專利名稱:氧氣探測器的制作方法
本發(fā)明涉及氧氣探測器，更具體地說，是涉及適用于測定汽車排出的廢氣中所含氧氣濃度的氧氣探測器。
這種氧氣探測器具有固定在傳感元件上的加熱元件，有關(guān)這種氧氣探測器的制作技術(shù)，可提出下列方法，其中之一在日本實用新型公開號130，261/1983中有所說明。在這種工藝方法中，分別把二氧化鋯(ZrO2)和三氧化二鋁(Al2O3)未燒結(jié)薄片作為傳感器元件和電絕緣基片，然后將電極，加熱元件壓制在這些未燒結(jié)薄片上，然后在不采用粘結(jié)劑的情況下，把它們進行層壓之后再將其同時進行燒結(jié)。另一種方法公布于日本專利公開號154，451/1980上，其中，同樣是在不采用粘結(jié)劑的情況下，將用穩(wěn)定的二氧化鋯(ZrO2)薄膜或者較厚的薄片形成的傳感元件疊放在預(yù)先燒結(jié)過的三氧化鋁(Al2O3)基底的加熱元件層上，然后經(jīng)熱處理將其燒結(jié)并與加熱元件連接成一體。
由于所用二氧化鋯(ZrO2)及三氧化二鋁(Al2O3)薄層具有不同的熱膨脹系數(shù)，又由于在探測器的操作條件(600至900℃)與該裝置的靜置條件(室溫)之間會出現(xiàn)熱循環(huán)，致使兩層的熱膨脹程度不一樣，那么在這兩層之間的連接界面上就會產(chǎn)生應(yīng)力，從而導(dǎo)致剝層，破裂或者類似的現(xiàn)象。而且，在將這兩種材料同時進行燒結(jié)這種通常的工藝中，會產(chǎn)生諸如由于三氧化二鋁(Al2O3)的燒結(jié)程度不夠，而造成其強度不足;以及由于在燒結(jié)過程中加進了太多的輔助燒結(jié)試劑，會造成電阻減小等等這樣的一些問題。
本發(fā)明的目的就是提供由具有不同熱膨脹系數(shù)的陶瓷材料制成的傳感元件和加熱元件構(gòu)成的氧氣探測器。并且，在本發(fā)明的探測器中，將不同熱膨脹系數(shù)的陶瓷材料互相連接起來，致使連接部分能防止熱循環(huán)以及熱沖擊，而且能讓所用加熱元件以優(yōu)良的導(dǎo)熱性加熱所用傳感元件。
本發(fā)明的特征是就受熱時的性能變化情況而言，由于相變而致使陶瓷材料有時候表現(xiàn)出相當(dāng)程度的滯變非線性位移;因而，將由具有不同熱膨脹系數(shù)的陶瓷材料制成的傳感元件和加熱元件，用插入到該傳感元件和加熱元件之間的中間層相互連接在一起;以此吸收或者減緩該傳感元件和加熱元件之間連接界面處的位移量。
本發(fā)明之所以優(yōu)越，乃是該加熱構(gòu)件是這樣成型的。這就是將其傳感元件用加熱元件包圍住，并把它埋入加熱元件，從而提高粘接強度的持久性;并且在該傳感元件和加熱元件之間夾入中間層，以使傳感元件在其受熱期間能夠與加熱構(gòu)件緊密接觸，而在其不受熱時，將該傳感元件保持在該加熱元件內(nèi)，從而防止該傳感元件脫落。
為了使傳感元件的溫度保持穩(wěn)定狀態(tài)，因此，在將探測器置于溫度波動頻繁的被測氣體條件下進行檢測時，該傳感元件要保持所要求的檢測精度;除了其檢測電極部位之外，該傳感元件都被加熱構(gòu)件所包圍;而在傳感元件的檢測部位上，可以提供一個多孔保護膜。最好是，采用根據(jù)表示傳感元件的溫度的電子信號，把負(fù)反饋控制信號加給加熱元件的熱源的裝置。
圖1A為本發(fā)明一實施方案中所用傳感元件的透視圖;
圖1B為根據(jù)本發(fā)明一實施方案所制得的加熱元件的透視圖;
圖2為圖1A中沿2-2線所取的傳感元件的剖視圖;
圖3為圖2所示傳感元件的側(cè)視圖;
圖4為圖2中所示傳感元件所用的電子電路圖;
圖5為表明傳感元件特性的曲線圖;
圖6為表明傳感元件特性的曲線圖;
圖7為將傳感元件固定到加熱器上的氧氣探測器的俯視圖。
圖8為圖7中沿8-8線所取的傳感元件的剖視圖;
圖9為圖7中沿9-9線所取的傳感元件的剖視圖;
圖10為圖8中沿10-10線所取的傳感元件的剖視圖;
圖11為圖8中沿11-11線所取的傳感元件的剖視圖;
圖12為圖8中沿12-12線所取的傳感元件的剖視圖;
圖13A為根據(jù)本發(fā)明的另一個實施方案的傳感元件的透視圖;
圖13B為根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案的加熱元件的透視圖;而圖14為表明溫度和氣體流速之間的關(guān)系的曲線圖。
以下將參照圖1至12按照本發(fā)明詳細(xì)說明其氧氣探測器的一種實施方案。
在圖1A和圖1B中分別表示出了傳感元件和加熱元件，所構(gòu)成的氧氣探測器中包括傳感元件1，加熱元件3以及中間層(在圖1A和圖1B中未表示出來，這將在后進行說明)。該中間層的作用是將傳感元件1與加熱元件3連接起來。正如圖2和圖3所示，傳感元件1是由相互重疊起來的兩個傳感元件組成的。其中一個輸出與氧氣濃度成正比的信號，而另一個則在相應(yīng)于理論上空氣-燃料比率點的氧氣濃度點上表示出開關(guān)輸出特性。傳感元件1將參照圖2和圖3進行說明。
用三氧化二釔(Y2O3)穩(wěn)定的二氧化鋯(ZrO2)固體電解質(zhì)薄片5是由三層組成的;這三層互相連接成一片，其中有相互平行成形的兩個室腔7和9，并且是沿固體電解質(zhì)薄片5的長度方向延伸的。室腔7在傳感元件1的一端有一條窄狹縫似的開口11，而室腔9在與上述開口11相同的一端有一條相對比較寬的窄狹縫似開口13。在彼此相對的兩面上形成一對多孔電極15和17以便夾入該固體電解質(zhì)薄片5的一部分。電極15置于固體電解質(zhì)薄片5的上表面，而電極17則連接在限定室腔7的部分壁表面上。在室腔9中，提供了另一多孔電極19，并使其與電極15相配對。電極15，17，19可用例如鉑制成并具有吸收和游離氧化(O2)的能力。把電極15稱為探測電極。該電極置于要檢測的氣體之中，并把來自相對電極19的氧離子游離而使其成為氣體。把電極19稱為參考電極。該參考電極有大量的細(xì)微開口;并且暴露于環(huán)繞該電極而形成的空間之中，也就是擴散室9中并與周圍要檢測的氣體隔離開。此擴散室9與要檢測的氣體在擴散過程中經(jīng)擴散開口13而相互連通。當(dāng)如圖4所示，使電流Ip從探測電極15流向參考電極19，而同時固體電解質(zhì)薄片5的溫度又保持在600至800℃時，參考電極19就會吸收擴散室9中的氧氣并使其離子化，而這樣形成的氧離子又經(jīng)固體電解質(zhì)薄片5抽出來。結(jié)果是參考電極19一側(cè)的氧氣濃度就會不斷地變得小于探測電極15一側(cè)的氧氣濃度，于是感應(yīng)出一個集中傳感元件上的電動勢。例如，當(dāng)固體電解質(zhì)薄片5的溫度為700℃，而且探測電極15和參考電極19之間的氧氣濃度比達到20位數(shù)時，根據(jù)能斯脫(Nernst)方程，例如可以得到的感應(yīng)電動勢＝1伏特。由于在被檢測氣體中的氧氣擴散進入擴散室9時，在擴散開口13處將氧氣的速度有選擇地進行了調(diào)節(jié)，所以所有的氧氣都被連續(xù)地抽出來了;因此，當(dāng)被檢測氣體中的氧氣濃度Po恒定時，這樣感應(yīng)出的電流表示的是一個相對應(yīng)的閾值。
因此，被檢測氣體中的氧氣濃度Po與Ip之間的比例關(guān)系是這樣建立起來的，即由一電子電路向電流Ip提供反饋，從而可使探測電極15與參考電極19之間感應(yīng)電動勢E例如可取一個定值。圖5表明了這一關(guān)系。
