專利名稱：光學(xué)元件及用它的射線檢測器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)元件及用它的射線檢測器，特別是涉及有大面積的受光部的射線檢測器和用于它的光學(xué)元件。
背景技術(shù)：
在醫(yī)療、工業(yè)等領(lǐng)域中，迅速而高精度地對射線圖像進行檢測、攝像的射線檢測器的必要性正在增加。例如備有把射線圖像變換成光圖像的閃爍器、對這種光圖像攝像的攝像元件、以及把從閃爍器所輸出的光圖像引導(dǎo)到攝像元件的導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件的射線檢測器是公知的。
此外，作為上述導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件往往用相互平行地配置幾百萬根/cm2的光纖一體成形的光學(xué)構(gòu)件。因為這種光學(xué)構(gòu)件可以在高分辨率狀態(tài)下把入射到其入射端面的光圖像傳送到其出射端面，從出射端面出射的緣故。
進而，作為加大受光面，能夠進行比較寬范圍的射線圖像的檢測、攝像的射線檢測器，已公知有例如特開平7-211877號公報中所公開的射線檢測器。這種射線檢測器構(gòu)成為把多個在有相互正交的入射端面和出射端面的上述光學(xué)構(gòu)件的入射端面上設(shè)閃爍器、在出射端面上設(shè)攝像元件的射線檢測單元進行排列。
但是，在上述射線檢測器中，存在著以下所示的問題。也就是說，上述射線檢測器因為有必要把包含特殊形狀(三棱柱形狀)的上述光學(xué)構(gòu)件的多個射線檢測單元排列成其受光面配置在同一平面上，故把受光面大面積化是不容易的。此外，因為攝像元件的配置上的制約等所以受光面的大面積化方面有限制，不能實現(xiàn)滿足從醫(yī)療、工業(yè)等用途的要求的足夠的大面積化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種可以容易而且足夠地加大受光面的光學(xué)元件和射線檢測器。
為了解決上述課題，本發(fā)明的光學(xué)元件的特征在于，具有多個相互平行地配置多個光纖一體成形并有相互大體上平行的入射端面和出射端面的平板形光學(xué)構(gòu)件，上述光學(xué)構(gòu)件排列成上述入射端面分別大體上配置在同一平面上，相互鄰接的上述光學(xué)構(gòu)件的側(cè)面分別由粘接劑粘接，在通過粘接上述側(cè)面而一體化的上述入射端面上，堆積著伴隨射線的入射而發(fā)光的閃爍器。此外，本發(fā)明的射線檢測器的特征在于，包括上述光學(xué)元件、和對從上述光學(xué)構(gòu)件的上述出射端面所輸出的光圖像進行攝像的攝像元件。
在把多個上述光學(xué)構(gòu)件排列成入射端面大體上配置在同一平面上，由粘接劑粘接相互鄰接的光學(xué)構(gòu)件的側(cè)面，使之一體化的上述入射端面上生長閃爍器，由此可以容易而且足夠地加大射線檢測器的受光面。
附圖簡述

圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施例的射線檢測器的透視圖。
圖2是沿圖1的I-I線的局部放大剖視圖。
圖3是根據(jù)本發(fā)明的實施例的光學(xué)元件的透視圖。
最佳實施方式下面基于附圖對根據(jù)本發(fā)明的實施例的射線檢測器進行說明。此外，各附圖中的尺寸、形狀不一定與實物相同，有的部分為了容易理解而放大了。
首先，對根據(jù)本實施例的射線檢測器的構(gòu)成進行說明。圖1是根據(jù)本實施例的射線檢測器的透視圖，圖2是沿圖1的I-I線的局部放大剖視圖。再者，本發(fā)明的光學(xué)元件包含在根據(jù)本實施例的射線檢測器中，如果從根據(jù)本實施例的射線檢測器分離表示則成為圖3中所示。
根據(jù)本實施例的射線檢測器10，構(gòu)成為包括排列成入射端面12a、14a、16a大體上配置在同一平面上的三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16；在光學(xué)構(gòu)件12、14、16的入射端面12a、14a、16a上生長的閃爍器18；對從光學(xué)構(gòu)件12、14、16的出射端面12b、14b、16b所輸出的光圖像進行攝像的多個CCD 20(攝像元件)；以及把從光學(xué)構(gòu)件12、14、16的出射端面12b、14b、16b所輸出的光圖像引導(dǎo)到CCD 20的多個導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22。下面詳細地進行說明。
因為光學(xué)構(gòu)件12、14、16分別有同樣的形狀，故下面僅就光學(xué)構(gòu)件12進行說明。光學(xué)構(gòu)件12相互平行地配置幾百萬根/cm2的光纖(直徑約6μm左右)一體成形而構(gòu)成，有與該光纖的軸幾乎垂直地交叉并且相互大體上平行的入射端面12a和出射端面12b。也就是說，入射到入射端面12a的光圖像在構(gòu)成光學(xué)構(gòu)件12的上述各光纖內(nèi)傳播，從出射端面12b輸出。
光學(xué)構(gòu)件12的入射端面12a和出射端面12b為短邊63mm左右，長邊270mm左右的長方形，入射端面12a與出射端面12b的間隔為4mm左右。因而，光學(xué)構(gòu)件12是有63mm×270mm左右的長方形底面，厚度4mm左右的平板形狀。
三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16排列成入射端面12a、14a、16a幾乎配置在同一平面上。更具體地說，排列成光學(xué)構(gòu)件12、14、16的長邊側(cè)的側(cè)面12c、14c、16c相互鄰接。
三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16的相互鄰接的側(cè)面12c、14c、16c由粘接劑24粘接、固定。這里，作為粘接劑24，采用能夠吸收在閃爍器18內(nèi)產(chǎn)生進入射到粘接劑24的光的粘接劑，特別是，最好是用能夠吸收在閃爍器18內(nèi)產(chǎn)生并入射到粘接劑24的光中的50％以上的粘接劑。如果舉出這種粘接劑24之一例，可以用EPOXYTECHNOLOGY公司制的EPO-TEK353ND(商品名)。
如上所述，通過排列三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16，把入射端面12a、14a、16q一體化成為可能。更具體地說，排列、粘接三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16，研磨其外周面，由此基本上形成186mm×248mm左右的大面積的入射端面。這里，雖然也考慮通過一體成形大量的光纖，從一開始就形成具有大面積的入射端面的光學(xué)構(gòu)件，但是因為隨著一體成形的光學(xué)構(gòu)件的入射端面的加大，其均質(zhì)性的控制變得困難，所以如上所述把具有面積比較小的入射端面的光學(xué)構(gòu)件排列多個而形成大面積的入射端面的方法是極其實際而經(jīng)濟的。
此外，因為在三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16的相互鄰接的側(cè)面12c、14c、16c間注入粘接劑24，故這種粘接劑24所注入的部分作為不能把光圖像從入射端面?zhèn)葌鞑サ匠錾涠嗣鎮(zhèn)鹊乃揽臻g起作用。因而，三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16的相互鄰接的側(cè)面12c、14c、16c的間隔，也就是粘接劑24所注入的區(qū)域的寬度宜盡可能窄。在根據(jù)本實施例的射線檢測器10中，比較考慮因粘接劑24的注入而產(chǎn)生的死空間的寬度與粘接劑24的粘接能力，三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16的相互鄰接的側(cè)面12c、14c、16c的間隔，也就是粘接劑24所注入的區(qū)域的寬度取為10～15μm。此外，三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16的側(cè)面12c、14c、16c當(dāng)中相互不鄰接的側(cè)面12c、14c、16c，也就是露在外部的側(cè)面上，通過涂布來形成透光率低于50％的遮光材料25(圖1(圖3也同樣)中局部剖切地示出)。
