輻射檢測裝置、輻射檢測系統(tǒng)、以及用于制造輻射檢測裝置的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種輻射檢測裝置，其減少在粘合部件和多個傳感器基底的末端部分之間的缺陷粘合。輻射檢測裝置包括：鄰近于彼此布置的多個傳感器基底，每個傳感器基底包括將第一表面和面對第一表面的第二表面連接到彼此的側(cè)表面，所述第一表面上以陣列設(shè)置有多個光電轉(zhuǎn)換元件；布置在所述多個傳感器基底的第一表面?zhèn)壬系拈W爍體；和用于將所述多個傳感器基底和閃爍體粘合到彼此的片狀粘合部件。在所述多個傳感器基底之間，片狀粘合部件粘合到第一表面的至少一部分和側(cè)表面的至少一部分，以使得片狀粘合部件從第一表面連續(xù)粘合到側(cè)表面的所述至少一部分。
【專利說明】
輻射檢測裝置、輻射檢測系統(tǒng)、以及用于制造輻射檢測裝置的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及檢測輻射的輻射檢測裝置、使用輻射檢測裝置的輻射檢測系統(tǒng)、以及用于制造輻射檢測裝置的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]對于輻射檢測裝置，可使用所謂的間接轉(zhuǎn)換輻射檢測裝置，其包括以陣列設(shè)置有多個光電轉(zhuǎn)換元件的傳感器基底和將輻射轉(zhuǎn)換成能夠由光電轉(zhuǎn)換元件檢測的光的閃爍體。
[0003]為了提供具有大面積的輻射檢測裝置，PTLl公開了一種輻射檢測裝置，其中多個傳感器基底鄰近于彼此布置，且閃爍體布置成在所述多個傳感器基底上方延伸。PTLl公開了一種輻射檢測裝置，其中所述多個傳感器基底和閃爍體通過粘合部件粘合到彼此。
[0004]引用列表
[0005]專利文獻
[0006]PTLl:日本專利公開N0.2012-007948

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]技術(shù)問題
[0008]然而，在PTLl中描述的輻射檢測裝置中，尚有空間考慮定位在所述多個傳感器基底之間的粘合部件的粘合強度。當定位在所述多個傳感器基底之間的粘合部件由于例如溫度變化和振動而從所述多個傳感器基底剝落時，在粘合部件和所述多個傳感器基底的末端部分之間可能形成間隙。在間隙和粘合部件中發(fā)生光從閃爍體傳播到傳感器基底的狀態(tài)差異。這些差異可能導(dǎo)致在從所述多個傳感器基底獲取的圖像中產(chǎn)生偽影。
[0009]問題的解決方案
[0010]因此，本發(fā)明提供一種輻射檢測裝置，其中在粘合部件和多個傳感器基底的末端部分之間的缺陷粘合減小。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的輻射檢測裝置包括:鄰近于彼此布置的多個傳感器基底，每個傳感器基底包括以陣列設(shè)置有多個光電轉(zhuǎn)換元件的第一表面、與第一表面相對的第二表面、以及將第一表面和第二表面彼此連接的側(cè)表面;布置在所述多個傳感器基底的第一表面?zhèn)忍幍拈W爍體；以及用于將所述多個傳感器基底和閃爍體粘合到彼此的片狀粘合部件，其中，在所述多個傳感器基底之間，片狀粘合部件粘合到第一表面和側(cè)表面的至少一部分，以使得片狀粘合部件從第一表面延伸且連續(xù)粘合到側(cè)表面的所述至少一部分。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的用于制造輻射檢測裝置的方法包括:將閃爍體布置在多個傳感器基底的第一表面?zhèn)忍幍牟贾貌襟E，片狀粘合部件介于閃爍體和第一表面?zhèn)戎g，所述多個傳感器基底鄰近于彼此布置，每個傳感器基底包括以陣列設(shè)置有多個光電轉(zhuǎn)換元件的第一表面、與第一表面相對的第二表面、以及將第一表面和第二表面連接到彼此的側(cè)表面;和