相對電極15-17的傳感部件具有與上述傳感部件不同的用途。該傳感部件就是一個氧氣濃度傳感元件，其中，把氧氣不斷地從探測電極15排入圍繞參考電極17，用于貯存氧氣的室腔7中，其過量的氧氣則經(jīng)開口11從室腔7中逸散出來;因此，其濃度基本上保持在與大氣中氧氣濃度相近似的值上。以該值作參考，則探測電極15附近的氧氣濃度就可按照能斯脫(Nernst)方程在該濃度傳感元件上進行測定。在這種情況下的輸出特性是當(dāng)用鉑作探測電極15時，則在燃料濃度大于空氣-燃料比理論值的部位，其催化功能使得探測電極15附近的氧氣濃度要比參考電極17附近的氧氣濃度小大約20位數(shù)。在圖6中，表明了汽車所用氧氣探測器中傳感元件的輸出特性，其中表示的是理論上的空氣-燃料比值。
如上所述，將兩個傳感部件重疊起來即形成氧氣探測器。其中一個傳感部件輸出正比于氧氣濃度的，并且對溫度有很大依賴關(guān)系的信號;而另一個傳感部件則表示出與其空氣-燃料比理論值相對應(yīng)的，并且在該理論點值上與溫度依賴關(guān)系小的氧氣濃度點上的開關(guān)輸出特性。把包括有層疊起來的兩片傳感部件1粘接到加熱元件3上。傳感元件1與加熱元件3的連接方式應(yīng)使成比例輸出信號的傳感部件與所用加熱元件3相對起來，從而就其溫度依賴關(guān)系而言，這兩個傳感元件都可得到改進。
下面參照圖7至圖12，詳細(xì)說明該氧氣探測器。在這種氧氣探測器中，把傳感元件1埋入加熱元件3中。
圖7為氧氣探測器的俯視圖，其中的傳感元件1以平而細(xì)長的薄片狀成形并埋入加熱元件3中。該傳感元件裝配有室腔7，9，并且在其一端裝配有各種電極15，17，19，而在另一端配有各種端接頭。
再參看圖8和圖9，如上所述，傳感元件在其一端裝配有電極15，17和19，而在其另一端則裝有分別與電極15，17和19電連接起來的端接頭151，171和191。
正如圖9和圖10所示，將參考電極17置于帶有開口11的貯存室7內(nèi)，并具有一鉛條172。將該鉛條經(jīng)插入固體電解質(zhì)薄片5中形成的一通孔內(nèi)的鉛條173與接頭171電連接起來。正如圖9和圖11所示，把參考電極19置于帶有開口13的擴散室9內(nèi)，并具有鉛條192。該鉛條經(jīng)插入固體電解質(zhì)薄片5中形成的一通孔內(nèi)的鉛條193與端接頭191電連接起來。
再將這樣形成的傳感元件1鑲?cè)爰訜嵩?中。
加熱元件3中包括有電絕緣基片23以及埋入基片23內(nèi)的加熱單元體25?；?3是由三氧化二鋁(Al2O3)作為主要成份的材料，即以三氧化二鋁為基質(zhì)的陶瓷材料制成的;而加熱單元體25，最好選用層板狀的氧化鎢。加熱單元體25繞室腔7，9成Z字形排列。把加熱單元體25的兩端252均通過插入在基片23中作成的通孔內(nèi)的鉛條253與接頭251電連接起來。
正如在圖1B中所清楚地表明的那樣，板狀的基片23具有基本上成長方形截面的凹槽230;該凹槽向其長度方向延伸。凹槽230的存在使得在該凹槽230的兩側(cè)形成了一對側(cè)壁232，致使從其底表面231上凸出來，從而形成一個U形截面。將粘結(jié)劑置于基片23凹槽230的表面上，該基片23已預(yù)先例如在1600℃上燒結(jié)過;再將傳感元件置于粘結(jié)劑上，這個傳感元件也預(yù)先例如在1500℃上燒結(jié)過;然后將層疊起來的傳感元件1和加熱元件3烘烤到低于基片23燒結(jié)溫度的溫度上，例如1100-1200℃;由此在傳感元件1和加熱元件3之間形成一個中間層21。此中間層21沒有進行完全的燒結(jié)，其中具有大量的微米(μm)級細(xì)微裂縫，從而使其呈未上過釉的瓷料狀態(tài)。中間層21的厚度在側(cè)壁232之間的部分大約為0.05毫米，而在側(cè)壁232處的厚度大約為0.2毫米。
