每個(gè)探針的尖端均與一與其一一對(duì)應(yīng)(即每個(gè)導(dǎo)線4只與一探針尖端連接)的導(dǎo)線4連接。
[0026]進(jìn)一步的，該高通量電阻率測(cè)試裝置還包括多通道開(kāi)關(guān)3，該多通道開(kāi)關(guān)3有若干個(gè)輸入端口和若干個(gè)輸出端口。多通道開(kāi)關(guān)3可以是機(jī)械開(kāi)關(guān)的組合，也可以是電子電路控制的多路開(kāi)關(guān)器件，優(yōu)選的，本實(shí)施例中選用電子電路控制的多路開(kāi)關(guān)器件，多通道開(kāi)關(guān)3輸入端口的數(shù)目應(yīng)不少于探針1的數(shù)目，以使探針基座2上的探針1均可以通過(guò)導(dǎo)線4電連接于多通道開(kāi)關(guān)3的輸入端口(為了便于理解，圖中只將部分探針1通過(guò)導(dǎo)線4與多通道開(kāi)關(guān)3的輸入端連接，其中，多通道開(kāi)關(guān)3還包含若干個(gè)輸出端口，優(yōu)選的，本實(shí)施例中設(shè)計(jì)為4個(gè)輸出端口，每個(gè)輸出端口均通過(guò)一引線5(將輸出端口電性引出的導(dǎo)線，由于目的是將多通道開(kāi)關(guān)3電性引出且為了與導(dǎo)線4區(qū)分，則稱為引線)將其電性引出，以便于與其他設(shè)備連接進(jìn)而完成測(cè)試。
[0027]進(jìn)一步的，該高通量電阻率測(cè)試裝置還包括電流源7與電壓表6，所述電流源7與電壓表6可以選用分立的電流源與電壓表，也可以選擇集成的數(shù)字源表，優(yōu)選的，本實(shí)施例中用集成數(shù)字源表(圖1中，將電流源7與所述電壓表6獨(dú)立開(kāi)來(lái)，目的是使發(fā)明顯得更具體形象，實(shí)際上二者是集成在一起的)。其中，上述多通道開(kāi)關(guān)3輸出端口的4根引線中的兩根引線與電流源輸入端、輸出端相連，另外兩根與電壓表輸入端、輸出端相連。
[0028]在本發(fā)明的實(shí)施例中，在使用該高通量電阻率測(cè)試裝置測(cè)試樣品電阻率時(shí)，首先將由基座2及其固定的探針1整體壓在樣品上，即探針1的尖端朝下，基座2朝上的方式使部分探針1的尖端與測(cè)試樣品良好接觸并通過(guò)多通道開(kāi)關(guān)3控制不同輸入端口的導(dǎo)通與關(guān)斷狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)不用探針1的切換。由于是多個(gè)四探針測(cè)試方法的并用，因此要保證測(cè)某個(gè)樣品的電阻率時(shí)，至少需保證該樣品上連通的探針1的個(gè)數(shù)為4m(其中，m是正整數(shù))，多余的探針1通過(guò)多通道開(kāi)關(guān)3將其處于關(guān)斷狀態(tài)。最后計(jì)算機(jī)會(huì)同時(shí)讀取和存儲(chǔ)電流源7與電壓表6的度數(shù)信息，最后結(jié)合樣品的厚度信息，通過(guò)計(jì)算得到不同區(qū)域樣品的電阻率信息。
[0029]綜上所述，本發(fā)明通過(guò)將若干探針通過(guò)固定在基座上，然后每一探針均與多通道開(kāi)關(guān)的一個(gè)輸入端口對(duì)應(yīng)連接，使得多個(gè)探針代替四個(gè)探針，這樣可以做到樣品的全面覆蓋，提高測(cè)試通量，然后使用多通道開(kāi)關(guān)切換不同探針的工作與空閑，即用電學(xué)掃描代替機(jī)械掃描，大幅度降低了掃描時(shí)間，提高了測(cè)試效率，克服了傳統(tǒng)四探針測(cè)試電阻方法測(cè)試高通量樣品時(shí)出現(xiàn)的探針?lè)磸?fù)升降、移動(dòng)等操作帶來(lái)的時(shí)間消耗和儀器損傷。
[0030]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員在結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)所述變化例，在此不做贅述。這樣的變化例并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。
[0031]以上對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例，這并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高通量電阻率測(cè)試裝置，其特征在于，所述裝置包括: 基座，固定設(shè)置有若干探針，且每個(gè)所述探針均具有用于接觸測(cè)試樣品的尖端和相對(duì)于該尖端的連接端； 多通道開(kāi)關(guān)，每個(gè)所述探針均通過(guò)其連接端與所述多通道開(kāi)關(guān)的輸入端電連接，且該多通道開(kāi)關(guān)的輸出端分別與電流源和電壓表連接，以對(duì)所述測(cè)試樣品的電阻率進(jìn)行量測(cè)。2.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，每個(gè)所述探針均貫穿固定設(shè)置于所述基座，且所述若干探針的尖端均凸起于該基座的同一表面，以使得每個(gè)所述探針的尖端均能與同一所述測(cè)試樣品的不同區(qū)域接觸和/或分別與不同測(cè)試樣品接觸。3.如權(quán)利要求2所述裝置，其特征在于，當(dāng)所述若干探針的尖端分別與不同測(cè)試樣品接觸時(shí)，對(duì)任一所述測(cè)試樣品進(jìn)行電阻率量測(cè)操作過(guò)程中，所述多通道開(kāi)關(guān)將與其他測(cè)試樣品接觸的探針的電路斷開(kāi)。4.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，所述多通道開(kāi)關(guān)為手動(dòng)式機(jī)械開(kāi)關(guān)的組合器件或電子電路控制的多路開(kāi)關(guān)器件。5.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，所述裝置還包括一開(kāi)關(guān)控制模塊； 所述開(kāi)關(guān)控制模塊與所述多通道開(kāi)關(guān)電連接，以自動(dòng)控制所述多通道開(kāi)關(guān)中每個(gè)通道的開(kāi)啟或閉合。6.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，所述多通道開(kāi)關(guān)的輸入端上設(shè)置有若干探針接入端口，所述多通道開(kāi)關(guān)的輸出端上設(shè)置有第一連接端口和第二連接端口 ； 每個(gè)所述探針均通過(guò)其連接端分別與一所述探針接入端口連接，所述電壓表通過(guò)所述第一連接端口與所述多通道開(kāi)關(guān)電連接，所述電流源通過(guò)所述第二連接端口與所述多通道開(kāi)關(guān)電連接。7.如權(quán)利要求6所述裝置，其特征在于，所述探針接入端口的數(shù)量大于所述探針的數(shù)量。8.如權(quán)利要求1所述裝置，其特征在于，所述電流源和電壓表為分立的電流源和電壓表器件或者為集成數(shù)字源表器件。
【專利摘要】本發(fā)明屬于材料測(cè)試裝置領(lǐng)域，具體涉及一種高通量電阻率測(cè)試裝置。本發(fā)明針對(duì)傳統(tǒng)四探針測(cè)電阻測(cè)試高通量樣品時(shí)出現(xiàn)的探針?lè)磸?fù)升降、移動(dòng)等操作帶來(lái)的時(shí)間消耗和儀器損耗，提出一種基于四探針?lè)椒ǖ亩嗵结樃咄侩娮杪蕼y(cè)試裝置。該裝置通過(guò)多通道開(kāi)關(guān)的控制完成測(cè)試區(qū)域的切換，即用電學(xué)掃描代替探針的機(jī)械掃描，可以大大降低測(cè)試需要的時(shí)間，實(shí)際的測(cè)試可以在瞬間完成；并且，本發(fā)明可以根據(jù)樣品的集中程度或者感興趣區(qū)域的集中程度的不同，選擇性的“跳過(guò)”部分探針，這樣能夠進(jìn)一步縮短測(cè)試時(shí)間，實(shí)現(xiàn)樣品的準(zhǔn)確并行測(cè)試，提升測(cè)試效率。
【IPC分類】G01R27/08
【公開(kāi)號(hào)】CN105445557
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510005325
【發(fā)明人】張海濤, 張曉琨, 向勇
【申請(qǐng)人】寧波英飛邁材料科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月30日
【申請(qǐng)日】2015年1月4日