專利名稱：電子元件檢驗(yàn)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子元件的檢驗(yàn)。
當(dāng)半導(dǎo)體電子元件離開生產(chǎn)線時(shí)，這時(shí)它們?nèi)匀槐灰黄疬B接在一個(gè)晶片上和/或成為組件的狀態(tài)，組件包裝或沒包裝，很可能呈帶狀布置，半導(dǎo)體電子元件將由一臺(tái)檢驗(yàn)機(jī)進(jìn)行檢驗(yàn)。
檢驗(yàn)機(jī)包括分別布置的電極，以便與電子元件的導(dǎo)電區(qū)域(范圍)相接觸。通過機(jī)器的檢驗(yàn)裝置所配置的接口信號(hào)被加在這些電極上，并且被它們所接收。
這臺(tái)檢驗(yàn)機(jī)包括一套電子模塊和軟件程序，其通常的功能就是比較每個(gè)被測值與一個(gè)參考值或區(qū)間(或有效值范圍)；以便一般性的判定這個(gè)元件是完好的還是有缺陷的。更精確的判定，例如當(dāng)同樣元件被一起制造出來再按不同的容許偏差范圍來保證時(shí)可以做到。
更具體的說，軟件程序可能被裝入一個(gè)庫中，該庫中包括各種工具、一個(gè)常數(shù)、變量的定義以及尤其是對于參考間隔的數(shù)據(jù)表格(多元組)、為獲得測量的一系列元素的檢驗(yàn)以及它們與參考間隔的比較值，以及最后的判定機(jī)構(gòu)。
一系列的基本檢驗(yàn)被存儲(chǔ)在檢驗(yàn)裝置的存儲(chǔ)器中，并細(xì)分為由一個(gè)程序裝置管理的幾個(gè)步驟。因此每個(gè)檢驗(yàn)通常包括下列步驟a)根據(jù)所選定的基本檢驗(yàn)的性能配置接口。(這個(gè)步驟包括電極的選定，選擇的電信號(hào)必須加到電極上)b)當(dāng)施加用于基本檢驗(yàn)的電信號(hào)(或多個(gè)信號(hào))后需要等待一個(gè)與檢驗(yàn)相對應(yīng)的第一標(biāo)稱確定穩(wěn)定周期(或至少第一個(gè)穩(wěn)定周期中最長的周期)。
c)在指定的電極上，有選擇地接收由基本檢驗(yàn)指定的電測量值并表示元件對選定的電信號(hào)的響應(yīng)值。
d)如果需要，還要等待與基本檢驗(yàn)相對應(yīng)的一個(gè)第二個(gè)確定測量周期(或者至少是第二個(gè)測量周期中最長的一個(gè)周期)順便在檢驗(yàn)機(jī)上指示電量的測量值是穩(wěn)定的。
e)讀出由基本檢驗(yàn)指定的一個(gè)電量測量值或多個(gè)電量測量值，以及f)比較所測量的電量值和與基本檢驗(yàn)相對應(yīng)的有效值范圍。
這種方法，例如在文獻(xiàn)DE-A-3530 308中被描述過，由于進(jìn)行檢驗(yàn)操作的數(shù)量通常很大，由第一和可能第二等待階段(或周期)時(shí)間相加在一起的整個(gè)等待時(shí)間是很長的。(每個(gè)等待階段至少持續(xù)幾毫秒)這在不斷尋求更高生產(chǎn)率的工業(yè)生產(chǎn)中是個(gè)主要問題。
由于質(zhì)量一直比生產(chǎn)率更重要，事實(shí)上在一次檢驗(yàn)操作中每個(gè)初步等待階段的持續(xù)時(shí)間是確定在更高的一側(cè)，這使等待問題更進(jìn)一步惡化。因?yàn)檫@個(gè)預(yù)防措施使得它可能覆蓋兩批產(chǎn)品之間變化的全部范圍。
因此本發(fā)明的一個(gè)目的就是使在前言中敘述的這種類型的電子元件檢驗(yàn)機(jī)的等待階段的持續(xù)時(shí)間能夠減少。
為此，本發(fā)明提出了電子元件檢驗(yàn)的一種方法如下，其中在一個(gè)初始日期為這些元件的電極提供電壓。
在測量日期的測量值由建立在這些元件端子上的電壓值組成。
這些測量值和標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，以便根據(jù)該比較確定采用或者不采用這個(gè)元件。
其特征在于，對于比較結(jié)果，在初始學(xué)習(xí)階段對于驗(yàn)收的一批元件和一個(gè)給定的檢驗(yàn)確定在與這個(gè)初始日期后的一個(gè)標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間相對應(yīng)的一個(gè)標(biāo)稱日期的一個(gè)標(biāo)稱的測量值統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)(image)。
在至少一個(gè)標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間之前或之后對于這個(gè)檢收的批量確定一個(gè)測量值的中間統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)。
使用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，通過比較標(biāo)稱值和測量值的中間統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)，選擇在測量持續(xù)時(shí)間期間盡可能最早的中間日期。并且，選擇盡可能最早的中間日期作為檢驗(yàn)的測量日期。
在本發(fā)明中，等待持續(xù)時(shí)間是標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間，在其后電壓穩(wěn)定地加在元件的端子上。這個(gè)持續(xù)時(shí)間實(shí)際上在元件的技術(shù)說明書中指明。一個(gè)合格的元件，也稱一個(gè)要被接受的元件還是一個(gè)驗(yàn)收的元件。這類元件可能單獨(dú)被標(biāo)識(shí)，更一般地說，要被驗(yàn)收的元件實(shí)際上是它的特性是由對一組被視為分別合格的元件的統(tǒng)計(jì)測量結(jié)果?；蛘哒f，要被驗(yàn)收的元件的特性是對去掉了異常測量后的一組元件的統(tǒng)計(jì)測量得到的結(jié)果。
在本發(fā)明中，已經(jīng)學(xué)習(xí)到尋找最早日期的最好的方法在于在給定的測量日期在給定檢驗(yàn)的樣本上進(jìn)行的一項(xiàng)統(tǒng)計(jì)研究，并在于尋找一個(gè)與其它測量時(shí)間相容的統(tǒng)計(jì)分布。
因此，在一個(gè)最佳實(shí)施例中，對于一個(gè)給定的整體，即一個(gè)給定檢驗(yàn)的給定的樣品，在一個(gè)給定的測量日期進(jìn)行一項(xiàng)計(jì)算。首先計(jì)算測量值的平均值，參考M，然后計(jì)算測量的一個(gè)偏差，參考S(用于∑(sigma))。可以認(rèn)為可以選擇象中間值或者第一、第二、第三、第四分點(diǎn)的一個(gè)平均值，或者這些平均值或類似值中之間的差值這樣的其它統(tǒng)計(jì)元素。目前，應(yīng)該注意這些有用的元素將是平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差值。
那么對于同樣的樣品和對于這個(gè)檢驗(yàn)，而且對于另一個(gè)稱為中間日期的更早(或更遲)的檢驗(yàn)日期，要進(jìn)行具有同樣元素的測量，即要計(jì)算一個(gè)平均值M’和一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)偏差值S’。
而且定義了一個(gè)記為CP的判定標(biāo)準(zhǔn)。在一個(gè)例子中，這個(gè)判定標(biāo)準(zhǔn)CP等于極限的差值和S值之間的比值。在這個(gè)例子中，這個(gè)相限值的差值由制造商的容差To給定，并且CP=To/S。對于一個(gè)測量值希望是5伏的測量，其極限偏差值例如等于±0.5伏，在這種情況下，因此這個(gè)極限差值To=1伏。如果代替在測量點(diǎn)測量應(yīng)達(dá)到的值(例如5V)，而是測量一個(gè)測得值和一個(gè)應(yīng)達(dá)到的值的差值，所表示的結(jié)果則更精確。綜上所述，在這種情況下，所有不同的檢驗(yàn)都是相似的，因此相同的選擇方法可以被采用。
在本發(fā)明中，對于采用相同標(biāo)準(zhǔn)的稱為一個(gè)中間日期的另一個(gè)測量日期，進(jìn)行一項(xiàng)計(jì)算，例如CP’=To/S’。其制造容差保持相同，標(biāo)準(zhǔn)偏差已經(jīng)變化，根據(jù)本發(fā)明，對于一個(gè)給定的樣品結(jié)構(gòu)，已經(jīng)設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)偏差S’和此后的標(biāo)準(zhǔn)CP’，則取決于進(jìn)行測定的日期。在本發(fā)明中，我們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)如果回來及時(shí)標(biāo)準(zhǔn)偏差S’已增加。所有的變化就象在中間日期之后時(shí)間繼續(xù)消逝，然后則出現(xiàn)統(tǒng)計(jì)特性變窄的現(xiàn)象。所有的情況就象繼續(xù)向前的時(shí)間有使測量變平緩的影響。例如在一個(gè)早些日期T’里的一個(gè)不穩(wěn)定的輸出信號(hào)在一個(gè)持續(xù)的同T結(jié)束時(shí)變?yōu)橐粋€(gè)可接受的信號(hào)，持續(xù)時(shí)間T足夠長并且在任何情況下都比T’更長。
在這個(gè)基礎(chǔ)上，為了定義最早的日期T’，本發(fā)明的想法產(chǎn)生了，那就是一個(gè)選擇由時(shí)間T’組成，為此，標(biāo)準(zhǔn)CP’(或標(biāo)準(zhǔn)偏差S’)就是基本標(biāo)準(zhǔn)CP(或者基本標(biāo)準(zhǔn)偏差S)的一個(gè)給定比例。在一個(gè)例子中，這個(gè)給定比例是15、2％或甚至5％。
換言之，一批元件以預(yù)定義的等待階段被檢驗(yàn)。然后，在減少的第一個(gè)周期(預(yù)先獲得的穩(wěn)定階段)中，對于同一批元件進(jìn)行同樣的檢驗(yàn)。根據(jù)這個(gè)結(jié)果，或者在等待階段再次減少后在同一批的元件上繼續(xù)進(jìn)行檢驗(yàn)，或者是假定修正的周期足夠的小，以至于今后它們能作為一個(gè)新的周期被用于檢驗(yàn)或?qū)⒈粰z驗(yàn)的元件上。
在一個(gè)準(zhǔn)備階段里，作為一項(xiàng)改進(jìn)，一個(gè)截獲是由此后被稱為漸進(jìn)中間值，例如在一個(gè)端子上一個(gè)電壓的測量值的值組成。這個(gè)中間值被稱為遞增值，因?yàn)樵谶@個(gè)端子上的電壓在施加電信號(hào)期內(nèi)能由一個(gè)基礎(chǔ)值(一般基礎(chǔ)值是0V)升到一個(gè)穩(wěn)定值(一般是Vcc甚至是Vcc/2)。然而測量值可以是一個(gè)電壓或電流測量值(以DC或AC兩種電壓或電流情況)，一個(gè)頻率值，一個(gè)被測溫度和一個(gè)計(jì)算的結(jié)果或其它任何值。這個(gè)電壓的遞增是重復(fù)的。它的時(shí)序總是相同的，在標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間結(jié)束之前，在該中間日期的一個(gè)遞增值被獲取，這個(gè)漸進(jìn)值可以等于它自己的穩(wěn)定值，在這種情況下，被設(shè)定的標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間被簡單地確定在極限上。然后而這個(gè)漸進(jìn)值與穩(wěn)定值可以是不同的(通常更低)。由于這種現(xiàn)象的重復(fù)特性，對于一個(gè)元件，時(shí)序必然是相同的。
在這種情況下，在本發(fā)明中，由標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間和標(biāo)準(zhǔn)值形成的一對值將由中間值和漸進(jìn)值或中間標(biāo)準(zhǔn)值形成的一對值所代替。在要被檢驗(yàn)的元件上，檢驗(yàn)在于在中間日期對一個(gè)電壓值進(jìn)行早期測量，并在于將這個(gè)早期測量值與在一個(gè)合格元件上選定的中間遞增標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較。
許多電壓或其它要被檢驗(yàn)的電量是增加的值時(shí)，有一個(gè)從0V到Vcc的過程，而其它的電壓或其它的電量是減少的。然而，相同的原理仍能應(yīng)用于遭受這些電壓的端子上。
此外，在本發(fā)明中發(fā)現(xiàn)兩個(gè)現(xiàn)象。第一個(gè)現(xiàn)象是延遲測量現(xiàn)象。第二個(gè)現(xiàn)象是一個(gè)波動(dòng)現(xiàn)象。關(guān)于遲測現(xiàn)象，已經(jīng)認(rèn)識(shí)到制造商寫的說明有時(shí)導(dǎo)致選擇非常短的標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間。在本發(fā)明里，替換測量時(shí)間的想法已經(jīng)產(chǎn)生，測量時(shí)間不再是標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間結(jié)束以前的一段時(shí)間，而是之后的一段時(shí)間。因此不希望地發(fā)現(xiàn)，許多由于根據(jù)說明確定的錯(cuò)誤檢驗(yàn)為廢棄的元件應(yīng)看做是完好的，因?yàn)樵跇?biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間之后(具有一個(gè)允許的延遲)測量的電位達(dá)到了希望的穩(wěn)定值。在這種情況下，與現(xiàn)有技術(shù)不同，延長了檢驗(yàn)持續(xù)時(shí)間，增加了輸出(每小時(shí)合格元件的數(shù)量)因此更多的元件最終被驗(yàn)收。