通過排列三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16而一體化的入射端面12a、14a、16a上，通過氣相生長來形成隨著X射線等射線的入射而發(fā)出可見光的閃爍器18。閃爍器18由CsI構(gòu)成并且形成為從入射端面12a、14a、16a沿大體上垂直方向延伸600μm左右的柱狀構(gòu)造體的排列。
此外，在閃爍器18上，形成機械上保護閃爍器18并且防止形成閃爍器18的CsI潮解的保護膜26。保護膜26為在閃爍器18上依次層積第1層28(耐濕保護層)、第2層30、第3層32的三層結(jié)構(gòu)。更詳細地說，保護膜26不僅在閃爍器18上，而且形成為覆蓋到閃爍器18的側(cè)面和光學(xué)構(gòu)件12、14、16的側(cè)面12c、14c、16c。
第1層28由聚對二甲苯樹脂組成，形成為接觸于閃爍器18。更具體地說，填滿CsI的柱狀構(gòu)造體的間隙，并且從該柱狀構(gòu)造體的最頂部再生長10μm左右而形成。作為這種聚對二甲苯樹脂，存在著スリボンド公司制的パリレン(商品名)等。聚對二甲苯樹脂具有除了水蒸氣和氣體透過極少，憎水性、耐藥品性也很高之外，即使是薄膜也有優(yōu)良的電氣絕緣性，對射線、可見光是透明的等與保護閃爍器18相稱的優(yōu)良特征。
關(guān)于用聚對二甲苯的涂層的細節(jié)，在スリボンド技術(shù)新聞(1992年4年9月23日發(fā)行)中述及，這里描述其特征。
聚對二甲苯可以與金屬的真空氣相沉積同樣地通過在真空中在支持體上蒸氣沉積的化學(xué)蒸氣沉積(CVD)法來涂層。這包括把作為原料的二對二甲苯單體熱分解，把生成物在甲苯、苯等有機溶劑中迅速冷卻而得到所謂二聚物的二對二甲苯的過程，把該二聚物熱分解，生成穩(wěn)定的自由基對二甲苯氣體的過程，以及使所產(chǎn)生的氣體在素材上吸附、聚合而聚合形成分子量約50萬的聚對二甲苯膜的過程。
在聚對二甲苯蒸氣沉積與金屬的真空蒸氣沉積中，有兩個最大的不同。首先，聚對二甲苯蒸氣沉積時的壓力，為比金屬真空蒸氣沉積時的0.001乇要高的0.1～0.2乇，而且，聚對二甲苯蒸氣沉積的適應(yīng)系數(shù)比金屬蒸氣沉積的適應(yīng)系數(shù)1要低兩個數(shù)量級至四個數(shù)量級。因此，在蒸氣沉積時，在單分子膜整個覆蓋被沉積物之后，在其上蒸氣沉積聚對二甲苯。因而，可以在沒有針孔的狀態(tài)下均一厚度地生成0.2μm厚度以上的薄膜，對在液狀下不可能維持的銳角部或棱邊部、微米級的狹窄間隙的涂層也是可能的。此外，涂層時不需要熱處理等，因為在接近于室溫的溫度下的涂層是可能的，故不發(fā)生伴隨固化的機械應(yīng)力或熱變形，涂層的穩(wěn)定性上也優(yōu)良。進而，對各種固體材料的涂層是可能的。
圖2的層30由Al組成，在第1層28上形成為具有0.25μm左右的厚度。Al因為具有透過射線，反射可見光的性質(zhì)，故可以防止在閃爍器18中發(fā)生的光漏到外部，可以提高射線檢測器10的靈敏度。
第3層32與第1層28同樣，由聚對二甲苯樹脂組成，在第2層30上具有10μm左右的厚度地形成。雖然形成第2層30的Al在空氣中容易腐蝕，但是第2層30夾在聚對二甲苯樹脂組成的第1層28和第3層32之間，由此保護該Al免遭腐蝕。
導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22與光學(xué)構(gòu)件12等同樣，也是相互平行地配置幾百萬根/cm2的光纖而一體成形地構(gòu)成，有與該光纖的軸交叉的入射端面22a和出射端面22b。但是，導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22具有出射端面22b小于入射端面22a的錐形形狀。因而，入射到入射端面22a的光圖像在構(gòu)成導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22的上述各光纖內(nèi)傳播、縮小，從出射端面22b輸出。
