超聲波器件及其制造方法、超聲波探測(cè)器及電子設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及超聲波器件、超聲波探測(cè)器、電子設(shè)備及超聲波器件的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]使用收發(fā)超聲波的超聲波元件的超聲波器件被用于各種用途。專(zhuān)利文獻(xiàn)I中公開(kāi)了具備超聲波元件的超聲波器件。根據(jù)文獻(xiàn)內(nèi)容，超聲波器件包括:具備收發(fā)超聲波的超聲波元件的超聲波元件陣列基板以及匯聚超聲波的聲透鏡。
[0003]超聲波元件形成一種在設(shè)置有下側(cè)電極的膜體與設(shè)置有上側(cè)電極的膜體之間具有空間的結(jié)構(gòu)。并且，對(duì)下側(cè)電極和上側(cè)電極施加交流電壓。由此，靜電力作用于膜體之間，膜體振動(dòng)而發(fā)送超聲波。超聲波以通過(guò)聲透鏡匯聚在指定位置的方式射出。聲透鏡由有機(jī)硅樹(shù)脂形成，為一種超聲波易于傳遞至被檢體的材質(zhì)。
[0004]超聲波元件陣列基板設(shè)置在支撐部件上，支撐部件上設(shè)置有作為電纜的柔性基板。并且，柔性基板與超聲波元件的電極通過(guò)引線接合方法連接。引線的周?chē)ㄟ^(guò)樹(shù)脂密封。聲透鏡與超聲波陣列基板使用粘接劑粘接，這種粘接劑固化而形成使聲阻抗匹配的部分。這種粘接劑也配置在聲透鏡與柔性基板之間，使聲透鏡和柔性基板粘接。
[0005]當(dāng)超聲波從聲透鏡射出至被檢體時(shí)，在聲透鏡和被檢體之間配置有水或凝膠。由此，超聲波器件可以減少超聲波的反射和衰減，有效地使超聲波從聲透鏡發(fā)射至被檢體。因此，在使水分接觸聲透鏡的狀態(tài)下使用超聲波器件。
[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)I記載的超聲波器件中，引線的周?chē)坎加袠?shù)脂。設(shè)置該樹(shù)脂用以密封引線。并且，覆蓋超聲波元件陣列基板、樹(shù)脂、柔性基板的一部分而涂布有粘接劑。覆蓋該粘接劑而設(shè)置有聲透鏡。涂布密封用的樹(shù)脂及粘接劑而蓋住聲透鏡。這種情況下，有時(shí)柔性基板的電極的周?chē)鷷?huì)有氣泡殘留。而且，由于有氣泡的位置粘接劑變薄，因而透濕性增高。于是，存在水分侵入時(shí)粘接劑的粘接力減弱，從而聲透鏡從超聲波元件陣列基板剝離的危險(xiǎn)。而且，水分侵入時(shí)，柔性基板的電極產(chǎn)生電化腐蝕而短路，超聲波元件變得不驅(qū)動(dòng)的風(fēng)險(xiǎn)高。因此，需要能夠抑制對(duì)設(shè)置有超聲波元件的基板與電纜之間的接合部的透濕性的超聲波器件。
[0007]在先專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0009]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:國(guó)際公開(kāi)第2008/056643號(hào)小冊(cè)子

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明旨在解決上述問(wèn)題，可以通過(guò)以下方式或應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0011][應(yīng)用例I]
[0012]本應(yīng)用例涉及的超聲波器件，其特征在于，具備:設(shè)置有收發(fā)超聲波的超聲波元件和與上述超聲波元件電連接的電纜的基板、具有與上述基板和上述電纜中的一方連接的多個(gè)突起部的聲透鏡、以及位于基板與上述聲透鏡之間的聲匹配部，上述突起部沿上述基板的外周延伸，與未設(shè)置上述電纜的位置相比，在設(shè)置有上述電纜的位置，上述突起部延伸的方向的每單位長(zhǎng)度中上述突起部所占的比例小。
