專利名稱:變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及用于變溫超高真空掃描隧道顯微鏡的樣品臺(tái)。
技術(shù)背景
變溫超高真空掃描隧道顯微鏡是一種用于研究表面科學(xué)的研究工具，目前的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡由各生產(chǎn)廠商分別涉及，配件昂貴，切不可通用，這就造成了維護(hù)困難諸多缺點(diǎn)，樣品臺(tái)作為其中的一個(gè)配件，同樣存在上述問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種使用方便、能夠在多種高溫超高真空掃描隧道顯微鏡上使用的樣品臺(tái)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下
本實(shí)用新型的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，包括基架和樣品固定架，所述的樣品固定架高度可調(diào)的固定在所述的基架上。
優(yōu)選的，所述的基架包括基底、基底上的固定架、位于固定架上的限位突起，所述的樣品固定架通過對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)螺栓可調(diào)節(jié)的固定在所述的固定架上、所述限位突起的上方。
優(yōu)選的，所述的基底為扁平的長方體結(jié)構(gòu)，所述的固定架呈長條設(shè)置于所述基底的中心、并貫穿所述基底，所述的限位突起為位于所述固定架中心且和所述固定架等寬的長條狀結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選的，所述的樣品固定架包括基座和固定在基座中心的樣品臺(tái)，所述的基座通過螺栓和所述的固定架固定。
優(yōu)選的，所述的基座為圓柱接圓臺(tái)的一體結(jié)構(gòu)，所述的樣品臺(tái)呈圓柱狀設(shè)置于所述基座的頂部中心位置。
優(yōu)選的，所述的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)的材質(zhì)采用金屬鉬
本實(shí)用新型的有益效果如下
本實(shí)用新型的樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)使用方便，能夠利用多種樣品傳送系統(tǒng)傳遞樣品，如可以利用基架上的突出部分用真空機(jī)械手傳樣，也可以利用基架和樣品固定架間的空隙用磁力傳樣桿傳樣，也適用于絕大多數(shù)的商業(yè)真空樣品操縱臺(tái)。


圖1為本實(shí)用新型的樣品臺(tái)的主視圖；
圖2為本實(shí)用新型的樣品臺(tái)的仰視圖；
圖3為本實(shí)用新型的樣品臺(tái)的側(cè)視圖；
圖4為本實(shí)用新型的樣品臺(tái)的立體圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案和有益效果進(jìn)一步進(jìn)行說明。
參見附圖1至4，本實(shí)用新型的樣品臺(tái)包括基架3和樣品固定架6，基架3包括基底1、基底1上的固定架2、位于固定架上的限位突起8，樣品固定架6通過對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)螺栓7固定在固定架2上、限位突起8的上方，且高度可調(diào)，螺栓7可以選擇0-80大小的螺桿和螺母?；?為扁平的長方體結(jié)構(gòu)，固定架2呈長條設(shè)置于基底1的中心、并貫穿基底 1，限位突起8為和固定架2等寬的長條狀結(jié)構(gòu)。樣品固定架6包括基座4和固定在基座4 中心的樣品臺(tái)5，基座4通過螺栓和固定架2固定?；?為圓柱接圓臺(tái)的一體結(jié)構(gòu)，樣品臺(tái)5呈圓柱狀設(shè)置于基座4的頂部中心位置。
本實(shí)用新型的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，包括螺栓7，的材質(zhì)選用難熔金屬鉬，金屬鉬具有高強(qiáng)度、高熔點(diǎn)、耐腐蝕、耐磨研，放氣率低等優(yōu)點(diǎn)，其中其熔點(diǎn)高達(dá) ^KKTC以上，可以適用于包括金、銀、銅等金屬，鍺、硅等半導(dǎo)體以及二氧化硅、二氧化鈦等氧化物在內(nèi)的絕大多數(shù)的研究樣品。
權(quán)利要求
1.變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，其特征在于，包括基架和樣品固定架，所述的樣品固定架高度可調(diào)的固定在所述的基架上。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的基架包括基底、基底上的固定架、位于固定架上的限位突起，所述的樣品固定架通過對(duì)稱設(shè)置的兩個(gè)螺栓可調(diào)節(jié)的固定在所述的固定架上、所述限位突起的上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求
2所述的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的基底為扁平的長方體結(jié)構(gòu)，所述的固定架呈長條設(shè)置于所述基底的中心、并貫穿所述基底， 所述的限位突起為位于所述固定架中心且和所述固定架等寬的長條狀結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求
2所述的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的樣品固定架包括基座和固定在基座中心的樣品臺(tái)，所述的基座通過螺栓和所述的固定架固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求
4所述的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的基座為圓柱接圓臺(tái)的一體結(jié)構(gòu)，所述的樣品臺(tái)呈圓柱狀設(shè)置于所述基座的頂部中心位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求
1至5任一所述的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，其特征在于， 所述的變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)的材質(zhì)采用金屬鉬。
專利摘要
本實(shí)用新型涉及用于變溫超高真空掃描隧道顯微鏡樣品臺(tái)，包括基架和樣品固定架，所述的樣品固定架高度可調(diào)的固定在所述的基架上。本實(shí)用新型的樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)使用方便，能夠利用多種樣品傳送系統(tǒng)傳遞樣品，如可以利用基架上的突出部分用真空機(jī)械手傳樣，也可以利用基架和樣品固定架間的空隙用磁力傳樣桿傳樣，也適用于絕大多數(shù)的商業(yè)真空樣品操縱臺(tái)。
文檔編號(hào)G01Q30/00GKCN202041548SQ201120139605
公開日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2011年5月5日
發(fā)明者馬權(quán) 申請(qǐng)人:天津眾通網(wǎng)絡(luò)科技服務(wù)有限公司導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan