本技術(shù)涉及研究與測試的，尤其涉及一種真空轉(zhuǎn)移裝置及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、眾所周知，鋰離子電池界面材料的性質(zhì)是最活潑的，對空氣極其敏感，即使短暫暴露在大氣環(huán)境中，其表面也會很快與空氣(氧氣、水)發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生新的化學(xué)物質(zhì)，造成電池界面材料表面真實化學(xué)結(jié)構(gòu)的的改變，直接導(dǎo)致材料表征的復(fù)雜化和不確定性，特別是與表面分析相關(guān)的譜圖解析將變得更加困難。對于這種情況，如何實現(xiàn)空氣敏感材料便捷有效的無空氣接觸轉(zhuǎn)移以及與測試儀器的無縫對接就顯得尤為重要。

2、x射線光電子能譜分析技術(shù)(xps)是當(dāng)前最常用的表面分析方法，因此許多測試工作者研發(fā)了與xps儀器對接的真空轉(zhuǎn)移盒，實現(xiàn)惰性環(huán)境制樣后轉(zhuǎn)至xps樣品室，在xps儀器內(nèi)部高真空環(huán)境下取出樣品，這的確在很大程度上改進(jìn)了測試技術(shù)。

3、但樣品在轉(zhuǎn)移過程中，受各種因素的影響，真空轉(zhuǎn)移盒可能會出現(xiàn)漏氣的問題，導(dǎo)致樣品表面元素分析的準(zhǔn)確性難以保證。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提供一種真空轉(zhuǎn)移裝置及系統(tǒng)，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中樣品轉(zhuǎn)移過程中可能出現(xiàn)漏氣問題，導(dǎo)致樣品表面元素分析準(zhǔn)確性難以保證的問題，實現(xiàn)對樣品所處真空度的實時監(jiān)控，以便于及時對真空度進(jìn)行調(diào)整，保證樣品表面元素分析的準(zhǔn)確性。

2、本實用新型提供一種真空轉(zhuǎn)移裝置，能夠適用于x射線光電子能譜分析儀樣品臺的真空轉(zhuǎn)移，轉(zhuǎn)移裝置包括：

3、本體，設(shè)置有內(nèi)腔以及連通所述內(nèi)腔的開口；

4、蓋體，可拆卸地蓋合于所述開口，所述蓋體與所述本體的連接處為密封配合；

5、第一氣孔，與所述內(nèi)腔導(dǎo)通且能夠開閉，適用于連接真空泵；

6、第二氣孔，與所述內(nèi)腔導(dǎo)通，適用于連接真空檢測部件。

7、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，還包括嵌裝于所述內(nèi)腔中的防振套。

8、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，所述第一氣孔和/或所述第二氣孔設(shè)置于所述蓋體上。

9、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，所述第一氣孔上固定連接有第一接頭，所述第一接頭上連接有第一閥；所述第二氣孔上固定連接有第二接頭。

10、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，所述蓋體與所述本體的連接處通過密封圈密封。

11、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，所述本體上設(shè)置有環(huán)繞所述開口的密封槽，所述密封圈嵌裝于所述密封槽中，所述蓋體的底部壓接于所述密封圈上。

12、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，還包括用于鎖緊所述本體與所述蓋體的鎖緊件。

13、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，所述鎖緊件包括連接部和鎖緊部；

14、所述鎖緊部通過所述連接部連接于所述本體上，并且，所述鎖緊部靠近所述開口布置；

15、所述鎖緊部能夠朝向或背離所述開口運動，以壓緊或松開所述蓋體。

16、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，所述鎖緊部一端與所述連接部轉(zhuǎn)動連接，使所述鎖緊部相對的另一端可繞所述連接部轉(zhuǎn)動。

17、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置，所述連接部包括螺栓。

18、本實用新型還提供一種真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，包括上述任意一項所述的真空轉(zhuǎn)移裝置。

19、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，還包括真空泵和真空檢測部件；

20、所述真空泵與所述真空轉(zhuǎn)移裝置第一氣孔連接；

21、所述真空檢測部件與所述真空轉(zhuǎn)移裝置第二氣孔連接。

22、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，所述真空泵與所述第一氣孔通過第一軟管導(dǎo)通，所述第一軟管上連接有第二閥。

23、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，所述真空檢測部件與所述第二氣孔通過第二軟管導(dǎo)通。

24、根據(jù)本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，所述真空檢測部件包括真空規(guī)和數(shù)顯真空計。

25、本實用新型提供的一種真空轉(zhuǎn)移裝置及系統(tǒng)，樣品轉(zhuǎn)移過程中，通過真空檢測部件可以實時監(jiān)測內(nèi)腔中的真空度，從而判斷是否存在漏氣的問題，如果內(nèi)腔中真空度逐漸降低，則表明存在漏氣問題，工作人員可及時發(fā)現(xiàn)問題并查找漏氣原因，以便于及時對真空度進(jìn)行調(diào)整，確保樣品臺轉(zhuǎn)移過程中始終處于預(yù)設(shè)的真空度下，從而保證樣品表面元素分析的準(zhǔn)確性。

技術(shù)特征：

1.一種真空轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，能夠適用于x射線光電子能譜分析儀樣品臺的真空轉(zhuǎn)移，轉(zhuǎn)移裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括嵌裝于所述內(nèi)腔中的防振套(14)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一氣孔(12)和/或所述第二氣孔(13)設(shè)置于所述蓋體(11)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一氣孔(12)上固定連接有第一接頭(120)，所述第一接頭(120)上連接有第一閥(121)；所述第二氣孔(13)上固定連接有第二接頭(130)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述蓋體(11)與所述本體(10)的連接處通過密封圈(15)密封。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述本體(10)上設(shè)置有環(huán)繞所述開口的密封槽(100)，所述密封圈(15)嵌裝于所述密封槽(100)中，所述蓋體(11)的底部壓接于所述密封圈(15)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項所述的真空轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，還包括用于鎖緊所述本體(10)與所述蓋體(11)的鎖緊件(16)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述鎖緊件(16)包括連接部(160)和鎖緊部(161)；

9.一種真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-8任意一項所述的真空轉(zhuǎn)移裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，其特征在于，還包括真空泵(20)和真空檢測部件(30)；

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及研究與測試的技術(shù)領(lǐng)域，提供一種真空轉(zhuǎn)移裝置及系統(tǒng)，真空轉(zhuǎn)移裝置能夠適用于X射線光電子能譜分析儀樣品臺的真空轉(zhuǎn)移，包括：本體，設(shè)置有內(nèi)腔以及連通內(nèi)腔的開口；蓋體，可拆卸地蓋合于開口，蓋體與本體的連接處為密封配合；第一氣孔，與內(nèi)腔導(dǎo)通且能夠開閉，適用于連接真空泵；第二氣孔，與內(nèi)腔導(dǎo)通，適用于連接真空檢測部件；樣品轉(zhuǎn)移過程中，通過真空檢測部件可以實時監(jiān)測內(nèi)腔中的真空度，從而判斷是否存在漏氣的問題，如果內(nèi)腔中真空度逐漸降低，則表明存在漏氣問題，工作人員可及時發(fā)現(xiàn)問題并查找漏氣原因，以便于及時對真空度進(jìn)行調(diào)整，確保樣品臺轉(zhuǎn)移過程中處于預(yù)設(shè)的真空度下，從而保證樣品表面元素分析的準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員：袁敏娟,沈雪玲,方彥彥,劉進(jìn)萍,李曉兵,王澤,肖佳旭,劉美,王曉丹,王聰,裴潤萍
受保護的技術(shù)使用者：國聯(lián)汽車動力電池研究院有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：20240429
技術(shù)公布日：2024/12/19