基片23的厚度與傳感元件1的厚度大致相同。側(cè)壁232的厚度大約為傳感元件1的厚度的1.5倍或者是比傳感元件1的厚度厚。凹槽230的深度大致為傳感元件1的厚度的1/2倍，這樣一來，用于產(chǎn)生寬范圍燃料-空氣比率信號的傳感元件部分的擴散室9就可以完全埋入到加熱元件3基片23的側(cè)壁232和底表面231中間上，只是在其端表面上提供了擴散用的開口13。
與如上所述的其傳感元件與不帶有本發(fā)明這樣的側(cè)壁部分的加熱元件相粘接而構(gòu)成的氧氣探測器比較起來，在傳感元件1和加熱元件3之間的接界處，本發(fā)明這樣形成的氧氣探測器具有的粘結(jié)強度大約要大3倍或者更高。當(dāng)將氧氣探測器加熱時，傳感元件1和加熱元件3均會膨脹。而由于由三氧化二釔(Y2O3)穩(wěn)定的二氧化鋯(ZrO2)構(gòu)成的固體電解質(zhì)薄片5的熱膨脹系數(shù)大于三氧化二鋁構(gòu)成的基片23的熱膨脹系數(shù)，則傳感元件1就會擠壓中間層21使在側(cè)壁部分232上出現(xiàn)裂縫，從而使傳感元件1和加熱元件3緊密接觸，并使中間層21的裂縫也緊緊地閉合了。由于傳感元件1和加熱元件3的熱膨脹，在凹槽230的底表面231上面的中間層21也會受到傳感元件1和加熱元件3的壓力，因而也會使傳感元件1在凹槽230的底表面231處與加熱元件3緊密接觸，總的效果是能夠使傳感元件1與加熱元件3緊密接觸。當(dāng)探測器從這一狀態(tài)冷卻下來時，中間層21中又會恢復(fù)其原來的裂縫狀態(tài)。中間層21的這一作用使其能夠吸收該氧氣探測器在受熱沖擊時引起的應(yīng)力。中間層21的熱膨脹系數(shù)處于該傳感元件1的熱膨脹系數(shù)和加熱元件3的熱膨脹系數(shù)之間，例如，三氧化二鋁(Al2O3)的熱膨脹系數(shù)∶二氧化鋯(ZrO2)的熱膨脹系數(shù)∶中間層21的熱膨脹系數(shù)＝7∶22∶10-15。因此，中間層21減小了該傳感元件1和加熱元件3中由于其熱膨脹差而引起的熱應(yīng)力。
如上所述，傳感元件1主要是用三氧化二釔(Y2O3)穩(wěn)定的二氧化鋯(ZrO2)構(gòu)成的，而所用加熱元件則主要是由三氧化二鋁(Al2O3)構(gòu)成的，并且這兩個元件預(yù)先都分別進行過燒結(jié)。采用含有三氧化二鋁(Al2O3)的化合物作為主要試劑的復(fù)合物，而把二氧化鋯(ZrO2)，氧化硅(SiO)，氧化鎂(MgO)等用作為輔助粘結(jié)試劑或輔助燒結(jié)試劑。具體地說，含水1液體型糊狀粘結(jié)劑是由95%的三氧化二鋁(Al2O3)，4%的二氧化鋯(ZrO2)制成的，并且使用了1%的氧化硅(SiO)。也可以采用除上述而外的化合物將加熱元件3與傳感元件1粘接起來，這種化合物包括有50-95%的三氧化二鋁(Al2O3)，50-4%的二氧化鋯(ZrO2)，其余至少為氧化硅(SiO)和氧化鎂(MgO)中的一種。
該加熱元件3和傳感元件1分別在適宜的燒結(jié)過程中進行燒結(jié)，然后可用含有三氧化二鋁(Al2O3)作為其主要試劑，而含有二氧化鋯(ZrO2)，氧化硅(SiO)或者氧化鎂(MgO)作為粘結(jié)輔助試劑的粘結(jié)劑將它們粘結(jié)起來。
傳感元件1的結(jié)構(gòu)中包括空氣-燃料比理論值的檢測傳感部件以及產(chǎn)生寬范圍的空氣-燃料比率函數(shù)信號的傳感部件，后者的安置位置應(yīng)使其可與加熱元件3的U形截面緊密接觸，而前者的安置位置應(yīng)使其能以層狀疊合于后者之上。這樣，把加熱元件3直接與輸出燃料-空氣比的比例信號的傳感部件粘接起來;從而改善了對其熱控制的能力，并且就這兩個傳感部件的溫度依賴關(guān)系而言，也可以得到改進。
