磁阻傳感器及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種測試磁傳感器用的測試組件及磁傳感器的測試方法，尤其涉及具有測試接口與可拆卸式的磁場產(chǎn)生器的測試組件及利用此測試組件測試磁傳感器的測試方法。
【背景技術(shù)】
[0002]磁傳感器可感測外部磁場的變化。磁傳感器可用來偵測旋轉(zhuǎn)、角度、開/關(guān)狀態(tài)、位置、對(duì)象的存在與否、對(duì)象的遠(yuǎn)近等。目前有許多類型的技術(shù)被應(yīng)用于磁傳感器如霍爾傳感器、磁阻傳感器、磁感應(yīng)傳感器、質(zhì)子進(jìn)動(dòng)裝置、光學(xué)泵、核子進(jìn)動(dòng)裝置及SQUID(超導(dǎo)量子干涉裝置)。以磁阻技術(shù)作為實(shí)例，根據(jù)所用的磁阻材料的不同，依照作動(dòng)的原理及敏感度可將磁傳感器分類為異向性磁阻傳感器、巨磁阻傳感器及穿隧式磁阻傳感器。
[0003]許多此類磁阻傳感器是以半導(dǎo)體制程制作成半導(dǎo)體組件的形式，因此欲完成此類磁阻傳感器至少涉及了下列步驟:從基板開始的制造流程、晶圓級(jí)測試、芯片切割、封裝成獨(dú)立的芯片及封裝級(jí)測試。晶圓級(jí)測試及封裝級(jí)測試通常汲及了利用具有測試接口的測試機(jī)臺(tái)測試組件的功能，此處所謂的組件例如是形成在晶圓中的記憶胞與磁傳感器或已封裝的集成電路(1C)。對(duì)于磁傳感器而言，其晶圓級(jí)測試及封裝級(jí)測試都需要產(chǎn)生外部磁場以測試磁傳感器的效能如針對(duì)不同軸向的敏感度與準(zhǔn)確性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種測試磁傳感器用的便宜且具有適應(yīng)性的測試組件。此測試組件能與不同種類的測試機(jī)臺(tái)匹配且能量測兩維感測效能或三維感測效能。
[0005]本發(fā)明提供一種測試磁傳感器用的測試組件，其包括測試接口與可拆卸式的磁場產(chǎn)生器。測試接口包括一基板及多個(gè)測試終端?；寰哂械谝粋?cè)及與第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)。多個(gè)測試終端是配置于基板的第一側(cè)上?？刹鹦妒降拇艌霎a(chǎn)生器是以可拆卸的方式配置于基板的第二側(cè)?？刹鹦妒降拇艌霎a(chǎn)生器包括線圈支撐件及卷繞線圈支撐件的至少一線圈。
[0006]本發(fā)明更提供一種測試磁傳感器的測試方法。此方法包括將測試組件帶向磁傳感器的步驟。測試組件包括測試接口與可拆卸式的磁場產(chǎn)生器。測試接口包括一基板及多個(gè)測試終端?；灏ǖ谝粋?cè)及與第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)。多個(gè)測試終端是配置于基板的第一側(cè)上?？刹鹦妒降拇艌霎a(chǎn)生器是以可拆卸的方式配置于基板的第二側(cè)。可拆卸式的磁場產(chǎn)生器包括線圈支撐件及卷繞線圈支撐件的至少一線圈。此方法更包括:使磁傳感器與測試終端的末端耦合的步驟；經(jīng)由供給電流至該至少一線圈以將磁場施加至該磁傳感器的步驟；及借由該測試終端自該磁傳感器獲得回應(yīng)訊號(hào)的步驟。
[0007]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該至少一線圈是用來產(chǎn)生垂直于該基板的一磁場及或沿著平行于該基板的第一方向的一磁場及/或沿著平行于該基板的第二方向的一磁場，其中第一方向是垂直于該第二方向。
[0008]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該測試組件是用來被安裝于一晶圓級(jí)測試機(jī)臺(tái)或一封裝級(jí)測試機(jī)臺(tái)。
[0009]在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該測試組件的該線圈支撐件是由鐵、鐵氧體(ferrite)材料、坡莫合金(permalloy)、絕緣材料或上述者的任意組合所制成。
【附圖說明】
[0010]圖1所示為本發(fā)明一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。
[0011]圖2所示為本發(fā)明一實(shí)施例的圖1的測試組件的可拆卸式的磁場產(chǎn)生器的三維概圖。
[0012]圖3(A)為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明圖1與2的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。
[0013]圖3(B)為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。
[0014]圖3(C)為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。
[0015]圖3(D)為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明根據(jù)本發(fā)明更另一實(shí)施例的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。