各個導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22的入射端面22a與光學(xué)構(gòu)件12、14、16的出射端面12b、14b、16b接觸。這里，各個導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22也可以并不分別對應(yīng)于光學(xué)構(gòu)件12、14、16的出射端面12b、14b、16b地設(shè)置，也可以設(shè)置在把通過排列三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16而一體化的出射端面12b、14b、16b任意分割的每個區(qū)域上。在根據(jù)本實施例的射線檢測器10中，把通過排列三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16而一體化的出射端面12b、14b、16b分割成縱向三個，橫向四個，合計12個區(qū)域，在各區(qū)域中設(shè)有一個導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22。因而，成為設(shè)有合計12個導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22。
在各個導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22的出射端面22b上，連接著CCD 20。因而，根據(jù)本實施例的射線檢測器10備有12個CCD 20。
接下來，就根據(jù)本實施例的射線檢測器的作用和效果進行說明。射線圖像一入射到閃爍器18，通過CsI的射線-可見光變換作用，就在閃爍器18的內(nèi)部生成相當(dāng)于入射的射線圖像的可見光圖像(以下稱為光圖像)。
在閃爍器18的內(nèi)部所生成的光圖像從光學(xué)構(gòu)件12、14、16的入射端面12a、14a、16a入射到其內(nèi)部，在該光學(xué)構(gòu)件12、14、16內(nèi)傳播并從其出射端面12b、14b、16b出射。
從光學(xué)構(gòu)件12、14、16的出射端面12b、14b、16b所出射的光圖像被分割成多個部分(在本實施例中是12個部分)，分別入射到配置在對應(yīng)的位置上的導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22的入射端面22a。
入射到導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22的入射端面22a的、分割了的光圖像，通過導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22的作用分別被縮小，從導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22的出射端面22b出射，被連接于各個導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22的出射端面22b的CCD 20攝像。然后，通過圖像處理等對由各個CCD 20所攝像的攝像圖像進行再配置，由此得到入射的射線圖像的攝像圖像成為可能。
這里，根據(jù)本實施例的射線檢測器10，把三個光學(xué)構(gòu)件12、14、16排列成使它們的入射端面12a、14a、16a大體上配置在同一平面上，用粘接劑24把它們的鄰接的側(cè)面12c、14c、16c粘接固定，由此容易地把入射端面12a、14a、16a一體化，使得到大面積的受光面成為可能。結(jié)果，對范圍極廣的射線圖像進行攝像成為可能。
此外，根據(jù)本實施例的射線檢測器10，與在各個光學(xué)構(gòu)件上形成閃爍器然后進行排列者不同，在通過排列而一體化的入射端面12a、14a、16a上生長閃爍器18。因而，可把起因于構(gòu)成閃爍器的CsI的生長不均一等而在光學(xué)構(gòu)件的邊緣形成的死空間的產(chǎn)生抑制到最小限度。也就是說，在各個光學(xué)構(gòu)件上形成閃爍器然后進行排列者，因為在各個光學(xué)構(gòu)件的邊緣產(chǎn)生上述死空間，故在排列這種光學(xué)構(gòu)件的場合，在其受光面上產(chǎn)生格子狀的死空間。與此相反，像根據(jù)本實施例的射線檢測器10這樣，在通過排列而一體化的入射端面12a、14a、16a上生長閃爍器18的場合，僅在一體化了的受光面的最外部邊緣上產(chǎn)生死空間，不產(chǎn)生格子狀的死空間。結(jié)果，可大大減小死空間。
