流量傳感器的檢查方法和檢查系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于檢查通過流量傳感器測定的流量值所含的、至少時間延遲的流量傳感器的檢查方法和檢查系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]從流量傳感器輸出的測定流量值，有時會相對于實際流量值產(chǎn)生時間延遲。需要進行檢測這種時間延遲的有無、或者按照消除時間延遲的方式調(diào)整流量傳感器的流量傳感器的檢查作業(yè)(參照專利文獻I (日本專利公開公報特開平9-16268號))。
[0003]關(guān)于流量傳感器的時間延遲的檢查具體如下進行。首先，將檢查對象的流量傳感器、作為基準的流量傳感器、以及用于使流道內(nèi)產(chǎn)生規(guī)定的壓力的流阻設(shè)置在同一流道上來構(gòu)成檢查系統(tǒng)，使流過該流道的流體的流量產(chǎn)生變化。接著，把在流量發(fā)生變化時從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間系列數(shù)據(jù)、與由作為基準的流量傳感器測定的基準流量值的時間系列數(shù)據(jù)進行比較，檢測有無相位差，或按照消除各時間系列數(shù)據(jù)的相位差的方式調(diào)整例如在所述檢查對象的流量傳感器上設(shè)定的微分系數(shù)等參數(shù)。
[0004]可是，在進行上述的這種檢查時，為了不含與各流量傳感器的輸出無關(guān)的噪聲等，要向流道內(nèi)充以足夠壓力，在流道內(nèi)的流體處于穩(wěn)定的狀態(tài)后開始檢查。
[0005]可是，所述檢查對象的流量傳感器的測定范圍設(shè)定在小流量區(qū)域時，能經(jīng)由所述檢查對象的流量傳感器流入所述流道內(nèi)的流體的流量，與流道的容積相比非常小。因此將流道內(nèi)的壓力充壓到適于開始檢查時間延遲的壓力需要花費很多時間。
[0006]此外，使所述檢查對象的流量傳感器能穩(wěn)定動作的流道的壓力，因其測定范圍而不同，但在目前的檢查系統(tǒng)中不依據(jù)檢查對象的流量傳感器而不同，而是充壓到大體相同壓力后進行檢查，因此難以對應(yīng)所述檢查對象的流量傳感器進行最佳化。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明鑒于上述問題，目的是提供一種能夠?qū)?yīng)檢查對象的流量傳感器而向流道內(nèi)充以適當(dāng)?shù)膲毫Α⒉⑶铱梢源蠓s短至檢查開始的等待時間的流量傳感器的檢查方法、檢查系統(tǒng)和存儲了檢查系統(tǒng)用程序的程序存儲介質(zhì)。
[0008]S卩，本發(fā)明的檢查方法，用于檢查從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間延遲，所述檢查對象的流量傳感器設(shè)置在具備上游側(cè)流道和在所述上游側(cè)流道的下游中分路的多個分路流道的流道結(jié)構(gòu)中，所述檢查方法的特征在于，采用具備針對所述各分路流道分別設(shè)置的流阻、針對所述各分路流道分別設(shè)置的閥門以及測定所述流道結(jié)構(gòu)中的流體的壓力或流量的流體傳感器的檢查系統(tǒng)，并具備閥門控制步驟，在根據(jù)所述流體傳感器的輸出檢查所述檢查對象的流量傳感器時，將所述各閥門設(shè)為多個敞開的狀態(tài)。
[0009]此外，本發(fā)明的檢查系統(tǒng)，用于檢查從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間延遲，所述檢查對象的流量傳感器設(shè)置在具備上游側(cè)流道和在所述上游側(cè)流道的下游中分路的多個分路流道的流道結(jié)構(gòu)中，所述檢查系統(tǒng)包括:針對所述各分路流道分別設(shè)置的流阻；針對所述各分路流道分別設(shè)置的閥門；測定所述流道結(jié)構(gòu)中的流體的壓力或流量的流體傳感器；以及閥門開閉控制部，在根據(jù)所述流體傳感器的輸出檢查所述檢查對象的流量傳感器時，將所述各閥門設(shè)為多個敞開的狀態(tài)。
[0010]按照上述構(gòu)成，由于所述各分路流道上分別設(shè)有流阻和閥門，所以在檢查所述檢查對象的流量傳感器時通過將所述各閥門設(shè)為多個敞開的狀態(tài)，即使所述流道結(jié)構(gòu)中流過的流體的流量為少量，也可以在短時間內(nèi)充壓到適于開始檢查的壓力。
[0011]更具體而言，將在所述各分路流道上設(shè)置的各閥門敞開多個，減小針對所述上游側(cè)流道的流道阻力時，可以使所述流道結(jié)構(gòu)中的流體的狀態(tài)在低壓力下穩(wěn)定。
[0012]因此，例如所述檢查對象的流量傳感器的測定范圍為小流量區(qū)域，設(shè)定流量值小且流入所述上游側(cè)流道的流量比流道的容積小時，所述閥門開閉控制部按照所述流道阻力減小的方式增加各閥門中敞開的閥門的數(shù)量，能夠使流體在低壓下穩(wěn)定，從而縮短在所述流道結(jié)構(gòu)中充壓到能夠開始檢查時間延遲的壓力的時間。