[0016]圖4顯示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。
[0017]圖5為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明圖4的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。
[0018]圖6顯示根據(jù)本發(fā)明更另一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。
[0019]圖7 (A)與7 (B)顯示圖6的測試組件的磁場產(chǎn)生器所產(chǎn)生的磁場。
[0020]圖8顯示根據(jù)本發(fā)明更另一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。
[0021]圖9顯示根據(jù)本發(fā)明更另一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。
[0022]圖10的流程圖顯示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的利用本發(fā)明的測試組件測試磁傳感器的測試方法。
[0023]符號(hào)說明
[0024]100晶圓支撐件
[0025]200 基板
[0026]210測試終端
[0027]300固定板
[0028]310 固定孔
[0029]400線圈支撐件
[0030]410垂直部
[0031]410* 垂直部
[0032]420垂直部
[0033]420* 垂直部
[0034]430水平部
[0035]430* 水平部
[0036]440 腳
[0037]440* 腳
[0038]450 腳
[0039]450* 腳
[0040]500 線圈
[0041]500* 線圈
[0042]501 線圈
[0043]501* 線圈
[0044]510 線圈
[0045]511 線圈
[0046]511* 線圈
[0047]510* 線圈
[0048]600 固定件
[0049]610定位銷
[0050]1000 晶圓
[0051]1300 定位板
[0052]1400線圈支撐件
[0053]1500 線圈
[0054]1600 固定件
[0055]2400線圈支撐件
[0056]2500 線圈
[0057]3400線圈支撐件
[0058]3500 線圈
【具體實(shí)施方式】
[0059]下面的實(shí)施例將說明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件的原理與結(jié)構(gòu)。應(yīng)了解，可在缺乏部分或全部此些特定細(xì)節(jié)的情況下實(shí)施此些實(shí)施例。在其他情況下，并不詳細(xì)敘述現(xiàn)有技術(shù)的處理操作及組件結(jié)構(gòu)，以免不必要地模糊本發(fā)明的發(fā)明點(diǎn)。
[0060]下面將詳細(xì)地說明本發(fā)明的較佳實(shí)施例，舉凡本中所述的組件、組件子部、結(jié)構(gòu)、材料、配置等皆可不依說明的順序或所屬的實(shí)施例而任意搭配成新的實(shí)施例，此些實(shí)施例當(dāng)屬本發(fā)明的范疇。在閱讀了本發(fā)明后，熟知此項(xiàng)技術(shù)人員當(dāng)能在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，對(duì)上述的組件、組件子部、結(jié)構(gòu)、材料、配置等作些許的更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的專利保護(hù)范圍須視本說明書所附的申請(qǐng)專利范圍所界定者為準(zhǔn)，且此些更動(dòng)與潤飾當(dāng)落在本發(fā)明的申請(qǐng)專利范圍內(nèi)。
[0061]本發(fā)明的實(shí)施例及圖示眾多，為了避免混淆，類似的組件是以相同或相似的標(biāo)號(hào)示的；為避免畫面過度復(fù)雜及混亂，重復(fù)的組件僅標(biāo)示一處，他處則以此類推。圖示意在傳達(dá)本發(fā)明的概念及精神，故圖中的所顯示的距離、大小、比例、形狀、連接關(guān)系等皆為示意而非實(shí)況，所有能以相同方式達(dá)到相同功能或結(jié)果的距離、大小、比例、形狀、連接關(guān)系等皆可視為等效物而采用。
[0062]請(qǐng)參考圖1，圖1顯示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。測試組件包括測試接口與可拆卸式的磁場產(chǎn)生器。測試接口包括基板200及設(shè)置在基板200的下側(cè)的多個(gè)測試終端210。測試終端210是用來與待測的磁傳感器電耦合以施加電流/電壓及/或收集響應(yīng)電流/電壓。測試接口是用來被安裝至晶圓級(jí)測試用的一晶圓測試機(jī)臺(tái)(未顯示)或封裝級(jí)測試用的封裝測試機(jī)臺(tái)(未顯示)。雖然本發(fā)明實(shí)施例是以涉及放置在測試接口下方的晶圓1000的晶圓級(jí)測試為例，但本發(fā)明的測試磁傳感器用的測試組件及測試磁傳感器的測試方法可用于涉及封裝過的1C(未顯示)的封裝級(jí)測試。在封裝級(jí)測試中，測試接口可以是一插座(socke