進一步的減小夾角A時，位移量Y也隨之減小，如此，使得在本申請的方案中，精密位移裝置通過以行程換精度的方式，直接提高了本申請精密位移裝置的精度，也就進一步的提高了本申請激光干涉儀的測量精度。
[0027]作為本申請的優(yōu)選方案，所述第一位移件與所述支撐平臺之間還設(shè)置有具有磁性的磁性件，所述第二位移件具有磁性，所述第二位移件與所述磁性件為異性相吸狀態(tài)。使得第一位移件在被推動時，能夠保持與第二位移件緊密貼合，保證本申請精密位移裝置的精度，進而保證本申請激光干涉儀的測量精度。
[0028]作為本申請的優(yōu)選方案，所述第二位移件上還設(shè)置有彈性元件。使得第一位移件在被推動時，能夠保持與第二位移件處于接觸狀態(tài)，保證本申請精密位移裝置的精度，進而保證本申請激光干涉儀的測量精度。
[0029]作為本申請的優(yōu)選方案，所述第二位移件與所述測量反射鏡為一體式結(jié)構(gòu)。
[0030]在上述方案中，第二位移件與測量反射鏡為一體式結(jié)構(gòu)，也就是說，直接在第二位移件上設(shè)置一反射面，使其本身形成測量反射鏡，如此，簡化了本申請激光干涉儀的結(jié)構(gòu)，方便調(diào)試和使用。
[0031]雖然目前，也存在測量空氣折射率的裝置，對單點位置的大氣溫度、濕度以及氣壓進行測量，通過波長補償公式對激光波長進行修正，但是其只能夠?qū)植靠諝膺M行檢測，而在本申請的位移測量領(lǐng)域中，由于其位移是在一個區(qū)域內(nèi)進行，該區(qū)域內(nèi)各個位置的空氣各參數(shù)都存在有差異，特別是存在較大溫度梯度、濕度梯度以及氣壓梯度等情況，以單點參數(shù)修正激光波長將存在較大誤差。
[0032]所以，基于上述原因，在本申請中，發(fā)明人提供了一種激光干涉儀的激光波長修正方法，檢測當(dāng)前測量環(huán)境下，激光的環(huán)境等效波長λ’，而該λ’值為當(dāng)前測量環(huán)境的等效波長，所以直接避免了不同區(qū)域空氣折射率不同而帶來的問題，如此，減小環(huán)境因素帶來的誤差，進而進一步的提高了本申請激光干涉儀及其測量方法的測量精度。
[0033]本申請還公開了一種采用上述激光干涉儀的激光波長修正方法，包括下述步驟:
[0034]步驟Α:在需要采用激光干涉儀進行位移測量的環(huán)境中，安裝波長修正式多光束階梯平面反射鏡激光干涉儀；
[0035]步驟B:將測量反射鏡裝置設(shè)置在被測物體上；
[0036]步驟C:調(diào)試波長修正式多光束階梯平面反射鏡激光干涉儀，使其形成符合要求的光路，并且使每一個條干涉光路都處于干涉狀態(tài)；
[0037]步驟D:啟動精密位移裝置，使測量反射鏡移動，當(dāng)光電探測器組中有任意一個檢測到最強相長干涉時，停止精密位移裝置，并將光電探測器組計數(shù)清零；
[0038]步驟E:再次啟動精密位移裝置，移動測量反射鏡，使光電探測器組中所有光電探測器記錄最強相長干涉的總次數(shù)為M(M為正整數(shù))，并讀取M次最強相長干涉對應(yīng)的測量反射鏡位移值Z;
[0039]步驟？:根據(jù)2=(1^入’)/(211)，11為光電探測器個數(shù)，得出當(dāng)前測量環(huán)境下，激光的等效波長λ’ =2ηΖ/Μ。
[0040]作為本申請的優(yōu)選方案，所述步驟D和E中，所述最強相長干涉還可以是最弱相消干涉。在本方案中，在激光波長修正過程中，光電探測器是記錄各激光干涉光路中最弱相消干涉的總次數(shù)，如此依然可以實現(xiàn)的激光波長的修正。
[0041]在上述方案中，通過檢測測量環(huán)境中的等效波長λ’，即對激光的波長進行修正，如此減小環(huán)境因素帶來的誤差，進而進一步的提高了本申請激光干涉儀及其測量方法的測量精度。
[0042]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果:
[0043](I)該高精度階梯平面反射激光干涉儀的激光源發(fā)射的激光束數(shù)量、階梯型反射平面數(shù)量和光電探測器件的數(shù)量均為η(η 2 2)，且一一對應(yīng)，由于激光源發(fā)射的各束激光通過固定反射鏡的階梯面上不同平面反射后的光路的光程不同，同時激光源發(fā)射的每束激光分成兩路后到達對應(yīng)的光電探測器件后的光程差值均不相同，各個光電探測器件能夠探測到對應(yīng)的兩路激光是否能夠發(fā)生干涉現(xiàn)象，該干涉現(xiàn)象的產(chǎn)生不僅和激光的波長有關(guān)，還和階梯面的平面高度差值有關(guān)系，由于該階梯面的相鄰兩個平面高度差值等于A/2n+U/2，因此，只要測量反射鏡進行移動λ/2η的距離或整數(shù)倍于λ/2η的距離，該光電探測器組上的光電探測器件只能其中一個能夠檢測出其處于最強激光干涉狀態(tài)，故該激光干涉儀的檢測精度為λ/2η;相對于現(xiàn)有的激光干涉儀只能檢測精度為激光波長λ而言，其測量精度得到了顯著的提高。同時由于采用多光路干涉測量，測量過程中，各光電探測器探測到的直流電平應(yīng)該交替變化，如果某一光路的測量環(huán)境的變化造成光電探測器測量的直流電平發(fā)生偏移，而其它測量光路的光電探測器探測到的直流電平?jīng)]有發(fā)生交替變化，此時認為該測量光路是受到測量環(huán)境的影響，忽略其電平變化。如果多條光路的測量環(huán)境的變化造成多個光電探測器測量的直流電平發(fā)生偏移，則認為測量環(huán)境發(fā)生變化，忽略其電平變化。僅僅對于測量過程中嚴(yán)格滿足多光路干涉狀態(tài)交替變化的情況才對其進行計數(shù)，即多光路干涉測量中引入交流信號，將傳統(tǒng)的激光干涉測量中直流電平的測量轉(zhuǎn)換為交流信號的測量，提高了干涉儀的抗干擾能力。
[0044](2)通過檢測測量環(huán)境中激光的等效波長λ，，對激光波長進行修正，如此，減小環(huán)境因素帶來的誤差，進而進一步的提高了本申請激光干涉儀的測量精度。
【附圖說明】
:
[0045]圖1為本發(fā)明波長修正式多光束階梯平面反射鏡激光干涉儀使用時的激光光路示意圖；
[0046]圖2為圖1中激光源的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0047]圖3為圖1中固定反射鏡的階梯型反射平面的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]圖4為測量反射鏡與第二位移件一體式結(jié)構(gòu)圖。
[0049]圖1-4中標(biāo)記:
[0050]1、激光源，11、激光束一，12、激光束二，13、激光束三，14、激光束四，2、分光鏡，3、固定反射鏡，31、反射平面一，32、反射平面二，33、反射平面三，34、反射平面四，35、反射鏡本體，36、反射薄片，4、測量反射鏡，5、光電探測器組，51、光電探測器件一，52、光電探測器件二，53、光電探測器件三，54、光電探測器件四，6、精密位移裝置，7、測量反射鏡，8、支持平臺，9、驅(qū)動裝置，10、約束裝置，11、磁性件，12、被測物體，13、第一位移件，14、第二位移件，15、斜面，16、彈性元件。
【具體實施方式】
[0051]下面結(jié)合試驗例及【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步的詳細描述。但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實施例，凡基于本
【發(fā)明內(nèi)容】
所實現(xiàn)的技術(shù)均屬于本發(fā)明的范圍。
[0052]如圖1所示，一種波長修正式多光束階梯平面反射鏡激光干涉儀，包括激光源1、分光鏡2、固定反射鏡3、測量反射鏡裝置4、光電探測器組5，所述測量反射鏡組4包括測量反射鏡7與精密位移裝置6，測量反射鏡7包括一反射平面，所述測量反射鏡7設(shè)置在所述精密位移裝置6上，所述精密位移裝置6設(shè)置在被測物體12上，所述精密位移裝置6為所述測量反射鏡7提供與被測物體12位移同向或反向的位移；
[0053]所述激光源I包括η個平行激光束，η 2 2，光電探測器組5也包括η個光電探測器件，固定反射鏡3的反射面為η個階梯型反射平面，相鄰兩個階梯反射平面的間距h等于A/2n+kλ/2，其中k為自然數(shù)、λ為激光源I發(fā)出的激光波長;激光源I發(fā)出的每束激光束經(jīng)過分光鏡2反射后，分別垂直射入對應(yīng)一個反射薄片36，每個反射薄片36