圖13A和圖13B分別表示出了打有孔41至44，和51至54的傳感元件30和加熱元件31。所開孔中填有中間層或者粘結(jié)劑物質(zhì)，這樣可產(chǎn)生楔固作用。
正如圖14所示，在傳感元件1表面上的溫度隨氣流速度的增加而降低。這是由特性曲線B標(biāo)示出來的。而該傳感元件1和加熱元件3之間的溫度則基本上保持在一穩(wěn)定值上，這是由特性曲線A表示的。
盡管上述實施方案是圍繞兩個傳感部件以層狀形式疊合起來構(gòu)成傳感元件1的情形而進行說明的，但是本發(fā)明當(dāng)然也可以采用僅由一個傳感部件構(gòu)成的傳感元件(例如使用上述兩個傳感部件中的任何一個部件)。
還可以沿所用傳感元件的厚度方向上開凹槽，形成斜面，并提供階梯部分或者采取其它的措施;致使對于安置之后的傳感元件而言，這種粘結(jié)劑還具有楔固作用;而且在加熱元件3的U形截面的兩側(cè)邊也可象如前所述開凹槽，形成斜面，并提供階梯部分或者采取其它的措施。
權(quán)利要求
1.氧氣探測器，其中包括一傳感元件，該傳感元件中裝有具備氧離子導(dǎo)引功能的固體電解質(zhì)薄片；置于上述固體電解質(zhì)薄片的一個表面上，致使其能夠暴露于被檢測氣體之中的探測電極；在上述固體電解質(zhì)薄片上裝配的參考電極以使其通過至少一個上述固體電解質(zhì)薄片部件而與上述探測電極相對；和用來封閉上述參考電極的室腔，該室腔具有一開口，并經(jīng)此開口與要檢測的氣體相連通；以及用于將上述傳感元件加熱到預(yù)定溫度的加熱元件；本發(fā)明的特征是，上述加熱元件具有一在其中接納上述傳感元件的凹槽，從而在上述加熱元件的兩側(cè)形成一對側(cè)壁部分，并且將該傳感元件置于上述加熱元件的凹槽內(nèi)，以致使上述傳感元件的每一側(cè)都可被上述加熱元件的側(cè)壁部分所覆蓋，并將上述室腔的開口置于上述加熱元件的一端附近以使其處于被檢測氣體環(huán)境中，而且該傳感元件是粘接到置于上述凹槽表面上的中間層上的，該中間層的熱膨脹系數(shù)為這些固體電解質(zhì)薄片的熱膨脹系數(shù)和其加熱元件的熱膨脹系數(shù)之間的中間值。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的氧氣探測器，其中，上述固體電解質(zhì)薄片主要是用三氧化二釔(Y2O3)穩(wěn)定的二氧化鋯(ZrO2)制成的，而上述加熱元件中包括主要用三氧化二鋁(Al2O3)制成的電絕緣基片和埋入該基片中的加熱單元體;上述中間層是這樣形成的，即在低于三氧化二鋁(Al2O3)燒結(jié)溫度的溫度下將包括有三氧化二鋁(Al2O3)和二氧化鋯(ZrO2)的糊狀混合物進行燒結(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求
2所述的氧氣探測器，其中，上述中間層中具有大量的細(xì)微裂縫，從而使其可以吸收在上述固體電解質(zhì)薄片及上述基片中因熱沖擊而引起的應(yīng)力。
4.氧氣探測器，其中包括具備氧離子導(dǎo)引能力的固體電解質(zhì)薄片，該固體電解質(zhì)薄片是細(xì)長狀的，而且其垂直于長度方向的截面基本上成矩形;在上述固體電解質(zhì)薄片中形成的第一和第二室腔，致使其沿長度方向基本上是相互平行地延伸著，而且這些室腔具有開口;置于上述固體電解質(zhì)薄片的一個表面上，致使其暴露于被檢測的氣體之中的探測電極;裝在上述固體電解質(zhì)薄片表面上，致使其分別處于上述第一和第二室腔之中的第一和第二參考電極，從而通過上述探測電極，以及上述第一參考電極及置于其間的部分上述固體電解質(zhì)薄片形成第一傳感部件，而通過上述探測電極，以及上述第二參考電極及另外一部分上述固體電解質(zhì)薄片構(gòu)成第二傳感部件;以及用來加熱上述第一和第二傳感部件的加熱元件，并且是由電絕緣基片以及埋入該基片中的加熱單元體構(gòu)成的加熱元件，本發(fā)明的特征是，上述加熱元件中沿上述固體電解質(zhì)薄片的長度方向開有一凹槽，從而于該凹槽的兩側(cè)，沿該凹槽的長度方向上形成一對側(cè)壁部分，將該固體電解質(zhì)薄片裝設(shè)于上述加熱元件的凹槽內(nèi)，以致使上述室腔的開口處于上述加熱元件的端部附近，而且在上述固體電解質(zhì)薄片與其加熱元件之間提供有中間層，通過上述中間層的燒結(jié)，可將該加熱元件粘接到上述固體電解質(zhì)薄片上，上述中間層經(jīng)燒結(jié)后，其中還具有大量的細(xì)微裂縫，而且其中間層的熱膨脹系數(shù)是在上述固體電解質(zhì)薄片的熱膨脹系數(shù)和該加熱元件基片的熱膨脹系數(shù)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求
4所述的氧氣探測器，其中，上述第一和第二傳感部件分別為空氣-燃料比理論值上的檢測傳感元件和產(chǎn)生寬范圍的空氣-燃料比率信號的傳感元件，而且將該第二傳感元件置于上述加熱元件的凹槽內(nèi)，從而通過上述加熱元件經(jīng)過上述第二傳感元件把上述第一傳感元件進行加熱。
6.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的氧氣探測器，其中，上述中間層以三氧化二鋁(Al2O3)為主要成分，包括二氧化鋯(ZrO2)，還有一種成分選自由二氧化硅(SiO2)和氧化鎂(MgO)組成的一組物質(zhì)，而上述固體電解質(zhì)薄片主要是由三氧化二釔(Y2O3)穩(wěn)定的二氧化鋯(ZrO2)制成的，而該基片則主要是由三氧化二鋁(Al2O3)制成的。
7.根據(jù)權(quán)利要求
6所述的氧氣探測器，其中，上述固體電解質(zhì)及其各個電極構(gòu)成上述傳感元件;該傳感元件成板片狀;該加熱元件也按板片狀成形，只是在其一個表面上開有凹槽，而該傳感元件單元的大約一半的厚度是被上述加熱元件的上述側(cè)壁部分所覆蓋著的。
8.根據(jù)權(quán)利要求
7所述的氧氣探測器，其中，上述側(cè)壁的每一個側(cè)壁的厚度均應(yīng)大于該傳感元件的厚度。
9.根據(jù)權(quán)利要求
6所述的氧氣探測器，其中，上述中間層中包括有50-95%(重量)的三氧化二鋁(Al2O3)和50-4%(重量)的二氧化鋯(ZrO2)。
10.根據(jù)權(quán)利要求
9所述的氧氣探測器，其中，上述中間層是在低于上述基片燒結(jié)溫度的溫度下進行燒結(jié)的。
11.根據(jù)權(quán)利要求
4所述的氧氣探測器，其中，上述傳感元件和加熱元件上開有多個孔，并在孔中填有部分上述中間層材料。
專利摘要
適于測量汽車廢氣中所含氧氣濃度的氧氣探測器，包括有傳感元件和為加熱該傳感元件而裝置的加熱元件。包括電絕緣基片和埋入該基片內(nèi)的加熱單元體的加熱元件的一個表面上具有凹槽，該凹槽形成了一對側(cè)壁部分。傳感元件包括有固體電解質(zhì)薄片，探測電極，參考電極以及除了其開口而外可封閉參考電極的室腔。傳感元件置于加熱元件的凹槽內(nèi)并通過置于該傳感元件和加熱元件之間經(jīng)燒結(jié)的中間層與加熱元件相粘接。該中間層中有大量的細(xì)微裂縫而且其熱膨脹系數(shù)處于固體電解質(zhì)和基片的熱膨脹系數(shù)之間。
文檔編號G01N27/419GK86100466SQ86100466
公開日1986年7月23日 申請日期1986年1月21日
發(fā)明者上野定寧 申請人:株式會社日立制作所導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan