基于數(shù)字全息的樣品漂移主動補償方法及裝置的制造方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明屬于精密測量領域，尤其設及一種基于數(shù)字全息的樣品漂移主動補償方法 及裝置。 技術背景
[0002] 對于高精密的測量設備而言，外界的輕微擾動會引起測量誤差。尤其是精度要求 很高的場所（nm量級），設備運行時內(nèi)部的振動，地面的振動和測量樣品自身的流動都會造 成測量誤差，使測量的結(jié)果失真。
[0003] 例如對于超分辨顯微系統(tǒng)而言，在其成像過程中，由于熱漂移和應力漂移等因素 的影響，樣品會在軸向位置上發(fā)生位置漂移產(chǎn)生離焦，對顯微系統(tǒng)的成像精度造成影響。 特別是對于基于單分子定位的超分辨顯微技術，如基于探針定位技術的光敏定位顯微鏡 (Photo Activated Localization Microscopy,PALM)和隨機光學重建顯微鏡（Stochastic Optical Reconstruction Microscopy, STORM)等，需要對同一樣品面進行多次重復的成 像，該種漂移所帶來的影響更為明顯，因為軸向漂移將導致多次重復成像的并非為同一樣 品面。同時，由于外界和自身的擾動因素造成移動平臺發(fā)生的輕微振動會使樣品發(fā)生軸向 位移和平面位移。樣品的平面漂移將使顯微系統(tǒng)所成的相失真。因此，一種可W實時對樣 品的空間漂移進行檢測并進行=維補償?shù)姆椒ㄔ陲@微系統(tǒng)中具有十分重要的應用價值。
[0004] 近年來，隨著科學技術的發(fā)展，科研工作者們提出了多種測量樣品漂移的方法，其 中W光學非接觸測量方法的應用最為廣泛。目前，光學非接觸測量方法多是基于共焦系統(tǒng)。 該種系統(tǒng)雖然具有較好的測量精度，但是構(gòu)造比較復雜，且只針對軸向漂移，無法實現(xiàn)=維 漂移補償。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 為克服現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明旨在提供一種樣品漂移主動補償方法及裝置，提 高測量系統(tǒng)對樣品漂移的補償速度和精度，并實現(xiàn)=維尺度上的漂移補償。為此，本發(fā)明采 取的技術方案是，基于數(shù)字全息的樣品漂移主動補償裝置，包括；激光器，衰減器，特殊載玻 片，S維納米移動平臺，物鏡，二維高速光電檢測器，處理系統(tǒng)，反饋系統(tǒng)，移動平臺控制臺， 虛線處的平面為全息圖平面；
[0006] 由激光器生成單色連續(xù)激光，用于系統(tǒng)的照明光源；
[0007] 衰減器用于調(diào)節(jié)激光器發(fā)出的照明激光的光強；
[000引特殊載玻片固著于=維納米移動平臺上，用于承載樣品并且附著或刻蝕微球；
[0009] =維納米移動平臺通過調(diào)節(jié)位置用于主動補償樣品的漂移；
[0010] 物鏡用于成像，使二維高速光電檢測器獲取全息圖；
[0011] 二維高速光電檢測器為CMOS或高速CCD，用于快速獲取微球位相圖的位置和位相 的變化；
[0012] 處理系統(tǒng)根據(jù)二維高速光電檢測器提供的微球位相圖，通過全息圖的數(shù)值重構(gòu)或 利用衍射圖樣相關性匹配方式確定微球的位移量，從而得到樣品的漂移量，向反饋系統(tǒng)提 供信號確定其反饋量；
[0013] 反饋系統(tǒng)根據(jù)樣品的漂移量向移動平臺控制臺提供反饋信號；
[0014] 移動平臺控制臺接收反饋信號，根據(jù)反饋信號輸出電壓驅(qū)動位置調(diào)節(jié)進行納米級 的補償。
[0015] 用于附著的微球是直徑為0. 5-10 ym的微球；微球固定在S維納米移動平臺基底 上，微球的固定分為物理方法和生物包被法兩種。物理方法是將微球烙融在玻璃基底上達 到固定的目的，生物包被法是在微球表面用鏈霉親和素包被，用氨基或者駿基基團對玻璃 基底進行修飾，通過化學鍵的作用將微球固定在玻璃基底上；
[0016] 直接刻蝕出微球：刻蝕的方式分為干法刻蝕和濕法刻蝕，濕法刻蝕主要通過腐蝕 液與=維納米移動平臺基底玻璃表面接觸形成一個娃酸鹽層，然后被研磨掉；干法刻蝕通 過刻蝕氣體或高速離子撞擊等方式破壞=維納米移動平臺基底二氧化娃表面從而實現(xiàn)刻 蝕效果。
[0017] 基于數(shù)字全息的樣品漂移主動補償裝置，包括；激光器，半透半反分光鏡，第一衰 減器，物鏡，=維納米移動平臺，第二衰減器，擴束裝置，分光棱鏡，光闊，二維高速光電檢測 器，處理系統(tǒng)，反饋系統(tǒng)，移動平臺控制臺；
[0018] 由激光器生成單色連續(xù)激光，用于系統(tǒng)的照明光源；
[0019] 半透半反分光鏡透過部分連續(xù)激光作為物光波，反射部分連續(xù)激光作為參考光 波；
[0020] 第一衰減器用于調(diào)節(jié)透過半透半反分光鏡的激光強度。
[0021] 物鏡用于將調(diào)節(jié)后的連續(xù)激光聚焦于樣品并反向收集樣品表面反射的物光波；
[0022] =維納米移動平臺上放置有待測樣品，通過調(diào)節(jié)位置用于主動補償樣品的漂移；
[0023] 第二衰減器用于調(diào)節(jié)半透半反分光鏡反射的激光強度，作為參考光波；
[0024] 擴束鏡由兩個透鏡組成，用于調(diào)整參考光波的信寬與經(jīng)物鏡反向收集的物光波信 寬相同；
[0025] 分光棱鏡用于將擴束后的參考光波與物光波合束；
[0026] 光闊用于遮擋透過分光棱鏡的參考光波；
[0027] 二維高速光電檢測器為CMOS或高速CCD，用于快速獲取微球位相圖的位置和位相 的變化；
[002引處理系統(tǒng)根據(jù)二維高速光電檢測器提供的微球位相圖，通過全息圖的數(shù)值重構(gòu)或 利用衍射圖樣相關性匹配等方式確定微球的位移量，從而得到樣品的漂移量，向反饋系統(tǒng) 提供信號確定其反饋量；
[0029] 反饋系統(tǒng)根據(jù)樣品的漂移量向移動平臺控制臺提供反饋信號；
[0030] 移動平臺控制臺接收反饋信號，根據(jù)反饋信號輸出電壓控制納米=維移動平臺進 行納米級的補償。
[0031] 基于數(shù)字全息的樣品漂移主動補償方法，利用前述裝置實現(xiàn)，具體步驟為；使單色 連續(xù)激光垂直入射粒子場，被微球衍射的光波作為物光波，未被微球衍射的光波作為參考 光波；該兩束光波在二維高速光電檢測器平面上干設形成粒子場的全息圖，記錄在二維高 速光電檢測器上，由于微球是規(guī)則的，且其全息圖是規(guī)則的圓環(huán)，因此對微球的平面位移測 量根據(jù)對一系列全息圖中圓屯、進行跟蹤測量得到；確定圓屯、的位置就得到每個微球在平面 位置上的分布'根據(jù)每個微球位置的偏移量可確定樣品的漂移量，樣品的平面漂移量可由 下式確定：
【