根據(jù)本發(fā)明，由電子檢驗(yàn)信號(hào)應(yīng)用的日期和標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間的結(jié)束時(shí)間之間的測量日期獲得的一個(gè)變量的這個(gè)事實(shí)，自然導(dǎo)致在檢驗(yàn)的端子上電壓建立的時(shí)序記錄。在本發(fā)明以前這個(gè)時(shí)序?qū)τ谥圃焐淌且患匾男畔①Y料，制造商能利用的只有仿真的結(jié)果。此外，這個(gè)時(shí)序測量顯示了從未穩(wěn)定過的波動(dòng)電壓的存在。對于這些電壓。不可能真正找到標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間減少的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。因此它設(shè)有被減少。然而，已得知電壓是波動(dòng)的，而這在以前是不知道的。
由中間日期和遞增中間值形成的一對值代替標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間和標(biāo)準(zhǔn)值形成的一對值意味著必須要測量與遞增值相容的早期值。為了得到以與舊的檢驗(yàn)相關(guān)的方式(即本發(fā)明以前的那些操作)的測量結(jié)果，它還被選來編輯一個(gè)測量值，這個(gè)測量值不是實(shí)際上測量的早期值而是已經(jīng)等待的標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間結(jié)束時(shí)將要獲得的一個(gè)穩(wěn)定的虛構(gòu)值。在這種情況下，一個(gè)函數(shù)發(fā)生器使得有可能確定一個(gè)要作用在以新的周期測量的每個(gè)電量值上的函數(shù)，以使它們中的每一個(gè)都減少到以開始設(shè)定的周期應(yīng)具有的值。
這個(gè)自動(dòng)地最好是以兩分(dichotomously)或步進(jìn)進(jìn)行的等待時(shí)間的減少，使得有可能贏得時(shí)間并減少電子元件的制造成本。一個(gè)兩分的減少就是其中每步的持續(xù)時(shí)間逐漸地變得更小的減少。這個(gè)減少被表示為標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間的百分比。逐步的減少計(jì)劃用5％的步距。在兩分的減少量還可以設(shè)想更小的步距。
現(xiàn)有的檢驗(yàn)機(jī)包括一個(gè)單一的標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間結(jié)束時(shí)完成檢驗(yàn)的裝置。由于這些機(jī)器由程序控制并且這些程序可以是參數(shù)化的。例如“WAIT 100”型指令將在這些程序中被發(fā)現(xiàn)。這意味著在電檢驗(yàn)信號(hào)施加后100毫秒必須完成測量。為了以一種簡單的方式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，這些指令由這些程序調(diào)用子程序所代替，它將有下列影響1)在檢驗(yàn)特性的時(shí)間里，測量以逐漸減少的等待時(shí)間將被重復(fù)，并且2)在檢驗(yàn)的時(shí)間里，初始值(100)將由與確定的中間日期相對應(yīng)的一個(gè)值所代替。
然而，設(shè)想將來的檢驗(yàn)機(jī)可以被連接到測量裝置上，在一個(gè)循環(huán)里，用于測量在一個(gè)端子上出現(xiàn)的信號(hào)的全部時(shí)序。將它們的信號(hào)輸入連接到一個(gè)快速采樣-保持裝置和一個(gè)數(shù)-模轉(zhuǎn)換器上是相當(dāng)簡單的，數(shù)-模轉(zhuǎn)換器連接到一個(gè)數(shù)字信號(hào)處理器上，在一次單操作中，存儲(chǔ)所有已完成的測量，因此這個(gè)一步一步的或逐漸的減少不是本發(fā)明的要點(diǎn)，盡管它是一種可取的形式。
根據(jù)本發(fā)明的另一特性、檢驗(yàn)機(jī)可以包括能夠改變程序器比較階段的裝置，以便這個(gè)操作由函數(shù)發(fā)生器確定的函數(shù)永久地指揮。然后這個(gè)工具中止操作因?yàn)樗辉傩薷牡却A段并因此讓程序裝置管理這些步驟。
在本工具的一個(gè)簡化實(shí)施例中，處理裝置以逐漸減小的第二測量周期且僅是這個(gè)第二周期工作，直到滿足終止標(biāo)準(zhǔn)或判定標(biāo)準(zhǔn)為止。
在本工具的另一個(gè)實(shí)施例中，處理裝置隨著第二測量周期的減少和隨后第一穩(wěn)定周期的逐漸減少重復(fù)地工作，直到滿足終止標(biāo)準(zhǔn)。
而根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)特性，這個(gè)處理裝置包括過濾裝置，它能消除涉及它們各自的有效范圍的電量的異常值，因此能改善結(jié)果。
最好是處理裝置包括修正裝置，它能在新的第一個(gè)確定穩(wěn)定周期和初始的第一穩(wěn)定周期之間根據(jù)所述的預(yù)定門限值和在系列的電子元件上完成比較結(jié)果的均值之間的比較確定一個(gè)確定的穩(wěn)定周期。
因此，為了保持產(chǎn)品輸出水平(被認(rèn)為是合格的元件的數(shù)量和檢驗(yàn)的元件數(shù)量二者之間的比值)在一個(gè)可修正的門限值之上或者根據(jù)依賴于元件的批量的不同容差范圍改進(jìn)它，能夠決定選擇那些比在逐步減少的操作時(shí)確定的那些值更大或者更小的等待周期。
在以下的敘述中，通過一個(gè)實(shí)例，給出附圖提供參考如下

圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)輔助工具和相關(guān)的檢驗(yàn)機(jī)的一個(gè)功能框圖。
圖2是圖1所示的工具操作和檢驗(yàn)機(jī)的一個(gè)通用模式的算法。
圖3a和3b是根據(jù)進(jìn)行測量的等待周期的一個(gè)被測量的電量(GEM)的進(jìn)展圖。
圖3c至3e是本發(fā)明的方法圖解。
圖4是圖1所示的工具和檢驗(yàn)機(jī)的一個(gè)學(xué)習(xí)模式的算法；以及圖5是學(xué)習(xí)之后檢驗(yàn)機(jī)和工具的一個(gè)操作模式的算法。
附圖包括一些符號(hào)號(hào)碼。因此，它們以說明本發(fā)明的方式融合在說明書中。
首先參考圖1描述根據(jù)本發(fā)明設(shè)計(jì)的要和一臺(tái)檢驗(yàn)機(jī)2(虛線框中所示的)協(xié)同工作的輔助工具1的一個(gè)最佳實(shí)施例。
這臺(tái)檢驗(yàn)機(jī)2被設(shè)計(jì)成用于電子元件3工作的檢驗(yàn)。要做到這點(diǎn)、檢驗(yàn)機(jī)2包含被設(shè)計(jì)成分別與被檢驗(yàn)的電子元件的導(dǎo)電區(qū)域5建立機(jī)械性接觸的多個(gè)電極4。例如對于一個(gè)電子芯片，這些導(dǎo)電區(qū)域就是形成電源供應(yīng)管腳和用于電信號(hào)的輸入或輸出管腳的連接管腳。
因此這樣的一臺(tái)檢驗(yàn)機(jī)就具有檢驗(yàn)一個(gè)電子元件所有性能的功能。因此每個(gè)導(dǎo)電區(qū)域必須被單獨(dú)地或者與一個(gè)或者多個(gè)導(dǎo)電區(qū)域相組合地被檢驗(yàn)。
為了使元件3的導(dǎo)電區(qū)域5的檢驗(yàn)?zāi)軌蜻M(jìn)行，檢驗(yàn)機(jī)2具有檢驗(yàn)裝置6，它包括一個(gè)存儲(chǔ)器7，其中存儲(chǔ)有能分別地完成元件基本的檢驗(yàn)的配置參數(shù)的多元組。一個(gè)元件的一個(gè)完整的檢驗(yàn)通常包括一系列不同的基本檢驗(yàn)。
每個(gè)多元組至少要在一個(gè)指定電極上施加一個(gè)電信號(hào)SE，所述的電信號(hào)SE值要被施加在指定的至少一個(gè)電極上，在指定電極上的形成了電子元件3對電子信號(hào)SE的一個(gè)響應(yīng)的一個(gè)電量必須被接收，在指定電極或電極組上的電量的類型也要接收，在施加電信號(hào)SE后，至少一個(gè)第一確定的穩(wěn)定周期D1要使電量穩(wěn)定下來并被接收?？赡芤粋€(gè)第二確定檢驗(yàn)周期D2能夠使接收電量GEC的檢驗(yàn)值穩(wěn)定和得到至少測量電量GEM的一個(gè)有效值范圍，多元組可以按數(shù)據(jù)文件形式組織存儲(chǔ)起來，例如以數(shù)據(jù)庫形式。
這些檢驗(yàn)裝置6被連接到一個(gè)接口8上，而接口8被連接到用于電極4管理的裝置9上。這個(gè)接口由一個(gè)比如放在檢驗(yàn)裝置6內(nèi)的程序裝置10驅(qū)動(dòng)。這個(gè)程序裝置10被設(shè)計(jì)為用包含在存儲(chǔ)器7的一個(gè)多元組中的各參數(shù)來配置接口8。一旦配置完成，接口8準(zhǔn)備好在所述多元組指定的電極上對應(yīng)于配置多元組進(jìn)行一次選擇檢驗(yàn)。
檢驗(yàn)機(jī)2由存儲(chǔ)在一個(gè)主存儲(chǔ)器11中的計(jì)算機(jī)程序PRG管理，因而含有適合用于編寫程序PRG的計(jì)算機(jī)語言，例如C語言的庫當(dāng)然，這個(gè)程序也可以用其它任何一種計(jì)算機(jī)語言編寫。
現(xiàn)在著重參考圖2來敘述圖1所示檢驗(yàn)機(jī)2操作的通用模式。
一項(xiàng)檢驗(yàn)的進(jìn)行可通過一臺(tái)含有一系列由程序裝置10控制的步驟的標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)機(jī)來完成。在檢驗(yàn)開始的時(shí)候，用戶調(diào)用程序PRG。啟動(dòng)了存儲(chǔ)在主存儲(chǔ)器11中并且對于程序PRG的有效操作必要的庫的輸入20。然后，通過程序PRG選擇清單，用戶可以選擇要檢驗(yàn)的電子元件和可能檢驗(yàn)的類型，如果程序PRG能提供這種選擇。這個(gè)選擇也可以提供給檢驗(yàn)機(jī)用戶希望進(jìn)行連續(xù)檢驗(yàn)的同種類型的電子元件的數(shù)量。這是步驟30依據(jù)所選擇的電子程序，定義某些參數(shù)例如常數(shù)、指定關(guān)鍵詞和數(shù)據(jù)表的變量。事實(shí)上，在這個(gè)步驟30(或a)、程序PRG用包含在與所選擇的檢驗(yàn)對應(yīng)的，存儲(chǔ)在檢驗(yàn)裝置6的存儲(chǔ)器7中的多元組的參數(shù)進(jìn)行配置。
像檢驗(yàn)這樣的操作(圖2的步驟40，步驟b)至d))可能隨后開始，我們將進(jìn)一步返回到下文的這類執(zhí)行的細(xì)節(jié)。
例如，如果基本檢驗(yàn)選擇只包括一個(gè)電量GE的檢驗(yàn)，那么這個(gè)操作結(jié)束時(shí)，一個(gè)被測的電量GEM將被獲得。這就是步驟50(或步驟e))，這個(gè)結(jié)果GEM將被存儲(chǔ)，例如，存儲(chǔ)在檢驗(yàn)裝置6的一個(gè)輔助存儲(chǔ)器12中，并且隨后這個(gè)結(jié)果將被分析。這個(gè)構(gòu)成步驟60(步驟f))。這個(gè)分析在于把檢驗(yàn)結(jié)果GEM與在執(zhí)行檢驗(yàn)的配置的多元組中與其相對應(yīng)的有效范圍進(jìn)行比較。在一臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)機(jī)中，如果檢驗(yàn)結(jié)果GEM屬于這個(gè)有效范圍，那么這個(gè)電子元件3就被認(rèn)為是完好的(SOUND)。否則，就被認(rèn)為是有缺陷的(DEFECTIVE)。接下去的操作繼續(xù)下一個(gè)步驟70。這個(gè)下一步驟70在于要么檢驗(yàn)下一個(gè)電子元件3，要么結(jié)束檢驗(yàn)，如果只有一個(gè)要檢驗(yàn)的元件或者如果最后的檢驗(yàn)是一系列元件的最后一個(gè)元件的檢驗(yàn)，否則對相同的元件進(jìn)行另外的檢驗(yàn)。
一般來說，一個(gè)電子元件的分析包括形成一個(gè)設(shè)計(jì)為能檢驗(yàn)所有這些導(dǎo)電區(qū)域5的檢驗(yàn)系列的一系列不同的檢驗(yàn)?，F(xiàn)在每個(gè)檢驗(yàn)的執(zhí)行包括多項(xiàng)操作，在某些場合，它要求按照所設(shè)計(jì)的等待階段(或周期)使一個(gè)施加的電信號(hào)SE穩(wěn)定，一個(gè)電量GE被接收，或者使所接收的電量的測量值再穩(wěn)定。
這些等待階段構(gòu)成附圖2步驟40的部分，它們尤其是包含步驟b)和d)。
在步驟b)中，被選擇用于檢驗(yàn)的電信號(hào)(或多個(gè)電信號(hào))SE被施加，然后在與所述檢驗(yàn)相對應(yīng)的第一個(gè)穩(wěn)定確定周期(或等待階段)D1期間有一個(gè)等待。當(dāng)然，實(shí)際上在同時(shí)，當(dāng)該檢驗(yàn)包括可能是多個(gè)不同的信號(hào)基本上同時(shí)施加在不同的電極上，它可能提供不同持續(xù)時(shí)間的多個(gè)第一個(gè)穩(wěn)定周期D1或與第一個(gè)最長的周期相對應(yīng)的一個(gè)單獨(dú)的第一個(gè)穩(wěn)定周期。這個(gè)步驟b)能使電子信號(hào)SE在與電子電路3相關(guān)的電路中被建立。
在跟隨步驟c)之后任選的步驟d)期間，由選定的檢驗(yàn)指定的一個(gè)或幾個(gè)電量GE被獲取。(例如，這個(gè)步驟在于閉合在電子元件中的相關(guān)電路或換言之在于連接輸出端，以便測量由該檢驗(yàn)指定的電量，它能提供一個(gè)新的與所選定檢驗(yàn)相對應(yīng)的被稱為第二測量周期D2的等待階段，以便使測量裝置能有足夠的時(shí)間去測量指定的電量。當(dāng)然，當(dāng)幾個(gè)電量必須實(shí)際上被同時(shí)測量時(shí)，如在第一個(gè)穩(wěn)定周期D1，它能提供或者多個(gè)分別對于每個(gè)要測量電量的第二測量周期D2或者第二個(gè)測量周期D2中的最長的一個(gè)。
每個(gè)測量階段可能持續(xù)幾毫秒或者甚至是幾十毫秒。這些等待階段有被過分高估的持續(xù)時(shí)間以便確保檢驗(yàn)結(jié)果的質(zhì)量。
現(xiàn)在，與普通的看法相反，申請人已經(jīng)認(rèn)識(shí)到它能通過一個(gè)學(xué)習(xí)過程，減少每個(gè)檢驗(yàn)等待階段的至少一些持續(xù)時(shí)間(或周期)。
為了做到這一點(diǎn)，本發(fā)明提供了一種被設(shè)計(jì)為連接到檢驗(yàn)機(jī)2上的輔助工具1，以便替代控制至少某些操作步驟。在圖2的算法中這個(gè)控制的替換在步驟70期間執(zhí)行，它在步驟60和80之間，即在程序裝置10已經(jīng)完成一個(gè)完整的循環(huán)(步驟a)至f))之后。
輔助工具1尤其包括(參見圖1)處理裝置13，它被設(shè)計(jì)成替代控制檢驗(yàn)機(jī)2中的檢驗(yàn)裝置6，為了每次程序裝置10的步驟b)至e)都能以比上一次更小值的一個(gè)第一個(gè)穩(wěn)定周期D1和/或一個(gè)第二個(gè)測量周期D2重復(fù)執(zhí)行，直到滿足一個(gè)預(yù)定的終止判定。這個(gè)終止判定考慮到在步驟60(參見圖2)期間對于一個(gè)(第一和/或第二)周期的每個(gè)減少的值所測量及存儲(chǔ)的電量GEM的分布。
而且，在遇到一個(gè)終止判定后，處理裝置13能夠建立新的至多等于它們的初始值D1和D2的第一穩(wěn)定周期值ND1和/或第二測量周期值ND2，及電測量和存儲(chǔ)的變量GEM的分布，證實(shí)了一個(gè)根據(jù)本發(fā)明變化的選擇條件。因此，這個(gè)輔助工具可以自動(dòng)地?zé)o任何額外輔助條件地確定一個(gè)或多個(gè)小于或等于它們各自的初始值的持續(xù)時(shí)間的新的周期。在某些場合，當(dāng)這些檢驗(yàn)是在大批量的電子元件上進(jìn)行時(shí)，這使得它能很本質(zhì)地減少檢驗(yàn)的持續(xù)時(shí)間。我們將進(jìn)一步返回到下面由輔助工具1替代控制檢驗(yàn)裝置6的模式中。
給定等待階段的逐步減少導(dǎo)致了測量的電量GEM值的變化，為了能證實(shí)測量電量GEM在與該值相對應(yīng)的有效，如果等待階段具有與初始計(jì)劃的持續(xù)時(shí)間相同的持續(xù)時(shí)間，有必要使用一個(gè)函數(shù)使GEM減少到它應(yīng)該具有的值。
圖3a表示了測量的電量GEM值根據(jù)其測量的等待周期的進(jìn)展。圖3a給出了一個(gè)要被驗(yàn)收為完好的元件的進(jìn)度。圖3b表示了一個(gè)被檢驗(yàn)的元件的進(jìn)度。假定等待持續(xù)時(shí)間等于測量周期D。對于初步設(shè)定的一個(gè)標(biāo)稱測量周期DO，對應(yīng)有測量的電量GEM值Mo，比如這個(gè)電量可以是電壓，當(dāng)測量持續(xù)時(shí)間(或周期)減小時(shí)，則對于大于或等于0的周期的一個(gè)持續(xù)時(shí)間Dmin，測量的電量GEM減小到0值。
圖3c至3e給出了在越來越早的日期T、T’、T”中一個(gè)給定檢驗(yàn)的結(jié)果的統(tǒng)計(jì)分布?？v坐標(biāo)表示樣本的數(shù)量，對樣本的測量結(jié)果值與一個(gè)橫坐標(biāo)值相對應(yīng)。在本例中，橫坐標(biāo)示出測量電壓差值的毫伏值，例如在檢驗(yàn)點(diǎn)的電路電壓值與電源值的差值的測量值。圖3e以簡化形式表示統(tǒng)計(jì)曲線明顯展寬，標(biāo)準(zhǔn)偏差S”很大。
因而，在標(biāo)稱持續(xù)時(shí)間T基礎(chǔ)上，在T’=0.95T、T”=0.9T等等以此類推時(shí)間里，是能進(jìn)行本發(fā)明(M、S或其它值的)統(tǒng)計(jì)測量的。
做為一種變形，一個(gè)采樣-保持裝置放置在測量電路以及快速模-數(shù)轉(zhuǎn)換器中，在一個(gè)周期對于每個(gè)樣本能夠獲得在一次檢驗(yàn)期間被檢驗(yàn)的信號(hào)進(jìn)展的離散時(shí)序圖。也能獲得一組樣本的這種時(shí)序圖。
本發(fā)明在任何情況下，統(tǒng)計(jì)曲線則是按每個(gè)日期(T、T’、T”)進(jìn)行的測量繪制的。這些統(tǒng)計(jì)曲線最好是測量標(biāo)準(zhǔn)偏差。其它的統(tǒng)計(jì)元素可以被設(shè)定。然后能夠描繪出作為T、T’、T”的函數(shù)的測量的統(tǒng)計(jì)元素(S、M或類似的元素)進(jìn)展的曲線圖。在由此獲得的曲線上，這個(gè)選定的日期是對于在基本元素按給定比例的統(tǒng)計(jì)元素中的值。簡言之，當(dāng)S”小于S(1+x％)時(shí)T”被選定，x被給定或由制造商根據(jù)實(shí)際經(jīng)驗(yàn)指定。在一個(gè)例子中，x等于2。
同樣，最好另外定義兩個(gè)參考的標(biāo)準(zhǔn)CPKl(低)和CPKh(高值)。這些標(biāo)準(zhǔn)的表達(dá)式是CPKl=|各個(gè)值的平均值-下限值|/SCPKh=|各個(gè)值的平均值-下限值|/S||之間的項(xiàng)是被取絕對值的項(xiàng)。
平均值M就是在給定日期T得到的值的平均值。在更早的一個(gè)日期T’，系數(shù)CPK變?yōu)镃PKl’=|M’-下限|/S’CPKh’=|M’-下限|/S’這樣如果在日期T，如果均值是5V，并且其上限和下限是4.5V和5.5V，CPKl=0.5/1=0.5CPKh=0.5/1=0.5相反在更早的日期T’內(nèi)，即使S’仍等于S(圖3d)，有可能需要一個(gè)更嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)。實(shí)際上M’值可能等于4.6V。在這種情況下，系數(shù)CPKl和CPKh分別等于0.1和0.9。在本發(fā)明中，以這種類型的標(biāo)準(zhǔn)首先要選擇兩個(gè)系數(shù)中較低的一個(gè)，也就是最合適的一個(gè)。其次要確定一個(gè)極限日期T”，在這個(gè)日期，系數(shù)CKP’是一個(gè)給定的比率或者具有一個(gè)相對于基本系數(shù)CPK的給定的差值。例如，當(dāng)CPK的一個(gè)值已經(jīng)達(dá)到相對于標(biāo)稱CPK的一個(gè)極限偏差，T”則被選為最早的極限日期。
這些操作方法具有優(yōu)點(diǎn)判定必須進(jìn)行測量(在檢驗(yàn)期間贏得最大量的時(shí)間)的日期T”(最早的可能時(shí)間)就是將所有的檢驗(yàn)保持為同質(zhì)性檢驗(yàn)的日期，這個(gè)操作方法使得它能根據(jù)事先知道的置信度的間隔選擇要被選擇的時(shí)間T”。其結(jié)果是調(diào)整檢驗(yàn)速度為一個(gè)效率標(biāo)準(zhǔn)而不是一項(xiàng)純技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)本發(fā)明，一批檢驗(yàn)的集成電路可以被充滿信心地推向市場，它們?nèi)缤鶕?jù)老的更長的檢驗(yàn)方法一樣滿足同樣的可靠性條件(例如每100,000件只有一個(gè)有缺陷件被判定為完好件)，因此本發(fā)明有可能量化這個(gè)輸出的要求。實(shí)際上，按照這種輸出的要求，在檢驗(yàn)機(jī)使用上，會(huì)產(chǎn)生直接的技術(shù)影響這些應(yīng)用是最佳的。
一個(gè)門限值Ms(圖3a)被定義，低于這個(gè)門限值Ms的測量電量GEM值已沒有任何意義。對于這個(gè)值Ms，有一個(gè)相對應(yīng)的第二測量周期Ds。因此，所有的測量值Mj包括在Ms值和Mo值兩者之間并能被輔助工具1所利用。這個(gè)門限值Ms與最低值的交叉點(diǎn)就是范圍標(biāo)準(zhǔn)。在一個(gè)例子中，Ms等于1V。在另一個(gè)例子中，Ms等于Mo的50％或另一百分比。
函數(shù)發(fā)生器14的目的在于準(zhǔn)備一個(gè)能被施加到有效區(qū)并能減少一個(gè)測量的電量GEM(對于一個(gè)測量周期Dj)的值Mj到值Mo的一個(gè)函數(shù)，如果在一個(gè)持續(xù)時(shí)間等于Do的周期已經(jīng)進(jìn)行測量，這個(gè)測量的電量應(yīng)該具有的值為Mo。
現(xiàn)在尤其要參看圖4和圖5，提供輔助工具1的操作模式的詳細(xì)描述。
這個(gè)工具根據(jù)兩種不同的模式工作第一種模式稱為學(xué)習(xí)模式(圖3a)，在此期間，它將搜索一個(gè)或多個(gè)等待階段持續(xù)時(shí)間的最小值以便減少由檢驗(yàn)機(jī)用戶所選擇的檢驗(yàn)持續(xù)時(shí)間，第二個(gè)模式(圖3b)跟隨在學(xué)習(xí)模式之后，在此期間它將操作傳給程序裝置10以便以在學(xué)習(xí)模式期間確定的時(shí)間周期的一個(gè)新的配置完成步驟a)到步驟f)。
學(xué)習(xí)階段(見圖4)的目的是獲得每個(gè)要測量的電量的響應(yīng)曲線作為等待階段持續(xù)時(shí)間的函數(shù)。
為了做到這點(diǎn)，處理裝置13包括一個(gè)被設(shè)計(jì)成通過對至少b)至f)階段的截獲控制程序裝置10的截獲模塊16。這實(shí)際上中斷了由用戶所選定的檢驗(yàn)的正常運(yùn)行。
更可取的，為了贏得時(shí)間，學(xué)習(xí)階段要在要被檢驗(yàn)的同一個(gè)電子元件上進(jìn)行。但是自然地每個(gè)學(xué)習(xí)階段和尤其是每個(gè)時(shí)間減少的步驟可以在連續(xù)的電子元件上完成。更可取地，當(dāng)學(xué)習(xí)在同一個(gè)元件上進(jìn)行時(shí)，學(xué)習(xí)工具1允許檢驗(yàn)機(jī)2第一次以帶有與所選擇的檢驗(yàn)相對應(yīng)的延遲執(zhí)行步驟a)至f)，在此后的敘述中，步驟a)至f)(或圖2中的步驟20至60)將被假設(shè)形成一個(gè)檢驗(yàn)機(jī)2的程序PRG的一個(gè)循環(huán)。
然后檢驗(yàn)機(jī)2的程序裝置10通過執(zhí)行步驟a)(接口8的配置)開始第二個(gè)循環(huán)。輔助工具1隨后開始工作。這個(gè)工作抑制隨后兩個(gè)周期，第一個(gè)穩(wěn)定周期D1和第二個(gè)測量周期D2中至少一個(gè)周期。這個(gè)操作可以通過搜索在程序PRG中指定周期并裝有與選擇的檢驗(yàn)對應(yīng)的多元組參數(shù)的關(guān)鍵詞來進(jìn)行。實(shí)際上，在程序中搜索指令“WAIT”。因此在與這個(gè)要修改的周期相對應(yīng)的每個(gè)關(guān)鍵詞前后，截獲模塊16發(fā)出一個(gè)中斷命令(以檢驗(yàn)機(jī)2的程序的計(jì)算機(jī)語言)并且用持續(xù)時(shí)間已減少一個(gè)周期來代替它，例如Dj(見圖3a)大于Ds。這個(gè)減少例如可以是步進(jìn)式的或者二分(docholomous)式的。當(dāng)然，這兩種減少方式?jīng)Q不是包羅萬象。如果需要，一個(gè)周期的每次替換都可以通過程序PRG的重新編譯來完成。
然后，第二個(gè)程序循環(huán)PRG可以連續(xù)進(jìn)行步驟b)至步驟e)。這構(gòu)成圖4的步驟110。然后在步驟e)和步驟f)之間，一個(gè)步驟120被完成，其間在循環(huán)過程的前面各個(gè)步驟期間被測量的電量值被存儲(chǔ)在輔助工具1的處理裝置13的工作存儲(chǔ)器17內(nèi)。當(dāng)然GEM的值可以被存儲(chǔ)在檢驗(yàn)機(jī)2的輔助存儲(chǔ)器123內(nèi)。然后，各種被存儲(chǔ)的變量GEM與預(yù)定的門限值Ms比較，與這個(gè)門限值相關(guān)的有一個(gè)周期Ds，例如它被存儲(chǔ)在處理裝置13的一個(gè)比較模塊18中。這就是步驟130。
隨后出現(xiàn)兩種情況，一種是測量的電量GEM比門限值Ms小，則直接過渡到下面還將進(jìn)一步敘述的步驟160，另一種是GEM值比Ms值大，并且，在這種情況下，可以使這個(gè)周期的持續(xù)時(shí)間進(jìn)一步減小。這個(gè)操作在步驟140期間完成，在此期間，截獲模塊16搜索已經(jīng)預(yù)先放在程序PRG內(nèi)的中斷命令，以便借助于一個(gè)新步驟進(jìn)行要修改的周期的一個(gè)新的替換。這樣給出一個(gè)新的配置。在這個(gè)步驟里，當(dāng)學(xué)習(xí)階段在連續(xù)的電子元件上進(jìn)行時(shí)，則提供一個(gè)步驟150，在這里剛剛被檢驗(yàn)的元件被隨后的元件所代替。
然后步驟110至140(可能還有150)用一個(gè)比先前減少的周期值重新開始，直到測量的電量GEM值低于門限值Ms為止。
當(dāng)在這種情況時(shí)，操作進(jìn)行到步驟160，在此期間處理裝置13在初始周期，在此時(shí)是D0，和與門限值MS相對應(yīng)的周期Ds之間選擇一個(gè)確定的周期。這個(gè)新的周期被稱為ND并且與曲線上GEM的對應(yīng)值MN相關(guān)，這條曲線是由處理裝置13將在學(xué)習(xí)階段的不同循環(huán)期間根據(jù)實(shí)驗(yàn)測量逐點(diǎn)得來的。
然后這個(gè)新的周期ND被存儲(chǔ)在處理裝置13的工作存儲(chǔ)器17中，處理裝置在搜索關(guān)鍵詞的初始階段將把它插入一個(gè)特殊的位置，代替WAIT指令的自變量，然后在步驟170中，輔助工具1的函數(shù)發(fā)生器14準(zhǔn)備將應(yīng)用于隨后被檢驗(yàn)的電子元件的測量電量值GEM上的函數(shù)f(GEM)，以使得他們對于周期ND的測量值被減小到電量測量值應(yīng)該達(dá)到的值，如果一個(gè)周期D0已被作為這個(gè)檢驗(yàn)的初始選定值。這個(gè)過程不是必不可少的。它對于與在本發(fā)明之前和用本發(fā)明進(jìn)行的檢驗(yàn)相比較是有用的。
作為一種替代方案，可以規(guī)定處理裝置13，例如借助于截獲模塊16，使用所選擇的f()的反函數(shù)，以便修改與被測量的電量對應(yīng)的有效范圍，以便在以后的檢驗(yàn)期間，被測量的電量值與由反函數(shù)而不是在步驟170期間為這個(gè)被測量的電量值準(zhǔn)備的函數(shù)f()修正的新的有效域相比較，以便它和初始有效值域進(jìn)行比較。
所有的這些實(shí)驗(yàn)對包括在學(xué)習(xí)階段計(jì)算的測量值GEM及對應(yīng)的周期或各周期的連續(xù)循環(huán)期間中，所述的形成元件的響應(yīng)曲線的對以后將以相應(yīng)的表的形式存儲(chǔ)在處理裝置的工作存儲(chǔ)器17中。然而，它們也可以存儲(chǔ)在函數(shù)發(fā)生器14中用于此目的的一個(gè)預(yù)定存儲(chǔ)器中或檢驗(yàn)機(jī)2的一個(gè)存儲(chǔ)器中。這樣本發(fā)明的元素，用于元件檢驗(yàn)機(jī)方法和輔助工具可以存儲(chǔ)在檢驗(yàn)程序中，在由檢驗(yàn)程序調(diào)用的庫中，在檢驗(yàn)裝置的存儲(chǔ)器中或者其它任何能夠存儲(chǔ)的介質(zhì)中以及檢驗(yàn)機(jī)的操作系統(tǒng)中。
當(dāng)然，如果與測量的電量GEM相關(guān)的Mj值不僅依賴于一個(gè)第一個(gè)穩(wěn)定周期D1j而且也依賴于一個(gè)第二周期D2j，這個(gè)對應(yīng)的表格可以由三元組或者更普通的多元組形成。
這個(gè)學(xué)習(xí)階段則結(jié)束。然后輔助工具1可以允許檢驗(yàn)機(jī)2用在學(xué)習(xí)階段確定的一個(gè)新周期ND連續(xù)地檢驗(yàn)。然后輔助工具1進(jìn)入它的第二個(gè)操作模式(見圖5)。在這個(gè)模式中，學(xué)習(xí)工具1今后包含被檢驗(yàn)的批量電子元件的每個(gè)測量的電量GEM的“理論上的”響應(yīng)曲線。
可以設(shè)想兩個(gè)子模式。在第一個(gè)子模式中，這個(gè)工具1包含一個(gè)模塊23，它能替換與程序裝置10的階段f()相對應(yīng)的程序PRG部分，以便這個(gè)階段永久地按照函數(shù)f()工作，即在進(jìn)行由此的比較之前有條理地應(yīng)用到每個(gè)GEM值上，或者把f()的反函數(shù)應(yīng)用到與相對應(yīng)的GEM相比較的有效值范圍上。然后這個(gè)工具可以“停止服務(wù)(offservice)”并且允許程序裝置10在沒有外部插入的情況下工作。
在第二個(gè)子程序里，工具1允許程序裝置10用一個(gè)剛被計(jì)算出的新的配置CC開始一個(gè)新的循環(huán)。這個(gè)配置包含有新的周期。然后這個(gè)已預(yù)先檢驗(yàn)的元件被隨后的元件代替。這構(gòu)成步驟200。然后在步驟210里，檢驗(yàn)用已經(jīng)計(jì)算出的配置CC進(jìn)行。這對應(yīng)于程序裝置10的步驟b)至e)。一旦得到被測量的電量GEM值，在步驟220期間，函數(shù)f()將被應(yīng)用到它上面，這給出了一個(gè)f(GEM)值。然后這個(gè)f(GEM)值在步驟230里被分析。這項(xiàng)分析實(shí)際上對應(yīng)于程序裝置10的步驟f)，因?yàn)樗莊(GEM)和與檢驗(yàn)過程中的電量對應(yīng)的有效值范圍之間的比較。
輔助工具1的處理裝置13可以裝有一個(gè)過濾模塊19，它設(shè)計(jì)成當(dāng)測量的電量值與有效范圍相差太大時(shí)用于除去它們，在這個(gè)過程里，它應(yīng)在分析步驟230之后進(jìn)行。在這個(gè)假設(shè)里，如果這個(gè)值被認(rèn)為是異常的，這個(gè)檢驗(yàn)將直接返回到步驟210重新開始。否則，操作進(jìn)行到使存儲(chǔ)的步驟240，例如存儲(chǔ)在處理裝置13的工作存儲(chǔ)器17的一個(gè)區(qū)域21中，根據(jù)以新的周期ND2測量的GEM值預(yù)先被計(jì)算出來的f(GEM)中。
在步驟230期間，f(GEM)的分析給出了指出被檢驗(yàn)元件是完好的或是有缺陷的一個(gè)結(jié)果。在步驟250，輔助工具1的處理裝置13使用存到工作存儲(chǔ)器17的區(qū)域21中被測電子元件所有結(jié)果給出直到現(xiàn)在獲得的所有結(jié)果的平均值，。
然后這個(gè)平均值比如由處理裝置13的比較模塊18與預(yù)定輸出門限值相比較。由此就能夠確定被測的這組電子元件是低于還是高于由用戶指定的輸出門限值。如果需要，標(biāo)準(zhǔn)CP’要相應(yīng)地調(diào)整。
輔助工具1的處理裝置13包括一個(gè)適配模塊22，它首先在由處理裝置13在步驟250期間得到的中間值和預(yù)定輸出門限值之間比較，其次，根據(jù)這個(gè)比較決定是否新修改的周期ND應(yīng)當(dāng)適應(yīng)用戶所選定的輸出門限值。如果是這種情況，這個(gè)適配模塊22建立起一個(gè)比在學(xué)習(xí)階段期間確定的先前的周期ND更大的新的修改周期NDM。在步驟260期間，這個(gè)修正周期NDM送入程序PRG以代替先前的周期ND。然后這個(gè)操作返回到步驟200以便檢驗(yàn)下一個(gè)電子元件。然后步驟200至260被重復(fù)進(jìn)行直到不再有任何被檢驗(yàn)的電子元件為止。
當(dāng)然，這個(gè)修正步驟260可以涉及幾個(gè)周期，例如第一個(gè)周期D1和第一周期D2或僅有第一周期D1。可能設(shè)想這個(gè)第二個(gè)子模式的一個(gè)變型，在其中包括Mj值和持續(xù)時(shí)間Dj的被測量的實(shí)驗(yàn)對與存儲(chǔ)在對應(yīng)表17中含有與實(shí)驗(yàn)對相同周期D的相對應(yīng)的對進(jìn)行比較。如果實(shí)驗(yàn)的Mj值和存儲(chǔ)于對應(yīng)表17中的電量的理論值實(shí)質(zhì)上是相同的，那么被檢驗(yàn)的電子元件的性能被認(rèn)為是有效的；結(jié)果如果在這個(gè)電子元件上只有一個(gè)電量要經(jīng)過檢驗(yàn)，它被認(rèn)為是合格的。
顯然，在學(xué)習(xí)階段后周期的修正可以適應(yīng)本文前面所述的第一子模式。要做到這點(diǎn)，在由程序裝置10完成每個(gè)階段f)后，足以讓工具1“恢復(fù)控制”以便去計(jì)算元件結(jié)果的一個(gè)平均值，也是所述的參考第二個(gè)子模式的一個(gè)平均值。
此外，輔助工具1可以安排，以便在學(xué)習(xí)階段逐步地交替地減少第二測量周期，它可能比第一穩(wěn)定周期要長，然后再逐步地交替地減少第一穩(wěn)定周期。在這種操作模式里，操作過程如下首先在一個(gè)第一循環(huán)里，例如第二周期D2被減少，然后經(jīng)過一個(gè)或多個(gè)循環(huán)，第一周期D1被修改，周期D2繼續(xù)被修改直到滿足終止標(biāo)準(zhǔn)(門限值MS的交點(diǎn))，然后通過減少先前的第二修改周期D2構(gòu)成一個(gè)循環(huán)，再隨后有多個(gè)減少第一周期D1的循環(huán)。許多其它的與減少周期D1和D2相結(jié)合的操作模式可以被設(shè)計(jì)。
本發(fā)明不應(yīng)局限在本文上述的實(shí)施例中，而應(yīng)包括由那些熟練的技術(shù)人員根據(jù)本文下述的權(quán)利要求書的內(nèi)容能夠引申的所有變型。
因此，本文上面所述的不同模塊的安排，實(shí)際上可能與描述過的不一樣。尤其是，處理裝置和函數(shù)發(fā)生器可能被制成一個(gè)單個(gè)的多功能的電子模塊(或元件)形式。類似地，不同的存儲(chǔ)器可以被制成細(xì)分為區(qū)域或寄存器的單一存儲(chǔ)器形式。
甚至這個(gè)輔助工具能完全由能直接插入到檢驗(yàn)機(jī)中的軟件模塊制成。在這種情況下，很顯然工具所使用的存儲(chǔ)模塊是該檢驗(yàn)機(jī)中的。
權(quán)利要求
1．一種檢驗(yàn)電子元件的方法，其中在一個(gè)初始日期，這些元件的電極被施加電壓，在一個(gè)測量日期，測量建立在這些元件的端子上的電壓值，并且比較這些測量的值與標(biāo)準(zhǔn)值，根據(jù)這個(gè)比較結(jié)果驗(yàn)收或廢棄這些元件，其特征在于，對于比較，在對應(yīng)于這個(gè)初始日期的一個(gè)標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間的一個(gè)標(biāo)稱日期，為一批合格的元件和一個(gè)給定的檢驗(yàn)，確定一個(gè)標(biāo)稱統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)，在所述標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間之前或之后的至少一個(gè)中間日期，為該合格批量確定一個(gè)中間統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)，通過比較這些標(biāo)稱的和中間的統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)，采用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，選擇在測量持續(xù)時(shí)間中的最早可能中間日期，和所述最早可能中間日期被作為測量日期。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所確定的統(tǒng)計(jì)象點(diǎn)包括一個(gè)對合格批量的測量結(jié)果的平均值的估計(jì)。
3．根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于所確定的統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)包括一個(gè)對合格批量的測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差的估計(jì)。
4．根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于所確定的統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)包括對一個(gè)第一量與一個(gè)第二量的比率的估計(jì)，其中第一量等于測量結(jié)果的平均值與該平均值的容差極限之間的差值的絕對值，第二量等于合格批量的測量結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)偏差。
5．根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于確定一個(gè)稱為檢驗(yàn)像點(diǎn)的一個(gè)被檢驗(yàn)電子元件的一個(gè)統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)，并且借助于所述準(zhǔn)則，根據(jù)標(biāo)稱統(tǒng)計(jì)和測量像點(diǎn)的比較結(jié)果改變測量日期。
6．根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于用中間標(biāo)準(zhǔn)值代替所述標(biāo)準(zhǔn)值，所述中間標(biāo)準(zhǔn)值通過在所述標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間結(jié)束之前的一個(gè)中間日期對于一批合格元件其端子上建立的勢能的漸近中間值的一個(gè)測量值而得到的，為這些中間值確定中間極限值，并且在測量日期其測量的值與這些中間極限相容的元件被作為合格的。
7．根據(jù)權(quán)利要求1至6所述的方法，其特征在于所述標(biāo)準(zhǔn)值被在一個(gè)中間日期為不同元件的測量結(jié)果的統(tǒng)計(jì)計(jì)算所得到的中間標(biāo)準(zhǔn)值所替代。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于統(tǒng)計(jì)計(jì)算包含一個(gè)消除異常值的濾除。
9．根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于統(tǒng)計(jì)計(jì)算是所述測量的值的一個(gè)平均。
10．根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于當(dāng)所述測量的值大于中間標(biāo)準(zhǔn)值時(shí)，驗(yàn)收元件為合格的。
11．根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于當(dāng)測量的值小于中間標(biāo)準(zhǔn)值時(shí)，驗(yàn)收元件為合格的。
12．根據(jù)權(quán)利要求6至9這的方法，其特征在于當(dāng)測量的值在一個(gè)給定的容差內(nèi)等于中間標(biāo)準(zhǔn)值，驗(yàn)收元件為合格的。
13．根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于通過在一批合格元件上循環(huán)地執(zhí)行所述方法來確定中間日期為最早可能日期，其間中間日期漸近地離開標(biāo)稱等待持續(xù)時(shí)間的結(jié)束處。根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)當(dāng)標(biāo)稱和中間統(tǒng)計(jì)像點(diǎn)不再相容時(shí)循環(huán)停止。
14．根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于中間日期離開的進(jìn)程是單調(diào)遞減的。
15．根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于測量的勢能經(jīng)歷了一個(gè)跟隨有一個(gè)穩(wěn)定階段的一個(gè)過渡階段，在所述過渡階段中得到一個(gè)中間日期。
全文摘要
一種裝置(1)包括處理裝置(13),它能夠控制檢驗(yàn)機(jī)(2)執(zhí)行至少一些其步驟的,每次減少至少一個(gè)持續(xù)時(shí)間直到滿足一個(gè)考慮由該裝置在每個(gè)減少的持續(xù)時(shí)間值測量的電量的分布的終止標(biāo)準(zhǔn),并設(shè)置至多等于企初始值的一個(gè)新的持續(xù)時(shí)間,所測量的電量分布滿足一個(gè)所選擇的分布條件。它還包括一個(gè)函數(shù)發(fā)生器(14),它能提供應(yīng)用于至少一個(gè)在一個(gè)所述步驟期間執(zhí)行的比較的一個(gè)函數(shù),使得所述函數(shù)在新的周期的測量上操作。
文檔編號(hào)G01R35/04GK1220008SQ97195009
公開日1999年6月16日 申請日期1997年5月23日 優(yōu)先權(quán)日1996年5月29日
發(fā)明者菲利蒲·里吉恩 申請人:索福特林克公司