的檢查，并且能夠在適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)下使第二輸送機(jī) 構(gòu)輸送被檢體，從而實(shí)現(xiàn)通過第二輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行的向表面處理裝置的適當(dāng)位置的輸送。即， 通過簡單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)表面處理裝置中的定位。
[0028] 在第10發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，S卩，在第9發(fā)明所記載的表面處 理系統(tǒng)中，還具備使上述檢查檢測器在上下方向上移動的檢查檢測器輸送機(jī)構(gòu)，上述第二 待機(jī)位置是上述評價(jià)位置，在上述被檢體被輸送到上述第二待機(jī)位置時(shí)，通過上述檢查檢 測器輸送機(jī)構(gòu)在上下方向上移動上述檢查檢測器，由此使上述被檢體位于上述檢查檢測器 的評價(jià)位置。
[0029] 如第10發(fā)明所記載的發(fā)明那樣，能夠采用通過檢查檢測器輸送機(jī)構(gòu)使檢查檢測 器在上下方向上移動來使被檢體位于檢查檢測器的評價(jià)位置的結(jié)構(gòu)。
[0030] 在第11發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，S卩，在第9發(fā)明所記載的表面處 理系統(tǒng)中，上述第二待機(jī)位置是相對于上述評價(jià)位置處于上方側(cè)或下方側(cè)的位置，通過上 述第一輸送機(jī)構(gòu)使被輸送到上述第二待機(jī)位置的上述被檢體在上下方向上移動，由此使上 述被檢體位于上述檢查檢測器的評價(jià)位置。
[0031] 根據(jù)第11發(fā)明所記載的發(fā)明，在將檢查檢測器的位置固定的狀態(tài)下，能夠僅使被 檢體移動來進(jìn)行檢查，因此不需要設(shè)置檢查檢測器的輸送機(jī)構(gòu)，還不容易產(chǎn)生位置偏移。
[0032] 在第12發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，S卩，包括以下工序：準(zhǔn)備工序， 準(zhǔn)備根據(jù)第1發(fā)明至第4發(fā)明中的任一個(gè)所記載的表面特性檢查裝置；配置工序，在從上述 交流電源向上述交流橋電路供給了交流電力的狀態(tài)下，對上述檢查檢測器進(jìn)行配置使得在 被檢體中激發(fā)渦電流；以及評價(jià)工序，根據(jù)從上述交流橋電路輸出的輸出信號，對被檢體的 表面特性進(jìn)行評價(jià)。
[0033] 根據(jù)第12發(fā)明所記載的發(fā)明，能夠通過使用表面特性檢查裝置進(jìn)行以下動作來 評價(jià)被檢體的表面特性：在配置工序中，在從交流電源向交流橋電路供給了交流電力的狀 態(tài)下，對檢查檢測器進(jìn)行配置使得在被檢體中激發(fā)渦電流，在評價(jià)工序中，根據(jù)從交流橋電 路輸出的輸出信號，對被檢體的表面特性進(jìn)行評價(jià)。
[0034] 在第13發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，S卩，在第12發(fā)明所記載的表面 特性檢查方法中，還包括以下工序：為了利用上述基準(zhǔn)檢測器檢測基準(zhǔn)狀態(tài)而準(zhǔn)備并測量 用于輸出基準(zhǔn)輸出的基準(zhǔn)檢查體。
[0035] 根據(jù)第13發(fā)明所記載的發(fā)明，為了利用基準(zhǔn)檢測器檢測基準(zhǔn)狀態(tài)而使用用于輸 出基準(zhǔn)輸出的基準(zhǔn)檢查體，因此只要使用表面處理狀態(tài)良好的基準(zhǔn)檢查體，就能夠與基準(zhǔn) 檢查體進(jìn)行比較來評價(jià)被檢體的表面狀態(tài)的好壞。
[0036] 在第14發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，S卩，在第12發(fā)明所記載的表面 特性檢查方法中，為了利用上述基準(zhǔn)檢測器檢測基準(zhǔn)狀態(tài)而不使用用于輸出基準(zhǔn)輸出的基 準(zhǔn)檢查體。
