專(zhuān)利名稱(chēng)：輝光放電電流隔離取樣器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及數(shù)據(jù)的采樣技術(shù)，特別提供了一種輝光放電電流隔離取樣器。
在輝光放電陰極濺射時(shí)，不同樣品(基體不同)即使是電壓和氣壓相同時(shí)，放電電流也不相同，因此記錄輝光放電電流數(shù)值，而且要求精確是一個(gè)十分重要而且相當(dāng)關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。過(guò)去使用普通模擬指針式直流毫安表測(cè)量輝光放電電流有如下弊病1.儀表的精度低，給測(cè)量帶來(lái)誤差。2.人工讀數(shù)給測(cè)量帶來(lái)誤差。3.頻繁變化的輝光放電電流，人工讀數(shù)及表指示跟不上電流變化而出現(xiàn)漏檢情況，給分析帶來(lái)不能夠彌補(bǔ)損失。正是基于上述原因，需要用計(jì)算機(jī)來(lái)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，與計(jì)算機(jī)的聯(lián)接需要處理下述三個(gè)技術(shù)問(wèn)題1.將2000伏特的直流輝光放電電源產(chǎn)生的輝光放電電流用計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理；2.將0-100毫安的直流輝光放電電流變?yōu)橛?jì)算機(jī)要求的毫伏級(jí)電壓信號(hào)。3.送入計(jì)算機(jī)的毫伏電壓信號(hào)與輝光放電電流保持寬范圍的線性。
本實(shí)用新型的目的在于提供一種使取樣信號(hào)與輝光放電電流保持寬范圍線性的輝光放電電流隔離取樣器。
本實(shí)用新型提供了一種輝光放電電流隔離取樣器，其特征在于由電阻R1構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)換電路接放大器IC1，經(jīng)電流擴(kuò)展三極管G射級(jí)輸出，再經(jīng)電位器W2，接光電耦合器IC2，輸出端接IC3放大器再經(jīng)W3電位器取樣輸出。本實(shí)用新型具有良好的輸出輸入線性，與計(jì)算機(jī)聯(lián)結(jié)可以精確地測(cè)量輝光放電電流，實(shí)現(xiàn)高壓電流與計(jì)算機(jī)的隔離，
以下結(jié)合附圖通過(guò)實(shí)施例詳述本實(shí)用新型。
附

圖1電氣原理圖實(shí)施例2000伏直流高壓電源產(chǎn)生的輝光放電電流經(jīng)過(guò)輸出低電位端接的R1電阻進(jìn)入輸入放大級(jí)IC1，放大后的電壓經(jīng)過(guò)電流擴(kuò)展三極管G，由射級(jí)輸出經(jīng)電位器W2進(jìn)入光電耦合器IC2，由光敏三極管部分輸出送入輸出取樣級(jí)IC3，經(jīng)W3電位器取出計(jì)算機(jī)需要的毫伏電壓送入計(jì)算機(jī)采樣處理數(shù)據(jù)，參見(jiàn)附圖1。
D1、D2為輸入保護(hù)二極管，當(dāng)輸入電壓超過(guò)1伏時(shí)，D1與D2二極管導(dǎo)通，使輸入電壓被箝位在二個(gè)二報(bào)被嵌位在兩個(gè)二極管管壓降之和的電壓值上，D1為2AP9，D2為IN914。
C9為輸入電壓保護(hù)電容，因電容兩端電壓不能突變，所以一旦輸入電壓突然增高，C9的存在，使IC1的輸入電壓有一緩沖保護(hù)。
電位器功能W1輸入電壓調(diào)節(jié)電位器，當(dāng)輝光放電電流為0-100毫安時(shí)，IC1的輸入電壓可以在＜1V(伏特)之內(nèi)。
W2光電耦合器二極管輸入電流調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)電流為1.5-7毫安時(shí)，保證輸出電壓與輸入電壓為寬范圍線性。
W3輸出電壓調(diào)節(jié)電位器，調(diào)節(jié)W3使輸入輝光放電電流為0-100毫安時(shí)，取出計(jì)算機(jī)要求的毫伏值電壓。
W4輸出級(jí)IC3增益調(diào)節(jié)電位器。
W5輸出級(jí)IC3調(diào)零電位器。
W6光電耦合器的光敏三極管部分調(diào)零電位器。
該裝置有兩組各自獨(dú)立的直流穩(wěn)壓電源，一組為+12伏電源供給IC1及G兩部份電路電源，另一組為±15伏電源，供給IC2，IC3兩部分電源，RD為電源過(guò)流保護(hù)，熔斷器，K為電源開(kāi)關(guān)。D3為電源給電指示發(fā)光二極管。
附圖1.輝光放電電流隔離取樣器電氣原理圖；2.輝光放電電流隔離取樣器元器件表。
權(quán)利要求1.一種輝光放電電流隔離取樣器，其特征在于由電阻R1構(gòu)成的信號(hào)轉(zhuǎn)換電路接放大器IC1，經(jīng)電流擴(kuò)展三極管G射級(jí)輸出，再經(jīng)電位器W2，接光電耦合器IC2，輸出端接IC3放大器再經(jīng)W3電位器取樣輸出。
2.按權(quán)利要求1所述輝光放電電流隔離取樣器，其特征在于在放大器IC1前接入二個(gè)串聯(lián)的嵌位二極管D1、D2。
專(zhuān)利摘要一種輝光放電電流隔離取樣器,其特征在于:由電阻R
文檔編號(hào)G01R19/165GK2285478SQ9623894
公開(kāi)日1998年7月1日 申請(qǐng)日期1996年10月31日 優(yōu)先權(quán)日1996年10月31日
發(fā)明者徐奐光 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院金屬研究所