專利名稱：液體壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于壓力測量技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型的液體壓力傳感器。
在已有技術(shù)中，監(jiān)測機器設(shè)備中機油等液體的壓力，一般都是采用使機油等液體直接作用于壓力傳感器的傳感芯片的方法，但是機器設(shè)備中機油等液體壓力的波動經(jīng)常會對傳感器的傳感芯片造成沖擊，使傳感器輸出的信號也隨之產(chǎn)生不必要的劇烈波動，而且芯片也容易過早疲勞損壞，縮短了傳感器的使用壽命。
本實用新型的目的就是克服上述現(xiàn)有技術(shù)之不足，提供一種輸出信號平穩(wěn)、使用壽命長的新型液體壓力傳感器。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的一種液體壓力傳感器，由傳感芯片1和放大電路構(gòu)成，其特征在于為傳感芯片1設(shè)置了一個緩沖腔體3，被測壓力通過該緩沖腔體作用于傳感芯片。
為了更好地實現(xiàn)本實用新型的目的，所述緩沖腔體3為前細后粗的臺形空腔。
為了更好地實現(xiàn)本實用新型的目的，為了更好地實現(xiàn)本實用新型的目的，所述緩沖腔體3為前后細、中間粗的臺形空腔。
為了更好地實現(xiàn)本實用新型的目的，所述緩沖腔體由一級緩沖腔4和二級緩沖腔3構(gòu)成。
為了更好地實現(xiàn)本實用新型的目的，所述傳感芯片前設(shè)置了一個帶有節(jié)流孔5的節(jié)流板2。
采用本實用新型的方案，由于液體壓力經(jīng)緩沖腔或節(jié)流板緩沖后才作用于傳感芯片，有效地避免了液體壓力波動對傳感芯片經(jīng)常性的疲勞沖擊，因而可大大延長傳感器的使用壽命，并且使輸出信號變得平穩(wěn)。
附

圖1是本實用新型一個實施例的原理圖。
參看附圖1，一級緩沖腔4為一圓柱形空腔，二級緩沖腔體3是一個前后細、中間粗的合形空腔，與放大電路(圖中未示出)連接的傳感芯片安裝在帶有節(jié)流孔5的節(jié)流板2的后面，可接收從節(jié)流孔5傳遞的液體壓力，產(chǎn)生變形位移信號，并通過放大電路輸出電信號。
權(quán)利要求1.一種液體壓力傳感器，由傳感芯片1和放大電路構(gòu)成，其特征在于為傳感芯片1設(shè)置了一個緩沖腔體3，被測壓力通過該緩沖腔體作用于傳感芯片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體壓力傳感器，其特征在于所述緩沖腔體3為前細后粗的臺形空腔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體壓力傳感器，其特征在于所述緩沖腔體3為前后細、中間粗的臺形空腔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體壓力傳感器，其特征在于所述緩沖腔體由一級緩沖腔4和二級緩沖腔3構(gòu)成。
5.一種液體壓力傳感器，由傳感芯片1和放大電路構(gòu)成，其特征在于所述傳感芯片前設(shè)置了一個帶有節(jié)流孔5的節(jié)流板2。
專利摘要本實用新型的液體壓力傳感器,由傳感芯片1和放大電路構(gòu)成,芯片1前設(shè)置了緩沖腔體3和帶有節(jié)流孔5的節(jié)流板2,被測壓力通過緩沖腔體3、節(jié)流板2作用于傳感芯片1。輸出信號平穩(wěn)、使用壽命長。
文檔編號G01L7/02GK2347153SQ9823660
公開日1999年11月3日 申請日期1998年2月9日 優(yōu)先權(quán)日1998年2月9日
發(fā)明者程麟源 申請人:程麟源