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一種粒子計(jì)數(shù)器的制作方法

文檔序號(hào):40378540發(fā)布日期:2024-12-20 12:01閱讀:4來源:國(guó)知局
一種粒子計(jì)數(shù)器的制作方法

本技術(shù)涉及氣體檢測(cè),尤其涉及一種粒子計(jì)數(shù)器。


背景技術(shù):

1、目前,采用激光的粒子計(jì)數(shù)器對(duì)于檢測(cè)粒徑大于0.3微米的粒子已經(jīng)比較成熟,能夠準(zhǔn)確的檢測(cè)粒徑大于0.3微米的粒子濃度。而對(duì)于粒徑小于0.3微米的粒子,由于粒子散射光強(qiáng)與粒徑的6次方成正比,因此其散射光強(qiáng)非常微弱,并且由于空氣存在的瑞利散射會(huì)作為背景光形成噪聲,所以需要較大能量的激光光束并且光束形狀合適的激光才能實(shí)現(xiàn)對(duì)粒徑小于0.3微米的粒子檢測(cè),一般要求激光功率達(dá)到40瓦以上,而采用高功率的激光器,則電功率高,發(fā)熱量高。

2、本背景技術(shù)所公開的上述信息僅僅用于增加對(duì)本申請(qǐng)背景技術(shù)的理解,因此,其可能包括不構(gòu)成本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)背景技術(shù)中指出的問題,本實(shí)用新型提供一種粒子計(jì)數(shù)器,其能夠?qū)崿F(xiàn)0.1微米粒徑的塵埃粒子檢測(cè),具有低功耗、便攜式、檢測(cè)精度高的優(yōu)點(diǎn)。

2、為實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的,本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):

3、在一些實(shí)施例中,提供一種粒子計(jì)數(shù)器,包括:

4、泵浦源,其被配置為發(fā)出第一波長(zhǎng)激光;

5、激光諧振腔,所述泵浦源發(fā)出的所述第一波長(zhǎng)激光進(jìn)入所述激光諧振腔內(nèi);

6、激光晶體,其設(shè)于所述激光諧振腔內(nèi),所述激光晶體被配置為受所述第一波長(zhǎng)激光照射而形成第二波長(zhǎng)激光,所述第二波長(zhǎng)激光在所述激光諧振腔內(nèi)形成光振蕩;

7、氣溶膠發(fā)生裝置,其被配置為向所述激光諧振腔內(nèi)提供氣溶膠氣流,所述氣溶膠氣流穿經(jīng)所述第二波長(zhǎng)激光的光束;

8、光電探測(cè)裝置,其被配置為檢測(cè)氣溶膠粒子的散射光信號(hào)。

9、在一些實(shí)施例中,所述激光晶體為pr:ylf晶體;

10、所述泵浦源發(fā)出的第一波長(zhǎng)激光的波長(zhǎng)區(qū)間范圍為[400,700]nm;

11、所述pr:ylf晶體產(chǎn)生的第二波長(zhǎng)激光的波長(zhǎng)區(qū)間范圍為[500?,700]nm。

12、在一些實(shí)施例中,所述泵浦源發(fā)出的第一波長(zhǎng)激光的波長(zhǎng)區(qū)間范圍為[430,490]nm。

13、在一些實(shí)施例中,所述泵浦源發(fā)出的第一波長(zhǎng)激光的波長(zhǎng)區(qū)間范圍為[439,449]nm或者[464,474]nm或者[474,484]nm。

14、在一些實(shí)施例中,所述pr:ylf晶體產(chǎn)生的第二波長(zhǎng)激光的波長(zhǎng)區(qū)間范圍為[638,642]nm或者[521,525]nm。

15、在一些實(shí)施例中,所述激光晶體為紅寶石晶體;

16、所述泵浦源發(fā)出的第一波長(zhǎng)激光的波長(zhǎng)區(qū)間為[390?,450]nm;

17、所述紅寶石晶體產(chǎn)生的第二波長(zhǎng)激光的波長(zhǎng)區(qū)間為[?600,750]nm。

18、在一些實(shí)施例中,粒子計(jì)數(shù)器包括間隔布置的第一反射鏡和第二反射鏡,所述第一反射鏡與所述第二反射鏡之間形成所述激光諧振腔,所述泵浦源位于所述激光諧振腔的外側(cè),所述泵浦源發(fā)出的所述第一波長(zhǎng)激光經(jīng)所述第一反射鏡和/或所述第二反射鏡進(jìn)入所述激光諧振腔內(nèi),所述第二波長(zhǎng)激光在所述第一反射鏡與所述第二反射鏡之間形成光振蕩。