[0013]根據(jù)本應(yīng)用例，基板上設(shè)置有超聲波元件和電纜。通過(guò)電纜向超聲波元件供電，從超聲波元件發(fā)射超聲波?；迳现丿B設(shè)置有聲匹配部和聲透鏡。由超聲波元件發(fā)射的超聲波通過(guò)聲匹配部和聲透鏡而從超聲波器件發(fā)射。
[0014]在聲透鏡上沿基板的外周設(shè)置有多個(gè)突起部。聲匹配部是將樹(shù)脂等涂布在基板上后按壓聲透鏡并固化而形成的。在聲透鏡上按壓樹(shù)脂時(shí)，樹(shù)脂變形而成為展寬的板狀。這種情況下，由突起部規(guī)定樹(shù)脂的厚度。
[0015]突起部沿基板的外周延伸。一些突起部與電纜連接。在未設(shè)置有電纜的位置，一些突起部與基板連接。與未設(shè)置電纜的位置相比，在設(shè)置有電纜的位置，每單位長(zhǎng)度中突起部所占的比例更小。因此，與沒(méi)有電纜的位置相比，有電纜的位置的突起部之間的間隙更大。在樹(shù)脂被夾在基板與聲透鏡之間的情況下，樹(shù)脂從突起部的間隙中流出。因此，相比沒(méi)有電纜的位置，樹(shù)脂更容易流出至有電纜的位置。由于流出時(shí)會(huì)擠出氣泡，因而在有電纜的位置可以確保樹(shù)脂厚度。其結(jié)果，由于樹(shù)脂固化后的厚度合適的的聲匹配部覆蓋電纜，因此，可以抑制對(duì)基板與電纜之間的接合部的透濕性。
[0016][應(yīng)用例2]
[0017]上述應(yīng)用例涉及的超聲波器件，其特征在于，與未設(shè)置上述電纜的位置相比，設(shè)置有上述電纜的位置的上述突起部之間的距離長(zhǎng)。
[0018]根據(jù)本應(yīng)用例，與未設(shè)置電纜的位置相比，設(shè)置有電纜的位置的突起部之間的距離長(zhǎng)。突起部之間的距離長(zhǎng)的一方，作為聲匹配部的材料的樹(shù)脂易于流動(dòng)。因此，在設(shè)置有電纜的位置，可以使氣泡流出。
[0019][應(yīng)用例3]
[0020]上述應(yīng)用例涉及的超聲波器件，其特征在于，在從上述基板的厚度方向觀察到的俯視觀察中，沿上述基板外周的方向的上述突起部的長(zhǎng)度，位于內(nèi)側(cè)的上述突起部的長(zhǎng)度比位于上述基板的外周側(cè)的上述突起部的長(zhǎng)度短。
[0021]根據(jù)本應(yīng)用例，突起部在基板的內(nèi)側(cè)的一方，截面形狀的長(zhǎng)度比外周側(cè)的短。該截面形狀的長(zhǎng)度是沿基板外周的方向的突起部的長(zhǎng)度。由此，可以使得突起部之間的間隙變?yōu)閮?nèi)側(cè)長(zhǎng)而外周側(cè)短。由此，可以減小樹(shù)脂通過(guò)突起部之間時(shí)的流體阻力，因此，能夠使樹(shù)脂勢(shì)力強(qiáng)勁地流出至聲透鏡的外側(cè)。
[0022][應(yīng)用例4]
[0023]上述應(yīng)用例涉及的超聲波器件，其特征在于，上述基板具有相對(duì)的第一邊和第二邊，上述電纜位于上述第一邊和上述第二邊，上述第一邊上的上述突起部之間的開(kāi)口部與上述第二邊上的上述突起部之間的上述開(kāi)口部交替地配置。
[0024]根據(jù)本應(yīng)用例，電纜位于第一邊和第二邊。而且，第一邊上的突起部之間的開(kāi)口部和第二邊上的突起部之間的開(kāi)口部交替配置。當(dāng)?shù)谝贿吷系拈_(kāi)口部和第二邊上的開(kāi)口部位于相對(duì)位置時(shí)，通過(guò)相對(duì)的開(kāi)口部的線是平行的。并且，聲透鏡中，與有突起部的位置相比，開(kāi)口部的強(qiáng)度弱，因此，變得容易沿平行的線彎曲。另一方面，當(dāng)開(kāi)口部交替配置時(shí)，連接第一邊的開(kāi)口部和第二邊的開(kāi)口部的線交叉。因此，聲透鏡成為容易彎曲的位置沿著交叉的線的狀態(tài)，因此，與容易彎曲的位置沿著平行的線的情況相比，能夠變得難以彎曲。