[0013]通過從相反于所述多個傳感器基底的一側(cè)擠壓閃爍體的與在所述多個傳感器基底之間的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域，使得片狀粘合部件從第一表面延伸且連續(xù)粘合到在所述多個傳感器基底之間的側(cè)表面的至少一部分的粘合步驟。
【附圖說明】
[0014]圖1是用于描述輻射檢測裝置的示意性平面圖、示意性剖視圖、和放大示意性剖視圖。
[0015]圖2是用于描述用于制造輻射檢測裝置的方法的示意性剖視圖。
[0016]圖3是用于描述根據(jù)不同實施方式的輻射檢測裝置的示意性剖視圖。
[0017]圖4是用于描述根據(jù)不同實施方式的輻射檢測裝置的示意性剖視圖和放大示意性剖視圖。
[0018]圖5是根據(jù)不同實施方式的輻射檢測裝置的示意性剖視圖。
[0019]圖6是使用輻射檢測裝置的輻射檢測系統(tǒng)的示例性應(yīng)用的概念圖。
【具體實施方式】
[0020]將在下文中參考視圖詳細描述根據(jù)本發(fā)明的實施方式。在各種實施方式中，對應(yīng)部件被給予相同的附圖標記，且將不給出對其相同的說明。在本發(fā)明中，光包括可見光和紅外光，且輻射包括X射線、α射線、β射線、以及γ射線。
[0021]首先，通過利用圖1(a)至1(c)描述根據(jù)一個實施方式的輻射檢測裝置100的示例性總體結(jié)構(gòu)。圖1(a)是用于描述輻射檢測裝置100的示意性平面圖。圖1(b)是用于描述在沿圖1(a)中的Α-Α’的部分處的截面結(jié)構(gòu)的示意性剖視圖。圖1(c)是圖1(b)中的區(qū)域B的放大示意性剖視圖。
[0022]如圖1(a)至1(c)所示，根據(jù)實施方式的輻射檢測裝置100包括多個傳感器基底112、閃爍體120和粘合部件130。所述多個傳感器基底112中的每個包括以陣列設(shè)置有多個光電轉(zhuǎn)換元件115的第一表面112a、與第一表面112a相對的第二表面112b、以及將第一表面112a和第二表面112b連接到彼此的側(cè)表面112c。所述多個傳感器基底112鄰近于彼此布置。閃爍體120布置在所述多個傳感器基底112的第一表面?zhèn)忍?。粘合部?30在所述多個傳感器基底112的第一表面?zhèn)忍帉⑺龆鄠€傳感器基底112和閃爍體120粘合到彼此。在此，在所述多個傳感器基底112之間，片狀粘合部件130粘合到側(cè)表面112c的至少一部分和第一表面112a，以使得片狀粘合部件130從第一表面112a延伸且連續(xù)粘合到側(cè)表面112c的至少一部分。換言之，粘合部件130將所述多個傳感器基底112和閃爍體120粘合到彼此，且設(shè)置成從第一表面112a延伸到傳感器基底112的側(cè)表面112c的至少一部分。通過這種粘合，即使在粘合部件130中由于溫度荷載和振動荷載而發(fā)生改變，粘合部件130相對于所述多個傳感器基底112的缺陷粘合也減少。此外，在粘合部件130和所述多個傳感器基底112之間的間隙的出現(xiàn)減少，從而由此引起的圖像偽影的出現(xiàn)減少。
[0023]在每個傳感器基底112處，所述多個光電轉(zhuǎn)換元件115以陣列設(shè)置在第一表面112a處。在實施方式中，對于每個傳感器基底112，使用從單晶娃晶片制造的單晶娃基底，光電一.極管被用作每個光電轉(zhuǎn)換元件115。與所述多個光電轉(zhuǎn)換元件115對應(yīng)的多個切換元件(未示出)可設(shè)置在每個傳感器基底112處。根據(jù)本發(fā)明的傳感器基底112不受限于以上描述的基底。可使用設(shè)有TFT像素和MIS傳感器或PIN傳感器的傳感器基底，所述傳感器利用例如沉積在絕緣板上的非晶硅?？墒褂昧硗獾腃CD或SOI(絕緣體上硅)傳感器。根據(jù)實施方式的每個傳感器基底112還包括護環(huán)118、鈍化膜116、以及防護層117。護環(huán)118是設(shè)置用于防止對光電轉(zhuǎn)換元件115的靜電損壞的導(dǎo)體。每個護環(huán)118沿所述多個光電轉(zhuǎn)換元件115周邊布置在對應(yīng)第一表面112a的至少一部分上。每個鈍化膜116是覆蓋光電轉(zhuǎn)換元件115的絕緣膜。對于每個鈍化膜116，適于使用無機絕緣膜，諸如，氧化硅膜或氮化硅膜。每個鈍化膜116覆蓋護環(huán)118的一部分和所述多個光電轉(zhuǎn)換元件115。每個防護層117是用于保護光電轉(zhuǎn)換元件115及其對應(yīng)鈍化膜116不受例如外部沖擊的層。對于每個防護層117，適當?shù)厥褂糜袡C絕緣層，諸如，聚酰亞胺層。每個防護層117覆蓋其對應(yīng)鈍化膜116，除了其對應(yīng)鈍化膜116的末端部分之外。
[0024]閃爍體120將X射線轉(zhuǎn)換成具有能夠由傳感器基底112的光電轉(zhuǎn)換元件115檢測的波長的光，所述X射線是穿過測試對象傳送的輻射射線。根據(jù)實施方式的閃爍體120包括基礎(chǔ)材料121、閃爍體層122、以及閃爍體防護層123。雖然對于基礎(chǔ)材料121可使用例如a_C、Al、或樹脂，但是可適當?shù)厥褂脛傂员萢-C低的Al。閃爍體層122是將X射線轉(zhuǎn)換成光的層，所述光具有能夠由光電轉(zhuǎn)換元件115檢測的波長。對于閃爍體層122，可使用GOS或CsI = Tl13GOS是Gd202S:Tb(摻鋱硫氧化釓)，且是顆粒閃爍體材料。Cs1:Tl具有基于堿鹵化物的閃爍體的特點，而且是摻鉈碘化銫，且包括包含有柱狀晶體的閃爍體材料。閃爍體防護層123是保護閃爍體層122不受外部潮濕和外部沖擊的層。對于閃爍體防護層123，可適當?shù)厥褂糜袡C樹月旨，諸如，聚對二甲苯樹脂或熱熔樹脂。為了簡化圖1(b)，未示出防護層123。
[0025]粘合部件130在所述多個傳感器基底112的第一表面?zhèn)忍帉⑺龆鄠€傳感器基底112和閃爍體120粘合到彼此。在此，在所述多個傳感器基底112之間，粘合部件130粘合到側(cè)表面112c的至少一部分和第一表面112a，以使得粘合部件130從第一表面112a延伸且連續(xù)粘合到側(cè)表面112c的至少一部分。在實施方式中，在所述多個傳感器基底112之間，粘合部件130在防護層117、鈍化膜116、護環(huán)118、傳感器基底112的第一表面112a、以及傳感器基底112的側(cè)表面112c的至少一部分上延伸且連續(xù)粘合。以這種方式，通過使得片狀粘合部件130在具有階梯狀表面的結(jié)構(gòu)上延伸且連續(xù)粘合，粘合部件130更適當?shù)卣澈系絺鞲衅骰?12。對于粘合部件130，適當?shù)厥褂镁哂邢鄬τ谟砷W爍體122轉(zhuǎn)換的光的高透光性的材料。例如，可適當?shù)厥褂闷瑺畈考?，諸如，丙烯酸樹脂片、硅基樹脂片、或熱熔樹脂片。期望的是，粘合部件130包含有機樹脂，當與JIS Z0237相符的剝落角度是180度時，有機樹脂相對于玻璃的粘合強度是10N/25mm或更大，有機樹脂相對于閃爍體的最大發(fā)射波長的透射性是90%或更大，且有機樹脂的厚度是從Iym到50μπι。
[0026]基部111是機械支撐所述多個傳感器基底112的部件。對于基部111，適當?shù)厥褂弥T如玻璃基底或SUS基底的基部，所述基部具有比基礎(chǔ)材料121和閃爍體層122的剛性更高的剛性。固定部件113是用于將所述多個傳感器基底112固定到基部111的具有粘性的部件。對于固定部件113，可使用與用于粘合部件130的材料相同的材料。接線板114是用于在外部電路(未示出)和傳感器基底112之間傳遞信號的接線板。對于接線板114，可使用柔性印刷電路板。
[0027]接下來，通過利用圖2(a)至2(c)來描述根據(jù)這個實施方式的用于制造輻射檢測裝置100的方法。圖2(a)是用于描述在與沿圖1(a)中的Α-Α’的部分對應(yīng)的部分處的粘合步驟之前的截面結(jié)構(gòu)的示意性剖視圖。圖2(b)是描述示例性粘合步驟的示意性剖視圖。圖2(c)是用于描述另一示例性粘合步驟的示意性剖視圖。為了簡化圖2(a)至2(c)，未示出防護層123。
[0028]首先，如圖2(a)所示，通過執(zhí)行利用固定部件113將所述多個傳感器基底112的第二表面112b固定到基部111的固定步驟，所述多個傳感器基底112布置在基部111上。通過將包括設(shè)置在基礎(chǔ)材料121上的閃爍體層122在內(nèi)的閃爍體120布置在所述多個傳感器基底112的第一表面?zhèn)忍幍牟贾貌襟E(粘合部件130介于閃爍體和第一表面?zhèn)戎g)，閃爍體層122布置在所述多個傳感器基底112的表面112a上。
[0029]接下來，如圖2(b)所示，閃爍體120的與在所述多個傳感器基底112之間的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域從相反于所述多個傳感器基底112的一側(cè)被擠壓。在圖2(b)中示出的方法中，可旋轉(zhuǎn)輥150從相反于所述多個傳感器基底112的一側(cè)沿與傳感器基底112對立的一側(cè)線性擠壓粘合部件130。以這種方式，通過擠壓閃爍體120的與在所述多個傳感器基底112之間的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域，粘合部件130的定位在所述多個傳感器基底112之間的部分的區(qū)域也粘合到傳感器基底112的側(cè)表面112c的部分的區(qū)域。期望的是，由輥150產(chǎn)生的壓力大于或等于0.4MPaο
[0030]如圖2(c)所示，當熱熔樹脂用作粘合部件130時，閃爍體120的與在所述多個傳感器基底112之間的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域可通過利用溫度可調(diào)節(jié)的壓力結(jié)構(gòu)151從相反于所述多個傳感器基底112的所述一側(cè)被擠壓。當熱熔樹脂通過壓力結(jié)構(gòu)151被加熱到大于或等于熔化溫度的溫度，且在大于或等于0.4MPa的壓力下被擠壓時，粘合部件130的定位在所述多個傳感器基底112之間的部分的區(qū)域也粘合到傳感器基底112的側(cè)表面112c的部分的區(qū)域。
[0031]所述多個傳感器基底112的側(cè)表面112c可具有用于增加粘合部件130的粘合強度的各種結(jié)構(gòu)。用于增加粘合部件130的粘合強度的示例性結(jié)構(gòu)在圖3中示出。圖3是用于描述用于在圖1 (b)中的區(qū)域B的放大截面結(jié)構(gòu)中增加粘合部件130的粘合強度的示例性結(jié)構(gòu)的示意性剖視圖。在圖3中示出的示例中，可形成傳感器基底112的表面112a和側(cè)表面112c的拐角被移除，以使得不平行于第一表面112a和側(cè)表面112c的第三表面112d設(shè)置在傳感器基底112的第一表面112a和側(cè)表面112c之間。粘合部件130在所述多個傳感器基底112之間從第一表面112a延伸且連續(xù)粘合到側(cè)表面112c的至少一部分和第三表面112d。由于這種結(jié)構(gòu)，粘合部件130能夠適當?shù)剡B續(xù)覆蓋直到側(cè)表面112c的部分。通過增加粘合面積，粘合部件130的粘合強度也增加。
[0032]圖4(a)和4(b)均示出用于增加粘合部件130的粘合強度的不同示例性結(jié)構(gòu)。圖4(a)是用于描述用于在沿圖1(a)中的A-A’的部分處增加粘合部件130的粘合強度的不同示例性結(jié)構(gòu)的截面結(jié)構(gòu)的示意性剖視圖。圖4(b)是圖4(a)中的區(qū)域C的放大示意性剖視圖。為了簡化圖4(a)，未示出防護層123。在圖4(a)和4(b)中示出的不同示例性結(jié)構(gòu)中，所述多個傳感器基底112的至少之一的側(cè)表面112c傾斜。傾斜朝向傳感器基底112的內(nèi)側(cè)從第一表面112a朝向第二表面112b相對于垂直于第一表面112a的垂線成角度D延伸。在所述多個傳感器基底112之間設(shè)置以所述角度D傾斜的結(jié)構(gòu)，使得這種結(jié)構(gòu)是這樣的結(jié)構(gòu)，其中粘合部件130與圖1(c)中的結(jié)構(gòu)相比不容易從側(cè)表面112c的至少一部分剝落。期望的是，角度D是從
