一種壓阻式差壓傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及差壓傳感器領(lǐng)域，特別是一種通過(guò)隔離膜片將外部介質(zhì)壓力傳遞至內(nèi)部敏感芯片以測(cè)量外壓差的壓阻式差壓傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]壓阻式差壓傳感器又稱擴(kuò)散硅差壓傳感器，其工作原理是利用了單晶硅壓阻效應(yīng)，在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻，形成電橋，單晶硅片為彈性敏感部件并設(shè)置在正壓腔體內(nèi)，當(dāng)正壓端和負(fù)壓端的外壓通過(guò)隔離膜片推動(dòng)傳感器內(nèi)部的填充液，填充液將外壓傳遞至單晶硅片上后，應(yīng)變電阻發(fā)生變化，電橋會(huì)根據(jù)變化后的電阻電路獲得相應(yīng)的電壓輸出，變送器可以通過(guò)輸出電壓確定傳感器感知的產(chǎn)生差壓測(cè)量信號(hào)，通過(guò)流體的差壓一般可以進(jìn)一步獲知流體的流量。
[0003]壓阻式差壓傳感器的正壓腔體和負(fù)壓腔體兩端面上均設(shè)有隔離膜片，壓力傳感器所測(cè)定的流體介質(zhì)往往具有腐蝕性或易爆性，采用隔離膜片一方面將傳感器內(nèi)部與流體介質(zhì)隔離，另一方面由于隔離膜片的彈性形變可以將外壓通過(guò)內(nèi)部填充液傳遞給正壓腔體內(nèi)的敏感芯片。當(dāng)隔離膜片承受的外壓在正常范圍內(nèi)時(shí)，隔離膜片可以在彈性形變后自行恢復(fù)原始狀態(tài)，填充液可以繼續(xù)跟隨隔離膜片的形變而流動(dòng)，當(dāng)隔離膜片承受的外壓超出了隔離膜片彈性形變的范圍或者隔離膜片受破壞性外力時(shí)，隔離膜片原始狀態(tài)的形狀被破壞，無(wú)法復(fù)原到原來(lái)的形狀，甚至說(shuō)隔離膜片被損壞，那么差壓傳感器也無(wú)法測(cè)出真實(shí)數(shù)據(jù)，可以說(shuō)是已被損壞。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種壓阻式差壓傳感器，可以避免其正負(fù)壓端的隔離膜片因形變過(guò)大而無(wú)法復(fù)原的問(wèn)題，延長(zhǎng)傳感器的使用壽命。
[0005]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:一種壓阻式差壓傳感器，包括正壓腔體、負(fù)壓腔體以及連通并固接正壓腔體和負(fù)壓腔體的流通基座；正壓腔體內(nèi)設(shè)有含敏感芯片的芯體；所述正壓腔體和負(fù)壓腔體的外端面均設(shè)有受外壓而產(chǎn)生形變的隔離膜片；在倆腔體及流通基座內(nèi)填充有由隔離膜片形變作用而流動(dòng)以傳遞外壓至敏感芯片的填充液；在正壓腔體和負(fù)壓腔體內(nèi)均設(shè)分別用于限制各自所述隔離膜片的形變的金屬擋板，金屬擋板上設(shè)有可流通填充液的開(kāi)口。
[0006]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述流通基座內(nèi)具有一流通管道，所述芯體位于流通管道外，所述金屬擋板分別連接在流通管道兩端，流通管道兩端出口對(duì)應(yīng)于金屬擋板的開(kāi)口，流通管道上開(kāi)設(shè)有第一透油孔，正壓腔體的金屬擋板上開(kāi)設(shè)有第二透油孔。
[0007]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述流通基座為長(zhǎng)方體型，所述流通基座與正壓腔體和負(fù)壓腔體一體成型，正壓腔體和負(fù)壓腔體分別設(shè)于流通基座兩端。
[0008]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，還包括補(bǔ)償組件板，其設(shè)于流通基座外相對(duì)較寬的平面上，補(bǔ)償組件板的插針通過(guò)正壓腔體上的開(kāi)孔伸入正壓腔體內(nèi)，開(kāi)孔處由密封件密封。
[0009]根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述隔離膜片為波紋不銹鋼彈性膜片。
[0010]采用上述技術(shù)方案后，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下突出優(yōu)點(diǎn):通過(guò)在傳感器的正負(fù)壓腔體兩端均設(shè)置用來(lái)抵擋隔離膜片的金屬擋板，以限制隔離膜片在一定范圍內(nèi)發(fā)生形變，正負(fù)壓端的隔離膜片為相同材質(zhì)的彈性部件，金屬擋板可以防止隔離膜片形變過(guò)大而無(wú)法復(fù)原，由于相比于負(fù)壓端而言正壓端通常承受更高壓力，因而較之負(fù)壓腔體，設(shè)置金屬擋板在正壓腔體內(nèi)的位置與其內(nèi)隔離膜片間的距離更遠(yuǎn)，該距離約束著隔離膜片的形變程度，正負(fù)壓端的該距離可以供隔離膜片形變的范圍均大于或等于各自壓力測(cè)量形變范圍。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例中一種壓阻式差壓傳感器的外形結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例中一種壓阻式差壓傳感器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。
[0014]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類(lèi)似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施以及具體附圖的限制。
[0015]圖1示出了一種壓阻式差壓傳感器的外觀平面結(jié)構(gòu)，包括正壓腔體1、負(fù)壓腔體2、以及連接兩者的流通基座3，其中，流通基座3 —方面作用為固定正壓腔體I和負(fù)壓腔體2，另一方面可以使傳感器內(nèi)填充的填充液(圖中未顯示)得以流通，填充液為不影響或較小影響敏感芯片測(cè)量準(zhǔn)確度的流體介質(zhì)，例如可以是硅油，外部介質(zhì)通過(guò)硅油的流動(dòng)傳遞外壓，硅油受力后壓動(dòng)傳感器內(nèi)部敏感芯片，敏感芯片的形變使得其電橋電路發(fā)生變化，從而根據(jù)變化情況測(cè)得相應(yīng)差壓數(shù)據(jù)，流通基座3的內(nèi)部結(jié)構(gòu)構(gòu)造為使得硅油可流通至敏感芯片，同時(shí)，該結(jié)構(gòu)保護(hù)敏感芯片不會(huì)因受硅油壓動(dòng)而損傷，換言之，硅油推動(dòng)敏感芯片產(chǎn)生的力不至于構(gòu)成一個(gè)過(guò)大的沖擊芯片的力。
[0016]圖2通過(guò)一個(gè)剖面圖示出了壓阻式差壓傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，該壓阻式差壓傳感器包括:正壓腔體1，負(fù)壓腔體2，以及連通并固接正壓腔體I和負(fù)壓腔體2的流通基座3。正壓腔體I內(nèi)設(shè)有含敏感芯片(擴(kuò)散硅彈性敏感部件)的芯體11 ;所述正壓腔體I和負(fù)壓腔體2的外端面均設(shè)有受外壓而產(chǎn)生形變的隔離膜片12、22，所述隔離膜片12、22例如為波紋不銹鋼彈性膜片，富有可撓性且耐溫耐壓，可以起到很好的隔離傳遞效果；在正壓腔體1、負(fù)壓腔體2及流通基座3內(nèi)填充有因隔離膜片12、22形變作用而流動(dòng)以傳遞外壓至敏感芯片的填充液；在正壓腔體I和負(fù)壓腔體2內(nèi)均設(shè)分別用于限制各自所述隔離