專利名稱：掃描游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及激光波長(zhǎng)測(cè)量和光譜分析裝置。
已有的標(biāo)準(zhǔn)具一般由兩塊平行放置的鍍膜玻璃平板(標(biāo)準(zhǔn)具工作鏡)構(gòu)成，平板間距為標(biāo)準(zhǔn)具常數(shù)。
為了方便測(cè)量激光波長(zhǎng)和作光譜分析，人們?cè)O(shè)計(jì)了兩種組合標(biāo)準(zhǔn)具1.單重游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具是由兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)具常數(shù)有微小差異的且公用一個(gè)工作鏡的標(biāo)準(zhǔn)具組合而成。單重游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具可以同時(shí)得到兩組相關(guān)聯(lián)的標(biāo)準(zhǔn)具干涉花紋，從而可以在一定的條件下精確測(cè)量激光波長(zhǎng)，或在一定的范圍內(nèi)作光譜分析。
2.多重游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具是由兩個(gè)以上標(biāo)準(zhǔn)具常數(shù)有微小差異且公用一個(gè)工作鏡的標(biāo)準(zhǔn)具組合而成。多重游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具可以同時(shí)得到多組相關(guān)聯(lián)的標(biāo)準(zhǔn)具干涉花紋，從而擴(kuò)展了游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具的應(yīng)用范圍，并能獨(dú)立構(gòu)成高精度的波長(zhǎng)計(jì)。
上述單重游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具和多重游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具都是靜態(tài)的，它們要求激光光源波長(zhǎng)連續(xù)掃描以得到相關(guān)聯(lián)的干涉花紋，它們對(duì)單線光源或多線光源無(wú)能為力。
本實(shí)用新型的目的，是提供一種可通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)具掃描，直接獲得干涉花紋的掃描游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具。
以下結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說(shuō)明。
附

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)圖；附圖2是本實(shí)用新型的標(biāo)準(zhǔn)具掃描底端面鏡的結(jié)構(gòu)圖。
圖中1、標(biāo)準(zhǔn)具掃描底端面鏡；2、標(biāo)準(zhǔn)具支架；3、上端面鏡；4、底端面鏡鏡座；5、壓電陶瓷環(huán)；6、壓電環(huán)驅(qū)動(dòng)電極；7、底端面鏡；8、底端面鏡鍍膜面。
本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)如附圖1所示，在標(biāo)準(zhǔn)具掃描底端面鏡(1)的鏡上工作面外沿膠合著中空的標(biāo)準(zhǔn)具支架(2)，該標(biāo)準(zhǔn)具支架(2)排列成圓筒形，在標(biāo)準(zhǔn)具支架(2)的上端膠合著上端面鏡(3)。
本實(shí)用新型的標(biāo)準(zhǔn)具掃描底端面鏡(1)的結(jié)構(gòu)如附圖2所示在中空?qǐng)A形底端面鏡鏡座(4)的內(nèi)側(cè)下部，膠合有環(huán)形壓電陶瓷環(huán)(5)，壓電陶瓷環(huán)(5)的內(nèi)、外側(cè)與壓電環(huán)驅(qū)動(dòng)電極(6)相連接；壓電陶瓷環(huán)(5)的上面與底端面鏡(7)膠合在一起，在底端面鏡(7)上面鍍有鍍膜面(8)。
本實(shí)用新型的底端面鏡(7)與底端面鏡鏡座(4)的內(nèi)側(cè)應(yīng)有一能保證底端面鏡(7)與壓電陶瓷環(huán)(5)能上下自由運(yùn)動(dòng)的間隙。
本實(shí)用新型的標(biāo)準(zhǔn)具支架可以是2～6個(gè)，上端面鏡是與之相應(yīng)的數(shù)目。
本實(shí)用新型工作時(shí)，將激光光束分為2～6束，通過(guò)底端面鏡(7)和標(biāo)準(zhǔn)具支架(2)從上端面鏡(3)出射光，壓電陶瓷環(huán)(5)驅(qū)動(dòng)底端面鏡(7)掃描，用光探測(cè)器能探測(cè)到2～6組隨時(shí)間變化的干涉花紋，因而可以利用標(biāo)準(zhǔn)具多重游標(biāo)原理導(dǎo)出激光波長(zhǎng)。如果激光器多線輸出，在一定條件下，可導(dǎo)出各譜線的位置和相對(duì)強(qiáng)度。
本實(shí)用新型變靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)具為掃描標(biāo)準(zhǔn)具，組成掃描游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具，這樣便可通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)具掃描直接獲得干涉花紋，克服了游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具對(duì)激光源掃描特性的依賴。
本實(shí)用新型新穎獨(dú)特的標(biāo)準(zhǔn)具掃描端面鏡的設(shè)計(jì)，非常有效地解決了平面掃描標(biāo)準(zhǔn)具難于加工和調(diào)節(jié)的問(wèn)題。
權(quán)利要求1.一種由工作鏡等組成的掃描游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具，其特征在于，在標(biāo)準(zhǔn)具掃描底端面鏡的鏡上工作面外沿膠有中空的標(biāo)準(zhǔn)具支架，在標(biāo)準(zhǔn)具支架的上端膠有上端面鏡。
2.如權(quán)利要求1所述的標(biāo)準(zhǔn)具，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)具掃描底端面鏡的結(jié)構(gòu)是在中空?qǐng)A形底端面鏡鏡座的內(nèi)側(cè)下部，膠有環(huán)形壓電陶瓷環(huán)，該壓電陶瓷環(huán)的內(nèi)、外側(cè)與壓電環(huán)驅(qū)動(dòng)電極相連接，在壓電陶瓷環(huán)的上面膠有底端面鏡，在底端面鏡的上面鍍有鍍膜面。
3.如權(quán)利要求1所述的標(biāo)準(zhǔn)具，其特征在于，所述的標(biāo)準(zhǔn)具支架是2～6個(gè)，上端面鏡是與之相應(yīng)的數(shù)目。
4.如權(quán)利要求1所述的標(biāo)準(zhǔn)具，其特征在于，所述底端面鏡與底端面鏡鏡座的內(nèi)側(cè)有一能保證底端面鏡與壓電陶瓷環(huán)上下自由運(yùn)動(dòng)的間隙。
專利摘要本實(shí)用新型掃描游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具是在標(biāo)準(zhǔn)具掃描底端面鏡的工作面的外沿膠合著中空的標(biāo)準(zhǔn)具支架,該標(biāo)準(zhǔn)具支架排列成圓筒形;在標(biāo)準(zhǔn)具支架的上端膠合著上端面鏡。本實(shí)用新型可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)具掃描直接獲得干涉花紋,克服了游標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)具對(duì)光源掃描特性的依賴。
文檔編號(hào)G01J3/45GK2293059SQ9720738
公開(kāi)日1998年9月30日 申請(qǐng)日期1997年3月15日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月15日
發(fā)明者陳紅兵, 高軍毅, 丁強(qiáng), 馬志軍, 成國(guó)勝, 姚生 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所