0.2度到5度。
[0033]期望的是，固定部件113的剛性低于粘合部件130的剛性。通過利用圖5(a)和5(b)，描述利用更理想的固定部件113的輻射檢測裝置。圖5(a)是示意性剖視圖，用于描述利用更理想的固定部件113的輻射檢測裝置的截面結(jié)構(gòu)。圖5(b)是示意性剖視圖，用于描述更理想的固定部件113。如圖5(a)所示，由于固定部件113的剛性低于粘合部件130的剛性，即使產(chǎn)生由溫度變化和熱膨脹系數(shù)之間的差異引起的應(yīng)力，固定部件113也吸收這個應(yīng)力。因此，施加到粘合部件130的應(yīng)力減小，且由于粘合部件130從所述多個傳感器基底112的第一表面112a剝落而侵入到粘合部件130中的氣泡減少。作為理想的固定部件113，如圖5(b)所示，可用片狀固定部件113，其包括由粘合部件160夾持的伸縮材料161。片狀聚烯烴基泡沫用作伸縮材料161，且氣泡162被包含在伸縮材料161中。作為粘合部件160，例如使用片狀丙烯酸粘合部件或片狀硅基粘合部件。
[0034]以上描述的輻射檢測裝置可應(yīng)用到在圖6中示出的輻射檢測系統(tǒng)。圖6示出根據(jù)以上描述的實施方式利用輻射檢測裝置的可移動輻射檢測系統(tǒng)的示例性應(yīng)用。
[0035]圖6是利用能夠拍攝移動/靜止圖像的可運輸?shù)妮椛錂z測裝置的輻射檢測系統(tǒng)的概念圖。在圖6中，附圖標記115代表能夠顯示從根據(jù)實施方式的輻射檢測裝置100獲取的圖像信號的顯示器，且附圖標記903代表用于放置測試對象904的床。附圖標記902代表允許輻射產(chǎn)生裝置110、輻射檢測裝置100、和C-型臂901移動的車；附圖標記905代表可移動控制裝置，其具有允許以上裝置被控制的結(jié)構(gòu)。C-型臂901保持輻射產(chǎn)生裝置110和輻射檢測裝置100?？刂蒲b置905包括控制計算機108、控制面板114和輻射控制器109。由輻射檢測裝置100獲取的圖像信號能夠受到圖像處理且傳輸?shù)嚼顼@示器裝置115。通過控制裝置905由圖像處理產(chǎn)生的圖像數(shù)據(jù)能夠通過諸如電話線的傳送器發(fā)送到遠方。這對于在遠方的醫(yī)生而言可以基于傳遞的圖像數(shù)據(jù)來診斷圖像?？梢栽谀z片上記錄傳遞的數(shù)據(jù)圖像或在諸如光盤的存儲器上存儲傳遞的數(shù)據(jù)圖像。然而，可以將輻射檢測裝置100形成為從C-型臂901可移除，且在C-型臂901處使用與輻射產(chǎn)生裝置110不同的輻射產(chǎn)生裝置來拍攝。
[0036]以下描述利用特定材料的示例。就示例而言，以下描述的耐久性測試的結(jié)果是好的。耐久性測試是用于通過在面向下布置的閃爍體120已經(jīng)以預(yù)定頻率和重力加速度2G振動之后將輻射施加到輻射檢測裝置而確認圖像的測試。
[0037](示例I)
[0038]對于每個傳感器基底112，使用單晶硅基底，其具有500μπι的厚度且在第一表面112a上設(shè)有以陣列設(shè)置的多個光電二極管。閃爍體120包括具有300μπι厚度的Al基部121、具有800μπι厚度的CS1:Tl閃爍體層122、以及具有25μm厚度的聚對二甲苯閃爍體防護層123。每個傳感器基底112通過利用伸縮材料161的固定部件113固定到基部11，所述基部是具有
1.8mm厚度的玻璃基底，伸縮材料是具有1.5mm厚度的聚烯烴基泡沫。具有25μπι厚度且利用丙烯酸樹脂的粘合部件130布置在閃爍體120和所述多個傳感器基底112的第一表面112a之間。如圖2(b)所示，通過利用可旋轉(zhuǎn)輥150以0.4MPa的壓力擠壓粘合部件130，粘合部件130粘合直到在傳感器基底112的側(cè)表面112c上與第一表面112a側(cè)相距5μπι的位置。