[0013]為了不論所述檢查對象的流量傳感器的測定范圍如何都能在短時間內(nèi)開始時間延遲的檢查，所述閥門開閉控制部至少對應(yīng)作為流過所述流道結(jié)構(gòu)的流體的流量的目標(biāo)值的設(shè)定流量值，變更所述各閥門的開閉狀態(tài)的組合即可。
[0014]按照上述構(gòu)成，所述閥門開閉控制部通過變更所述開閉狀態(tài)的組合，可以自由變更針對所述上游側(cè)流道的流道阻力的大小，使流體的狀態(tài)穩(wěn)定，并改變能夠開始檢查的壓力。
[0015]例如，在所述檢查對象的流量傳感器的測定范圍為大流量區(qū)域且設(shè)定流量值大的情況下，為了使流體在所述檢查對象的流量傳感器的輸出穩(wěn)定的高壓下穩(wěn)定，按照針對所述上游側(cè)流道的流道阻力增大的方式增加各閥門中關(guān)閉的閥門的數(shù)量即可。另一方面，在所述檢查對象的流量傳感器的測定范圍為小流量區(qū)域的情況下，也可以增加敞開的所述各閥門的數(shù)量，所述流道結(jié)構(gòu)中流體的狀態(tài)在低壓下是穩(wěn)定的。
[0016]而且，所述流道結(jié)構(gòu)中充以時間延遲的檢查所必要的壓力，所以通過把從所述檢查對象的流量傳感器輸出的流量值的時間系列數(shù)據(jù)、與從所述流體傳感器輸出的流量或壓力的測定值的時間系列數(shù)據(jù)進行比較，可以把握并高精度調(diào)整所述檢查對象的流量傳感器中的時間延遲。
[0017]這樣，縮短了直到能夠開始有關(guān)時間延遲的檢查的等待時間，并且能夠調(diào)整到使流量傳感器的輸出穩(wěn)定的壓力，針對全流量區(qū)域能夠?qū)崿F(xiàn)短時間且高精度的時間延遲檢查。
[0018]為了能夠相比以往縮短至開始時間延遲的檢查為止所耗費的時間，并且還能保證檢查精度，所述閥門開閉控制部以設(shè)定流量越小、所述流道結(jié)構(gòu)中的流體的壓力越是減小的方式，變更所述各閥門的開閉狀態(tài)的組合即可。
[0019]對于時間延遲的檢查，從作為基準的所述流體傳感器輸出的測定值不必與實際的值分毫不差，只要是和實際的流量的變化顯示相同的舉動即可。在此，為了充壓到可以從所述流體傳感器得到執(zhí)行時間延遲的檢查所需的足夠輸出的壓力，將至開始時間延遲的檢查為止所耗的時間設(shè)為必要的最小限，并可以縮短檢查所耗的整體的檢查時間，所述閥門開閉控制部以所述流道結(jié)構(gòu)中的壓力低于推薦使用壓力的方式變更所述各閥門的開閉狀態(tài)的組合，所述推薦使用壓力下所述流體傳感器能輸出與流體的實際壓力或?qū)嶋H流量大體相同的測定值。
[0020]例如，為了由所述閥門開閉控制部充以適于時間延遲的檢查的壓力，由此能夠自動檢查所述檢查對象的流量傳感器的時間延遲，進一步具備流量傳感器調(diào)整部即可，該流量傳感器調(diào)整部根據(jù)從所述檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間系列數(shù)據(jù)、和從所述流體傳感器輸出的壓力或流量的測定值的時間系列數(shù)據(jù)，檢查從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間延遲。
[0021]作為用于調(diào)整所述檢查對象的流量傳感器的時間延遲的【具體實施方式】，所述檢查對象的流量傳感器具備:輸出與流體的流量對應(yīng)的電信號的感測機構(gòu)；以及流量輸出部，根據(jù)從所述感測機構(gòu)輸出的電信號所示的值和規(guī)定的流量計算式來輸出測定流量值，所述流量計算式具有從所述感測機構(gòu)輸出的電信號所示的值的微分值與作為針對所述微分值所乘的系數(shù)的微分系數(shù)的乘積的項，所述流量傳感器調(diào)整部變更所述微分系數(shù)，使得從所述檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間系列數(shù)據(jù)、與由所述流體傳感器測定的測定值的時間系列數(shù)據(jù)之間的相位差成為零。
[0022]為了在所述檢查對象的流量傳感器的附近控制流過所述上游側(cè)流道的流體的流量，能夠?qū)崿F(xiàn)用于時間延遲的檢查所必要的流量的變化，從而進一步提高時間延遲的檢查精度，流量控制裝置包括:所述檢查對象的流量傳感器；設(shè)置在所述流道結(jié)構(gòu)上的流量控制閥門；以及流量控制部，其控制所述流量控制閥門以使設(shè)定流量值與從所述檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的偏差變小。
[0023]不僅要考慮流量，還要考慮流過的流體的特性來進行時間延遲的檢查，且能夠縮短至開始檢查為止所耗的時間，為此，所述閥門開閉控制部對應(yīng)設(shè)定流量值和流過流道的流體的氣體種類來變更所述各閥門的開閉狀態(tài)的組合即可。
[0024]在所述檢查對象的流量傳感器容易產(chǎn)生時間延遲的情況下，作為基準的所述流體傳感器上沒有時間延遲，基本反映實際流量的變化，為了高精度進行時間延遲的檢查，所述檢查對象的流量傳感器為熱式的流量傳感器，所述流體傳感器為壓力式的流量傳感器。
[0025]例如，為了利用現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)等的分路流道上分別設(shè)置的流量控制裝置等，后續(xù)構(gòu)筑本發(fā)