在片微波探針測(cè)試夾具及在片微波探針測(cè)試方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及微波在片測(cè)試方法技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種在片微波探針測(cè)試夾具及在片微波探針測(cè)試方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在對(duì)半導(dǎo)體器件或芯片進(jìn)行在片微波測(cè)試時(shí)，需要用到微波探針，由于微波測(cè)量非常敏感，扎針位置的重復(fù)性嚴(yán)重影響測(cè)量的精度。首先，在系統(tǒng)校準(zhǔn)過程中，微波探針需要對(duì)校準(zhǔn)件進(jìn)行嚴(yán)格的對(duì)位，才能準(zhǔn)確的去掉矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀、電纜和探針等引入的誤差，將校準(zhǔn)的參考面移到指定的參考面。如果校準(zhǔn)過程中探針對(duì)位出現(xiàn)偏差將會(huì)引入額外的誤差，導(dǎo)致后續(xù)的所有測(cè)量精度都會(huì)下降。在對(duì)被測(cè)件進(jìn)行測(cè)量過程中，對(duì)被測(cè)件的扎針需要按照校準(zhǔn)件一樣的對(duì)位標(biāo)記，才能保證測(cè)量的參考面與校準(zhǔn)系統(tǒng)時(shí)的測(cè)量參考面一致，從而避免探針扎針的不一致性導(dǎo)致額外的誤差引入。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種在片微波探針測(cè)試夾具及在片微波探針測(cè)試方法，所述測(cè)試方法使用上述測(cè)試夾具，通過測(cè)試夾具上的對(duì)位標(biāo)記，在測(cè)試的過程中能夠保證被測(cè)件的參考面與校準(zhǔn)件的測(cè)量參考面相一致，從而避免探針扎針的不一致性導(dǎo)致額外的誤差引入，提高了測(cè)量的精確度。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采取的技術(shù)方案是:一種在片微波探針測(cè)試夾具，其特征在于:包括第一測(cè)試PAD、第二測(cè)試PAD、第三測(cè)試PAD、第一對(duì)位標(biāo)記、第二對(duì)位標(biāo)記、第三對(duì)位標(biāo)記和第四對(duì)位標(biāo)記，所述第一測(cè)試PAD、第二測(cè)試PAD和第三測(cè)試PAD沿左右方向間隔設(shè)置，所述第一對(duì)位標(biāo)記和第二對(duì)位標(biāo)記位于第一測(cè)試PAD與第二測(cè)試PAD之間，所述第三對(duì)位標(biāo)記和第四對(duì)位標(biāo)記位于第二測(cè)試PAD與第三測(cè)試PAD之間，所述第一對(duì)位標(biāo)記和第二對(duì)位標(biāo)記構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第三對(duì)位標(biāo)記和第四對(duì)位標(biāo)記構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第一對(duì)位標(biāo)記和第三對(duì)位標(biāo)記在一條直線上，所述第二對(duì)位標(biāo)記和第四對(duì)位標(biāo)記在另一條直線上，所述第一對(duì)位標(biāo)記和第二對(duì)位標(biāo)記間的距離與第三對(duì)位標(biāo)記和第四對(duì)位標(biāo)記間的距離相等；第一對(duì)位標(biāo)記、第二對(duì)位標(biāo)記、第三對(duì)位標(biāo)記和第四對(duì)位標(biāo)記所在的兩條直線橫穿第一測(cè)試PAD、第二測(cè)試PAD和第三測(cè)試PAD。
[0005]本發(fā)明還公開了一種在片微波探針測(cè)試方法，所述測(cè)試方法使用所述測(cè)試夾具，其特征在于所述方法包括如下步驟:
O開始測(cè)試時(shí)，首先將GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的三個(gè)針分別與第一測(cè)試PAD、第二測(cè)試PAD以及第三測(cè)試PAD相接觸，微波探針與測(cè)試PAD的接觸點(diǎn)在通過第一對(duì)位標(biāo)記和第三對(duì)位標(biāo)記的直線上；
2)然后通過按壓GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的三個(gè)針，使其在測(cè)試PAD的表面滑動(dòng)；
3)三個(gè)微波探針滑動(dòng)的終點(diǎn)為通過第二對(duì)位標(biāo)記和第四對(duì)位標(biāo)的直線，完成扎針，然后進(jìn)行校準(zhǔn)或測(cè)試。
[0006]進(jìn)一步的技術(shù)方案在于:在開始測(cè)試前，所述測(cè)試夾具已經(jīng)在制備被測(cè)試件的同時(shí)制備在被測(cè)試件的每個(gè)被測(cè)試端口旁，被測(cè)試的信號(hào)端口與第二測(cè)試PAD相連接，被測(cè)試的地端口分別與第一測(cè)試PAD和第三測(cè)試PAD相連。
[0007]進(jìn)一步的技術(shù)方案在于:微波探針的信號(hào)針接觸點(diǎn)還位于第二測(cè)試PAD左右方向的中間。
[0008]進(jìn)一步的技術(shù)方案在于:第一測(cè)試PAD、第二測(cè)試PAD以及第三測(cè)試PAD的寬度大于或等于微波探針針尖的寬度。