[0039](示例2)
[0040]使用類似于根據(jù)示例I的傳感器基底112、閃爍體120、和固定部件113。具有25μπι厚度且利用熱熔樹脂的粘合部件130布置在閃爍體120和所述多個傳感器基底112的第一表面112a之間，熱熔樹脂的主要成分是乙烯甲基丙烯酸甲酯共聚物。如圖2(c)所示，通過利用加熱到100至120 °C溫度的壓力結(jié)構(gòu)151，粘合部件130在0.4MPa的壓力下被擠壓，使得粘合部件130粘合直到在傳感器基底112的側(cè)表面112c上與第一表面112a側(cè)相距50μπι的位置。[0041 ](示例 3)
[0042]使用類似于根據(jù)示例I的閃爍體120、粘合部件130和固定部件113。如圖3所示，傳感器基底112與根據(jù)示例I的傳感器基底112相同，只是傳感器基底112具有第三表面112d，第三表面由通過移除在對應(yīng)第一表面的末端處的5μπι來移除第一表面的拐角而形成。與示例I中一樣，通過利用可旋轉(zhuǎn)輥150，粘合部件130以0.4MPa的壓力被擠壓，使得粘合部件130粘合直到在傳感器基底112的側(cè)表面112c上與第一表面112a側(cè)相距7μπι的位置。
[0043](示例4)
[0044]使用類似于根據(jù)示例I的閃爍體120、粘合部件130、以及固定部件113。如圖4(b)所示，傳感器基底112與根據(jù)示例I的傳感器基底112相同，只是傳感器基底112以I度的角度D朝向傳感器基底112的內(nèi)側(cè)傾斜。與示例I中一樣，通過利用可旋轉(zhuǎn)輥150，粘合部件130以
0.4MPa的壓力被擠壓，使得粘合部件130粘合直到在傳感器基底112的側(cè)表面112c上與第一表面112a側(cè)相距4μηι的位置。
[0045]本發(fā)明不受限于以上描述的實施方式。在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下可以做出各種改變和修改。因此，為了公開本發(fā)明的范圍附加以下權(quán)利要求。
[0046]本申請基于且要求在2013年12月13日提交的日本專利申請N0.2013-258139的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容通過弓I用結(jié)合于此。
【主權(quán)項】
1.一種輻射檢測裝置，包括: 鄰近于彼此布置的多個傳感器基底，每個傳感器基底包括以陣列設(shè)置有多個光電轉(zhuǎn)換元件的第一表面、與第一表面相對的第二表面、以及將第一表面和第二表面連接到彼此的側(cè)表面； 布置在所述多個傳感器基底的第一表面?zhèn)忍幍拈W爍體；以及 用于將所述多個傳感器基底和閃爍體粘合到彼此的片狀粘合部件， 其中，在所述多個傳感器基底之間，片狀粘合部件粘合到第一表面和側(cè)表面的至少一部分，使得片狀粘合部件從第一表面延伸且連續(xù)粘合到側(cè)表面的所述至少一部分。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輻射檢測裝置，其中，在所述多個傳感器基底之間，所述多個傳感器基底的至少之一包括不平行于第一表面和側(cè)表面且布置在第一表面和側(cè)表面之間的第三表面，且 其中，在所述多個傳感器基底之間，片狀粘合部件從第一表面延伸且連續(xù)粘合到側(cè)表面的至少一部分和第三表面。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輻射檢測裝置，其中，在所述多個傳感器基底之間，所述多個傳感器基底的至少之一的側(cè)表面朝向傳感器基底的所述至少之一的內(nèi)側(cè)從第一表面朝向第二表面相對于垂直于第一表面的垂線傾斜。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的輻射檢測裝置，還包括: 支撐所述多個傳感器基底的基部;和 用于將所述多個傳感器基底固定到基部的固定部件， 其中，固定部件的剛性小于粘合部件的剛性。