此外，在根據(jù)本實施例的射線檢測器10中，粘接劑24具有吸收伴隨射線的入射在閃爍器18內(nèi)產(chǎn)生并入射到該粘接劑24的光的特性，特別是吸收伴隨射線的入射在閃爍器18內(nèi)產(chǎn)生并入射到該粘接劑24的光的50％以上的特性。雖然構(gòu)成光學(xué)構(gòu)件12、14、16的光纖往往排列成幾乎垂直于其入射端面12a、14a、16a，但是未必完全垂直，也有時光纖的芯子在側(cè)面12c、14c、16c上露出，也有時光從該側(cè)面12c、14c、16c泄漏。這種漏光對于攝像圖像成為噪聲，成為使射線檢測器10的信噪比降低的原因。這里，在根據(jù)本實施例的射線檢測器10中，粘接劑24吸收從光學(xué)構(gòu)件12、14、16的側(cè)面12c、14c、16c泄漏的漏光，由此使信噪比提高成為可能。此外，這種粘接劑24往往是有色的，制造時次品的目測檢查變得容易。
此外，根據(jù)本實施例的射線檢測器10，把相互鄰接的光學(xué)構(gòu)件12、14、16的間隔取為10～15μm。粘接劑24插入了的相互鄰接的光學(xué)構(gòu)件12、14、16的間隙作為不能從入射端面?zhèn)认虺錾涠嗣鎮(zhèn)葌鞑ス鈭D像的死空間而起作用。此外，插入相互鄰接的光學(xué)構(gòu)件12、14、16的間隙的粘接劑24從光學(xué)構(gòu)件12、14、16的入射端面12a、14a、16a觀看往往成為凹形。有時這種凹形的發(fā)生引起閃爍器18無法均一地堆積，雜質(zhì)混入凹部成為引起閃爍器18剝離的原因。進而，由于粘接劑24的間隔越寬，則凹部的深度越大，所以更容易發(fā)生剝離。因而，相互鄰接的光學(xué)構(gòu)件12、14、16的間隔最好是盡可能狹窄。
表1示出在使光學(xué)構(gòu)件12、14、16的間隔(表中單稱間隔)變化的場合，不發(fā)生閃爍器18的剝離的比率，也就是合格產(chǎn)品比率。
表1

從表1可以看出，通過把光學(xué)構(gòu)件12、14、16的間隔取為50μm以下，得到67％以上的合格產(chǎn)品比率成為可能，進而通過取為20μm以下，可得到幾乎100％的合格產(chǎn)品比率。
這里，根據(jù)本實施例的射線檢測器10，光學(xué)構(gòu)件12、14、16的間隔取為10～15μm。因而，在相互鄰接的光學(xué)構(gòu)件12、14、16之間產(chǎn)生的死空間的寬度大大減小到20～30μm，并且可以防止閃爍器18的剝離。
此外，根據(jù)本實施例的射線檢測器10，在閃爍器18上設(shè)有層積由聚對二甲苯樹脂組成的第1層28、由Al組成的第2層30、由聚對二甲苯樹脂組成的第3層32而成的保護膜26。這里，由聚對二甲苯樹脂組成的第1層28通過排除水蒸氣等來防止構(gòu)成閃爍器18的CsI的潮解，把閃爍器18的射線-光變換特性維持良好。此外，由Al組成的第2層30把伴隨射線的入射而在閃爍器18內(nèi)產(chǎn)生的光封閉在里面，使射線檢測器10的檢測靈敏度提高。此外，由聚對二甲苯樹脂組成的第3層32通過排除水蒸氣等來防止構(gòu)成第2層30的Al的腐蝕。
此外，根據(jù)本實施例的射線檢測器設(shè)置CCD 20，由此可有效地對入射到閃爍器18的射線圖像進行攝像。進而，備有導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件22，由此可把從光學(xué)構(gòu)件12、14、16的出射端面12b、14b、16b出射的光圖像高效地引導(dǎo)到CCD 20。
雖然在根據(jù)上述實施例的射線檢測器10中，用聚對二甲苯樹脂來形成構(gòu)成保護膜26的第1層28和第3層32，但是這些也可以用聚對氯代甲苯樹脂來形成。即使用聚對氯代甲苯樹脂來形成第1層28、第3層32，也能夠防止CsI的潮解、Al的腐蝕。這里，作為聚對氯代甲苯樹脂之一例，可以舉出スリボンド公司制的パリレン C(商品名)等。
此外，雖然在根據(jù)上述實施例的射線檢測器10中，用伴隨X射線的入射而產(chǎn)生可見光的閃爍器18，但并不僅限于此。例如，也可以是伴隨X射線的入射而產(chǎn)生紫外線的閃爍器。在此場合，可用在紫外線的波長范圍內(nèi)有靈敏度的攝像元件，對射線圖像進行攝像。