[0009]進(jìn)一步的技術(shù)方案在于:GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的兩個(gè)Ground針分別與第一測(cè)試PAD和第三測(cè)試PAD相接觸，Single針與第二測(cè)試PAD相接觸。
[0010]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:所述測(cè)試方法使用上述測(cè)試夾具，通過測(cè)試夾具上的對(duì)位標(biāo)記，在測(cè)試的過程中能夠保證被測(cè)件的參考面與校準(zhǔn)件的測(cè)量參考面相一致，從而避免探針扎針的不一致性導(dǎo)致額外的誤差引入，提高了測(cè)量的精確度。
【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明所述測(cè)試夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；
其中:1、第一測(cè)試PAD 2、第二測(cè)試PAD 3、第三測(cè)試PAD 4、第一對(duì)位標(biāo)記5、第二對(duì)位標(biāo)記6、第三對(duì)位標(biāo)記7、第四對(duì)位標(biāo)記。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0013]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。
[0014]如圖1所示，本發(fā)明公開了一種在片微波探針測(cè)試夾具，包括第一測(cè)試PAD1、第二測(cè)試PAD2、第三測(cè)試PAD3、第一對(duì)位標(biāo)記4、第二對(duì)位標(biāo)記5、第三對(duì)位標(biāo)記6和第四對(duì)位標(biāo)記7。所述第一測(cè)試PAD1、第二測(cè)試PAD2和第三測(cè)試PAD3沿左右方向間隔設(shè)置，所述第一對(duì)位標(biāo)記4和第二對(duì)位標(biāo)記5位于第一測(cè)試PADl與第二測(cè)試PAD2之間，所述第三對(duì)位標(biāo)記6和第四對(duì)位標(biāo)記7位于第二測(cè)試PAD2與第三測(cè)試PAD3之間，所述第一對(duì)位標(biāo)記4和第二對(duì)位標(biāo)記5構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第三對(duì)位標(biāo)記6和第四對(duì)位標(biāo)記7構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置；
所述第一對(duì)位標(biāo)記4和第三對(duì)位標(biāo)記6在一條直線上，所述第二對(duì)位標(biāo)記5和第四對(duì)位標(biāo)記7在另一條直線上，所述第一對(duì)位標(biāo)記4和第二對(duì)位標(biāo)記5間的距離與第三對(duì)位標(biāo)記6和第四對(duì)位標(biāo)記7間的距離相等；第一對(duì)位標(biāo)記4、第二對(duì)位標(biāo)記5、第三對(duì)位標(biāo)記6和第四對(duì)位標(biāo)記7所在的兩條直線橫穿第一測(cè)試PAD1、第二測(cè)試PAD2和第三測(cè)試PAD3。
[0015]本發(fā)明還公開了一種在片微波探針測(cè)試方法，所述測(cè)試方法使用所述測(cè)試夾具，所述方法包括如下步驟: 1)開始測(cè)試時(shí)，首先將GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的三個(gè)針分別與第一測(cè)試PAD1、第二測(cè)試PAD2以及第三測(cè)試PAD3相接觸，微波探針與測(cè)試PAD的接觸點(diǎn)在通過第一對(duì)位標(biāo)記4和第三對(duì)位標(biāo)記6的直線上；進(jìn)一步的，第一測(cè)試PAD1、第二測(cè)試PAD2以及第三測(cè)試PAD3的面積大于或等于微波探針針尖的寬度，以保證探針針尖的全部與測(cè)試PAD相接觸；
2)然后通過按壓GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的三個(gè)針，使其在測(cè)試PAD的表面滑動(dòng)；
3)三個(gè)微波探針滑動(dòng)的終點(diǎn)為通過第二對(duì)位標(biāo)記5和第四對(duì)位標(biāo)7的直線，完成扎針，然后進(jìn)行校準(zhǔn)或測(cè)試。
[0016]需要說明的是:在開始測(cè)試前，所述測(cè)試夾具已經(jīng)在制備被測(cè)試件的同時(shí)制備在被測(cè)試件的每個(gè)被測(cè)試端口旁，被測(cè)試的信號(hào)端口與第二測(cè)試PAD2相連接，被測(cè)試的地端口分別與第一測(cè)試PADl和第三測(cè)試PAD3相連；GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的兩個(gè)Ground針分別與第一測(cè)試PADl和第三測(cè)試PAD3相接觸，Single針與第二測(cè)試PAD2相接觸；為了進(jìn)一步提高測(cè)量的精確度，Single微波探針的接觸點(diǎn)還需要盡量位于第二測(cè)試PAD2左右方向的中間。
[0017]所述測(cè)試方法使用上述測(cè)試夾具，通過測(cè)試夾具上的對(duì)位標(biāo)記，在測(cè)試的過程中能夠保證被測(cè)件的參考面與校準(zhǔn)件時(shí)的測(cè)量參考面相一致，從而避免探針扎針的不一致性導(dǎo)致額外的誤差引入，提高了測(cè)量的精確度。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種在片微波探針測(cè)試夾具，其特征在于:包括第一測(cè)試PAD(l)、第二測(cè)試PAD(2)、第三測(cè)試PAD (3 )、第一對(duì)位標(biāo)記(4 )、第二對(duì)位標(biāo)記(5 )、第三對(duì)位標(biāo)記(6 )和第四對(duì)位標(biāo)記(7)，所述第一測(cè)試PAD (1)、第二測(cè)試PAD (2)和第三測(cè)試PAD (3)沿左右方向間隔設(shè)置，所述第一對(duì)位標(biāo)記(4)和第二對(duì)位標(biāo)記(5)位于第一測(cè)試PAD (I)與第二測(cè)試PAD (2)之間，所述第三對(duì)位標(biāo)記(6)和第四對(duì)位標(biāo)記(7)位于第二測(cè)試PAD (2)與第三測(cè)試PAD (3)之間，所述第一對(duì)位標(biāo)記(4)和第二對(duì)位標(biāo)記(5)構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第三對(duì)位標(biāo)記(6)和第四對(duì)位標(biāo)記(7)構(gòu)成一組并沿前后方向設(shè)置，所述第一對(duì)位標(biāo)記(4)和第三對(duì)位標(biāo)記(6)在一條直線上，所述第二對(duì)位標(biāo)記(5)和第四對(duì)位標(biāo)記(7)在另一條直線上，所述第一對(duì)位標(biāo)記(4)和第二對(duì)位標(biāo)記(5)間的距離與第三對(duì)位標(biāo)記(6)和第四對(duì)位標(biāo)記(7)間的距離相等；第一對(duì)位標(biāo)記(4)、第二對(duì)位標(biāo)記(5)、第三對(duì)位標(biāo)記(6)和第四對(duì)位標(biāo)記(7)所在的兩條直線橫穿第一測(cè)試PAD (1)、第二測(cè)試PAD (2)和第三測(cè)試PAD (3)。
2.一種在片微波探針測(cè)試方法，所述測(cè)試方法使用所述測(cè)試夾具，其特征在于所述方法包括如下步驟: 1)開始測(cè)試時(shí)，首先將GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的三個(gè)針分別與第一測(cè)試PAD(I )、第二測(cè)試PAD (2)以及第三測(cè)試PAD (3)相接觸，微波探針與測(cè)試PAD的接觸點(diǎn)在通過第一對(duì)位標(biāo)記(4)和第三對(duì)位標(biāo)記(6)的直線上； 2)然后通過按壓GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的三個(gè)針，使其在測(cè)試PAD的表面滑動(dòng)； 3)三個(gè)微波探針滑動(dòng)的終點(diǎn)為通過第二對(duì)位標(biāo)記(5)和第四對(duì)位標(biāo)(7)的直線，完成扎針，然后進(jìn)行校準(zhǔn)或測(cè)試。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在片微波探針測(cè)試方法，其特征在于:在開始測(cè)試前，所述測(cè)試夾具已經(jīng)在制備被測(cè)試件的同時(shí)制備在被測(cè)試件的每個(gè)被測(cè)試端口旁，被測(cè)試的信號(hào)端口與第二測(cè)試PAD (2)相連接，被測(cè)試的地端口分別與第一測(cè)試PAD (I)和第三測(cè)試PAD(3)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在片微波探針測(cè)試方法，其特征在于:微波探針的信號(hào)針接觸點(diǎn)還位于第二測(cè)試PAD (2)左右方向的中間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在片微波探針測(cè)試方法，其特征在于:第一測(cè)試PAD(1)、第二測(cè)試PAD (2)以及第三測(cè)試PAD (3)的寬度大于或等于微波探針針尖的寬度。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在片微波探針測(cè)試方法，其特征在于:GSG結(jié)構(gòu)的微波探針的兩個(gè)Ground針分別與第一測(cè)試PAD (I)和第三測(cè)試PAD (3)相接觸，Single針與第二測(cè)試PAD (2)相接觸。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種在片微波探針測(cè)試夾具及在片微波探針測(cè)試方法，涉及微波在片測(cè)試方法技術(shù)領(lǐng)域。所述測(cè)試夾具包括第一測(cè)試PAD、第二測(cè)試PAD、第三測(cè)試PAD、第一對(duì)位標(biāo)記、第二對(duì)位標(biāo)記、第三對(duì)位標(biāo)記和第四對(duì)位標(biāo)記。所述測(cè)試方法使用上述測(cè)試夾具，通過測(cè)試夾具上的對(duì)位標(biāo)記，在測(cè)試的過程中能夠保證被測(cè)件的參考面與校準(zhǔn)件的測(cè)量參考面相一致，從而避免探針扎針的不一致性導(dǎo)致額外的誤差引入，提高了測(cè)量的精確度。
【IPC分類】G01R1-04
【公開號(hào)】CN104865421
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510323002
【發(fā)明人】胡志富, 劉亞男, 杜光偉, 李靜強(qiáng), 何美林, 馮彬, 彭志農(nóng), 曹健
【申請(qǐng)人】中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
【公開日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2015年6月12日