[0025][應(yīng)用例5]
[0026]上述應(yīng)用例涉及的超聲波器件，其特征在于，上述聲匹配部的一部分位于上述電纜與上述突起部之間。
[0027]根據(jù)本應(yīng)用例，聲匹配部的一部分位于電纜與突起部之間。由此，電纜與突起部之間也被聲匹配部覆蓋。因此，可以將透濕性抑制為較低。
[0028][應(yīng)用例6]
[0029]本應(yīng)用例涉及的超聲波探測(cè)器，其特征在于，具備上述任一項(xiàng)所記載的超聲波器件、以及驅(qū)動(dòng)上述超聲波器件的驅(qū)動(dòng)電路。
[0030]根據(jù)本應(yīng)用例，超聲波探測(cè)器包括上述記載的超聲波器件、以及驅(qū)動(dòng)該超聲波器件的驅(qū)動(dòng)電路。本應(yīng)用例的超聲波探測(cè)器具備將對(duì)電纜與基板之間的接合部的透濕性抑制為較低的超聲波器件。因此，電纜難以因水分而短路，從而可以提供進(jìn)行長(zhǎng)期可靠性高的超聲波收發(fā)的超聲波探測(cè)器。
[0031][應(yīng)用例7]
[0032]本應(yīng)用例涉及的電子設(shè)備，其特征在于，具備:上述任一項(xiàng)所記載的超聲波器件；與上述超聲波器件連接、利用上述超聲波器件的輸出進(jìn)行生成圖像的處理的處理部；以及顯示上述圖像的顯示部。
[0033]根據(jù)本應(yīng)用例，電子設(shè)備具備上述記載的超聲波器件及處理部。處理部利用超聲波器件的輸出進(jìn)行圖像數(shù)據(jù)的生成。本應(yīng)用例的電子設(shè)備具備將對(duì)電纜與基板之間的接合部的透濕性抑制為較低的超聲波器件。因此，電纜難以因水分而短路，從而可以提供進(jìn)行長(zhǎng)期可靠性高的超聲波收發(fā)的電子設(shè)備。
[0034][應(yīng)用例8]
[0035]本應(yīng)用例涉及的超聲波器件的制造方法，具有在端部設(shè)置有電纜的基板的中央配置樹(shù)脂，由上述基板和具有突起部的聲透鏡夾住上述樹(shù)脂并按壓，以及使上述樹(shù)脂固化而形成聲匹配部的工序，上述突起部沿上述基板的外周延伸，與未設(shè)置上述電纜的位置相比，在設(shè)置有上述電纜的位置，上述突起部延伸方向的每單位長(zhǎng)度中上述突起部所占比例小。
[0036]根據(jù)本應(yīng)用例，在端部設(shè)置有電纜的基板中央配置有樹(shù)脂。樹(shù)脂被夾在基板與具有突起部的聲透鏡之間并被按壓。突起部沿基板的外周延伸。當(dāng)樹(shù)脂通過(guò)聲透鏡被按壓時(shí)，樹(shù)脂會(huì)變形而成為展寬的板狀。這種情況下，由突起部規(guī)定樹(shù)脂的厚度。與未設(shè)置電纜的位置相比，在設(shè)置有電纜的位置，突起部延伸方向的每單位長(zhǎng)度中突起部所占比例變得更小。由此，與沒(méi)有電纜的位置相比，有電纜的位置的突起部之間的間隙變大。當(dāng)樹(shù)脂被夾在基板與聲透鏡之間時(shí)，樹(shù)脂從突起部的間隙中流出。從而，由于相比沒(méi)有電纜的位置，樹(shù)脂更容易流出至有電纜的位置，因此，在有電纜的位置，樹(shù)脂使氣泡流出。其結(jié)果，厚度合適的樹(shù)脂固化后的的聲匹配部覆蓋住電纜，從而可以將透濕性抑制為較低。
【附圖說(shuō)明】
[0037]圖1是示出第一實(shí)施方式涉及的超聲波圖像裝置的構(gòu)成的簡(jiǎn)要立體圖。
[0038]圖2是示出超聲波探測(cè)器的構(gòu)造的局部側(cè)截面示意圖。
[0039]圖3是示出超聲波探測(cè)器的構(gòu)造的主要