本發(fā)明的光學(xué)元件和射線檢測器，可以用于例如醫(yī)療用或工業(yè)用等領(lǐng)域中所用的需要大面積受光部的射線檢測器。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)元件，其特征在于，具有多個相互平行地配置多個光纖一體成形、并具有大體上相互平行的入射端面和出射端面的平板形光學(xué)構(gòu)件，前述光學(xué)構(gòu)件排列成前述入射端面大體上分別配置在同一平面上，相互鄰接的前述光學(xué)構(gòu)件的側(cè)面分別由粘接劑粘接，在通過粘接前述側(cè)面而一體化的前述入射端面上，堆積著伴隨射線的入射而發(fā)光的閃爍器。
2.權(quán)利要求1中所述的光學(xué)元件，其特征在于，其中前述閃爍器是通過氣相生長得到的。
3.權(quán)利要求2中所述的光學(xué)元件，其特征在于，其中前述閃爍器是由柱狀地生長的柱狀構(gòu)造體排列而成的。
4.權(quán)利要求1～3的任何一項中所述的光學(xué)元件，其特征在于，其中前述閃爍器是伴隨X射線的入射而產(chǎn)生可見光的閃爍器。
5.權(quán)利要求1～3的任何一項中所述的光學(xué)元件，其特征在于，其中前述閃爍器是伴隨X射線的入射而產(chǎn)生紫外線的閃爍器。
6.權(quán)利要求4或5中所述的光學(xué)元件，其特征在于，前述閃爍器構(gòu)成為包含CsI。
7.權(quán)利要求1～6的任何一項中所述的光學(xué)元件，其特征在于，前述粘接劑是吸收伴隨射線的入射而在前述閃爍器中產(chǎn)生的、并入射到該粘接劑的光的粘接劑。
8.權(quán)利要求7中所述的光學(xué)元件，其特征在于，前述粘接劑是吸收伴隨射線的入射而在前述閃爍器中產(chǎn)生的、并入射到該粘接劑的光的50％以上的粘接劑。
9.權(quán)利要求1～8的任何一項中所述的光學(xué)元件，其特征在于，在相互不鄰接的前述光學(xué)構(gòu)件的側(cè)面上形成有透光率低于50％的遮光材料。
10.權(quán)利要求1～9的任何一項中所述的光學(xué)元件，其特征在于，相互鄰接的前述光學(xué)構(gòu)件的間隔小于50μm。
11.權(quán)利要求10中所述的光學(xué)元件，其特征在于，相互鄰接的前述光學(xué)構(gòu)件的間隔小于20μm。
12.權(quán)利要求1～11的任何一項中所述的光學(xué)元件，其特征在于，在前述閃爍器上形成有保護膜。
13.權(quán)利要求12中所述的光學(xué)元件，其特征在于，前述保護膜形成為包含與前述閃爍器接觸地形成的由聚對二甲苯構(gòu)成的耐濕保護層。
14.權(quán)利要求12中所述的光學(xué)元件，其特征在于，其中前述保護膜形成為包含與前述閃爍器接觸地形成的由聚對氯代甲苯構(gòu)成的耐濕保護層。
15.一種射線檢測器，其特征在于包括，權(quán)利要求1～14的任何一項中所述的光學(xué)元件、和對從前述光學(xué)構(gòu)件的前述出射端面所輸出的光圖像進行攝像的攝像元件。
16.權(quán)利要求15中所述的射線檢測器，其特征在于，其中還包括把從前述光學(xué)構(gòu)件的前述出射端面所輸出的光圖像引導(dǎo)到前述攝像元件的導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件。
全文摘要
射線檢測器(10),具有:排列成其入射端面(12a、14a、16a)大體上配置在同一平面上的三個光學(xué)構(gòu)件(12、14、16);設(shè)置在光學(xué)構(gòu)件(12、14、16)的入射端面(12a、14a、16a)上的閃爍器(18);對從光學(xué)構(gòu)件(12、14、16)的出射端面(12b、14b、16b)所輸出的光圖像進行攝像的多個CCD(20);以及把從光學(xué)構(gòu)件(12、14、16)的出射端面(12b、14b、16b)所輸出的光圖像引導(dǎo)到CCD(20)的多個導(dǎo)光用光學(xué)構(gòu)件(22)。各光學(xué)構(gòu)件(12、14、16)由具有光吸收特性的粘接劑(24)粘接固定,其間隔為10～15μm。此外,在閃爍器(18)上設(shè)有保護膜(26)。
文檔編號G01T1/00GK1342268SQ98814386
公開日2002年3月27日 申請日期1998年12月14日 優(yōu)先權(quán)日1998年12月14日
發(fā)明者楠山泰, 野中克俊 申請人:浜松光子學(xué)株式會社