[0037] 根據(jù)第14發(fā)明所記載的發(fā)明，為了利用基準(zhǔn)檢測器檢測基準(zhǔn)狀態(tài)而不使用用于 輸出基準(zhǔn)輸出的基準(zhǔn)檢查體，因此不會受到基準(zhǔn)檢查體的溫度變化的影響，從而能夠進(jìn)行 高精度的檢查。
[0038] 在第15發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，S卩，在第14發(fā)明所記載的表面 特性檢查方法中，通過在表面處理前后分別測量被檢體的表面特性并比較各個(gè)測量值，來 判斷被檢體的表面處理狀態(tài)的好壞。
[0039] 根據(jù)第15發(fā)明所記載的發(fā)明，由于能夠?qū)⒈砻嫣幚砬昂蟮谋砻嫣匦赃M(jìn)行比較來 掌握表面特性的變化，因此能夠更正確地進(jìn)行高精度的檢查。
[0040] 在第16發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，S卩，在第1發(fā)明所記載的表面特 性檢查裝置中，上述基準(zhǔn)檢測器具有線圈以及強(qiáng)磁性體芯，該強(qiáng)磁性體芯被配置在該線圈 的內(nèi)側(cè)，通過向該線圈供給交流電力來激發(fā)渦電流。
[0041] 根據(jù)第16發(fā)明所記載的發(fā)明，基準(zhǔn)檢測器具備線圈，在該線圈的內(nèi)側(cè)配置強(qiáng)磁性 體芯而非基準(zhǔn)檢查體，因此能夠不依賴于被檢體的尺寸、形狀地構(gòu)成基準(zhǔn)檢測器，能夠使基 準(zhǔn)檢測器小型化。
[0042] 在第17發(fā)明所記載的發(fā)明中，使用以下技術(shù)方案，S卩，在第16發(fā)明所記載的表面 特性檢查裝置中，上述交流橋電路具備電路基板，在該電路基板上配置有上述可變電阻以 及上述基準(zhǔn)檢測器。
[0043] 根據(jù)第17發(fā)明所記載的發(fā)明，由于可變電阻和基準(zhǔn)檢測器被配置在電路基板上， 因此不需要另外處理基準(zhǔn)檢測器，從而容易地進(jìn)行表面特性檢查裝置的處理，并且能夠提 高表面特性檢查裝置的設(shè)置的自由度。
【附圖說明】
[0044] 圖IA是表示表面特性檢查裝置的結(jié)構(gòu)的說明圖，是表示表面特性檢查裝置的電 路結(jié)構(gòu)的圖。
[0045] 圖IB是表示表面特性檢查裝置的結(jié)構(gòu)的說明圖，是表示檢查檢測器的結(jié)構(gòu)的透 視圖。
[0046] 圖2是針對來自交流橋電路的輸出進(jìn)行說明的等效電路圖。
[0047] 圖3是表示表面特性檢查方法的流程圖。
[0048] 圖4A是表示第一實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0049] 圖4B是表示第一實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0050] 圖4C是表示第一實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0051] 圖4D是表示第一實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0052] 圖5A是表示第一實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0053] 圖5B是表示第一實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0054] 圖5C是表示第一實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0055] 圖f5D是表示第一實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0056] 圖6A是表示表面處理裝置的結(jié)構(gòu)的說明圖。
[0057] 圖6B是表示表面處理裝置的結(jié)構(gòu)的說明圖。
[0058] 圖7是表示第一實(shí)施方式的表面特性評價(jià)系統(tǒng)的變更例的說明圖。
[0059] 圖8A是表示第二實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0060] 圖8B是表示第二實(shí)施方式的表面特性檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及表面特性檢查方法的 工序的說明圖。
