專利名稱:一種掃描電子顯微鏡用分析柔性長樣品的樣品臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是一種在掃描電子顯微鏡中使用的觀察組織的設(shè)備，尤其涉及 一種掃描電子顯微鏡用可以分析柔性長樣品的樣品臺的制備與研發(fā)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，公知的技術(shù)是掃描電子顯微鏡中在用的普通樣品臺和進(jìn)口的多功 能樣品臺。現(xiàn)有的普通樣品臺只有放置試樣并使其移動(dòng)位置的功能，不能大范圍分析柔性 長樣品。進(jìn)口的多功能樣品臺包括機(jī)械裝夾樣品的部分及其電動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置和自動(dòng)控制系 統(tǒng)，由于實(shí)行機(jī)電一體的控制，因而機(jī)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格昂貴，難以實(shí)用化。這是現(xiàn)有技術(shù)所存在 的不足之處。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的，就是針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足，而提供一種具有分析柔性 長樣品功能且結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、實(shí)用性強(qiáng)的樣品臺，
本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是在樣品臺底座上，設(shè)置一個(gè)由齒 輪、操縱桿、轉(zhuǎn)軸、螺母、定位銷和固定端所組成的機(jī)械裝夾裝置。在該裝置中，齒輪與操縱 桿及轉(zhuǎn)軸為鍵連接，且齒輪用軸肩和螺母進(jìn)行軸向固定；操縱桿與樣品臺底座為活動(dòng)連接； 試樣通過定位銷固定在轉(zhuǎn)軸上。前后推拉操縱桿，使操縱桿與轉(zhuǎn)軸上的兩齒輪嚙合，然后轉(zhuǎn) 動(dòng)操縱桿，利用齒輪傳動(dòng)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，使試樣從左向右(或從右向左)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)分析柔 性長樣品的目的。
本實(shí)用新型的有益效果是可以大范圍分析柔性長樣品，從而減少更換樣品的時(shí) 間和樣品室抽真空的次數(shù)，提高工作效率。另外，該樣品臺只含機(jī)械裝夾部分，無電動(dòng)驅(qū)動(dòng) 裝置和自動(dòng)控制系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、實(shí)用性強(qiáng)。


圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中，1為定位螺母，2為齒輪，3為樣品臺底座，4為燕尾槽，5為轉(zhuǎn)軸固定端，6為 轉(zhuǎn)軸，7為試樣，8為定位銷，9為軸肩，10為固定螺母，11為操縱桿，12為操縱桿固定端。
具體實(shí)施方式
為能清楚說明本方案的技術(shù)特點(diǎn)，下面通過一個(gè)具體實(shí)施方式
并結(jié)合附圖對本方 案進(jìn)行闡述。
在圖1中，齒輪⑵與操縱桿(11)及轉(zhuǎn)軸(6)為鍵連接，且齒輪⑵用軸肩(9) 和固定螺母(10)進(jìn)行軸向固定；操縱桿(11)與樣品臺底座(3)為活動(dòng)連接；試樣(7)通 過定位銷(8)固定在轉(zhuǎn)軸(6)上。向前推動(dòng)操縱桿(11)，當(dāng)定位螺母(1)與操縱桿固定端 (12)相接觸時(shí)，操縱桿(11)與左轉(zhuǎn)軸(6)上的兩齒輪(2)實(shí)現(xiàn)嚙合，然后順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)操縱桿(11)，通過齒輪(2)傳動(dòng)，左轉(zhuǎn)軸(6)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)試樣(7)由右向左運(yùn)動(dòng)；向 后拉動(dòng)操縱桿(11)，當(dāng)軸肩(9)與操縱桿固定端(12)相接觸時(shí)，操縱桿(11)與右轉(zhuǎn)軸(6) 上的兩齒輪(2)實(shí)現(xiàn)嚙合，然后逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)操縱桿(11)，通過齒輪(2)傳動(dòng)，右轉(zhuǎn)軸(6)順 時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)試樣(7)左向右運(yùn)動(dòng)。
權(quán)利要求
一種掃描電子顯微鏡用分析柔性長樣品的樣品臺，包括樣品臺底座和機(jī)械裝夾裝置，其特征是機(jī)械裝夾裝置是由齒輪、操縱桿、轉(zhuǎn)軸、螺母、定位銷和固定端所組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的一種掃描電子顯微鏡用分析柔性長樣品的樣品臺，其特征 是齒輪與操縱桿及轉(zhuǎn)軸為鍵連接，且齒輪用軸肩和螺母進(jìn)行軸向固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的一種掃描電子顯微鏡用分析柔性長樣品的樣品臺，其特征 是操縱桿與樣品臺底座為活動(dòng)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的一種掃描電子顯微鏡用分析柔性長樣品的樣品臺，其特征 是試樣通過定位銷固定在轉(zhuǎn)軸上。
專利摘要
本實(shí)用新型涉及一種掃描電子顯微鏡用可以分析柔性長樣品的樣品臺，它是在樣品臺底座上，設(shè)置一個(gè)由齒輪、操縱桿、轉(zhuǎn)軸、螺母、定位銷和固定端所組成的機(jī)械裝夾裝置。在該裝置中，齒輪與操縱桿及轉(zhuǎn)軸為鍵連接，且齒輪用軸肩和螺母進(jìn)行軸向固定；操縱桿與樣品臺底座為活動(dòng)連接；試樣通過定位銷固定在轉(zhuǎn)軸上。前后推拉操縱桿，使操縱桿與轉(zhuǎn)軸上的兩齒輪嚙合，然后轉(zhuǎn)動(dòng)操縱桿，利用齒輪傳動(dòng)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，使試樣從左向右(或從右向左)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)分析柔性長樣品的目的。
文檔編號G01Q30/20GKCN201765251SQ201020251249
公開日2011年3月16日 申請日期2010年7月8日
發(fā)明者劉科高, 孫喜桂, 王志剛, 石磊, 許斌 申請人:山東建筑大學(xué)導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan