集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)的方法及其接口轉(zhuǎn)換裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種校準(zhǔn)方法，特別涉及一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)的方法及其接口轉(zhuǎn)換裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道校準(zhǔn)主要采用矩陣切換儀器進(jìn)行中間連接和映射的方式，將一通道或者多通道的校準(zhǔn)裝置連接到幾百幾千個(gè)通道的集成電路測(cè)試系統(tǒng)的每個(gè)通道，并對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)裝置包含的一個(gè)或者多個(gè)通道的校準(zhǔn)單元可以通過切換連接到集成電路測(cè)試系統(tǒng)的任意一個(gè)通道上。但是隨著集成電路管腳規(guī)模的快速發(fā)展，集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道規(guī)模越來越大，現(xiàn)有的矩陣切換儀器遠(yuǎn)不能滿足對(duì)大規(guī)模集成電路測(cè)試系統(tǒng)的校準(zhǔn)，目前也沒有一款能夠完全滿足集成電路測(cè)試系統(tǒng)上千個(gè)通道的校準(zhǔn)切換的儀表。同時(shí)大規(guī)模的切換矩陣和模塊切換路徑長(zhǎng)，抗干擾能力差，不利于現(xiàn)有的集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)工作。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，有必要提供一種能夠?qū)Υ笠?guī)模集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)的方法及其接口轉(zhuǎn)換裝置。
[0004]一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)的方法，其特征在于，以集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)通道接口數(shù)為基準(zhǔn)，對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道接口按順序進(jìn)行分組劃分，使每一組測(cè)試通道接口的類型數(shù)及每種類型的通道接口數(shù)完全一致，同時(shí)，每一組測(cè)試通道接口的類型排布完全一致，所述校準(zhǔn)通道接口依次對(duì)每一組測(cè)試通道接口進(jìn)行校準(zhǔn)，直至所有測(cè)試通道接口都校準(zhǔn)完成。
[0005]優(yōu)選的，所述每一組測(cè)試通道接口中的信號(hào)通道接口和信號(hào)地通道接口呈交叉排布。
[0006]優(yōu)選的，以集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的通道接口的尺寸及排布為標(biāo)準(zhǔn)，使集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道接口與集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的通道接口一致。
[0007]優(yōu)選的，以集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的通道接口的尺寸及排布為標(biāo)準(zhǔn)，采用接口轉(zhuǎn)換裝置使集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道接口與集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的通道接口一致。
[0008]一種接口轉(zhuǎn)換裝置，用于實(shí)現(xiàn)集成電路測(cè)試系統(tǒng)與集成電路測(cè)試系統(tǒng)的校正裝置之間的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)，包括與集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的通道接口對(duì)應(yīng)設(shè)置的彈簧針，和通過與所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道接口對(duì)應(yīng)設(shè)置的對(duì)接通道接口組，所述彈簧針與所述對(duì)接通道接口組一一對(duì)應(yīng)，且所述對(duì)接通道接口組以彈簧針的針數(shù)為基準(zhǔn)按順序進(jìn)行分組，每一排對(duì)接通道接口組所對(duì)應(yīng)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)通道接口的類型數(shù)、每種類型的通道接口數(shù)、通道接口的類型排布均完全一致。
[0009]優(yōu)選的，所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)通過一信號(hào)接口轉(zhuǎn)換集成電路板將所述測(cè)試通道接口進(jìn)行分組，使每一排對(duì)接通道接口組所對(duì)應(yīng)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)通道接口的類型數(shù)、每種類型的通道接口數(shù)、通道接口的類型排布均完全一致。
[0010]優(yōu)選的，所述每一組對(duì)接通道接口組所對(duì)應(yīng)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)的信號(hào)通道接口和信號(hào)地通道接口呈交叉排布。
[0011]優(yōu)選的，所述每一組對(duì)接通道接口組以彈簧針的尺寸及排布為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置。
[0012]優(yōu)選的，所述對(duì)接通道接口組旋轉(zhuǎn)對(duì)稱分布排列。
[0013]優(yōu)選的，所述彈簧針和對(duì)接通道接口組對(duì)應(yīng)矩陣排列。
[0014]本發(fā)明提供一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)的方法，通過利用集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道冗余特性，以集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)通道接口數(shù)為基準(zhǔn)，對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道接口按順序進(jìn)行分組劃分，使組間的通道接口類型數(shù)及每種類型的通道接口數(shù)完全一致，組間的通道接口類型排布完全一致。通過對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道接口按組劃分，并分組校準(zhǔn)，達(dá)到對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)上千個(gè)通道校準(zhǔn)的準(zhǔn)確切換，且縮短了大規(guī)模的切換矩陣和模塊切換路徑，提高了抗干擾的能力。
[0015]一種接口轉(zhuǎn)換裝置，用于實(shí)現(xiàn)集成電路測(cè)試系統(tǒng)與集成電路測(cè)試系統(tǒng)的校正裝置之間的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)，按照上述方法將集成電路測(cè)試系統(tǒng)的通道接口和集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置的通道接口分別對(duì)應(yīng)連接到彈簧針組和對(duì)接通道接口組中，同時(shí)根據(jù)彈簧針組的接口數(shù)為基準(zhǔn)，對(duì)對(duì)接通道接口組進(jìn)行分組，并呈圓周狀排布，使對(duì)接通道接口組的任一排通道接口通過繞固定的點(diǎn)旋轉(zhuǎn)360° /N(N為組數(shù))角度后可以完整的和彈簧針組對(duì)接，使在不改變?cè)械某绦蚣芭渲玫那闆r下完成對(duì)各組測(cè)試通道接口的校準(zhǔn)，同時(shí)組間完全一致的校準(zhǔn)通道接口和信號(hào)回路狀態(tài)保證了校準(zhǔn)結(jié)果的一致性，避免了矩陣切換方式噪聲及誤差較大、信號(hào)回路較長(zhǎng)等帶來的校準(zhǔn)誤差。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明所述的集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)的方法的流程圖；
[0017]圖2是本發(fā)明所述接口轉(zhuǎn)換裝置的框圖；
[0018]圖3是本發(fā)明所述接口轉(zhuǎn)換裝置中彈簧針的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4是圖3中彈簧針安裝在彈簧針座上的剖視示意圖；
[0020]圖5是本發(fā)明所述接口轉(zhuǎn)換裝置中對(duì)接通道組的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6是本發(fā)明所述接口轉(zhuǎn)換裝置中另一種對(duì)接通道組的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0023]如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供一種集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)的方法，通過利用集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的多通道冗余特性，以集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10的通道接口數(shù)為基準(zhǔn)，對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的通道接口按順序進(jìn)行分組劃分，使每一組通道接口的類型數(shù)及每種類型的通道接口數(shù)完全一致，同時(shí)，每一組通道接口的類型排布完全一致。
[0024]如圖1所示，所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10依次對(duì)每一組測(cè)試通道接口進(jìn)行校準(zhǔn)，直至所有集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的通道接口都校準(zhǔn)完成。通過對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的通道接口按組劃分，并分組校準(zhǔn)，達(dá)到對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的上千個(gè)通道接口的校準(zhǔn)的準(zhǔn)確切換，且縮短了大規(guī)模的切換矩陣和模塊切換路徑，提高了抗干擾的能力。具體的，以集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10接口的尺寸及排布為標(biāo)準(zhǔn)，使集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的測(cè)試通道接口的尺寸及排布與集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10的接口一致。
[0025]同時(shí)，由于信號(hào)電路中的地線上具有電感因而增加了地線阻抗，同時(shí)各地線之間容易產(chǎn)生電感耦合，因此為了使每組通道接口具有更好的校準(zhǔn)性能，將所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的信號(hào)通道接口和信號(hào)地通道接口呈交叉排布，使每個(gè)通道信號(hào)都具有較近的信號(hào)回路。
[0026]如圖2所示，為實(shí)施本發(fā)明所述的集成電路測(cè)試系統(tǒng)的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)的方法，本發(fā)明還提供一種接口轉(zhuǎn)換裝置，用于實(shí)現(xiàn)集成電路測(cè)試系統(tǒng)與集成電路測(cè)試系統(tǒng)的校正裝置之間的多通道對(duì)稱校準(zhǔn)，所述接口轉(zhuǎn)換裝置包括與集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10的接口對(duì)應(yīng)設(shè)置的彈簧針組40，和與所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的通道接口對(duì)應(yīng)設(shè)置的對(duì)接通道接口組50，所述彈簧針與所述對(duì)接通道接口一一對(duì)應(yīng)，所述對(duì)接通道接口以彈簧針的針數(shù)為基準(zhǔn)，按順序進(jìn)行分組劃分，每一排對(duì)接通道接口所對(duì)應(yīng)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的通道接口的類型數(shù)、每種類型的通道接口數(shù)、通道接口的類型排布均完全一致。具體的，以彈簧針的尺寸、及所對(duì)應(yīng)的校準(zhǔn)接口的排布為標(biāo)準(zhǔn)，使每一排對(duì)接通道接口的尺寸、及所對(duì)應(yīng)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的測(cè)試通道接口的排布與校準(zhǔn)接口一致。同時(shí)，所述每一排對(duì)接通道接口中所對(duì)應(yīng)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的信號(hào)通道接口和信號(hào)地通道接口呈交叉排布，使每個(gè)通道信號(hào)都具有較近的信號(hào)回路。
[0027]具體的，本發(fā)明以對(duì)256個(gè)待校準(zhǔn)的通道接口的集成電路測(cè)試系統(tǒng)20和具有16個(gè)校準(zhǔn)通道接口的集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10為例進(jìn)行說明，該發(fā)明并不僅限于特定通道接口數(shù)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)以及特定通道接口數(shù)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置。
[0028]所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10的通道接口按照2X16的規(guī)格矩形排布，同時(shí)，以該集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10的通道接口數(shù)為基準(zhǔn)，將待校準(zhǔn)的集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的通道接口分成16組，每組16個(gè)通道接口，且每一組內(nèi)的排布間隔為2.54mm，按照2X16的規(guī)格形成矩形排布。且每一組通道接口的類型數(shù)及每種類型的通道接口數(shù)完全一致，每一組通道接口的類型排布完全一致，達(dá)到集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10恰好能對(duì)集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的單組通道接口進(jìn)行校準(zhǔn)的目的，其中，所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的信號(hào)通道接口和信號(hào)地通道接口呈交叉排布。具體的，所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的16個(gè)組通道接口呈旋轉(zhuǎn)對(duì)稱分布排列，每一組的組間角度為22.5°。
[0029]所述集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10的通道接口與集成電路測(cè)試系統(tǒng)20的通道接口通過一接口轉(zhuǎn)換裝置連接，所述接口轉(zhuǎn)換裝置包括一信號(hào)接口轉(zhuǎn)換集成電路板30、一彈簧針組40和一對(duì)接通道接口組50，如圖3和圖4所示，所述彈簧針組40包括彈簧針41和彈簧針座42，所述彈簧針41安裝于彈簧針座42中，所述彈簧針組40中的每個(gè)彈簧針41一一對(duì)應(yīng)連接集成電路測(cè)試系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置10的校準(zhǔn)通道接口，所述校準(zhǔn)