5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一所述的輻射檢測裝置，其中，所述多個傳感器基底中的每個還包括沿所述多個光電轉(zhuǎn)換元件的周邊布置在第一表面的至少一部分上的護環(huán)、覆蓋護環(huán)的一部分和所述多個光電轉(zhuǎn)換元件的鈍化膜、和除了鈍化膜的末端部分之外將鈍化膜覆蓋的防護層，且 其中，在所述多個傳感器基底之間，片狀粘合部件在防護層、鈍化膜、護環(huán)、第一表面、和側(cè)表面的所述至少一部分上延伸且連續(xù)粘合。6.一種福射檢測系統(tǒng)，包括: 根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的輻射檢測裝置;和 顯示器裝置，其基于由輻射檢測裝置獲取的信號顯示圖像。7.一種用于制造輻射檢測裝置的方法，包括: 在多個傳感器基底的第一表面?zhèn)忍幉贾瞄W爍體的布置步驟，其中片狀粘合部件介于第一表面?zhèn)群烷W爍體之間，所述多個傳感器基底鄰近于彼此布置，每個傳感器基底包括以陣列設(shè)置有多個光電轉(zhuǎn)換元件的第一表面、與第一表面相對的第二表面、以及將第一表面和第二表面彼此連接的側(cè)表面;以及 粘合步驟，其中通過從相反于所述多個傳感器基底的一側(cè)擠壓閃爍體的與在所述多個傳感器基底之間的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域，使得片狀粘合部件從第一表面延伸且連續(xù)粘合到在所述多個傳感器基底之間的側(cè)表面的至少一部分。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于制造輻射檢測裝置的方法，其中，在所述多個傳感器基底之間，所述多個傳感器基底的至少之一包括不平行于第一表面和側(cè)表面且布置在第一表面和側(cè)表面之間的第三表面，且 其中，粘合步驟包括使得片狀粘合部件從第一表面延伸且連續(xù)粘合到第三表面和在所述多個傳感器基底之間的側(cè)表面的所述至少一部分。9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的用于制造輻射檢測裝置的方法，其中，在所述多個傳感器基底之間，所述多個傳感器基底的至少之一的側(cè)表面朝向傳感器基底的所述至少之一的內(nèi)側(cè)從第一表面朝向第二表面相對于垂直于第一表面的垂線傾斜。10.根據(jù)權(quán)利要求7至9任一所述的用于制造輻射檢測裝置的方法，還包括: 通過利用固定部件將所述多個傳感器基底固定到基部的固定步驟， 其中，固定部件的剛性小于片狀粘合部件的剛性。11.根據(jù)權(quán)利要求7至10任一所述的用于制造輻射檢測裝置的方法，其中，所述多個傳感器基底中的每個還包括沿所述多個光電轉(zhuǎn)換元件的周邊布置在第一表面的至少一部分上的護環(huán)、覆蓋護環(huán)的一部分和所述多個光電轉(zhuǎn)換元件的鈍化膜、以及除了鈍化膜的末端部分之外覆蓋鈍化膜的防護層，并且 其中，粘合步驟包括使得片狀粘合部件在防護層、鈍化膜、護環(huán)、第一表面、以及在所述多個傳感器基底之間的側(cè)表面的所述至少一部分上延伸且連續(xù)粘合。12.根據(jù)權(quán)利要求7至11任一所述的用于制造輻射檢測裝置的方法，其中，粘合步驟包括:通過利用輥從相反于所述多個傳感器基底的一側(cè)擠壓與在所述多個傳感器基底之間的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域。
【文檔編號】G01T1/20GK105829916SQ201480068223
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2014年10月30日
【發(fā)明人】小野伸二, 石井孝昌, 西部航太
【申請人】佳能株式會社