專利名稱:全波段快響應(yīng)激光功率計(jì)的制作方法
本實(shí)用新型屬于測(cè)量?jī)x器。
一般的激光功率計(jì)使用的檢測(cè)元件是中性的吸收體。涂黑層長時(shí)間使用容易掉色，使其靈敏度降低，而且吸收系數(shù)小，響應(yīng)時(shí)間長，不便于用來監(jiān)視功率快變化和調(diào)整諧振腔。參見美國專利No3596514。
本實(shí)用新型的目的是對(duì)激光功率計(jì)的檢測(cè)元件進(jìn)行了改進(jìn)，即提高了功率計(jì)的靈敏度又縮短了響應(yīng)時(shí)間。
圖1是功率計(jì)接收頭示意圖。圖中1是散熱片，2是夾具，3是殼體，4是檢測(cè)元件，5是支桿，6是底座，13是引線頭。15是入光口。
圖2是功率計(jì)放大器線路方框圖。圖中7是運(yùn)算放大器，8是A－D交換器，9是數(shù)字表頭。
圖3是檢測(cè)元件正面示意圖，圖中10是鋁片，11是鈦涂層，12是鉍涂層，13是引線頭。
圖4是檢測(cè)元件的側(cè)視圖，圖中14是石墨乳劑涂層。
本實(shí)用新型的特點(diǎn)是檢測(cè)元件用經(jīng)陽極氧化處理的薄鋁片(10)，片厚0.1毫米－0.3毫米。其氧化膜厚10－20微米。面向入射光的吸收面，表面先作了腐蝕處理，再涂有石墨乳劑層(14)以提高吸收的光量。在受光面的背面，用真空蒸鍍的方法鍍上15對(duì)熱電偶。熱電偶的材料是鈦和鉍或銻和鉍?？梢韵儒兩镶佋馘兩香G?；蛳儒兩箱R再鍍上鉍。熱電偶的厚度為0.5－1.5微米。熱電偶排列成輻射狀，兩種熱電偶材料是相互串聯(lián)，產(chǎn)生相加的電動(dòng)勢(shì)。熱電偶的熱端分布在直徑大約8毫米的元周上，冷端分布在直徑大約28毫米的元周上。冷端與激光功率計(jì)接收頭的外殼(3)接觸。利用外殼的大熱容量使冷端保持在室溫下。下面簡(jiǎn)述激光功率計(jì)的工作原理。光量通過入光口(15)到檢測(cè)元件(4)上，在檢測(cè)元件上產(chǎn)生熱電勢(shì)。熱電勢(shì)通過引線頭(13)送到運(yùn)算放大器(7)，將信號(hào)放大后送到A－D轉(zhuǎn)換器(8)上把模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，在數(shù)字表(9)上顯示出所測(cè)的激光功率?？梢詼y(cè)量從毫瓦級(jí)到幾十瓦級(jí)的激光功率。
本實(shí)用新型靈敏度高18mV／W，響應(yīng)時(shí)間短≤1秒，可以測(cè)量從紫外到紅外光譜區(qū)上的激光功率，也可以用來監(jiān)視功率的快變化。
權(quán)利要求
1.全波段快響應(yīng)激光功率計(jì)由散熱片(1)、夾具(2)、殼體(3)、檢測(cè)元件(4)、支桿(5)、底座(6)、運(yùn)算放大器(7)A-D變換器(8)和數(shù)字表頭(9)組成本實(shí)用新型的特征是接收元件用陽極氧化的鋁片(10)，一面涂有石墨乳劑(14)，另一面鍍有15對(duì)熱電偶。
2.按權(quán)利要求
1所述的激光功率計(jì)其特征是15對(duì)熱電偶的材料是鈦和鉍或鉍和銻。
3.按權(quán)利要求
1或2所述的激光功率計(jì)其特征是熱電偶的厚度是0.5－1.5微米。
專利摘要
一種新型的全波段快響應(yīng)激光功率計(jì)，在陽極氧化鋁片上，面向入射光的吸收面上涂有石墨乳劑。在受光面的背面用真空蒸鍍的方法鍍上十五對(duì)熱電偶，接上放大電路?？梢宰龀蓽y(cè)量毫瓦級(jí)到幾十瓦級(jí)的激光功率計(jì)。本功率計(jì)的響應(yīng)時(shí)間＜1秒，靈敏度高18mV/W可以測(cè)量從紫外到紅外譜區(qū)的激光功率。也可以用來監(jiān)視功率的快變化。
文檔編號(hào)G01J5/12GK85200370SQ85200370
公開日1985年9月10日 申請(qǐng)日期1985年4月1日
發(fā)明者黃振國, 李前康 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院電子學(xué)研究所導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan