管LD lj，激光二極管LDlj和光敏二極管可以同步地進(jìn)行兩個(gè)方向的掃描，每移動(dòng)一 個(gè)預(yù)設(shè)距離計(jì)算機(jī)采集一次光敏二極管ro檢測(cè)到的光電信號(hào)I，計(jì)算機(jī)對(duì)光電信號(hào)I進(jìn)行 解調(diào)分離可以得到各個(gè)激光二極管LD1Ji該光敏二極管ro的貢獻(xiàn)I U，據(jù)此可以對(duì)樣品2進(jìn) 行高精度圖像重建。
[0051] 本發(fā)明實(shí)施例對(duì)各器件的型號(hào)除做特殊說(shuō)明的以外，其他器件的型號(hào)不做限制， 只要能完成上述功能的器件均可。
[0052] 實(shí)施例3
[0053] -種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，參見(jiàn)圖1、圖2和圖3,該 實(shí)施例以單色二極管作為單色光源UV·· LDn，光敏二極管作為光敏器件ro為例進(jìn)行說(shuō)明。
[0054] 采用不同頻率且成2倍比率關(guān)系的三角波分別驅(qū)動(dòng)一組單色光源1中的各個(gè)單色 二極管LD 1 j，單色二極管LDlj和光敏二極管可以同步地進(jìn)行兩個(gè)方向的掃描，每移動(dòng)一 個(gè)預(yù)設(shè)距離計(jì)算機(jī)采集一次光敏二極管ro檢測(cè)到的光電信號(hào)I，計(jì)算機(jī)對(duì)光電信號(hào)I進(jìn)行 解調(diào)分離可以得到各個(gè)單色二極管LD 1Ji該光敏二極管ro的貢獻(xiàn)I U，據(jù)此可以對(duì)樣品2進(jìn) 行高精度圖像重建。
[0055] 本發(fā)明實(shí)施例對(duì)各器件的型號(hào)除做特殊說(shuō)明的以外，其他器件的型號(hào)不做限制， 只要能完成上述功能的器件均可。
[0056] 實(shí)施例4
[0057] -種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，參見(jiàn)圖1、圖2和圖3,該 實(shí)施例以單色濾波片對(duì)白光濾波后單色光UV·· LDn，光敏二極管作為光敏器件ro為例進(jìn)行 說(shuō)明。
[0058] 采用不同頻率且成2倍比率關(guān)系的三角波分別驅(qū)動(dòng)一組單色光源1中的各個(gè)單色 濾波片對(duì)白光濾波后單色光LD lj，單色光LDlj和光敏二極管可以同步地進(jìn)行兩個(gè)方向的 掃描，每移動(dòng)一個(gè)預(yù)設(shè)距離計(jì)算機(jī)采集一次光敏二極管PD檢測(cè)到的光電信號(hào)I，計(jì)算機(jī)對(duì) 光電信號(hào)I進(jìn)行解調(diào)分離可以得到各個(gè)單色光ΙΑ，該光敏二極管ro的貢獻(xiàn)I ^，據(jù)此可 以對(duì)樣品2進(jìn)行高精度圖像重建。
[0059] 本發(fā)明實(shí)施例對(duì)各器件的型號(hào)除做特殊說(shuō)明的以外，其他器件的型號(hào)不做限制， 只要能完成上述功能的器件均可。
[0060] 實(shí)施例5
[0061] 一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，參見(jiàn)圖1、圖2和圖3,該 實(shí)施例以激光二極管作為單色光源UV·· LDn，光電倍增管作為光敏器件ro為例進(jìn)行說(shuō)明。
[0062] 采用不同頻率且成2倍比率關(guān)系的三角波分別驅(qū)動(dòng)一組單色光源1中的各個(gè)激光 二極管LD lj，激光二極管LDlj和光電倍增管可以同步地進(jìn)行兩個(gè)方向的掃描，每移動(dòng)一 個(gè)預(yù)設(shè)距離計(jì)算機(jī)采集一次光電倍增管ro檢測(cè)到的光電信號(hào)I，計(jì)算機(jī)對(duì)光電信號(hào)I進(jìn)行 解調(diào)分離可以得到各個(gè)激光二極管LD 1 ,對(duì)該光電倍增管ro的貢獻(xiàn)I U，據(jù)此可以對(duì)樣品2進(jìn) 行高精度圖像重建。
[0063] 本發(fā)明實(shí)施例對(duì)各器件的型號(hào)除做特殊說(shuō)明的以外，其他器件的型號(hào)不做限制， 只要能完成上述功能的器件均可。
[0064] 實(shí)施例6
[0065] 一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，參見(jiàn)圖1、圖2和圖3,該 實(shí)施例以單色二極管作為單色光源UV·· LDn，光電倍增管作為光敏器件F1D為例進(jìn)行說(shuō)明。 [0066] 采用不同頻率且成2倍比率關(guān)系的三角波分別驅(qū)動(dòng)一組單色光源1中的各個(gè)單色 二極管LDlj，單色二極管LDlj和光電倍增管ro可以同步地進(jìn)行兩個(gè)方向的掃描，每移動(dòng)一 個(gè)預(yù)設(shè)距離計(jì)算機(jī)采集一次光電倍增管ro檢測(cè)到的光電信號(hào)I，計(jì)算機(jī)對(duì)光電信號(hào)I進(jìn)行 解調(diào)分離可以得到各個(gè)單色二極管LD 1 ,對(duì)該光電倍增管ro的貢獻(xiàn)I U，據(jù)此可以對(duì)樣品2進(jìn) 行高精度圖像重建。
[0067] 本發(fā)明實(shí)施例對(duì)各器件的型號(hào)除做特殊說(shuō)明的以外，其他器件的型號(hào)不做限制， 只要能完成上述功能的器件均可。
[0068] 實(shí)施例7
[0069] 一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，參見(jiàn)圖1、圖2和圖3,該 實(shí)施例以單色濾波片對(duì)白光濾波后單色光LD1…LDn，光電倍增管作為光敏器件為例進(jìn)行 說(shuō)明。
[0070] 采用不同頻率且成2倍比率關(guān)系的三角波分別驅(qū)動(dòng)一組單色光源1中的各個(gè)單色 光LD1,，單色光LD u和光電倍增管可以同步地進(jìn)行兩個(gè)方向的掃描，每移動(dòng)一個(gè)預(yù)設(shè)距 離計(jì)算機(jī)采集一次光電倍增管ro檢測(cè)到的光電信號(hào)I，計(jì)算機(jī)對(duì)光電信號(hào)I進(jìn)行解調(diào)分離 可以得到各個(gè)單色光LD 1Ji該光電倍增管ro的貢獻(xiàn)I ^，據(jù)此可以對(duì)樣品2進(jìn)行高精度圖 像重建。
[0071] 本發(fā)明實(shí)施例對(duì)各器件的型號(hào)除做特殊說(shuō)明的以外，其他器件的型號(hào)不做限制， 只要能完成上述功能的器件均可。
[0072] 本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解附圖只是一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的示意圖，上述本發(fā)明實(shí)施例 序號(hào)僅僅為了描述，不代表實(shí)施例的優(yōu)劣。
[0073] 以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和 原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，所述成像光測(cè)量系統(tǒng)包 括：一組nXn個(gè)單色光源、一個(gè)光敏器件，以及與光敏器件外接的計(jì)算機(jī)，其特征在于， 在樣品的一側(cè)成均勻分布一組nXn個(gè)單色光源，對(duì)側(cè)對(duì)應(yīng)單色光源的正中位置放置 光敏器件； 采用不同頻率且成2倍比率關(guān)系的三角波分別驅(qū)動(dòng)一組單色光源中的各個(gè)單色光源， 單色光源和光敏器件同步地進(jìn)行兩個(gè)方向的掃描，每移動(dòng)一個(gè)預(yù)設(shè)距離計(jì)算機(jī)采集一次光 敏器件檢測(cè)到的光電信號(hào)； 計(jì)算機(jī)對(duì)光電信號(hào)進(jìn)行解調(diào)分離得到各個(gè)單色光源對(duì)光敏器件的貢獻(xiàn)，據(jù)此對(duì)樣品進(jìn) 行高精度圖像重建。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，其 特征在于，所述單色光源呈正方形均勻分布。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，其 特征在于，所述單色光源為激光二極管，所述光敏器件為光敏二極管。4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系 統(tǒng)，其特征在于，所述單色光源為單色二極管，所述光敏器件為光敏二極管。5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系 統(tǒng)，其特征在于，所述單色光源為單色濾波片對(duì)白光濾波后得到的單色光，所述光敏器件為 光敏二極管。6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系 統(tǒng)，其特征在于，所述單色光源為激光二極管，所述光敏器件為光電倍增管。7. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系 統(tǒng)，其特征在于，所述單色光源為單色二極管，所述光敏器件為光電倍增管。8. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系 統(tǒng)，其特征在于，所述單色光源為單色濾波片對(duì)白光濾波后得到的單色光，所述光敏器件為 光電倍增管。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種面陣發(fā)射光位置三角波頻率編碼的成像光測(cè)量系統(tǒng)，所述成像光測(cè)量系統(tǒng)包括：在樣品的一側(cè)成均勻分布一組n×n個(gè)單色光源，對(duì)側(cè)對(duì)應(yīng)單色光源的正中位置放置光敏器件；采用不同頻率且成2倍比率關(guān)系的三角波分別驅(qū)動(dòng)一組單色光源中的各個(gè)單色光源，單色光源和光敏器件同步地進(jìn)行兩個(gè)方向的掃描，每移動(dòng)一個(gè)預(yù)設(shè)距離計(jì)算機(jī)采集一次光敏器件檢測(cè)到的光電信號(hào)；計(jì)算機(jī)對(duì)光電信號(hào)進(jìn)行解調(diào)分離得到各個(gè)單色光源對(duì)光敏器件的貢獻(xiàn)，據(jù)此對(duì)樣品進(jìn)行高精度圖像重建。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了高速度、大信息的成像光的高精度測(cè)量，且具有結(jié)構(gòu)和電路簡(jiǎn)單、器件和工藝要求低、調(diào)試容易、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】G01N21/17
【公開(kāi)號(hào)】CN105136672
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510198294
【發(fā)明人】林凌, 李澤云, 杜文芳, 馮夕萌, 李剛
【申請(qǐng)人】天津大學(xué)
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年4月23日