[0061] 圖9是表示表面特性檢查裝置的電路結(jié)構(gòu)的變更例的說明圖。
[0062] 圖IOA是表示將本發(fā)明的表面檢查方法中的檢查環(huán)境的溫度變化的影響與以往 的表面特性檢查方法進(jìn)行比較得到的實(shí)施例的結(jié)果的說明圖。
[0063] 圖IOB是表示將本發(fā)明的表面檢查方法中的檢查環(huán)境的溫度變化的影響與以往 的表面特性檢查方法進(jìn)行比較得到的實(shí)施例的結(jié)果的說明圖。
[0064] 圖IOC是表示將本發(fā)明的表面檢查方法中的檢查環(huán)境的溫度變化的影響與以往 的表面特性檢查方法進(jìn)行比較得到的實(shí)施例的結(jié)果的說明圖。
【具體實(shí)施方式】
[0065] (表面特性檢查裝置）
[0066] 如圖IA所示，本發(fā)明的實(shí)施方式的表面特性檢查裝置1具備交流電源10、交流橋 電路20以及評價(jià)裝置30。
[0067] 交流電源10構(gòu)成為能夠向交流橋電路20供給頻率可變的交流電力。
[0068] 交流橋電路20具備可變電阻21、檢查檢測器23以及基準(zhǔn)檢測器22,該檢查檢測 器23形成為能夠?qū)⒕€圈配置成在被檢體M中激發(fā)渦電流，該基準(zhǔn)檢測器22檢測成為與來 自檢查檢測器23的輸出進(jìn)行比較的基準(zhǔn)的基準(zhǔn)狀態(tài)。
[0069] 可變電阻21構(gòu)成為能夠?qū)㈦娮鑂aW分配比Y可變的方式分配成電阻Rl與電阻R2。電阻RU電阻R2與基準(zhǔn)檢測器22和檢查檢測器23-起構(gòu)成了橋電路。在本實(shí)施方式 中，分配電阻Rl和電阻R2的點(diǎn)A以及基準(zhǔn)檢測器22與檢查檢測器23之間的點(diǎn)B連接于 評價(jià)裝置30的交流電源10,電阻Rl與基準(zhǔn)檢測器22之間的點(diǎn)C以及電阻R2與檢查檢測 器23之間的點(diǎn)D連接于放大器31。另外，為了降低噪聲，基準(zhǔn)檢測器22和檢查檢測器23 側(cè)接地。
[0070] 評價(jià)裝置30具備：放大器31，其將從交流橋電路20輸出的電壓信號進(jìn)行放大；絕 對值電路32,其進(jìn)行全波整流；低通濾波器（LPF) 33,其進(jìn)行直流變換；相位比較器34,其 將從交流電源10供給的交流電壓與從放大器31輸出的電壓的相位進(jìn)行比較；頻率調(diào)整器 35,其調(diào)整從交流電源10供給的交流電壓的頻率；判斷單元36,其進(jìn)行使Rl和R2的分配 最優(yōu)化的非平衡調(diào)整，并且根據(jù)來自LPF33的輸出來判斷被檢體M的表面狀態(tài)的好壞；顯 示單元37,其將判斷單元36的判斷結(jié)果進(jìn)行顯示、警告；以及溫度測量單元38,其檢測評價(jià) 位置的溫度。
[0071]放大器31連接于點(diǎn)C和點(diǎn)D，被輸入點(diǎn)C與點(diǎn)D之間的電位差。另外，依次將絕對 值電路32、LPF33與判斷單元36連接。相位比較器34與交流電源10、放大器31以及判 斷單元36連接。頻率調(diào)整器35與交流電源10和放大器31連接。另外，判斷單元36構(gòu)成 為能夠通過輸出控制信號來變更交流橋電路20的點(diǎn)A的位置、即電阻Rl與電阻R2的分配 比Y，由此執(zhí)行后述的可變電阻設(shè)定工序。
[0072]溫度測量單元38由非接觸式的紅外傳感器、熱電偶等構(gòu)成，將被檢體M的表面的 溫度信號輸出到判斷單元36。判斷單元36在由溫度測量單元38檢測出的被檢體M的溫度 在規(guī)定范圍內(nèi)的情況下，判斷被檢體M的表面處理狀態(tài)的好壞，在由溫度測量單元38檢測 出的溫度在規(guī)定范圍外的情況下，不進(jìn)行被檢體M的表面處理狀態(tài)的好壞判斷。由此，能夠 在被檢體M的溫度對檢查的精度造成影響那樣的情況下不進(jìn)行被檢體的表面處理狀態(tài)的 好壞判斷，因此能夠進(jìn)行高精度的檢查。在此，還能夠采用如下結(jié)構(gòu)：通過熱電偶等測量評 價(jià)位置Ts的溫度，以被檢體M的表面的溫度為代表的溫度來判斷是否進(jìn)行被檢體M的表面 處理狀態(tài)的好壞判斷。
[0073] 作為檢查檢測器23和與檢查檢測器23相同結(jié)構(gòu)的基準(zhǔn)檢測器22,使用如下檢測 器：在能夠貫穿被檢體的評價(jià)部的芯的外周卷繞形成有線圈，使線圈與被檢體M的表面相 向并接近，從而能夠在被