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無線無源壓力傳感器的制作方法

文檔序號(hào):40395616發(fā)布日期:2024-12-20 12:19閱讀:8來源:國(guó)知局
無線無源壓力傳感器的制作方法

本申請(qǐng)涉及壓力檢測(cè),特別是涉及一種無線無源壓力傳感器。


背景技術(shù):

1、壓差的檢測(cè)在生產(chǎn)生活中占有重要地位,壓差傳感器的精度高低、穩(wěn)定性好壞及適應(yīng)環(huán)境能力的大小、智能化水平廣泛地影響著各行各業(yè)的發(fā)展。

2、目前常用的壓差檢測(cè)方法有:電容式、電阻式和諧振式等。其中電容式是目前應(yīng)用較為廣泛的檢測(cè)方法。

3、現(xiàn)有的壓差檢測(cè)裝置需要利用有線的讀出方式,將壓差檢測(cè)裝置有線的與外部讀出裝置連接,存在抗干擾能力弱、安裝不便等問題,因此需要一種可以無線無源的測(cè)量方法。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此,有必要針對(duì)上述技術(shù)問題,提供一種無線無源壓力傳感器。

2、第一方面,本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N無線無源壓力傳感器,包括:

3、節(jié)流應(yīng)變電容組件,固定安裝于管道內(nèi)壁,用于縮小流體通過管道的截面面積,并檢測(cè)節(jié)流應(yīng)變電容組件兩側(cè)的壓差;

4、傳感器電感,纏繞于管道的內(nèi)壁,與節(jié)流應(yīng)變電容組件電連接;

5、激勵(lì)電感,纏繞于管道的外壁,與傳感器電感耦合。

6、在其中一個(gè)實(shí)施例中,無線無源壓力傳感器還包括:

7、管道,節(jié)流應(yīng)變電容組件、傳感器電感和激勵(lì)電感安裝于管道。

8、在其中一個(gè)實(shí)施例中,節(jié)流應(yīng)變電容組件包括:

9、節(jié)流板,固定安裝于管道內(nèi)壁,節(jié)流板上具有一節(jié)流孔,用于縮小流體通過管道的截面面積;

10、應(yīng)變敏感電容器,固定安裝于節(jié)流板上,與傳感器電感電連接,用于檢測(cè)節(jié)流板兩側(cè)的壓差。

11、在其中一個(gè)實(shí)施例中,應(yīng)變敏感電容器包括:

12、密封外殼,密封外殼朝向節(jié)流板兩側(cè)的側(cè)面分別設(shè)置有第一通孔;

13、固定基底,安裝于密封外殼的內(nèi)壁,固定基底具有第二通孔;

14、襯底層,安裝于固定基底上,襯底層具有一敏感極板,敏感極板上具有第一電極,第一電極與傳感器電感電連接;

15、氧化層,設(shè)置于襯底層遠(yuǎn)離固定基底的一側(cè);

16、器件層,設(shè)置于氧化層遠(yuǎn)離襯底層的一側(cè),器件層上具有一透氣孔和第二電極,第二電極與傳感器電感電連接;

17、其中,器件層和襯底層之間具有縫隙,且形成于氧化層。

18、在其中一個(gè)實(shí)施例中,節(jié)流板和傳感器電感的形狀與管道的內(nèi)壁的形狀相同,激勵(lì)電感的形狀與管道的外壁的形狀相同。

19、第二方面,本申請(qǐng)還提供了一種壓差檢測(cè)方法,應(yīng)用于上述實(shí)施例中的無線無源壓力傳感器,該方法包括:

20、獲取無線無源壓力傳感器的諧振頻率;

21、根據(jù)諧振頻率的變化,確定壓差。

22、第三方面,本申請(qǐng)還提供了一種壓差檢測(cè)裝置,該裝置包括:

23、諧振頻率獲取模塊,用于獲取無線無源壓力傳感器的諧振頻率;

24、壓差確定模塊,用于根據(jù)諧振頻率的變化,確定壓差。

25、第四方面,本申請(qǐng)還提供了一種計(jì)算機(jī)設(shè)備,包括存儲(chǔ)器和處理器,存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,處理器執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序時(shí)實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例中的方法的步驟。

26、第五方面,本申請(qǐng)還提供了一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例中的方法的步驟。

27、第六方面,本申請(qǐng)還提供了一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品,包括計(jì)算機(jī)程序,計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例中的方法的步驟。

28、上述無線無源壓力傳感器,至少具有以下有益效果:

29、能夠?qū)崿F(xiàn)在不需內(nèi)置電源的情況下對(duì)管道內(nèi)部壓力或壓差的無線監(jiān)測(cè),簡(jiǎn)化了安裝過程并增強(qiáng)了系統(tǒng)的抗干擾能力,特別適用于發(fā)電廠等工業(yè)環(huán)境中對(duì)維護(hù)要求高且難以接觸的位置進(jìn)行持續(xù)可靠的壓力監(jiān)控。



技術(shù)特征:

1.一種無線無源壓力傳感器,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無線無源壓力傳感器,其特征在于,還包括:

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無線無源壓力傳感器,其特征在于,所述節(jié)流應(yīng)變電容組件包括:

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的無線無源壓力傳感器,其特征在于,所述應(yīng)變敏感電容器包括:

5.根據(jù)權(quán)利要求3-4任一項(xiàng)所述的無線無源壓力傳感器,其特征在于,所述節(jié)流板和所述傳感器電感的形狀與所述管道的內(nèi)壁的形狀相同,所述激勵(lì)電感的形狀與所述管道的外壁的形狀相同。

6.一種壓差檢測(cè)方法,其特征在于,應(yīng)用于如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的無線無源壓力傳感器,所述方法包括:

7.一種壓差檢測(cè)裝置,其特征在于,所述裝置包括:

8.一種計(jì)算機(jī)設(shè)備,包括存儲(chǔ)器和處理器,所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,其特征在于,所述處理器執(zhí)行所述計(jì)算機(jī)程序時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的方法的步驟。

9.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,其特征在于,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的方法的步驟。

10.一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品,包括計(jì)算機(jī)程序,其特征在于,所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的方法的步驟。


技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)涉及一種無線無源壓力傳感器。該無線無源壓力傳感器包括節(jié)流應(yīng)變電容組件、傳感器電感和激勵(lì)電感。節(jié)流應(yīng)變電容組件固定安裝于管道內(nèi)壁,用于縮小流體通過管道的截面面積,并檢測(cè)節(jié)流應(yīng)變電容組件兩側(cè)的壓差;傳感器電感纏繞于管道的內(nèi)壁,與節(jié)流應(yīng)變電容組件電連接;激勵(lì)電感纏繞于管道的外壁,與傳感器電感耦合。采用該傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)在不需內(nèi)置電源的情況下對(duì)管道內(nèi)部壓力或壓差的無線監(jiān)測(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員:覃智賢,魏宇鵬,梁水康,陳小瓦,林躍歡,孫鐵鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)南方電網(wǎng)有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/19
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