19、在一些實(shí)施例中,所述第一反射鏡對(duì)所述第二波長(zhǎng)激光的反射率不小于95%;

20、所述第二反射鏡對(duì)所述第二波長(zhǎng)激光的反射率不小于95%。

21、在一些實(shí)施例中,所述泵浦源發(fā)出的所述第一波長(zhǎng)激光所穿經(jīng)的所述第一反射鏡和/或所述第二反射鏡對(duì)所述第一波長(zhǎng)激光的透過率不小于80%。

22、在一些實(shí)施例中,粒子計(jì)數(shù)器包括反射鏡;

23、所述激光晶體在朝向所述泵浦源的一側(cè)面上設(shè)置光學(xué)鍍膜,所述光學(xué)鍍膜與所述反射鏡之間形成所述激光諧振腔,所述泵浦源位于所述激光諧振腔的外側(cè),所述泵浦源發(fā)出的所述第一波長(zhǎng)激光經(jīng)所述光學(xué)鍍膜和/或所述反射鏡進(jìn)入所述激光諧振腔內(nèi),所述第二波長(zhǎng)激光在所述光學(xué)鍍膜與所述反射鏡之間形成光振蕩。

24、在一些實(shí)施例中,所述泵浦源為激光二極管。

25、在一些實(shí)施例中,所述光電探測(cè)裝置包括第一光電探測(cè)模組,所述第一光電探測(cè)模組被配置為檢測(cè)0.1-0.3微米粒徑粒子的散射光信號(hào)。

26、在一些實(shí)施例中,所述第一光電探測(cè)模組包括第一光電探測(cè)器和第一散射光收集系統(tǒng),所述第一散射光收集系統(tǒng)采用透鏡收集散射光信號(hào),所述第一光電探測(cè)器采用光電二極管陣列。

27、在一些實(shí)施例中,所述光電探測(cè)裝置包括第二光電探測(cè)模組,所述第二光電探測(cè)模組被配置為檢測(cè)大于0.3微米粒徑粒子的散射光信號(hào)。

28、在一些實(shí)施例中,所述第二光電探測(cè)模組包括第二光電探測(cè)器和第二散射光收集系統(tǒng),所述第二散射光收集系統(tǒng)采用曼金鏡或雙凹鏡收集散射光信號(hào),所述第二光電探測(cè)器采用單像元探測(cè)器。

29、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:

30、本申請(qǐng)所公開的粒子計(jì)數(shù)器利用泵浦源、激光晶體以及相關(guān)光路的配合,在激光諧振腔外采用低能耗的泵浦源,利用激光晶體在激光諧振腔內(nèi)獲取到較高功率的激光,利用腔內(nèi)的高功率激光源來實(shí)現(xiàn)對(duì)0.1-0.3微米粒徑的粒子檢測(cè),且同時(shí)兼具低功耗、便攜式、檢測(cè)精度高等優(yōu)點(diǎn)。

31、結(jié)合附圖閱讀本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式后,本實(shí)用新型的其他特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚。



技術(shù)特征:

1.一種粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

10.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

11.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

12.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

14.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的粒子計(jì)數(shù)器,其特征在于,


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種粒子計(jì)數(shù)器,涉及氣體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,激光諧振腔的外側(cè)設(shè)置泵浦源,激光諧振腔內(nèi)設(shè)置激光晶體,泵浦源發(fā)出的第一波長(zhǎng)激光進(jìn)入激光諧振腔內(nèi),激光晶體受第一波長(zhǎng)激光照射而形成第二波長(zhǎng)激光,第二波長(zhǎng)激光在激光諧振腔內(nèi)形成光振蕩,氣溶膠發(fā)生裝置向激光諧振腔內(nèi)提供氣溶膠氣流,氣溶膠氣流穿經(jīng)第二波長(zhǎng)激光的光束,光電探測(cè)裝置檢測(cè)氣溶膠粒子的散射光信號(hào)。該計(jì)數(shù)器能夠?qū)崿F(xiàn)0.1微米粒徑的塵埃粒子檢測(cè),具有低功耗、便攜式、檢測(cè)精度高的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:何春雷,張忠民,劉凱,李長(zhǎng)俊,鞏永存,王坤
受保護(hù)的技術(shù)使用者:青島眾瑞智能儀器股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240323
技術(shù)公布日:2024/12/19
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