專(zhuān)利名稱(chēng)：電容式氣壓傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種電容式氣壓傳感器，特別是一種內(nèi)電容式氣壓傳感器，適用于氣象及航空領(lǐng)域中地面至30公里高度范圍內(nèi)的大氣壓力、飛行高度等參數(shù)的測(cè)量。
現(xiàn)在采用的內(nèi)電容式氣壓傳感器為真空膜盒內(nèi)電容式氣壓傳感器，如美國(guó)AIR從司研制的數(shù)字式氣壓傳感器，就是在一塊陶瓷基片的兩面印有圓形金屬圖案作為平板電容器的定片，再在印有圖案的陶瓷基片的兩面分別焊接金屬平膜片作為平板電容器的動(dòng)片，形成二組并聯(lián)的平板電容器，該兩片金屬平膜片形成一真空膜盒。這種傳感器的結(jié)構(gòu)雖簡(jiǎn)單，但其電容變量較小，總量?jī)H為5pf，在150-10hpa范圍內(nèi)其靈敏度僅為46.7hpa/0.1pf。
本實(shí)用新型的目的就是為了提供一種既結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、且電容量變化大、靈敏度高的內(nèi)電容式氣壓傳感器。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的充分利用平板電容器的電容量與極片間距離的平方成反比的特性，盡量縮小兩極片之間的距離并增大兩極片的面積以及改變波紋膜片特性以增大電容變量，來(lái)提高其測(cè)試靈敏度。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型一實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型縱截面的結(jié)構(gòu)剖視圖。
由圖可知，本實(shí)用新型包括有定片1、動(dòng)片2、波紋膜片3、絕緣基片4。首先在陶瓷絕緣基片4上印制出銀合金定片1，在銅合金波紋膜片3內(nèi)側(cè)設(shè)置一銅動(dòng)片2，將銅合金波紋膜片3與陶瓷絕緣基片4進(jìn)行周邊密封焊接形成真空腔體，于是定片1與動(dòng)片2組成一組平板電容，其電容量可從定片1、動(dòng)片2上測(cè)得。由于平板電容處于真空狀態(tài)，介質(zhì)為真空，徹底消除了外界氣壓及濕度變化對(duì)電容產(chǎn)生的影響，通過(guò)調(diào)整波紋膜片的變形特性，同樣可達(dá)到隨著氣壓的降低，電容量的變化則愈來(lái)愈大，測(cè)量靈敏度愈來(lái)愈高，在150-10hpa范圍內(nèi)其靈敏度可達(dá)22.5hpa/0.1pf，因而本實(shí)用新型特別適用于高空測(cè)量氣壓、飛行高度等參數(shù)。
權(quán)利要求1.一種電容式氣壓傳感器，包括有定片1、動(dòng)片2、波紋膜片3、絕緣基片4，其特征在于定片1印制在絕緣基片4上，動(dòng)片2設(shè)置在靠波紋膜片3內(nèi)側(cè)，波紋膜片3與絕緣基片4采用周邊密封焊接成一真空腔，定片1與動(dòng)片2組成一組平板電容。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種電容式氣壓傳感器,其主要特征是其定片印制在絕緣基片上,動(dòng)片與波紋膜片焊成一體,波紋膜片與絕緣基片采用周邊密封焊接并形成真空腔,在該真空腔內(nèi)的定片與動(dòng)片組成平板電容,因而電容變量不受外界氣壓和濕度變化的影響。還可通過(guò)調(diào)整波紋膜片的變形特性,使得隨著氣壓的降低,電容量變化愈來(lái)愈大,測(cè)量靈敏度愈來(lái)愈高,適于高空測(cè)量氣壓和飛行高度。
文檔編號(hào)G01L23/12GK2291656SQ96230800
公開(kāi)日1998年9月16日 申請(qǐng)日期1996年9月28日 優(yōu)先權(quán)日1996年9月28日
發(fā)明者蘇守義 申請(qǐng)人:上海無(wú)線電二十三廠